JP4588525B2 - 画像プローブ - Google Patents
画像プローブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4588525B2 JP4588525B2 JP2005133940A JP2005133940A JP4588525B2 JP 4588525 B2 JP4588525 B2 JP 4588525B2 JP 2005133940 A JP2005133940 A JP 2005133940A JP 2005133940 A JP2005133940 A JP 2005133940A JP 4588525 B2 JP4588525 B2 JP 4588525B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination light
- light source
- epi
- optical system
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
マグネシウム合金 アルミニウム合金 亜鉛合金
比重 1.81 2.68 6.6
引張り強さ(Mpa) 240 331 283
熱伝導率(W/m*k) 51 96 113
(1)従来のタッチプローブと同様の操作性でオートプローブチェンジが可能な小型・軽量の画像プローブを実現することができ、三次元測定機等による接触・非接触測定が連続・自動で行えるようになる。
(2)従来のタッチプローブと同様の操作性でプローブヘッドへ取付可能となったので、画像プローブの任意回転角度・任意傾斜角度操作が可能になり、ワークの任意方向からの測定が可能になり、ワーク測定の柔軟性を飛躍的に向上させることができる。
(3)これらの効果に加え、落射照明光源とリング照明光源とを任意に切り換えられるので、良質の画像を撮像することができ、測定精度を向上させることができる。
(4)照明光源は、撮像時のみ点灯させれば良いので、発熱を抑制することができ、撮像系への熱による精度劣化を防ぐことができ、測定精度を向上させることができる。
(5)照明光源は、複数の半導体発光素子で構成されており、各半導体発光素子は、各々独立又はブロック毎に点灯/消灯・明るさ制御することができるため、任意方向からの照明が可能になり、良質の画像が撮像可能になる。
(6)照明光源を一体化(カートリッジ化)することができるので、保守・交換作業が容易になる。
(7)シャーシ及びカバーをマグネシウム合金で形成したので、重量が500グラム以下の交換式画像プローブを実現することができ、従来のタッチプローブと同様の操作性での測定が実現可能になる。
Claims (8)
- ワークを撮像してその画像データを出力する固体撮像素子と、
この固体撮像素子に前記ワークの画像を結像させる撮像光学系と、
前記ワークを落射照明するための照明光を発生させる半導体発光素子からなる落射照明光源と、
この落射照明光源からの照明光を前記撮像光学系に合流させて前記撮像光学系を介して前記ワークに導く照明光学系と、
これら固体撮像素子、撮像光学系、落射照明光源及び照明光学系を所定の位置関係を保ったまま支持すると共に、前記落射照明光源及び照明光学系と密着する、放熱効果がプラスチックよりも高いシャーシと、
これらを収容するカバーとを備え、
前記シャーシ及び/又は前記カバーは、マグネシウム合金で形成され、
全体の重量が500グラム以下であると共に、三次元測定機の三次元移動可能で任意回転角度操作・任意傾斜角度操作が可能なプローブヘッドの先端の回転ジョイントの先に測定プローブとしてマウント部を介して着脱自在に取付可能であり、
前記マウント部は、前記プローブヘッドへの着脱によって前記落射照明光源及び固体撮像素子への入出力信号及び電源が接続又は切り離しされるコネクタ機能を有する
ことを特徴とする画像プローブ。 - 前記撮像光学系は、前記ワークの近傍に配置される対物レンズと、前記固体撮像素子の近傍に配置される撮像レンズと、これら対物レンズと撮像レンズとの間に光軸に対して斜めに配置されたハーフミラーとを備え、
前記照明光学系は、前記落射照明光源からの照明光を前記撮像光学系のハーフミラーに導いて前記撮像光学系と合流させるものである
ことを特徴とする請求項1記載の画像プローブ。 - 前記撮像光学系を取り囲むように配置され、前記撮像光学系の周囲から前記ワークを照射する半導体発光素子からなるリング照明光源を備え、
前記落射照明光源と前記リング照明光源とを選択的に、又は同時に照明可能に構成してなることを特徴とする請求項1又は2記載の画像プローブ。 - 前記落射照明光源及び/又は前記リング照明光源は、前記固体撮像素子の撮像時にのみ点灯されるものであることを特徴とする請求項3記載の画像プローブ。
- 前記落射照明光源及び/又はリング照明光源からの照明光は、拡散板を介して前記ワークを照明するものである請求項1〜4のいずれか1項記載の画像プローブ。
- 前記落射照明光源及び/又はリング照明光源は、複数の半導体発光素子から構成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載の画像プローブ。
- 前記複数の半導体発光素子は、一括又はブロック毎若しくは各々独立に点灯/消灯又は明るさ制御されるものであることを特徴とする請求項6記載の画像プローブ。
- 前記落射照明光源及び/又は前記リング照明光源は、カートリッジ化されたものであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項記載の画像プローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005133940A JP4588525B2 (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 画像プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005133940A JP4588525B2 (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 画像プローブ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34033199A Division JP2001154098A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | 画像プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005242386A JP2005242386A (ja) | 2005-09-08 |
JP4588525B2 true JP4588525B2 (ja) | 2010-12-01 |
Family
ID=35024103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005133940A Expired - Fee Related JP4588525B2 (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 画像プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4588525B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007006584B3 (de) | 2007-02-09 | 2008-06-19 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Beleuchtungseinrichtung für ein Mikroskop |
JP5251611B2 (ja) * | 2009-03-04 | 2013-07-31 | オムロン株式会社 | 照明装置、計測ヘッドおよび計測装置 |
CA3052116A1 (en) * | 2017-03-22 | 2018-09-27 | Novartis Ag | Reconfigurable surgical microscope |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05133721A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-05-28 | Carl Zeiss:Fa | 光学式プローブヘツド |
JPH05240606A (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置検出器 |
DE4327250C5 (de) * | 1992-09-25 | 2008-11-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
JP2557171B2 (ja) * | 1992-11-25 | 1996-11-27 | 株式会社ミツトヨ | 変位検出装置 |
JP2596494Y2 (ja) * | 1993-03-17 | 1999-06-14 | 三洋電機株式会社 | 検査装置用照明装置 |
JPH0729657U (ja) * | 1993-06-11 | 1995-06-02 | 株式会社ワイ・イー・データ | 画像入力装置 |
GB9605609D0 (en) * | 1996-03-16 | 1996-05-15 | Renishaw Plc | Inspection system for coordinate positioning machine |
JPH1068615A (ja) * | 1996-08-27 | 1998-03-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 透孔周辺部の外観検査装置 |
JP3543584B2 (ja) * | 1997-02-13 | 2004-07-14 | セイコーエプソン株式会社 | 光学ユニットの製造方法、および投写型表示装置の製造方法 |
JPH10288508A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 外観検査装置 |
-
2005
- 2005-05-02 JP JP2005133940A patent/JP4588525B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005242386A (ja) | 2005-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001154098A (ja) | 画像プローブ | |
US8085295B2 (en) | Controllable micro light assembly | |
CN101852370B (zh) | 外观检查用照明装置和外观检查装置 | |
JP2009020298A (ja) | 照明装置、照明装置に対する装着物、カメラ、照明システム、及び、カメラシステム | |
JP4588525B2 (ja) | 画像プローブ | |
US10142529B2 (en) | Imaging apparatus and method for manufacturing imaging apparatus | |
JP5947553B2 (ja) | 撮像装置及び撮像装置の製造方法 | |
JP6837161B2 (ja) | 撮像ユニット及び部品実装機 | |
KR20070086099A (ko) | 검사용 광학 장치, 이 광학 장치를 구비한 검사 장치 및검사 방법 | |
JP2012018313A (ja) | 二次元測定機 | |
JP2015127776A (ja) | 拡大観察装置及び拡大画像観察方法 | |
CN111443097A (zh) | 一种手机玻璃盖板弧边缺陷检测装置 | |
JP2015127769A (ja) | 拡大観察装置、拡大画像観察方法、拡大画像観察プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
JP2011150194A (ja) | 顕微鏡 | |
JP6270473B2 (ja) | 拡大観察装置、拡大画像観察方法、拡大画像観察プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 | |
JP2015127780A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP7013564B2 (ja) | 撮像ユニット及び部品実装機 | |
JP7271738B2 (ja) | 撮像ユニット | |
JPWO2020070858A1 (ja) | 部品撮像用カメラ及び部品実装機 | |
JP2019158575A (ja) | コントローラおよび画像処理システム | |
JP6131158B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
JPH10149705A (ja) | リング照明装置 | |
CN111630433A (zh) | 具有附加照明模块的透射光显微镜 | |
JP6820059B2 (ja) | カメラ装置 | |
DE10066519B3 (de) | Bilderzeugungssonde |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080520 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080722 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080924 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081125 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090107 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20090130 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4588525 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130917 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |