JP4589942B2 - 気体処理ユニット - Google Patents

Description

本発明は、被熱処理物を熱処理する熱処理ユニットに対して付設される気体処理ユニットに関するものである。

上述した熱処理を実行する装置としては、熱処理部の熱処理室に被熱処理物が収容された状態で、前記熱処理室内の空気を循環させながら加熱することにより前記被熱処理物を熱処理するものが知られている。

このような熱処理を実行する装置は、例えばＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）の製造工程におけるフォトレジストや有機物薄膜のプリベーク、ポストベーク工程に用いられることがある。これらの工程では、ガラス基板等からなる被熱処理物が熱処理される際に、フォトレジスト等に含まれる揮発性成分が気化して多量の昇華物が発生し、この昇華物が再結晶化して熱処理装置周辺に飛散したり周辺に付着したりする等の問題があった。

この問題の対策として、例えば特許文献１には、外気を加熱して前記熱処理室内に送り込みつつ前記熱処理室内の空気を導出ダクト内に流出させることにより前記熱処理室内を換気することが記載されている。このように換気することにより、昇華物の再結晶化および周辺への付着を抑制することができる。
特開平１０−１４１８６８号公報

しかしながら、上記特許文献１の熱処理を実行する装置においては、熱処理室の内外へ空気を循環させるための送風機や加熱器を有する気体処理部が、熱処理部の外壁と熱処理室との間の内部であって熱処理部に一体的に設けられているため、前記気体処理部の送風機や加熱器などの電気機器が故障した場合には、その修理が完了するまで熱処理作業を行うことができなくなるという難点があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、熱処理部と気体処理部とを別ユニットとして、送風機や加熱器などの電気機器を有する気体処理ユニットが、熱処理室を有する熱処理ユニットに対して付設されるように構成し、送風機や加熱器などの電気機器が故障しても迅速に対処することができる気体処理ユニットを提供することを目的とする。

請求項１に係る発明は、熱処理室に被熱処理物が出し入れ可能に収容され、かつ熱処理室に共に連通する気体導入部および気体導出部を有する熱処理ユニットに対して付設される気体処理ユニットであって、前記気体導入部に第１接続部を介して着脱可能に連結される導入ダクト、前記気体導出部に第２接続部を介して着脱可能に連結される導出ダクトおよび前記導出ダクトにおける前記第２接続部とは反対側に連結された気体処理ダクトを有し、前記気体導入部へ熱処理用気体を導入しかつ前記気体導出部から熱処理済みの気体を導出するための気体通路を備え、前記気体処理ダクトに、前記熱処理済みの気体に含まれる、前記被熱処理物から発生した昇華物を分解するための触媒と、少なくとも該触媒を加熱する加熱器とが設けられ、前記気体通路に、前記熱処理用気体および前記熱処理済みの気体を所定方向に導く１または２以上の送風機が設けられていることを特徴とする。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の気体処理ユニットにおいて、前記気体処理ダクトは前記導入ダクトの前記第１接続部とは反対側の入側端と前記導出ダクトの前記第２接続部とは反対側の出側端とを連結していることを特徴とする。

請求項３に係る発明は、請求項１に記載の気体処理ユニットにおいて、前記導入ダクトの前記第１接続部とは反対側の入側端が開放され、かつ前記気体処理ダクトが前記導出ダクトの前記第２接続部とは反対側の出側端に連結されていて、前記導入ダクトに気体加熱用加熱器が設けられており、前記導出ダクト、前記気体処理ダクトおよび前記導入ダクトのうちの少なくとも一つに前記送風機が設けられていることを特徴とする。

請求項４に係る発明は、請求項１に記載の気体処理ユニットにおいて、前記導入ダクトの前記第１接続部とは反対側の入側端が開放され、かつ前記気体処理ダクトが前記導出ダクトの前記第２接続部とは反対側の出側端に連結されるとともに、前記気体処理ダクトの前記触媒と前記加熱器とが設けられた箇所よりも下流位置と前記導入ダクトの途中が連結ダクトを介して連通連結されていて、導入ダクトの連結ダクトとの合流点よりも下流側に気体加熱用加熱器と前記送風機とが設けられていることを特徴とする。

請求項５に係る発明は、請求項４に記載の気体処理ユニットにおいて、前記導入ダクトの連結ダクトとの合流点よりも下流側であって前記気体加熱用加熱器および前記送風機よりも上流側の位置と、前記導出ダクトの途中とが第２連結ダクトを介して連通連結されていることを特徴とする。

請求項１に係る発明によれば、熱処理室を有する熱処理ユニットに対し、加熱器および送風機を有する気体処理ユニットが付設される構成であるので、加熱器および送風機が故障しても、気体処理ユニットを取り外して、予め用意している別の気体処理ユニットに交換することで、直ちに熱処理作業を行うことが可能となり迅速に対処することができる。また、単一構成の複数の気体処理ユニットを１つの熱処理ユニットに取付けることで、熱処理能力が大きい熱処理ユニットに対応することができる。換言すると、熱処理ユニットの熱処理能力に対応して単一構成の気体処理ユニットの取付け数を調整すればよい。よって、熱処理ユニットの熱処理能力に対応した気体処理能力を有する気体処理ユニットを、熱処理ユニットの熱処理能力毎に作製する必要がなく、気体処理ユニットの種類を少なくすることが可能になる。但し、熱処理ユニットに連結する複数の気体処理ユニットのうちの一部が異なる気体処理能力のものを含んでいてもよい。

請求項２に係る発明によれば、気体処理ユニットを熱処理ユニットに連結すると、熱処理ユニットから導出された気体が、導出ダクト、気体処理ダクトおよび導入ダクトをこの順に経て再び熱処理室に戻る循環経路が構成され、１つの送風機で気体を循環させることができるとともに、加熱器により触媒と気体との両方を加熱することができる。

請求項３に係る発明によれば、導入ダクトの開放された入側端から吸入された気体が気体加熱用加熱器にて加熱されて熱処理室に導入され、導出ダクトおよび気体処理ダクトを経て導出されるように構成されているので、導入ダクトの入側端から吸気される気体が昇華物の無いものとなる。このため、熱処理室には常時フレッシュな気体が導入されるので、触媒による昇華物の酸化分解反応を低下させ難くすることが可能になる。また、この発明では、導入ダクト、導出ダクトおよび気体処理ダクトのうちの少なくとも一つに送風機を設けることで、熱処理室への気体導入と熱処理室からの気体導出とが可能である。

請求項４に係る発明によれば、導入ダクトの入側端が開放されているので、フレッシュな気体の導入が可能になる。また、熱処理室から導出された気体が、触媒により浄化され、かつ加熱器により加熱されたものとなって連結ダクトを介して導入ダクトに入り、導入ダクトの開放入側端から吸入された気体と混合されて熱処理室に導入されるので、熱損失を少なくすることができる。また、熱処理室に導入される気体が、導入ダクトに設けた気体加熱用加熱器により加熱されるので、その気体加熱用加熱器は熱処理室の温度管理に、気体処理ダクトに設けた加熱器は触媒の温度管理にそれぞれ専有的に用いることが可能になる。したがって、被熱処理物の加熱温度に左右されずに、触媒を最適な活性温度に設定することができる。

請求項５に係る発明によれば、導入ダクトの入側端が開放され、かつ連結ダクトを介して気体が循環する構成となっているので、請求項４と同様な効果が得られることは勿論のこと、連結ダクトによる循環経路よりも熱処理室により近い循環経路が第２連結ダクトにより形成され、かつ循環経路に設けられた気体加熱用加熱器により加熱する構成となっているので、温度低下が少ない気体を再利用することが可能になる。

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る気体処理ユニットを、熱処理ユニットに連結してなる熱処理装置を示す概略構成図である。この熱処理装置１Ａは、例えばＦＰＤの製造工程に用いられるものであり、クリーンルーム内に設置されるいわゆるクリーンオーブンと呼ばれるものである。

熱処理装置１Ａは、被熱処理物（ワークとも言う）Ｗが出し入れ可能に収容される熱処理室１１を有する熱処理ユニット１０に対し、熱処理ユニット１０の熱処理室１１へ熱処理用気体、例えば加熱エアを導入するとともに熱処理室１１から熱処理済みの気体、例えば熱処理済みエアを導出する気体通路２１Ａを有する気体処理ユニット２０Ａが付設されて構成されている。

熱処理ユニット１０は、気体処理ユニット２０Ａからの熱処理用気体が導入される気体導入部１２と、熱処理室１１から熱処理済みエアを導出する気体導出部１３とを有し、熱処理室１１の外側が断熱壁１１ａで囲繞されている。

熱処理室１１の内側には、例えば１または２以上の被熱処理物Ｗを所定状態で保持できる保持部材（図示せず）が二点鎖線で示す箇所に設けられている。上記気体導入部１２は、熱処理室１１と連通する管状のものでその入側端に連結用フランジ１４を備える。また、上記気体導出部１３も熱処理室１１と連通する管状のものでその出側端に連結用フランジ１５を備える。

一方、気体処理ユニット２０Ａにおける気体通路２１Ａは、気体導入部１２に連結される導入ダクト２２と、気体導出部１３に連結される導出ダクト２３と、導入ダクト２２と導出ダクト２３の間に設けられた気体処理ダクト２４とを有する。導入ダクト２２の出側端には、気体導入部１２の連結用フランジ１４に連結される連結用フランジ２５が設けられ、これらフランジ１４、２５は第１接続部を構成する。一方、導出ダクト２３の入側端には、気体導出部１３の連結用フランジ１５に連結される連結用フランジ２６が設けられ、これらフランジ１５、２６は第２接続部を構成する。そして、第１接続部を構成するフランジ２５、１４を締結手段、例えばボルトおよびナットにより連結し、加えて、第２接続部を構成するフランジ２６、１５を締結手段、例えばボルトおよびナットにより連結すると、熱処理ユニット１０の熱処理室１１と気体処理ユニット２０Ａの気体通路２１Ａとが連通連結されて循環通路が形成される。なお、気体通路２１Ａには、適所に風量調整用のダンパー（図示せず）が設けられる。

また、上記気体処理ダクト２４には、触媒３０と加熱器３１と送風機３２と前処理剤３３とが設けられている。送風機３２は、上記循環通路をエアが循環して流れるようにするためのものであり、加熱器３１は触媒３０およびエアを加熱するものである。この加熱器３１により加熱されたエアは、導入ダクト２２を経て熱処理室１１に入り、ここで被熱処理物Ｗを加熱して熱処理を行う。この熱処理に際し、被熱処理物Ｗから昇華物が発生する。熱処理済みエアは、上記昇華物を含んだものであって、上記気体導出部１３および上記導出ダクト２３を経て触媒３０へ与えられる。

触媒３０は、熱処理済みエアに含まれる昇華物の酸化分解反応を促進するためのものであり、例えば白金（Ｐｔ）やパラジウム（Ｐｄ）等の貴金属や、これらの貴金属の合金などの活性金属が採用される。このような触媒３０は、約１５０〜３５０℃程度の温度雰囲気下において触媒活性を示す。よって、本実施形態においては、触媒３０の前側（循環通路をエアが流れる方向の触媒３０よりも上流側）に加熱器３１を配置している。また、昇華物に、触媒毒といわれる物質、例えばＳｉ、Ｐ、Ｓ等を含む有機化合物が入っていて、触媒３０が被毒することがある場合には、その防止のために前処理剤３３を触媒３０の前側に配設させることが好ましい。

したがって、このように構成された第１実施形態に係る気体処理ユニット２０Ａによる場合には、熱処理室１１を有する熱処理ユニット１０に対し、送風機３２および加熱器３１を有する気体処理ユニット２０Ａが着脱可能に付設される構成であるので、送風機３２および加熱器３１のうちの１つが故障しても、第１接続部を構成するフランジ１４、２５から連結手段（例えばボルト・ナット）を外し、かつ第２接続部を構成するフランジ１５、２６から連結手段（例えばボルト・ナット）を外して気体処理ユニット２０Ａを熱処理ユニット１０から取外し、予め用意している別の気体処理ユニット２０Ａに交換して熱処理ユニット１０に同様に取付けることで、直ちに熱処理作業を行うことが可能となり、迅速に対処することができる。

また、図２に示すように、単一構成［同じ気体処理能力（後述する）］の２つの気体処理ユニット２０Ａを１つの熱処理ユニット１０に取付けることで、熱処理能力（例えば熱量或いは熱処理室１１の容積など）が大きい熱処理ユニット１０に対応することができる。換言すると、熱処理ユニット１０の熱処理能力に対応して単一構成の気体処理ユニット２０Ａの取付け数を調整している。よって、熱処理ユニット１０の熱処理能力に対応した気体処理能力（触媒３０による昇華物の酸化分解能力）を有する気体処理ユニット２０Ａを、熱処理ユニット１０の熱処理能力毎に作製する必要がなく、気体処理ユニット２０Ａの種類を少なくすることが可能になる。なお、２つの気体処理ユニット２０Ａを取付けるべく、熱処理ユニット１０には２組の気体導入部１２、１２ａおよび気体導出部１３、１３ａが設けられる。また、図２中の１４ａは気体導入部１２ａに設けた連結用フランジで、同１５ａは気体導出部１３ａに設けた連結用フランジである。また、このような構成において、１組の気体導入部１２および気体導出部１３しか用いないときは、図３に示すように、他の１組の気体導入部１２ａおよび気体導出部１３ａに、蓋１８を取付けて塞いでおけばよい。但し、１つの熱処理ユニット１０に対して、気体処理ユニット２０Ａを３つ以上取付けるようにしてもよく、また複数の気体処理ユニット２０Ａのうちの一部が異なる気体処理能力のものを含んでいてもよい。

更に、第１実施形態においては、熱処理室１１から導出された気体が、導出ダクト２３、気体処理ダクト２４および導入ダクト２２をこの順に経て再び熱処理室１１に戻る循環経路が構成されているので、１つの送風機３２で気体を循環させることができるとともに、加熱器３１により触媒３０と気体との両方を加熱することができる。

（第２実施形態）
図４は、本発明の第２実施形態に係る気体処理ユニットを、熱処理ユニットに連結して構成された熱処理装置の概略構成図である。なお、図１と同一部分には、同一符号を付している。

この熱処理装置１Ｄは、熱処理ユニット１０に対し、第２実施形態の気体処理ユニット２０Ｄが付設されたもので、この第２実施形態の気体処理ユニット２０Ｄは第１実施形態の気体処理ユニット２０Ａとは異なる構成となっている。即ち、導入ダクト２２の入側に開放端２２ａが、気体処理ダクト２４の出側に開放端２４ａが設けられた気体通路２１Ｄを有し、気体処理ユニット２０Ｄは気体処理ダクト２４に触媒３０と加熱器３１とが設けられ、導入ダクト２２に送風機３４と加熱器３５とが設けられている。また、導入ダクト２２と、導出ダクト２３および気体処理ダクト２４とは、共通の支持部材２９により支持されていて、フランジ２５、２６の位置関係が一定に保持されるようになっている。なお、図４では前処理剤を省略しているが、設けるようにしてもよい。

このように構成された熱処理装置１Ｄのエア流れは以下のようになっている。即ち、開放端２２ａから入ったエアは、加熱器３５により加熱されて導入ダクト２２を経て熱処理室１１に入り、ここで熱処理に寄与する。その熱処理済みエアは、昇華物を含むもので、導出ダクト２３に入った後、気体処理ダクト２４に導かれて触媒３０による昇華物の酸化分解反応を受けた後に、開放端２４ａから排出される。なお、図４中の１６は、エアが熱処理室１１の内部で還流することなく、気体導入部１２から気体導出部１３へ流れるようにするための邪魔板であり、熱処理室１１の気体導入部１２とは反対側に通路１６ａが形成されるように設けられる。

したがって、この気体処理ユニット２０Ｄにあっても、熱処理室１１を有する熱処理ユニット１０に対し、送風機３４および加熱器３１、３５を有する気体処理ユニット２０Ｄが着脱可能に付設される構成であるので、送風機３４および加熱器３１、３５のうちの１つが故障しても、前同様に、予め用意している別の気体処理ユニット２０Ｄに交換することで、迅速に対処することができる。また、前同様に、単一構成の２以上の気体処理ユニット２０Ｄ（一部の気体処理ユニット２０Ｄの気体処理能力が異なっていてもよい）を１つの熱処理ユニット１０に取付ける構成とすることで、気体処理ユニット２０Ｄの種類を少なくすることが可能になる。また、このような構成において、用いない気体導入部および気体導出部には、蓋（図示せず）を取付けて塞いでおけばよい。更に、熱処理室１１に導入されるエアが、導入ダクト２２に設けた気体加熱用加熱器３５により加熱されるので、その気体加熱用加熱器３５は熱処理室１１の温度管理に、気体処理ダクト２４に設けた加熱器３１は触媒３０の温度管理にそれぞれ専有的に用いることが可能になる。したがって、被熱処理物Ｗの加熱温度に左右されずに、触媒３０を最適な活性温度に設定することができる。

更に、第２実施形態においては、導入ダクト２２の入側開放端２２ａから吸入されたエアが加熱器３５にて加熱されて熱処理室１１に導入され、導出ダクト２３および気体処理ダクト２４を経て導出されるように構成されているので、導入ダクト２２の開放端２２ａから吸気されるエアが昇華物の無いものとなる。このため、熱処理室１１には常時フレッシュなエアが導入されるので、触媒３０による昇華物の酸化分解反応を低下させ難くすることが可能になる。また、この気体処理ユニット２０Ｄでは、導入ダクト２２に送風機３４を設けることで、熱処理室１１への気体導入と熱処理室１１からの気体導出とが可能である。

なお、この第２実施形態では、送風機３４を導入ダクト２２に設けているが、これに限らない。例えば、導出ダクト２３や気体処理ダクト２４に設けても、或いは導入ダクト２２、気体処理ダクト２４および導出ダクト２３のうちの少なくとも１つに送風機を設けてもよい。

（第３実施形態）
図５は、本発明の第３実施形態に係る気体処理ユニットを、熱処理ユニットに連結して構成された熱処理装置の概略構成図である。なお、図４と同一部分には、同一符号を付している。

この熱処理装置１Ｃは、図４と同一の熱処理ユニット１０に対し、第３実施形態の気体処理ユニット２０Ｃが付設されたもので、この第３実施形態の気体処理ユニット２０Ｃは第２実施形態の気体処理ユニット２０Ｄとは異なっている。即ち、気体処理ダクト２４の触媒３０、加熱器３１および送風機３２が設けられた箇所と出側の開放端２４ａとの間と、導入ダクト２２の途中とが、連結ダクト２８を介して連通連結された気体通路２１Ｃを有し、気体処理ユニット２０Ｃは、導入ダクト２２の連結ダクト２８の合流点よりも下流位置に加熱器３５と送風機３４が設けられた構成となっている。なお、図５では前処理剤を省略しているが、設けるようにしてもよい。また、上記送風機３２は省略することができる。

このように構成された熱処理装置１Ｃのエア流れは以下のようになっている。即ち、開放端２２ａから入ったエアは、加熱器３５により加熱されて導入ダクト２２を経て熱処理室１１に入り、ここで熱処理に寄与する。その熱処理済みエアは、昇華物を含むもので、導出ダクト２３に入った後、気体処理ダクト２４に導かれて触媒３０による昇華物の酸化分解反応を受けた後に、開放端２４ａから排出されるか、または連結ダクト２８および導入ダクト２２を介して熱処理室１１に戻される。なお、図５中の１６は、第２実施形態と同様の邪魔板である。

したがって、この第３実施形態に係る気体処理ユニット２０Ｃにあっても、熱処理室１１を有する熱処理ユニット１０に対し、送風機３２、３４および加熱器３１、３５を有する気体処理ユニット２０Ｃが着脱可能に付設される構成であるので、送風機３２、３４および加熱器３１、３５のうちの１つが故障しても、前同様に、予め用意している別の気体処理ユニット２０Ｃに交換することで、迅速に対処することができる。また、前同様に、単一構成の２以上の気体処理ユニット２０Ｃ（一部の気体処理ユニット２０Ｃの気体処理能力が異なっていてもよい）を１つの熱処理ユニット１０に取付ける構成とすることで、気体処理ユニット２０Ｃの種類を少なくすることが可能になる。また、このような構成において、用いない気体導入部および気体導出部には、蓋（図示せず）を取付けて塞いでおけばよい。更に、熱処理室１１に導入されるエアが、導入ダクト２２に設けた気体加熱用加熱器３５により加熱されるので、その気体加熱用加熱器３５は熱処理室１１の温度管理に、気体処理ダクト２４に設けた加熱器３１は触媒３０の温度管理にそれぞれ専有的に用いることが可能になる。したがって、被熱処理物Ｗの加熱温度に左右されずに、触媒３０を最適な活性温度に設定することができる。

更に、気体処理ユニット２０Ｃにおいては、導入ダクト２２の入側端２２ａが開放されているので、フレッシュなエアの導入が可能になる。また、熱処理室１１から導出されたエアが、触媒３０により浄化され、かつ加熱器３１により加熱されたものとなって連結ダクト２８を介して導入ダクト２２に入り、導入ダクト２２の開放入側端２２ａから吸入されたエアと混合されて熱処理室１１に導入されるので、熱損失を少なくすることができる。

（第４実施形態）
図６は、本発明の第４実施形態に係る気体処理ユニットを、熱処理ユニットに連結して構成された熱処理装置の概略構成図である。なお、図５と同一部分には、同一符号を付している。

この熱処理装置１Ｂは、図４と同一の熱処理ユニット１０に対し、第４実施形態の気体処理ユニット２０Ｂが付設されたものである。この第４実施形態の気体処理ユニット２０Ｂは、導入ダクト２２の連結ダクト２８との合流点よりも下流側であって気体加熱用加熱器３５と送風機３４とが設けられている位置よりも上流側の位置と、導出ダクト２３の途中とが、第２連結ダクト２７を介して連通連結された気体通路２１Ｂを有する。

この気体通路２１Ｂにおける気体処理ダクト２４には、触媒３０と加熱器３１と送風機３２とが設けられ、導入ダクト２２の途中であって第２連結ダクト２７の合流点よりも下流位置には、上述したように送風機３４と加熱器３５とが設けられている。加熱器３５は、熱処理室１１に導入されるエアを加熱する目的で設けられている。また、熱処理室１１の内部には、前記邪魔板１６が設けられている。なお、図６では前処理剤を省略しているが、設けるようにしてもよい。

このように構成された気体処理ユニット２０Ｂを有する熱処理装置１Ｂのエア流れは以下のようになっている。即ち、開放端２２ａから入ったエアは、加熱器３５により加熱されて導入ダクト２２を経て熱処理室１１に入り、ここで熱処理に寄与する。その熱処理済みエアは、昇華物を含むもので、導出ダクト２３に入った後、第２連結ダクト２７と気体処理ダクト２４とに向けて分岐し、第２連結ダクト２７に導かれたエアは再度加熱器３５により加熱されて導入ダクト２２を経て熱処理室１１に戻る。つまり、熱処理室１１と第２連結ダクト２７との間を循環する。一方、気体処理ダクト２４に向けて導かれた昇華物を含む熱処理済みエアは、触媒３０による昇華物の酸化分解反応を受けた後に、開放端２４ａから排出されるか、または連結ダクト２８および導入ダクト２２を介して熱処理室１１に戻される。

したがって、この第４実施形態の気体処理ユニット２０Ｂにあっても、熱処理室１１を有する熱処理ユニット１０に対し、送風機３２、３４および加熱器３１、３５を有する気体処理ユニット２０Ｂが着脱可能に付設される構成であるので、送風機３２、３４および加熱器３１、３５のうちの１つが故障しても、前同様に、予め用意している別の気体処理ユニット２０Ｂに交換することで、迅速に対処することができる。また、前同様に、単一構成の２以上の気体処理ユニット２０Ｂ（一部の気体処理ユニット２０Ｂの気体処理能力が異なっていてもよい）を１つの熱処理ユニット１０に取付ける構成とすることで、気体処理ユニット２０Ｂの種類を少なくすることが可能になる。また、このような構成において、用いない気体導入部および気体導出部には、蓋（図示せず）を取付けて塞いでおけばよい。更に、熱処理室１１に導入されるエアが、導入ダクト２２に設けた気体加熱用加熱器３５により加熱されるので、その気体加熱用加熱器３５は熱処理室１１の温度管理に、気体処理ダクト２４に設けた加熱器３１は触媒３０の温度管理にそれぞれ専有的に用いることが可能になる。したがって、被熱処理物Ｗの加熱温度に左右されずに、触媒３０を最適な活性温度に設定することができる。

更に、この気体処理ユニット２０Ｂにおいては、導入ダクト２２の入側端２２ａが開放され、かつ連結ダクト２８を介してエアが循環する構成となっているので、第３実施形態と同様な効果が得られることは勿論のこと、連結ダクト２８による循環経路よりも熱処理室１１により近い循環経路が第２連結ダクト２７により形成され、かつ第２連結ダクト２７を含む循環経路に設けられた気体加熱用加熱器３５により加熱する構成となっているので、温度低下が少ないエアを再利用することが可能になる。

なお、上述した第１〜第４実施形態では熱処理ユニット１０の気体導入部１２および気体導出部１３と、気体通路（２１Ａ〜２１Ｄ）とを連結する手段として、連結用フランジ１４、２５からなる第１接続部を締結手段（ボルト・ナット）で着脱可能に連結し、連結用フランジ１５、２６からなる第２接続部を締結手段（ボルト・ナット）で着脱可能に連結する構成としているが、本発明はこれに限らない。例えば、第１、第２接続部を、ねじや溶接等の他の手段により連結してもよく、また連結を解いてもよい。

本発明の第１実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の他の実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の更に他の実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の第２実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の第３実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。 本発明の第４実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。

符号の説明

１Ａ〜１Ｄ 熱処理装置
１０ 熱処理ユニット
１１ 熱処理室
１２、１２ａ 気体導入部
１３、１３ａ 気体導出部
１４、２５ 連結用フランジ（第１接続部）
１５、２６ 連結用フランジ（第２接続部）
２０Ａ〜２０Ｄ 気体処理ユニット
２１Ａ〜２１Ｄ 気体通路
２２ 導入ダクト
２３ 導出ダクト
２７ 第２連結ダクト
２８ 連結ダクト
３０ 触媒
３１、３５ 加熱器
３２、３４ 送風機

Claims (5)

1. 熱処理室に被熱処理物が出し入れ可能に収容され、かつ熱処理室に共に連通する気体導入部および気体導出部を有する熱処理ユニットに対して付設される気体処理ユニットであって、
   前記気体導入部に第１接続部を介して着脱可能に連結される導入ダクト、前記気体導出部に第２接続部を介して着脱可能に連結される導出ダクトおよび前記導出ダクトにおける前記第２接続部とは反対側に連結された気体処理ダクトを有し、前記気体導入部へ熱処理用気体を導入しかつ前記気体導出部から熱処理済みの気体を導出するための気体通路を備え、
   前記気体処理ダクトに、前記熱処理済みの気体に含まれる、前記被熱処理物から発生した昇華物を分解するための触媒と、少なくとも該触媒を加熱する加熱器とが設けられ、前記気体通路に、前記熱処理用気体および前記熱処理済みの気体を所定方向に導く１または２以上の送風機が設けられていることを特徴とする気体処理ユニット。
2. 請求項１に記載の気体処理ユニットにおいて、
   前記気体処理ダクトは前記導入ダクトの前記第１接続部とは反対側の入側端と前記導出ダクトの前記第２接続部とは反対側の出側端とを連結していることを特徴とする気体処理ユニット。
3. 請求項１に記載の気体処理ユニットにおいて、
   前記導入ダクトの前記第１接続部とは反対側の入側端が開放され、かつ前記気体処理ダクトが前記導出ダクトの前記第２接続部とは反対側の出側端に連結されていて、前記導入ダクトに気体加熱用加熱器が設けられており、前記導出ダクト、前記気体処理ダクトおよび前記導入ダクトのうちの少なくとも一つに前記送風機が設けられていることを特徴とする気体処理ユニット。
4. 請求項１に記載の気体処理ユニットにおいて、
   前記導入ダクトの前記第１接続部とは反対側の入側端が開放され、かつ前記気体処理ダクトが前記導出ダクトの前記第２接続部とは反対側の出側端に連結されるとともに、前記気体処理ダクトの前記触媒と前記加熱器とが設けられた箇所よりも下流位置と前記導入ダクトの途中が連結ダクトを介して連通連結されていて、導入ダクトの連結ダクトとの合流点よりも下流側に気体加熱用加熱器と前記送風機とが設けられていることを特徴とする気体処理ユニット。
5. 請求項４に記載の気体処理ユニットにおいて、
   前記導入ダクトの連結ダクトとの合流点よりも下流側であって前記気体加熱用加熱器および前記送風機よりも上流側の位置と、前記導出ダクトの途中とが第２連結ダクトを介して連通連結されていることを特徴とする気体処理ユニット。
   

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