JP4593536B2 - 姿勢変換装置および基板搬送装置 - Google Patents
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Description
2 インデクサ部
4 洗浄部
4a 洗浄室
4b 乾燥室
4c 姿勢変換室
6 レジスト塗布部
8 露光部
10 現像部
12 ベーク部
30 姿勢変換装置
40 基板収容ユニット
40a 第1収容部
40b 第2収容部
C カセット
R1〜R4 ロボット
S 基板
Claims (4)
- 上流側搬送手段と下流側搬送手段との間に介装され、上流側搬送手段により搬送されてくる基板の姿勢を当該姿勢とは異なる搬送姿勢であって下流側搬送手段により搬送するための姿勢に変換する装置であって、
基板の搬送方向に対して並列に並ぶ第1,第2収容部を備えた基板収容手段と、
前記第1、第2収容部の姿勢を、それぞれ上流側搬送手段により搬送されてくる基板の受入れが可能となる第1姿勢と下流側搬送手段に対して基板の搬出が可能となる第2姿勢とに切換える姿勢変換手段と、
前記第1収容部が上流側搬送手段との基板受渡し位置に対応し、かつ第2収容部が下流側搬送手段との基板受渡し位置に対応する第1ポジションとこれらとは逆の位置に各収容部が配置される第2ポジションとに亘って前記基板収容手段を変位させる変位手段と、を備え、
前記姿勢変換手段は、前記基板収容手段が前記第1ポジションにあるときに第1収容部が第1姿勢に、第2収容部が第2姿勢にあるように切換える一方、前記基板収容手段が第2ポジションにあるときに第1収容部が第2姿勢に、第2収容部が第1姿勢にあるように切換えるとともに、この姿勢切換動作を、前記基板収容手段の変位動作中に行う
ことを特徴とする姿勢変換装置。 - 請求項1に記載の姿勢変換装置において、
前記基板収容手段は、前記第1、第2収容部を上下方向に並列に備え、
前記変位手段は、前記基板収容手段を昇降変位させる
ことを特徴とする姿勢変換装置。 - 請求項1又は2に記載の姿勢変換装置において、
前記第1姿勢および第2姿勢は、一方の姿勢が基板を水平に保つ姿勢であり、他方の姿勢が基板を傾斜させる姿勢であって、
前記姿勢変換手段は、基板搬送方向と直交する方向において前記収容部に収容される基板の中央部分に配置され、かつ基板搬送方向と平行に延びる枢軸回りに前記収容部を揺動させることにより前記収容部を前記第1姿勢と第2姿勢とに切換える
ことを特徴とする姿勢変換装置。 - 基板を搬送する上流側搬送手段と、この上流側搬送手段により搬送される基板の姿勢とは異なる姿勢で基板を搬送する下流側搬送手段と、これら両搬送手段の間に介装されて上流側搬送手段により搬送されてくる基板の姿勢を下流側搬送手段により搬送するための姿勢に変換する姿勢変換装置と、を備えた基板搬送装置において、
前記姿勢変換装置として、請求項1乃至3の何れかに記載の姿勢変換装置を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
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