JP4597207B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
2 第一電極
3 電子線
4 第二電極
5 第一集束レンズ
6 対物レンズ絞り
7 第二集束レンズ
8 上段偏向コイル
9 下段偏向コイル
10 対物レンズ
11 反射電子検出器
12 二次電子検出器
13 直交電磁界装置
14 微動装置
15 試料
16,17 増幅器
18 反射電子
19 透過電子検出器
20 高電圧制御回路
21 アライナー制御回路
22 第一集束レンズ制御回路
23 第二集束レンズ制御回路
24 偏向制御回路
25 対物レンズ制御回路
26 信号制御回路
27 試料微動制御回路
28 電子線中心軸調整用アライナー
29 コンピュータ
30 表示装置
31 画像取得手段
32 画像処理手段
33 計算手段
34 メモリ
35 入力手段
36 CCDコントローラ
37 増幅器
38 透過電子
39 反射電子パターン像
40 透過電子パターン像
41 移動手段
42 透過電子検出器移動手段
43 電子線通過孔
44 シンチレータ
45 バッファ層
46 CCD素子
47 二次電子
Claims (5)
- 荷電粒子線源と、当該荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を試料上に走査する偏向器と、前記一次荷電粒子線を集束する対物レンズと、前記一次荷電粒子線の照射により得られる前記試料からの反射電子を検出する検出器とを有し、当該検出器から得られる信号を用いて画像を構成する荷電粒子線装置において、
前記検出器は、検出素子が平面状に配列しており、
前記荷電粒子線装置は更に、
前記検出器からの検出信号を、前記一次荷電粒子線の照射位置と当該照射位置から反射される反射電子の分布情報とを対応させて記憶するメモリと、
前記記憶された各照射位置ごとの反射電子の分布情報のうち所望領域の分布情報を用いて前記画像を構成する画素1画素分の画素を算出する制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記各照射位置ごとの反射電子の分布情報を比較し、
各照射位置ごとの反射電子の分布情報に共通する信号を除算し、前記除算された各照射位置ごとの分布情報に基づいて前記画素を算出することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記検出器の検出素子は、二次元格子状に配列していることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2の荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、各照射位置ごとの反射電子の分布情報において、所定の面積以上又は以下の検出領域を有する信号を選択的に取得し、当該選択された信号に基づいて、前記各照射位置ごとの画素を算出することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記検出器の検出素子は、二次元格子状に配列していることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記検出素子は、少なくとも10ビット以上の容量を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
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