JP4599712B2

JP4599712B2 - Manufacturing method of angular velocity sensor

Info

Publication number: JP4599712B2
Application number: JP2000400461A
Authority: JP
Inventors: 勝彦上田
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-12-28
Filing date: 2000-12-28
Publication date: 2010-12-15
Anticipated expiration: 2020-12-28
Also published as: JP2002202132A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、航空機・車両などの移動体の姿勢制御やナビゲーションシステム等に用いられる角速度センサの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の角速度センサとしては特開平８−１７０９１７号公報に開示されたものが知られている。
【０００３】
以下、従来の角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。
【０００４】
図５は従来の角速度センサの斜視図である。
【０００５】
図５において、１は柱状の音叉で、一対の柱部２と、この一対の柱部２の端部を接続する接続部３とにより構成されている。そして音叉１の一対の柱部２のそれぞれの外側面には駆動圧電素子４が設けられるとともに、この駆動圧電素子４を設けた側面と同一面上に参照圧電素子５が設けられている。そしてまた音叉１における駆動圧電素子４および参照圧電素子５を設けた側面と異なる側面には一対の検知圧電素子６を設けている。７は金属製の支持部材で、音叉１の接続部３の根元を支持している。８は金属製の基台で、支持部材７の下面を上面に溶着により固着するとともに、この基台８には複数の端子挿入孔９を設けており、この端子挿入孔９に端子１０を絶縁物１１を介して挿通させ、さらに、この端子１０は音叉１の駆動圧電素子４、参照圧電素子５および検知圧電素子６と電気的に接続している。そして、音叉１は支持部材７により基台８に固着されるものであるが、音叉１における柱部２を基台８に対して略平行になるように支持しているものである。
【０００６】
以上のように構成された従来の角速度センサについて、次に、その動作を説明する。
【０００７】
音叉１の駆動圧電素子４に交流電圧を印加することにより音叉１が駆動方向の固有振動数で駆動方向に速度Ｖで屈曲振動する。この状態において、音叉１が音叉１の中心軸回りに角速度ωで回転すると音叉１の一対の柱部２にＦ＝２ｍｖ・ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により検知圧電素子６に発生する電荷を出力電圧として外部コンピュータ等（図示せず）で測定することにより角速度を検出していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成においては、音叉１を基台８に対して、略平行に隙間をあけた状態で設ける必要があるが、音叉１自身が重量を持っているから、音叉１を基台８に組み付ける際に、柱部２の先端が下方に移動することとなり、その結果、音叉１を基台８に対して、略平行に支持することが困難であるという課題を有していた。
【０００９】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、音叉を基台に対して略平行に支持することが容易な、角速度センサの製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の角速度センサの製造方法は、音叉の先端部を保持する保持部材を基台上に積載する工程と、基台上に設けられた凸状の支持台または音叉の接続部に接着剤を塗布する工程と、支持台に音叉の接続部を保持部材に音叉の先端部を積載する工程と、接着剤が硬化した後に保持部材を取り外す工程とを有する方法で、この方法によれば、音叉を基台に対して、略平行に容易に支持することができるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、支持台の高さより厚いとともに円柱形状のはんだからなる材料を基台上に積載した後に、ポンチで支持台をストッパーにして押圧することにより中央部に音叉の先端部を保持する受け面を設けた保持部材を基台上に形成する工程と、基台上に設けられた凸状の支持台または音叉の接続部に接着剤を塗布する工程と、支持台に音叉の接続部を保持部材に音叉の先端部を積載する工程と、前記接着剤が硬化した後に保持部材を取り外す工程とからなる方法で、この方法によれば、支持台に音叉の接続部を保持部材に音叉の先端部を積載した後、接着剤が硬化してから保持部材を取り外したため、基台に音叉を組み付ける際に、音叉の重量により音叉が傾くということがなくなり、基台に対して音叉を容易に略平行に支持することができるとともに、保持部材の厚みにバラツキが生じた場合においても、支持台の高さとポンチで押圧された保持部材の高さとが同一となり、その結果、容易に基台と音叉を平行に支持することができるという作用を有するものである。
【００１２】
以下、本発明の一実施の形態における角速度センサの製造方法について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は本発明の一実施の形態における角速度センサの分解斜視図、図２は同角速度センサにおける斜視図である。
【００１４】
図１、図２において、２１は水晶製の音叉で、四角柱状の第１の振動体２２と、この第１の振動体２２と平行に設けられた四角柱状の第２の振動体２３と、第１の振動体２２の一端部と第２の振動体２３の一端部とを一体に接続する接続部２４とにより構成されている。そして、第１の振動体２２の４つの側面にはそれぞれ金からなる駆動電極２５を設けている。また第２の振動体２３における表面および裏面には金からなるモニター電極２６が設けられるとともに、この第２の振動体２３の内側の側面には金からなるＧＮＤ電極２７が設けられ、かつ外側の側面には金からなる一対の検出電極２８が設けられている。２９は直方体形状をなす金属製の支持台で、音叉２１における接続部２４の根元を支持している。３０は金属製の基台で、支持台２９の下部を固着するとともに、６つの端子挿入孔３１を設けており、この端子挿入孔３１の内側面にはガラスからなる絶縁物３２を設けている。そして、音叉２１における第１の振動体２２および第２の振動体２３を基台３０に対して略平行になるように構成されている。そしてまた、第１の基台３０の端子挿入孔３１に絶縁物３２を介して６つの端子３３を挿通している。また第１の基台３０における端子３３は、駆動電極２５、検出電極２８、ＧＮＤ電極２７およびモニター電極２６とリード線（図示せず）により、それぞれ電気的に接続されている。３４は金属製のカバーで、第１の基台３０の上面を覆うように設けており、このカバー３４と第１の基台３０とにより、第１の振動体２２、第２の振動体２３および接続部２４からなる音叉２１を内側に収納している。そして、第１の基台３０とカバー３４との内部が真空状態となるようにカバー３４と第１の基台３０の固着部を密着させているものである。
【００１５】
以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次にその組立方法を図面を参照しながら説明する。
【００１６】
まず、第１の振動体２２、第２の振動体２３および接続部２４とを一体に構成した水晶製の音叉２１を準備する。
【００１７】
次に、第１の振動体２２の４つの側面に駆動電極２５を、第２の振動体２３の表面および裏面にモニター電極２６を、第２の振動体２３の内側の側面にＧＮＤ電極２７を、第２の振動体２３の外側面に一対の検出電極２８を金を蒸着することによりそれぞれ形成する。
【００１８】
次に、基台３０に深絞り加工により、支持台２９を形成する。
【００１９】
次に、図３（ａ）に示すように、予め、複数の溝３５を設けた治具３６の中央部に、基台３０を載置する。
【００２０】
次に、図３（ｂ）に示すように、支持台２９の高さより厚いとともに塑性加工可能な融点が約１９０℃であるはんだからなる保持部材３７を治具３６および基台３０の上面に、またがるように載置した後、図３（ｃ）に示すように、上方より第１のポンチ３８を降下させて、第１のポンチ３８により約４０Kgfの力で、保持部材３７を変形させ、治具３６に保持部材３７を固着する。
【００２１】
このとき、保持部材３７をはんだとしたため、はんだは容易に塑性変形させることができることとなり、その結果、容易に保持部材３７を治具３６に固着させることができるという効果を有するものである。
【００２２】
そして、基台３０および保持部材３７を治具３６により支持したため、同一の１個の治具３６にて基台３０および保持部材３７を支持することとなり、その結果、基台３０および保持部材３７の位置が相対的に正確に保証されるから、音叉２１を基台３０に対して正確な位置に保持することができるという効果を有するものである。
【００２３】
次に、第１のポンチ３８を上昇させた後、再度、図４（ａ）に示すように、第２のポンチ３９を支持台２９をストッパーとして約２０Kgfの力で降下させて、保持部材３７における中央部に、音叉２１の第１の振動体２２および第２の振動体２３からなる先端部を保持する受け面４０を形成する。
【００２４】
ここで、基台３０を深絞り加工により形成する支持台２９の高さが変動する場合を考えると、本発明の一実施の形態における角速度センサの製造方法においては、保持部材３７を支持台２９の高さより厚いとともに、塑性加工可能な材料を基台３０上に積載した後に、第２のポンチ３９で支持台２９をストッパーにして押圧することにより得られたものとしたため、支持台２９の高さと第２のポンチ３９で押圧された保持部材３７における受け面４０の高さとが同一となり、その結果、容易に基台３０と音叉２１を平行に支持することができるという効果を有するものである。
【００２５】
そして、第１のポンチ３８により保持部材３７を変形させて治具３６に保持部材３７を固着することにより、保持部材３７を治具３６により支持した後、再度、第２のポンチ３９により保持部材３７を変形させて、保持部材３７に音叉２１の先端を保持する受け面４０を設けたため、第２のポンチ３９による外力が音叉２１の先端部である第１の振動体２２および第２の振動体２３を保持する受け面４０を形成するために使用する際には治具３６に保持部材３７を固着するために第２のポンチ３９の力を使用することが無いから、保持部材３７における受け面４０を第２のポンチ３９の安定した力で形成することができることとなり、その結果、保持部材３７における受け面４０の高さを、精度良く設けることができるという効果を有するものである。
【００２６】
次に、基台３０に設けられた凸状の支持台２９に接着剤を塗布した後、図４（ｂ）に示すように、支持台２９に音叉２１における接続部２４、さらに保持部材３７における受け面４０に音叉２１における第１の振動体２２および第２の振動体２３からなる先端部を積載する。
【００２７】
次に、基台３０および音叉２１を載置した治具３６をホットプレート（図示せず）上で、はんだからなる保持部材３７の融点約１９０℃より低い温度である約１５３℃に加熱することにより、接着剤（図示せず）を硬化させて、音叉２１を基台３０における支持台２９に接着する。
【００２８】
このとき、はんだからなる保持部材３７の融点を接着剤（図示せず）の硬化する温度よりも大きくしたため、基台３０における支持台２９に音叉２１を接着するために角速度センサの周囲の雰囲気温度を上げたとしても、保持部材３７が溶けて保持部材３７の高さが変動してしまうということがなくなり、その結果、音叉２１を基台３０に対して、確実に支持することができるという効果を有するものである。
【００２９】
次に、図４（ｃ）に示すように、保持部材３７を音叉２１の第１の振動体２２および第２の振動体２３側の長手方向に移動させて取り外す。
【００３０】
このとき、支持台２９に音叉２１の接続部２４を、保持部材３７に音叉２１の先端部を積載した後、接着剤（図示せず）が硬化してから保持部材３７を取り外したため、音叉２１を基台３０に組み付ける際に、音叉２１の重量により音叉２１が傾くということがなくなり、その結果、基台３０に対して音叉２１を容易に略平行に支持することができるという効果を有するものである。
【００３１】
次に、あらかじめガラスからなる絶縁物３２を内側面に設けた第１の基台３０の端子挿入孔３１に端子３３を挿入した後、この端子３３と駆動電極２５、検出電極２８、ＧＮＤ電極２７およびモニター電極２６をそれぞれリード線（図示せず）を介してはんだ付けにより電気的に接続する。
【００３２】
次に、第１の基台３０の外周部をカバー３４により内側が真空になるように真空の雰囲気中で固着する。
【００３３】
以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次にその動作を説明する。
【００３４】
音叉２１における第１の振動体２２の駆動電極２５に交流電圧を印加することにより、第１の振動体２２が駆動方向の固有振動数で駆動方向に速度Ｖで屈曲振動する。この屈曲振動は接続部２４を介して対向する第２の振動体２３にも伝わり、そしてこの第２の振動体２３も駆動方向の固有振動数で駆動方向に速度Ｖで屈曲振動する。そしてこの第２の振動体２３および第１の振動体２２が屈曲振動している状態において、音叉２１が音叉２１の長手方向の中心軸回りに角速度ωで回転すると、第２の振動体２３にＦ＝２ｍｖ・ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、第２の振動体２３の検出電極２８に発生する電荷からなる出力信号をリード線（図示せず）および端子３３を介して相手側のコンピュータ（図示せず）に入力することにより、角速度として検出するものである。
【００３５】
【発明の効果】
以上のように本発明の角速度センサの製造方法は、支持台の高さより厚いとともに円柱形状のはんだからなる材料を基台上に積載した後に、ポンチで支持台をストッパーにして押圧することにより中央部に音叉の先端部を保持する受け面を設けた保持部材を基台上に形成する工程と、基台上に設けられた凸状の支持台または音叉の接続部に接着剤を塗布する工程と、支持台に音叉の接続部を保持部材に音叉の先端部を積載する工程と、前記接着剤が硬化した後に保持部材を取り外す工程とからなる方法で、この方法によれば、支持台に音叉の接続部を保持部材に音叉の先端部を積載した後、接着剤が硬化してから保持部材を取り外したため、基台に音叉を組み付ける際に、音叉の重量により音叉が傾くということがなくなり、基台に対して音叉を容易に略平行に支持することができるとともに、保持部材の厚みにバラツキが生じた場合においても、支持台の高さとポンチで押圧された保持部材の高さとが同一となり、その結果、容易に基台と音叉を平行に支持することができるという効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における角速度センサの分解斜視図
【図２】同要部である音叉の斜視図
【図３】（ａ），（ｂ），（ｃ）同組立工程図
【図４】（ａ），（ｂ），（ｃ）同組立工程図
【図５】従来の角速度センサの斜視図
【符号の説明】
２１音叉
２４接続部
２９支持台
３０基台
３６治具
３７保持部材
３８，３９ポンチ
４０受け面[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method of manufacturing an angular velocity sensor used for attitude control of a moving body such as an aircraft or a vehicle, a navigation system, or the like.
[0002]
[Prior art]
As a conventional angular velocity sensor of this kind, one disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 8-1701717 is known.
[0003]
Hereinafter, a conventional angular velocity sensor will be described with reference to the drawings.
[0004]
FIG. 5 is a perspective view of a conventional angular velocity sensor.
[0005]
In FIG. 5, reference numeral 1 denotes a columnar tuning fork, which includes a pair of column portions 2 and a connection portion 3 that connects the ends of the pair of column portions 2. A driving piezoelectric element 4 is provided on each outer surface of the pair of column portions 2 of the tuning fork 1, and a reference piezoelectric element 5 is provided on the same side as the side surface on which the driving piezoelectric element 4 is provided. In addition, a pair of detection piezoelectric elements 6 are provided on a side surface different from the side surface on which the driving piezoelectric element 4 and the reference piezoelectric element 5 are provided in the tuning fork 1. 7 is a metal support member that supports the base of the connecting portion 3 of the tuning fork 1. Reference numeral 8 denotes a metal base, and the lower surface of the support member 7 is fixed to the upper surface by welding, and a plurality of terminal insertion holes 9 are provided in the base 8, and the terminals 10 are insulated from the terminal insertion holes 9. Further, the terminal 10 is electrically connected to the driving piezoelectric element 4, the reference piezoelectric element 5, and the detecting piezoelectric element 6 of the tuning fork 1. Then, the tuning fork 1 is are those solid wear to the base 8 by the supporting member 7, in which supports substantially in parallel to the pillar portion 2 to the base 8 in the tuning fork 1.
[0006]
Next, the operation of the conventional angular velocity sensor configured as described above will be described.
[0007]
By applying an AC voltage to the driving piezoelectric element 4 of the tuning fork 1, the tuning fork 1 bends and vibrates at a speed V in the driving direction at a natural frequency in the driving direction. In this state, when the tuning fork 1 rotates around the central axis of the tuning fork 1 at an angular velocity ω, a Coriolis force of F = 2 mv · ω is generated in the pair of column portions 2 of the tuning fork 1. The angular velocity is detected by measuring the electric charge generated in the detection piezoelectric element 6 by this Coriolis force as an output voltage with an external computer or the like (not shown).
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above conventional configuration, it is necessary to provide the tuning fork 1 with a gap substantially parallel to the base 8. However, since the tuning fork 1 itself has a weight, the tuning fork 1 is mounted on the base. 8, the tip end of the column portion 2 moves downward, and as a result, it is difficult to support the tuning fork 1 substantially parallel to the base 8.
[0009]
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing an angular velocity sensor that can easily support a tuning fork substantially parallel to a base.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the method of manufacturing an angular velocity sensor according to the present invention includes a step of loading a holding member for holding a tip of a tuning fork on a base, a convex support base provided on the base or a tuning fork. A step of applying an adhesive to the connecting portion, a step of loading the connecting portion of the tuning fork on the support base and a tip of the tuning fork on the holding member, and a step of removing the holding member after the adhesive is cured, According to this method, the tuning fork can be easily supported substantially parallel to the base.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
In the invention according to claim 1 of the present invention, after a material made of columnar solder having a thickness larger than the height of the support table is loaded on the base table, the support table is pressed with a punch as a stopper at the center portion. A step of forming a holding member provided with a receiving surface for holding the tip of the tuning fork on the base, a step of applying an adhesive to a convex support base provided on the base or a connection portion of the tuning fork, The method includes a step of stacking a tuning fork connection portion on a support base and a tip portion of the tuning fork on a holding member, and a step of removing the holding member after the adhesive is cured. After mounting the tip of the tuning fork on the holding member, the holding member was removed after the adhesive was cured, so that when the tuning fork was assembled to the base, the tuning fork would not tilt due to the weight of the tuning fork. The tuning fork is almost flat It is possible to support the, even when variation occurs in the thickness of the holding member, the height of the pressed holding member is equal in height and punch support base, as a result, easily base and fork It has the effect | action that it can support in parallel.
[0012]
Hereinafter, a method for manufacturing an angular velocity sensor according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0013]
FIG. 1 is an exploded perspective view of an angular velocity sensor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of the angular velocity sensor.
[0014]
In FIGS. 1 and 2, reference numeral 21 denotes a quartz tuning fork, a quadrangular columnar first vibrating body 22, a quadrangular columnar second vibrating body 23 provided in parallel with the first vibrating body 22, The first vibration body 22 and the second vibration body 23 are connected to each other at one end and a connection portion 24 that integrally connects the first vibration body 22 and the second vibration body 23. Then, drive electrodes 25 made of gold are provided on each of the four side surfaces of the first vibrating body 22. In addition, a monitor electrode 26 made of gold is provided on the front and back surfaces of the second vibrating body 23, a GND electrode 27 made of gold is provided on the inner side surface of the second vibrating body 23, and an outer side is provided. A pair of detection electrodes 28 made of gold are provided on the side surfaces. A metal support 29 having a rectangular parallelepiped shape supports the base of the connection portion 24 in the tuning fork 21. Reference numeral 30 denotes a metal base that fixes the lower portion of the support base 29 and has six terminal insertion holes 31, and an insulator 32 made of glass is provided on the inner surface of the terminal insertion hole 31. . The first vibrating body 22 and the second vibrating body 23 in the tuning fork 21 are configured to be substantially parallel to the base 30. In addition, six terminals 33 are inserted into the terminal insertion holes 31 of the first base 30 via insulators 32. Further, the terminals 33 on the first base 30 are electrically connected to the drive electrode 25, the detection electrode 28, the GND electrode 27, and the monitor electrode 26 by lead wires (not shown). A metal cover 34 is provided so as to cover the upper surface of the first base 30, and the first vibrating body 22 and the second vibrating body 23 are formed by the cover 34 and the first base 30. The tuning fork 21 including the connecting portion 24 is housed inside. And the adhering part of the cover 34 and the 1st base 30 is stuck so that the inside of the 1st base 30 and the cover 34 may be in a vacuum state.
[0015]
Next, an assembly method for the angular velocity sensor according to the embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to the drawings.
[0016]
First, a quartz tuning fork 21 in which the first vibrating body 22, the second vibrating body 23, and the connecting portion 24 are integrally formed is prepared.
[0017]
Next, the drive electrode 25 is provided on the four side surfaces of the first vibrating body 22, the monitor electrode 26 is provided on the front and back surfaces of the second vibrating body 23, and the GND electrode 27 is provided on the inner side surface of the second vibrating body 23. The pair of detection electrodes 28 are formed on the outer surface of the second vibrating body 23 by depositing gold.
[0018]
Next, the support base 29 is formed on the base 30 by deep drawing.
[0019]
Next, as shown in FIG. 3A, the base 30 is placed in the center of a jig 36 provided with a plurality of grooves 35 in advance.
[0020]
Next, as shown in FIG. 3B, a holding member 37 made of solder having a melting point that is thicker than the height of the support base 29 and that can be plastically processed is about 190 ° C. is placed on the upper surfaces of the jig 36 and the base 30. 3C, the first punch 38 is lowered from above, and the holding member 37 is deformed by the force of about 40 kgf by the first punch 38, as shown in FIG. A holding member 37 is fixed to the tool 36.
[0021]
At this time, since the holding member 37 is made of solder, the solder can be easily plastically deformed. As a result, the holding member 37 can be easily fixed to the jig 36.
[0022]
Since the base 30 and the holding member 37 are supported by the jig 36, the base 30 and the holding member 37 are supported by the same single jig 36. As a result, the base 30 and the holding member 37 are supported. Therefore, the tuning fork 21 can be held at an accurate position with respect to the base 30.
[0023]
Next, after raising the first punch 38, as shown in FIG. 4 (a) again, the second punch 39 is lowered with a force of about 20 kgf using the support base 29 as a stopper to hold the holding member 37. A receiving surface 40 that holds the tip portion including the first vibrating body 22 and the second vibrating body 23 of the tuning fork 21 is formed in the central portion of the tuning fork 21.
[0024]
Here, considering the case where the height of the support base 29 on which the base 30 is formed by deep drawing varies, in the manufacturing method of the angular velocity sensor according to the embodiment of the present invention, the holding member 37 is attached to the support base 29. Since the support base 29 is pressed by using the second punch 39 as a stopper after the plastic workable material is loaded on the base 30, the height of the support base 29 is increased. And the height of the receiving surface 40 of the holding member 37 pressed by the second punch 39 is the same, and as a result, the base 30 and the tuning fork 21 can be easily supported in parallel. .
[0025]
Then, the holding member 37 is supported by the jig 36 by deforming the holding member 37 by the first punch 38 and fixing the holding member 37 to the jig 36, and then again by the second punch 39. 37, the receiving member 40 for holding the tip of the tuning fork 21 is provided on the holding member 37, so that the external force generated by the second punch 39 is the first vibrator 22 and the second vibration that are the tip of the tuning fork 21. When used to form the receiving surface 40 for holding the body 23, the force of the second punch 39 is not used to fix the holding member 37 to the jig 36. The surface 40 can be formed with a stable force of the second punch 39, and as a result, the height of the receiving surface 40 in the holding member 37 can be provided with high accuracy. It is.
[0026]
Then, after applying the adhesive to the convex supporting stand 29 provided on the base 30, as shown in FIG. 4 (b), the connecting portion 24, further holding member 37 on the support base 29 in the tuning fork 21 The front end portion of the tuning fork 21 including the first vibrating body 22 and the second vibrating body 23 is stacked on the receiving surface 40.
[0027]
Next, the jig 36 on which the base 30 and the tuning fork 21 are mounted is heated on a hot plate (not shown) to about 153 ° C., which is lower than the melting point of the solder holding member 37 of about 190 ° C. Thus, the adhesive (not shown) is cured to bond the tuning fork 21 to the support base 29 of the base 30.
[0028]
At this time, since the melting point of the holding member 37 made of solder is set higher than the temperature at which the adhesive (not shown) is cured, the ambient temperature around the angular velocity sensor is used to bond the tuning fork 21 to the support base 29 in the base 30. Even if the holding member 37 is raised, the holding member 37 will not melt and the height of the holding member 37 will not fluctuate. As a result, the tuning fork 21 can be reliably supported on the base 30. It is what has.
[0029]
Next, as shown in FIG. 4C, the holding member 37 is moved and removed in the longitudinal direction of the tuning fork 21 on the first vibrating body 22 and the second vibrating body 23 side.
[0030]
At this time, since the connecting portion 24 of the tuning fork 21 was loaded on the support base 29 and the tip of the tuning fork 21 was loaded on the holding member 37 , the holding member 37 was removed after the adhesive (not shown) was cured. The tuning fork 21 is not tilted by the weight of the tuning fork 21 when the is mounted on the base 30, and as a result, the tuning fork 21 can be easily supported substantially parallel to the base 30. It is.
[0031]
Next, after inserting the terminal 33 into the terminal insertion hole 31 of the first base 30 provided with the insulator 32 made of glass on the inner surface in advance, the terminal 33, the drive electrode 25, the detection electrode 28, and the GND electrode 27 are inserted. The monitor electrodes 26 are electrically connected to each other by soldering via lead wires (not shown).
[0032]
Next, the outer periphery of the first base 30 is fixed by a cover 34 in a vacuum atmosphere so that the inside is evacuated.
[0033]
Next, the operation of the angular velocity sensor according to one embodiment of the present invention configured as described above will be described.
[0034]
By applying an AC voltage to the drive electrode 25 of the first vibrating body 22 in the tuning fork 21, the first vibrating body 22 bends and vibrates at a speed V in the driving direction at a natural frequency in the driving direction. This bending vibration is also transmitted to the opposing second vibrating body 23 via the connecting portion 24, and this second vibrating body 23 also bends and vibrates at a speed V in the driving direction at a natural frequency in the driving direction. When the tuning fork 21 rotates at an angular velocity ω around the longitudinal central axis of the tuning fork 21 in a state in which the second vibrating body 23 and the first vibrating body 22 are flexibly vibrating, the second vibrating body 23 A Coriolis force of F = 2 mv · ω is generated. By this Coriolis force, an output signal composed of electric charges generated at the detection electrode 28 of the second vibrating body 23 is input to a counterpart computer (not shown) via a lead wire (not shown) and a terminal 33. Thus, the angular velocity is detected.
[0035]
【The invention's effect】
As described above, the manufacturing method of the angular velocity sensor according to the present invention is a method in which a material that is thicker than the height of the support base and is made of columnar solder is loaded on the base, and then pressed by the punch with the support base as a stopper. Forming on the base a holding member provided with a receiving surface for holding the tip of the tuning fork on the base, and applying an adhesive to the connecting portion of the convex support base or tuning fork provided on the base And a step of stacking a tuning fork connecting portion on the support base and a tip of the tuning fork on the holding member, and a step of removing the holding member after the adhesive is cured. After mounting the tuning fork tip on the holding member, the holding member was removed after the adhesive was cured, so the tuning fork would not tilt due to the weight of the tuning fork when the tuning fork was assembled to the base. Sound against the base The it is possible to easily substantially parallel to the support, even when variation occurs in the thickness of the holding member, the height of the pressed holding member is equal in height and punch support base, as a result, easily This has the effect that the base and the tuning fork can be supported in parallel .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view of an angular velocity sensor according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of a tuning fork that is the main part. FIG. 3 (a), (b), (c) [Fig. 4] (a), (b), (c) Assembly process diagram [Fig. 5] Perspective view of conventional angular velocity sensor [Explanation of symbols]
21 tuning fork 24 connecting portion 29 support base 30 base 36 jig 37 holding member 38, 39 punch 40 receiving surface

Claims

支持台の高さより厚いとともに円柱形状のはんだからなる材料を基台上に積載した後に、ポンチで支持台をストッパーにして押圧することにより中央部に音叉の先端部を保持する受け面を設けた保持部材を基台上に形成する工程と、基台上に設けられた凸状の支持台または音叉の接続部に接着剤を塗布する工程と、支持台に音叉の接続部を保持部材に音叉の先端部を積載する工程と、前記接着剤が硬化した後に保持部材を取り外す工程とからなる角速度センサの製造方法。 After loading a material made of columnar solder that is thicker than the height of the support base onto the base, a receiving surface that holds the tip of the tuning fork at the center is provided by pressing the support base with a punch as a stopper A step of forming the holding member on the base, a step of applying an adhesive to the convex support base or tuning fork connecting portion provided on the base, and a tuning fork connecting portion of the tuning fork on the support base. The manufacturing method of the angular velocity sensor which consists of the process of loading the front-end | tip part, and the process of removing a holding member after the said adhesive agent hardens | cures.