JP4596433B2 - 汚染粒子処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、汚染粒子処理装置100の構成を示す断面図である。汚染粒子処理装置100は、チェンバー101、プラズマ生成用気体導入路110、気体流通路111、汚染気体導入路118およびポンプ128を備えている。なお、チェンバー101の外部の気体の流通路は、図中では簡略化し線で表している。また、図1は汚染粒子処理装置100の構成を模式的に示す図であり、必ずしも間隔や大きさを正確に示すものではない。プラズマ生成用気体導入路110は、空気、アルゴン、ヘリウム等のプラズマ生成用気体を導入する気体の流通管であり、空気の吸入口またはアルゴンガス等のガス供給源に接続されている。プラズマ生成用気体導入路110は、気体の導入を制御するためのバルブV1を備えている。
上記の実施形態では、プラズマ発生領域の上流のチェンバー外導入路113に汚染気体を導入するが、反応部117のプラズマ発生領域またはその下流に汚染気体を導入してもよい。図4は、プラズマ発生領域またはその下流に汚染気体を導入する汚染粒子処理装置300の構成を示す断面図である。汚染粒子処理装置300は、汚染気体導入路118に接続される汚染気体導入部310を有している。汚染気体導入部310は、汚染気体導入コネクタ316、汚染気体導入管313および汚染気体導入ノズル314を有している。
また、上記の実施形態では、反応部117を形成する管の内部は中空であるが、反応部117内部のプラズマ発生領域の下流に耐熱吸着フィルタを設けても良い。図5は、耐熱吸着フィルタ401を設けた汚染粒子処理装置400の構成を示す断面図である。
また、上記の実施形態では、高周波印加部130に平行平板の電極131、132を用いているが、平行平板の電極に代えて、反応部117の周りに誘導結合型コイルを設置してもよい。図6は、反応部117の周りに誘導結合型コイル510を巻いた汚染粒子処理装置500の断面を示す斜視図である。図5に示すように、汚染粒子処理装置500では、高周波印加部505が誘導結合型コイル510を有している。誘導結合型コイル510は反応部117の内部に高周波を印加し、プラズマを発生させる。これにより、汚染粒子は発生したプラズマにより分解される。
101 チェンバー
110 プラズマ生成用気体導入路
111 気体流通路
113 チェンバー外導入路
114 内外コネクタ
115 チェンバー内導入路
116 コネクタ
117 反応部
118 汚染気体導入路
120 点火部
121 点火線シール部
122 点火線
123 高電圧電源
128 ポンプ
130 高周波印加部
131、132 電極
135 スペーサー
140 マッチングボックス
145 高周波電源
200 汚染粒子処理システム
210 アルゴンガス供給源
220 ガスフロー調整器
230 炭素系ナノ粒子発生装置
250 粒径分布測定装置
310 汚染気体導入部
316 汚染気体導入コネクタ
313 汚染気体導入管
314 汚染気体導入ノズル
401 耐熱吸着フィルタ
505 高周波印加部
510 誘導結合型コイル
V1、V2、V3 バルブ
Claims (7)
- 外部の気体を遮断し、内部に気体を流通させる気体流通路と、
前記気体流通路の外部に配置され、導電性を有し、主面が前記気体流通路の気体流通方向に垂直である一対の平行平板を有し、前記平行平板の間に高周波を印加し、前記気体流通路内にプラズマを発生させる高周波印加部と、
汚染粒子を含む汚染気体を前記気体流通路に導入する汚染気体導入路と、を備え、
前記発生したプラズマにより汚染粒子を分解して処理することを特徴とする汚染粒子処理装置。 - 前記高周波印加部の平行平板は、0.1mm以上20mm以下の間隔を空けて設けられていることを特徴とする請求項2記載の汚染粒子処理装置。
- 外部の気体を遮断し、内部に気体を流通させる気体流通路と、
前記気体流通路の外部に配置され、前記気体流通路内に高周波を印加してプラズマを発生させる高周波印加部と、
前記気体流通路内のプラズマを発生させる領域またはその下流に前記気体流通路内へ突出する導入口に接続されるように設けられ、汚染粒子を含む汚染気体を前記気体流通路に導入する汚染気体導入路と、を備え、
前記発生したプラズマにより汚染粒子を分解して処理することを特徴とする汚染粒子処理装置。 - 前記気体流通路の気体の流れに垂直な断面の面積が、0.1mm 2 以上100mm 2 以下であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の汚染粒子処理装置。
- 前記気体流通路内のプラズマを発生させる領域より上流に設けられ、高電圧によりプラズマの点火を行う点火部を更に備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の汚染粒子処理装置。
- 前記気体流通路内のプラズマを発生させる領域より下流に設けられた耐熱吸着フィルタを更に備えることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の汚染粒子処理装置。
- 前記気体流通路のプラズマを発生させる領域より上流の部分を加熱する熱源を更に備えることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の汚染粒子処理装置。
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