JP4601656B2 - 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図14は従来の樹脂封止型半導体装置を示す図であり、図14(a)は平面図、図14(b)は底面図、図14(c)は図14(b)のA−A1箇所の断面図である。
図15は従来の樹脂封止型半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
図15(a)はリードフレームの平面図、図15(b)はリードフレームの断面図である。まず、それに示すように、フレーム枠と、そのフレーム枠内に、半導体素子が搭載されるダイパッド部101と、ダイパッド部101を支持する吊りリード部と、半導体素子を搭載した場合、その搭載した半導体素子と金属細線等の接続手段により電気的接続をするビーム状のインナーリード部103とを有したリードフレームを用意する。
次に、図15(d)に示すように、ダイパッド部101上に搭載した半導体素子102の表面の電極パッド(図示せず)と、リードフレームのインナーリード部103の先端部とを金属細線104により接続する(ワイヤーボンド工程)。
請求項4記載の樹脂封止型半導体装置は、請求項1記載の樹脂封止型半導体装置において、前記放熱部材が前記放熱部材の底面が露出して、前記封止樹脂により封止されていることを特徴とする。
(実施の形態1)
まず、実施の形態1におけるリードフレームについて説明する。
まず、図3(a)の本実施の形態における樹脂封止型半導体装置の平面図および図3(a)のD−D1箇所の断面図(b)に示すように、フレーム枠1と前記フレーム枠内に、半導体素子10からの放熱を助長する放熱部材2と、前記放熱部材2の周囲に配置され、半導体素子10と金属細線等の接続手段により電気的に接続するインナーリード部3と、前記インナーリード部3の対向面となる底面の一部である外部端子4とよりなり、前記放熱部材2の上部の半導体素子10が搭載される領域に半導体素子10を保持する保持部5と、前記保持部5は半導体素子10の面積よりも小さく、前記放熱部材2に開口部6を設け、その開口部6は半導体素子10を保持する保持部5の面積よりも大きく、前記保持部5は吊りリード7によってフレーム枠1と連結されており、保持部が頭頂部になるように吊りリード7がアップセットされ、アップセットされた保持部5は放熱部材2の開口部6に嵌めこまれ、放熱部材2上面より保持部5上面を高く位置させたリードフレームを用意する。
次に、図3(d)に示すように、半導体素子10の電極パッドとインナーリード部3を金属細線11により接続する。
図4(a),(b),(c)は前記封止工程における封止樹脂の流れを示す図である。
(実施の形態2)
次に、実施の形態2として、放熱板内蔵型のP−QFP(Plastic Qaud Flat Package)における実施の形態について説明する。
便宜上理解しやすいように、図6(a)平面図の半導体素子10の右半分を透過した図としている。また、図7は本発明の実施の形態の樹脂封止型半導体装置の製造工程を示す工程断面図であり、図8(a)、(b)、(c)は樹脂封止工程における樹脂の流れを示す図である。
まず、本発明の実施の形態2におけるリードフレームの保持部5に接着剤で半導体素子10を搭載し、接着剤を熱硬化する。接着剤はAgフィラーを含有したエポキシ樹脂主体のものが使用される。次に、金属細線11で半導体素子10の電極パッドと各インナーリード3を接続する。金属細線11は金(Au)純度、99.99%以上、直径15〜30μmの範囲が主となり、ワイヤーボンダーによる超音波・熱圧着方法で接合する。図示していないが、リードフレームを180℃から250℃のヒータープレート上で熱しながら、キャピラリーツールに金属細線11を通しておき、超音波振動と荷重を付加して、半導体素子10の電極パッド側にあらかじめ形成した金属ボールを押しつけ接合し、インナーリード3側まで移動し、キャピラリーツールで金属細線11を押しつけてちぎる。このとき金属細線8が任意のループ形状(ループ高さ)となるようにキャピラリーツールの動きをワイヤーボンダー側でコントロールする。
このように開口部を別形状にすることで封止樹脂12と放熱部材2の剥離進行と樹脂の流動に差異を与える効果を有する。
図13(a)、(b)に示すように放熱部材2を樹脂封止型半導体装置の底面に露出させることによって、実装基板へ直接的に熱を放熱する構成にすることも可能である。また樹脂封止型半導体装置を薄くすることも可能である。例えば、樹脂封止型半導体装置のボディ厚を0.80mmとして、取り付け高さを1.00mm以下とすることでP―VSOP(Plastic Very Thin Small Outline Package)やP−VQFP(Plastic Very Thin Qaud Flat Package)の実現が可能となる。
2 放熱部材
3 インナーリード部
4 外部端子
5 保持部
6 開口部
7 吊りリード
8 アップセット
9 テーパー部
10 半導体素子
11 金属細線
12 封止樹脂
13 上封止金型
14 下封止金型
15 ポット
16 プランジャー
17 ランナー
18 ゲート
19 エアベンド
20 ダムバー
21 アウターリード部
22 封止シート
101 ダイパッド部
102 半導体素子
103 インナーリード部
104 金属細線
105 封止樹脂
106 外部端子
Claims (5)
- 吊りリードに連結され、半導体素子より面積が小さく、前記半導体素子を保持する保持部と、
前記保持部に搭載した半導体素子と、
前記保持部の周囲に配置され、前記半導体素子と金属細線により電気的に接続されるリード部と、
外部と電気的に接続するための外部端子と、
前記保持部の面積よりも大きい開口部を有して、前記リード部の底面と接着された放熱部材と、
前記保持部、前記半導体素子および前記金属細線を封止する封止樹脂とからなり、
前記保持部の直下に前記放熱部材の前記開口部が位置することを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 - 前記保持部が吊りリードにより、リード部よりアップセットされていることを特徴とする請求項1記載の樹脂封止型半導体装置。
- 前記放熱部材が前記封止樹脂により封止されていることを特徴とする請求項1記載の樹脂封止型半導体装置。
- 前記放熱部材が前記放熱部材の底面が露出して、前記封止樹脂により封止されていることを特徴とする請求項1記載の樹脂封止型半導体装置。
- フレーム枠と、前記フレーム枠に吊りリードに連結され、半導体素子より面積が小さく、前記半導体素子を保持する保持部と、前記保持部の周囲に配置されたリード部と、前記保持部の面積よりも大きい開口部を有して、前記リード部の底面と接着された放熱部材とからなるリードフレームを用意する工程と、
前記保持部に前記半導体素子を接着剤により接合する工程と、
前記半導体素子とリード部を金属細線により電気的に接続する工程と、
前記保持部、前記半導体素子および前記金属細線を封止樹脂により封止する工程とからなり、
前記封止樹脂により封止する工程で、前記半導体素子の直下においては前記放熱部材の下側の前記封止樹脂を前記放熱部材の前記開口部より侵入させ、前記放熱部材の上側より侵入する前記封止樹脂とを合流させることを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法。
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