JP4581709B2 - Inkjet head - Google Patents

Inkjet head Download PDF

Info

Publication number
JP4581709B2
JP4581709B2 JP2005021696A JP2005021696A JP4581709B2 JP 4581709 B2 JP4581709 B2 JP 4581709B2 JP 2005021696 A JP2005021696 A JP 2005021696A JP 2005021696 A JP2005021696 A JP 2005021696A JP 4581709 B2 JP4581709 B2 JP 4581709B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
individual
electrode region
pressure chamber
region
end side
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005021696A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2005238839A (en
Inventor
直樹 片山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Brother Industries Ltd filed Critical Brother Industries Ltd
Priority to JP2005021696A priority Critical patent/JP4581709B2/en
Publication of JP2005238839A publication Critical patent/JP2005238839A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4581709B2 publication Critical patent/JP4581709B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • B41J2002/14225—Finger type piezoelectric element on only one side of the chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14459—Matrix arrangement of the pressure chambers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491—Electrical connection
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/20—Modules

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッドに関する。   The present invention relates to an inkjet head that performs printing by discharging ink onto a recording medium.

インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等において、インクタンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、圧電性のセラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。   In an ink jet printer or the like, an ink jet head distributes ink supplied from an ink tank to a plurality of pressure chambers, and ejects ink from nozzles by selectively applying a pulsed pressure to each pressure chamber. As one means for selectively applying pressure to the pressure chamber, an actuator unit in which a plurality of piezoelectric sheets made of piezoelectric ceramic are laminated may be used.

かかるインクジェットヘッドの一例として、連続平板状の圧電シートを、複数の圧力室に跨って形成された共通電極と、各圧力室毎に対向して配置され主電極部及び外部より電圧が印加される補助電極部からなる複数の個別電極とで挟み込んだ複数のアクチュエータユニットを有するものが知られている（特許文献１参照）。個別電極及び共通電極に挟まれ且つ積層方向に分極された圧電シートの部分は、個別電極がフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）からの駆動電圧の供給によって、共通電極と異なる電位にされると、いわゆる圧電縦効果により積層方向に伸縮する。これにより圧力室内の容積が変動し、圧力室に連通したノズルから記録媒体に向けてインクを吐出することが可能となっている。また、１つのアクチュエータユニットにおいて、全ての個別電極は、補助電極部が主電極部に対して全て同じ側に形成されつつ、一方向に沿って配列された状態となっている。一方、補助電極部と接続されるＦＰＣには、複数の接続パッド（端子）が各補助電極部の配置状態に対応して形成されている。   As an example of such an ink jet head, a continuous plate-shaped piezoelectric sheet is arranged facing a common electrode formed across a plurality of pressure chambers, and facing each pressure chamber, and a voltage is applied from the main electrode portion and the outside. One having a plurality of actuator units sandwiched between a plurality of individual electrodes made up of auxiliary electrode portions is known (see Patent Document 1). The portion of the piezoelectric sheet sandwiched between the individual electrode and the common electrode and polarized in the stacking direction is set to a potential different from that of the common electrode by supplying a driving voltage from a flexible printed circuit (FPC). And it expands and contracts in the stacking direction due to the so-called piezoelectric longitudinal effect. As a result, the volume in the pressure chamber fluctuates, and ink can be ejected from the nozzles communicating with the pressure chamber toward the recording medium. Further, in one actuator unit, all the individual electrodes are arranged along one direction while the auxiliary electrode portions are all formed on the same side with respect to the main electrode portion. On the other hand, in the FPC connected to the auxiliary electrode portion, a plurality of connection pads (terminals) are formed corresponding to the arrangement state of each auxiliary electrode portion.

特開２００３−３１１９５３号公報JP 2003-311953 A

しかしながら、上述した特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、アクチュエータユニットの複数の個別電極の補助電極部が全て同方向を向くように配置されているので、画像の高解像度化や高速印字の要求に対応するために圧力室が高密度に配置されるに連れ、補助電極部同士の間隔が小さくなり、各補助電極部に対応するＦＰＣの各接続パッド同士の間隔が小さくなる。それに伴ってＦＰＣの各接続パッドから引き出される配線の幅や間隔が製造限界を超えるほど狭くなりつつある。そのため、要求される画像の高解像度化や圧力室の高密度化に対する障害要因となるとともに、インクジェットヘッドのサイズが大型化する問題が生じる。   However, in the inkjet head described in Patent Document 1 described above, since the auxiliary electrode portions of the plurality of individual electrodes of the actuator unit are all arranged in the same direction, there is a demand for higher resolution of images and high-speed printing. As the pressure chambers are arranged at a high density to cope with this, the distance between the auxiliary electrode parts becomes smaller, and the distance between the connection pads of the FPC corresponding to each auxiliary electrode part becomes smaller. Along with this, the width and interval of wiring drawn from each connection pad of the FPC are becoming narrower as the manufacturing limit is exceeded. For this reason, there is a problem in that the required resolution is increased and the pressure chamber is increased in density, and the size of the inkjet head is increased.

そこで、本発明の目的は、個別電極の間隔を広げることなくＦＰＣなどの平型柔軟ケーブルに形成される配線間隔を広げることが可能なインクジェットヘッドを提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an ink jet head capable of widening the wiring interval formed on a flat flexible cable such as an FPC without increasing the interval between individual electrodes.

課題を解決するための手段及び発明の効果Means for Solving the Problems and Effects of the Invention

本発明のインクジェットヘッドは、それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配列されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、前記圧力室に対応して形成された主電極領域及び前記主電極領域につながった補助電極領域をそれぞれ有する複数の個別電極を有すると共に、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するアクチュエータユニットと、前記補助電極領域とそれぞれ電気的に接続された複数の端子を有すると共に、前記複数の端子にそれぞれ接続された複数の配線が一方向に延在して前記端子から引き出された平型柔軟ケーブルとを備えている。そして、前記アクチュエータユニットには、前記個別電極が前記一方向と交差する方向に沿って複数配列された個別電極列が互いに平行となるように複数配列されており、前記複数の個別電極列のうち少なくとも前記平型柔軟ケーブルの先端から前記配線が引き出される方向に最も離れた前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されている。
An ink jet head according to the present invention includes a flow path unit in which a plurality of pressure chambers each communicating with a nozzle are arranged along a plane, and an ink flow path extending from an ink supply port to the nozzle through the pressure chamber And a plurality of individual electrodes each having a main electrode region formed corresponding to the pressure chamber and an auxiliary electrode region connected to the main electrode region, and fixed to the plane of the flow path unit and the pressure An actuator unit that applies ejection energy to the ink in the chamber, and a plurality of terminals that are electrically connected to the auxiliary electrode region, respectively, and a plurality of wirings that are respectively connected to the plurality of terminals extend in one direction. And a flat flexible cable drawn from the terminal. In the actuator unit, a plurality of individual electrode rows in which a plurality of individual electrodes are arranged along a direction intersecting the one direction are arranged in parallel to each other, and among the plurality of individual electrode rows, In the individual electrode row farthest away in the direction in which the wiring is drawn from at least the tip of the flat flexible cable, the auxiliary electrode region is closer to the tip of the flat flexible cable than the main electrode region The auxiliary electrode regions are alternately arranged with the individual electrodes on the proximal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region.

これによると、個別電極の間隔を広げることなく平型柔軟ケーブルに形成された配線の幅や間隔を比較的大きくすることが可能になる。つまり、平型柔軟ケーブルの基端に最も近い個別電極列には、補助電極領域が平型柔軟ケーブルの先端側にある個別電極と、補助電極領域が平型柔軟ケーブルの基端側にある個別電極とが混在しているので、主電極領域よりも平型柔軟ケーブルの基端側にある２つの補助電極領域の間には、別の補助電極領域が存在しないことがあり得る。このような２つの補助電極領域の間には配線の幅や配線間隔を比較的大きくした複数の配線を形成することができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製が容易になる。また、画像の高解像度化や圧力室の高密度化に対応できるようになるとともに、これに伴うインクジェットヘッドの大型化を防ぐことが可能となる。   According to this, the width and interval of the wiring formed in the flat flexible cable can be made relatively large without increasing the interval between the individual electrodes. In other words, the individual electrode row closest to the base end of the flat flexible cable includes an individual electrode whose auxiliary electrode region is on the distal end side of the flat flexible cable and an individual electrode whose auxiliary electrode region is on the proximal end side of the flat flexible cable. Since the electrodes are mixed, another auxiliary electrode region may not exist between the two auxiliary electrode regions located on the proximal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region. A plurality of wirings with relatively large wiring widths and wiring intervals can be formed between the two auxiliary electrode regions. Therefore, it becomes easy to produce a flat flexible cable. In addition, it is possible to cope with higher resolution of images and higher density of pressure chambers, and it is possible to prevent enlargement of the ink jet head associated therewith.

また、平型柔軟ケーブルの基端に最も近い個別電極に対応して形成された端子の間隔を全域に亘って均等に広くすることができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製がさらに容易になる。また、画像の高密度化や圧力室の高密度化への対応が容易になる。
 Moreover , the space | interval of the terminal formed corresponding to the individual electrode nearest to the base end of a flat type flexible cable can be made wide equally over the whole region. Therefore, it becomes easier to produce a flat flexible cable. In addition, it becomes easy to cope with higher image density and higher pressure chamber density.

また、本発明では、すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが混在していることが好ましい。これにより、すべての個別電極列に対応して形成された端子の各々に接続された配線の幅や間隔を広くすることができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製がさらに容易になる。また、画像の高密度化や圧力室の高密度化への対応がより容易になる。   In the present invention, in all the individual electrode rows, the auxiliary electrode region is closer to the distal end side of the flat flexible cable than the main electrode region, and the auxiliary electrode region is more than the main electrode region. It is preferable that the individual electrodes on the base end side of the flat flexible cable are mixed. Thereby, the width and interval of the wiring connected to each of the terminals formed corresponding to all the individual electrode rows can be increased. Therefore, it becomes easier to produce a flat flexible cable. In addition, it becomes easier to cope with higher image density and higher pressure chamber density.

また、本発明では、すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されていることが好ましい。これにより、すべての個別電極列に対応して形成された端子の間隔を広範な範囲に亘って均等に広くすることができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製がさらに容易になる。また、画像の高密度化や圧力室の高密度化への対応がさらに容易になる。   In the present invention, in all the individual electrode rows, the auxiliary electrode region is closer to the distal end side of the flat flexible cable than the main electrode region, and the auxiliary electrode region is more than the main electrode region. It is preferable that the individual electrodes on the base end side of the flat flexible cable are alternately arranged. As a result, the distance between the terminals formed corresponding to all the individual electrode rows can be evenly widened over a wide range. Therefore, it becomes easier to produce a flat flexible cable. In addition, it becomes easier to cope with higher image density and higher pressure chambers.

また、このとき、前記アクチュエータユニットには、１つおきの前記個別電極列に属する前記個別電極が前記一方向に沿って複数配列された個別電極行が互いに平行となるように複数配列されており、隣り合う２つの前記個別電極行に属する複数の前記個別電極が、互いに異なる前記個別電極列に属していてもよい。これにより、複数の個別電極を列方向に千鳥状パターンで高密度に配列させることが可能になる。   Further, at this time, the actuator unit has a plurality of individual electrode rows in which the individual electrodes belonging to every other individual electrode column are arranged in parallel along the one direction so as to be parallel to each other. The plurality of individual electrodes belonging to two adjacent individual electrode rows may belong to different individual electrode columns. This makes it possible to arrange a plurality of individual electrodes in a staggered pattern in the column direction with high density.

また、このとき、前記個別電極行には、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されている領域があってもよい。これにより、端子の分布領域内で端子間隔の広い領域が確実にできるので、平型柔軟ケーブルにおける配線の幅や間隔に余裕が生まれる。また、さらに、前記個別電極行には、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極が複数連続して配置された領域を有する第１の個別電極行と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極が複数連続して配置された領域を有する第２の個別電極行とがあり、前記第１の個別電極行と前記第２の個別電極行とが２つずつ交互に配列されていてもよい。これにより、端子の分布領域内の広範な範囲で、端子間隔の広い領域が確実にできるので、平型柔軟ケーブルにおける配線の幅や間隔に広範な範囲での余裕が生まれる。また、補助電極領域が主電極領域よりも平型柔軟ケーブルの先端側にある個別電極と、補助電極領域が主電極領域よりも平型柔軟ケーブルの基端側にある個別電極との２種類を規則的に配列することが可能になる。そのため、個別電極のパターン設計が容易になる。   Further, at this time, the individual electrode row includes the individual electrode in which the auxiliary electrode region is on the distal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region, and the auxiliary electrode region is more than the main electrode region. There may be a region where the individual electrodes on the base end side of the flat flexible cable are alternately arranged. As a result, an area having a wide terminal interval can be reliably formed within the terminal distribution area, so that a margin is created in the width and interval of the wiring in the flat flexible cable. Further, the individual electrode row includes a first individual region in which the auxiliary electrode region has a region in which a plurality of the individual electrodes that are located closer to the distal end side of the flat flexible cable than the main electrode region are continuously arranged. An electrode row, and a second individual electrode row having a region in which a plurality of the individual electrodes are continuously arranged, the auxiliary electrode region being closer to the base end side of the flat flexible cable than the main electrode region, Two first individual electrode rows and two second individual electrode rows may be alternately arranged. As a result, a wide area between the terminals can be ensured in a wide range within the terminal distribution area, so that a wide range of margins can be provided for the wiring width and spacing in the flat flexible cable. In addition, there are two types: an individual electrode in which the auxiliary electrode region is on the distal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region, and an individual electrode in which the auxiliary electrode region is on the proximal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region. It becomes possible to arrange regularly. Therefore, the pattern design of the individual electrode is facilitated.

また、本発明において、前記主電極領域が前記圧力室に対向した位置に配置されており、前記圧力室の平面形状が２つの鋭角部を有する平行四辺形形状であり、前記交差する方向が前記圧力室の短い方の対角線と平行であることが好ましい。これにより、圧力室を高密度に配列させることが可能になる。   Further, in the present invention, the main electrode region is disposed at a position facing the pressure chamber, the planar shape of the pressure chamber is a parallelogram shape having two acute angle portions, and the intersecting direction is the It is preferable to be parallel to the shorter diagonal of the pressure chamber. As a result, the pressure chambers can be arranged with high density.

また、本発明のインクジェットヘッドは、別の観点では、それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配列されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、主電極領域及び前記主電極領域につながった補助電極領域をそれぞれ有する複数の個別電極を有すると共に、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、前記補助電極領域とそれぞれ電気的に接続された複数の端子を有すると共に、前記複数の端子にそれぞれ接続された複数の配線が一方向に延在した平型柔軟ケーブルとを備えている。そして、前記流路ユニットには、２つの鋭角部を有する平行四辺形形状の平面形状を有する前記圧力室が前記一方向と交差する方向に沿って複数配列された圧力室列が互いに平行となるように複数配列されており、前記アクチュエータユニットには、前記主電極領域を前記圧力室に対向して配置した前記個別電極が互いに平行な複数の個別電極列をなし、すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されている。これにより、すべての個別電極列に対応して形成された端子の各々に接続された配線の幅や間隔を全域に亘って均等に広くすることができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製がさらに容易になる。これに対応して、圧力室も高密度に配列することができる。   In another aspect of the ink jet head of the present invention, a plurality of pressure chambers each communicating with a nozzle are arranged along a plane, and an ink flow path from an ink supply port to the nozzle through the pressure chamber And a plurality of individual electrodes each having a main electrode region and an auxiliary electrode region connected to the main electrode region, and a volume of the pressure chamber fixed to the plane of the flow channel unit. And a flexible flexible cable having a plurality of terminals electrically connected to the auxiliary electrode region and a plurality of wires respectively connected to the plurality of terminals extending in one direction. It has. In the flow path unit, a plurality of pressure chambers in which a plurality of the pressure chambers having a parallelogram-shaped planar shape having two acute angle portions are arranged in a direction crossing the one direction are parallel to each other. In the actuator unit, the individual electrode in which the main electrode region is arranged facing the pressure chamber forms a plurality of individual electrode rows parallel to each other, and in all the individual electrode rows The auxiliary electrode region is located on the distal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region, and the auxiliary electrode region is located on the proximal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region. Individual electrodes are arranged alternately. Thereby, the width and interval of the wiring connected to each of the terminals formed corresponding to all the individual electrode rows can be uniformly increased over the entire area. Therefore, it becomes easier to produce a flat flexible cable. Correspondingly, the pressure chambers can also be arranged with high density.

また、本発明では、前記交差する方向が前記圧力室の短い方の対角線と平行であることが好ましい。これにより、圧力室を高密度に配列させることが可能になる。
In the present invention , the intersecting direction is preferably parallel to the shorter diagonal line of the pressure chamber. As a result, the pressure chambers can be arranged with high density.

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。図２は、図１のII−II線における断面図であり、インクジェットヘッドを構成するホルダにヘッド本体が組み付けられた状態を示している。図３は、図２に示すヘッド本体に補強板が接着された状態を示す斜視図である。インクジェットヘッド１は、シリアル式のインクジェットプリンタ（図示略）に用いられて、副走査方向に平行に搬送されてきた用紙に対してマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックの４色のインクを吐出して記録するものである。図１及び図２に示すようにインクジェットヘッド１は、４色のインクをそれぞれ貯溜する４つのインク室３が形成されたインクタンク７１と、このインクタンク７１の下方に配置されたヘッド本体７０とを備えている。   FIG. 1 is an external perspective view of an inkjet head according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1 and shows a state in which the head body is assembled to a holder constituting the inkjet head. FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a reinforcing plate is bonded to the head body shown in FIG. The ink-jet head 1 is used in a serial-type ink-jet printer (not shown) and records by ejecting ink of four colors, magenta, yellow, cyan and black, onto a sheet conveyed in parallel in the sub-scanning direction. To do. As shown in FIGS. 1 and 2, the inkjet head 1 includes an ink tank 71 in which four ink chambers 3 for storing four color inks are formed, and a head body 70 disposed below the ink tank 71. It has.

インクタンク７１の内部には、４つのインク室３が主走査方向に並んで形成されており、図２中左方のインク室３からマゼンタ、イエロー、シアン、ブラックのインクが順に貯溜されている。これら４つのインク室３は、対応するインクカートリッジ（図示せず）がチューブ４０（図１参照）によってそれぞれ接続されており、インクカートリッジからインク室３に各色のインクが供給されるようになっている。また、図２及び図３に示すようにインクタンク７１が、平面矩形形状の補強板４１に組み付けられている。この補強板４１は、略直方体形状を有するホルダ７２に紫外線型硬化剤４３で固着されている。さらに、この補強板４１には図３に示すように、平面形状が長方形形状の開口部４２が形成されており、この開口部４２内に後述のアクチュエータユニット２１を配置するようにしてヘッド本体７０が接着固定されている。インクタンク７１の下端部には、４つのインク室３にそれぞれ連通する４つのインク導出口３ａが形成されている。一方、補強板４１には、図３に示すように、４つのインク導出口３ａとそれぞれ連なる平面形状が楕円形状の４つの貫通孔４１ａが形成されている。   Inside the ink tank 71, four ink chambers 3 are formed side by side in the main scanning direction, and magenta, yellow, cyan, and black inks are sequentially stored from the left ink chamber 3 in FIG. . In these four ink chambers 3, corresponding ink cartridges (not shown) are respectively connected by tubes 40 (see FIG. 1), and ink of each color is supplied from the ink cartridges to the ink chamber 3. Yes. Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the ink tank 71 is assembled to a reinforcing plate 41 having a planar rectangular shape. The reinforcing plate 41 is fixed to a holder 72 having a substantially rectangular parallelepiped shape with an ultraviolet curing agent 43. Further, as shown in FIG. 3, the reinforcing plate 41 is formed with an opening 42 having a rectangular planar shape, and an actuator unit 21 described later is disposed in the opening 42. Is fixed by bonding. At the lower end of the ink tank 71, four ink outlets 3a communicating with the four ink chambers 3 are formed. On the other hand, as shown in FIG. 3, the reinforcing plate 41 is formed with four through-holes 41a each having an elliptical planar shape connected to the four ink outlets 3a.

ヘッド本体７０は、それぞれの色ごとに複数のインク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤によって接着されたアクチュエータユニット２１とを含んでいる。流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成であり、これら流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１はインクタンク７１の下方に配置されている。流路ユニット４の上面には、平面形状が楕円形状の４つのインク供給口４ａ（図４参照）が形成されている。また、図３に示すように補強板４１には、補強板４１に形成された貫通孔４１ａと流路ユニット４に形成されたインク供給口４ａとがそれぞれ連なるようにして流路ユニット４が接着されている。この構成により、インクタンク７１内の４種類のインクが、インクタンク７１に形成された４つのインク導出口３ａ及び補強板４１に形成された４つの貫通孔４１ａを通ってそれぞれに対応する流路ユニット４の４つのインク供給口４ａから流路ユニット４内に供給されている。   The head main body 70 includes a flow path unit 4 in which a plurality of ink flow paths are formed for each color, and an actuator unit 21 bonded to the upper surface of the flow path unit 4 with an epoxy-based thermosetting adhesive. It is out. The flow path unit 4 and the actuator unit 21 are configured by laminating a plurality of thin plates and bonding them together. The flow path unit 4 and the actuator unit 21 are disposed below the ink tank 71. On the upper surface of the flow path unit 4, four ink supply ports 4a (see FIG. 4) having an elliptical planar shape are formed. Further, as shown in FIG. 3, the flow path unit 4 is bonded to the reinforcing plate 41 so that the through holes 41 a formed in the reinforcing plate 41 and the ink supply ports 4 a formed in the flow path unit 4 are connected to each other. Has been. With this configuration, four types of ink in the ink tank 71 pass through the four ink outlets 3a formed in the ink tank 71 and the four through holes 41a formed in the reinforcing plate 41, respectively. The ink is supplied from the four ink supply ports 4 a of the unit 4 into the flow path unit 4.

また、ヘッド本体７０は、流路ユニット４のインク吐出面７０ａを外部に露出する状態で、補強板４１がホルダ７２の下面に形成された段付き状の開口部７２ａに装着されており、ホルダ７２と流路ユニット４との間はシール剤７３により封止されている。また、ヘッド本体７０の底面は微小径を有する多数のノズル８（図６参照）が配列されたインク吐出面７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）５０が接合され主走査方向の一方に引き出されるとともに、屈曲しながら上方に引き出されている。ＦＰＣ５０のアクチュエータユニット２１と対向する部分における上面には、ＦＰＣ５０及びアクチュエータユニット２１を保護する保護プレート４４が貼付されている。   The head body 70 has a reinforcing plate 41 attached to a stepped opening 72 a formed on the lower surface of the holder 72 in a state where the ink discharge surface 70 a of the flow path unit 4 is exposed to the outside. 72 and the flow path unit 4 are sealed with a sealant 73. The bottom surface of the head main body 70 is an ink ejection surface 70a on which a large number of nozzles 8 (see FIG. 6) having a minute diameter are arranged. A flexible printed circuit (FPC) 50 as a power supply member is joined to the upper surface of the actuator unit 21 and pulled out in one of the main scanning directions, and is pulled out upward while being bent. A protective plate 44 that protects the FPC 50 and the actuator unit 21 is attached to the upper surface of the FPC 50 that faces the actuator unit 21.

アクチュエータユニット２１に接合されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材７４を介してインクタンク７１の側面に沿うように引き出され、このＦＰＣ５０上にドライバＩＣ７５が設置されている。一方で、ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ７５から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１（後に詳述）に伝達するように、ハンダ付けによって電気的に接合されている。   The FPC 50 joined to the actuator unit 21 is pulled out along the side surface of the ink tank 71 through an elastic member 74 such as a sponge, and a driver IC 75 is installed on the FPC 50. On the other hand, the FPC 50 is electrically joined by soldering so as to transmit the drive signal output from the driver IC 75 to the actuator unit 21 (described later in detail) of the head main body 70.

図２において、ホルダ７２のドライバＩＣ７５に対向する側壁には、ドライバＩＣ７５の熱を外部に放散する為の開口部７２ｂが形成されている。さらに、ドライバＩＣ７５とホルダ７２の開口部７２ｂとの間には、略直方体形状のアルミ板からなるヒートシンク７６がドライバＩＣ７５に密着するように配置されている。これらヒートシンク７６及び開口部７２ｂにより、ドライバＩＣ７５で発生した熱を効率的に散逸させることができる。また、開口部７２ｂ内には、ホルダ７２の側壁とヒートシンク７６の隙間を埋めるためのシール剤７７が配置されており、インクジェットヘッド１の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。   In FIG. 2, an opening 72b for radiating the heat of the driver IC 75 to the outside is formed on the side wall of the holder 72 facing the driver IC 75. Further, a heat sink 76 made of an approximately rectangular parallelepiped aluminum plate is disposed between the driver IC 75 and the opening 72 b of the holder 72 so as to be in close contact with the driver IC 75. The heat generated by the driver IC 75 can be efficiently dissipated by the heat sink 76 and the opening 72b. In addition, a sealant 77 for filling a gap between the side wall of the holder 72 and the heat sink 76 is disposed in the opening 72b to prevent dust and ink from entering the main body of the inkjet head 1.

図４は、ヘッド本体７０の平面図である。図４に示すように、ヘッド本体７０は副走査方向に延在した矩形平面形状を有している。図４において、流路ユニット４内には、流路ユニット４の長手方向に沿って互いに平行に延在された４つのマニホールド流路５が形成されている。これらマニホールド流路５には、流路ユニット４の４つのインク供給口４ａを通じてインクタンク７１のインク室３からそれぞれインクが供給される。本実施の形態では、図４中上方に示すマニホールド流路５から下方に向かって順にマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックに対応するマニホールド流路５Ｍ、５Ｙ、５Ｃ、５Ｋが形成されている。また、流路ユニット４の上面であって４つのインク供給口４ａを覆う位置には、フィルタ部材４５が配置されている。フィルタ部材４５は、各インク供給口４ａと重なる位置に複数の微小孔が形成されたフィルタ４５ａを有している。こうして、インクタンク７１から流路ユニット４内に流通するインク内のゴミなどがフィルタ部材４５のフィルタ４５ａによって捕獲される。   FIG. 4 is a plan view of the head body 70. As shown in FIG. 4, the head main body 70 has a rectangular planar shape extending in the sub-scanning direction. In FIG. 4, four manifold channels 5 extending in parallel with each other along the longitudinal direction of the channel unit 4 are formed in the channel unit 4. Ink is supplied to the manifold channels 5 from the ink chamber 3 of the ink tank 71 through the four ink supply ports 4 a of the channel unit 4. In the present embodiment, manifold channels 5M, 5Y, 5C, and 5K corresponding to magenta, yellow, cyan, and black are formed in order from the manifold channel 5 shown in the upper part of FIG. 4 to the lower part. A filter member 45 is disposed at a position on the upper surface of the flow path unit 4 so as to cover the four ink supply ports 4a. The filter member 45 has a filter 45a in which a plurality of minute holes are formed at positions overlapping with the ink supply ports 4a. Thus, dust in the ink flowing from the ink tank 71 into the flow path unit 4 is captured by the filter 45 a of the filter member 45.

流路ユニット４の上面には、平面形状が長方形形状のアクチュエータユニット２１が、インク供給口４ａを避けたほぼ中央部分に接着されている。アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着領域と対応する流路ユニット４の下面は、多数のノズル８（図６参照）が配列されたインク吐出領域となっている。アクチュエータユニット２１に対向する流路ユニット４の接着領域には、マトリクス状に配列された多数の圧力室１０（図６参照）が形成されている。言い換えると、アクチュエータユニット２１はすべての圧力室１０に跨る寸法を有している。   On the upper surface of the flow path unit 4, an actuator unit 21 having a rectangular planar shape is bonded to a substantially central portion avoiding the ink supply port 4a. The lower surface of the flow path unit 4 corresponding to the adhesion area between the actuator unit 21 and the flow path unit 4 is an ink discharge area in which a large number of nozzles 8 (see FIG. 6) are arranged. A large number of pressure chambers 10 (see FIG. 6) arranged in a matrix are formed in the adhesion region of the flow path unit 4 facing the actuator unit 21. In other words, the actuator unit 21 has dimensions over all the pressure chambers 10.

図５は、図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。流路ユニット４に形成された圧力室１０は、角部にアールが施された略菱形の平面形状を有しており、その長い方の対角線は流路ユニット４の幅方向（主走査方向）に平行である。このような形状に圧力室１０が形成されていることで、後述のように圧力室１０を高密度に配置可能となる。各圧力室１０の一端はノズル８に連通しており、他端はアパーチャ１３を介してマニホールド流路５に連通しており、各マニホールド流路５には、ノズル８に連通して各圧力室１０毎に形成された多数の個別インク流路７（図６参照）が接続されている。図５には、図面を分かりやすくするために流路ユニット４内にあって破線で描くべき圧力室１０、アパーチャ１３及びノズル８等を実線で描いている。   FIG. 5 is an enlarged view of a region surrounded by a one-dot chain line drawn in FIG. The pressure chamber 10 formed in the flow path unit 4 has a substantially rhombic planar shape with rounded corners, and the longer diagonal line is the width direction (main scanning direction) of the flow path unit 4. Parallel to By forming the pressure chamber 10 in such a shape, the pressure chambers 10 can be arranged with high density as will be described later. One end of each pressure chamber 10 communicates with the nozzle 8, and the other end communicates with the manifold channel 5 via the aperture 13. Each manifold channel 5 communicates with the nozzle 8 and communicates with each pressure chamber. A large number of individual ink flow paths 7 (see FIG. 6) formed every 10 are connected. In FIG. 5, the pressure chamber 10, the aperture 13, the nozzle 8, and the like that are in the flow path unit 4 and should be drawn with broken lines are drawn with solid lines for easy understanding of the drawing.

図６は、個別インク流路を示す断面図であり、図５に示すVI−VI線に沿った断面図である。圧力室１０の一方の鋭角部には、アパーチャ１３が連通し、他方の鋭角部には、インクを吐出するノズル８が連通している。図６から分かるように、各ノズル８は、圧力室１０及びアパーチャ（すなわち絞り）１３を介してマニホールド流路５と連通して圧力室１０に対応した流路を構成している。このようにして、ヘッド本体７０には、圧力室１０毎の流路である複数の個別インク流路７が形成されている。   6 is a cross-sectional view showing the individual ink flow path, and is a cross-sectional view taken along the line VI-VI shown in FIG. The aperture 13 communicates with one acute angle portion of the pressure chamber 10, and the nozzle 8 for ejecting ink communicates with the other acute angle portion. As can be seen from FIG. 6, each nozzle 8 communicates with the manifold flow path 5 via the pressure chamber 10 and the aperture (that is, the restriction) 13 to form a flow path corresponding to the pressure chamber 10. In this way, a plurality of individual ink channels 7 that are channels for each pressure chamber 10 are formed in the head main body 70.

ヘッド本体７０は、図６に示すように、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６〜２９及びノズルプレート３０の合計１０枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた９枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。   As shown in FIG. 6, the head main body 70 is composed of a total of ten sheet materials including an actuator unit 21, a cavity plate 22, a base plate 23, an aperture plate 24, a supply plate 25, manifold plates 26 to 29 and a nozzle plate 30. Have a laminated structure. Among these, the flow path unit 4 is composed of nine plates excluding the actuator unit 21.

アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート１４〜１７（図７参照）が積層され且つそのうちの最上層だけが電界印加時に活性部となる部分を有する層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）とされ、残り３層が活性部を有しない非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０の空隙を構成するほぼ菱形の孔が、アクチュエータユニット２１の貼付範囲内に多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１３との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。   As will be described in detail later, the actuator unit 21 is a layer in which four piezoelectric sheets 14 to 17 (see FIG. 7) are laminated and only the uppermost layer thereof has a portion that becomes an active portion when an electric field is applied (hereinafter, The remaining three layers are non-active layers that do not have an active portion. The cavity plate 22 is a metal plate in which a large number of substantially rhombic holes constituting the gap of the pressure chamber 10 are provided within the pasting range of the actuator unit 21. The base plate 23 is a metal plate provided with a communication hole between the pressure chamber 10 and the aperture 13 and a communication hole from the pressure chamber 10 to the nozzle 8 for one pressure chamber 10 of the cavity plate 22.

アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３となる孔のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３とマニホールド流路５との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６〜２９は、マニホールド流路５に加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。   The aperture plate 24 is a metal plate provided with a communication hole from the pressure chamber 10 to the nozzle 8 in addition to the hole serving as the aperture 13 for one pressure chamber 10 of the cavity plate 22. The supply plate 25 is a metal plate provided with a communication hole between the aperture 13 and the manifold channel 5 and a communication hole from the pressure chamber 10 to the nozzle 8 for one pressure chamber 10 of the cavity plate 22. The manifold plates 26 to 29 are metal plates each provided with a communication hole from the pressure chamber 10 to the nozzle 8 for one pressure chamber 10 of the cavity plate 22 in addition to the manifold flow path 5. The nozzle plate 30 is a metal plate in which the nozzles 8 are provided for one pressure chamber 10 of the cavity plate 22.

これら１０枚のシート２１〜３０は、図６に示すような個別インク流路７が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路７は、マニホールド流路５からまず上方へ向かい、アパーチャ１３において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１３から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。   These ten sheets 21 to 30 are laminated in alignment with each other so that the individual ink flow paths 7 as shown in FIG. 6 are formed. The individual ink flow path 7 is first directed upward from the manifold flow path 5, extends horizontally at the aperture 13, then further upwards, extends horizontally again at the pressure chamber 10, and then leaves the aperture 13 for a while. Heading diagonally downward in the direction and then vertically downward toward the nozzle 8.

図６から明らかなように、各プレートの積層方向において圧力室１０とアパーチャ１３とは異なるレベルに設けられている。これにより、図５に示すように、アクチュエータユニット２１に対向した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１３を、当該圧力室に隣接する別の圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。   As is clear from FIG. 6, the pressure chamber 10 and the aperture 13 are provided at different levels in the stacking direction of the plates. As a result, as shown in FIG. 5, in the flow path unit 4 facing the actuator unit 21, the aperture 13 communicating with one pressure chamber 10 is seen in plan view with another pressure chamber 10 adjacent to the pressure chamber. It can be arranged at the same position. As a result, the pressure chambers 10 are in close contact with each other and are arranged at high density, so that high-resolution image printing is realized by the inkjet head 1 having a relatively small occupation area.

図５に戻って、複数の各圧力室１０は、その長い対角線の一端においてノズル８に連通されていると共に、長い対角線の他端においてアパーチャ１３を介してマニホールド流路５に連通されている。後述するように、アクチュエータユニット２１上には、平面形状がほぼひし形で圧力室１０よりも一回り小さい個別電極３５（図７参照）が、圧力室１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図５には、図面を簡略にするために、複数の個別電極３５のうちの幾つかだけを描いている。   Returning to FIG. 5, each of the plurality of pressure chambers 10 communicates with the nozzle 8 at one end of the long diagonal line, and communicates with the manifold channel 5 through the aperture 13 at the other end of the long diagonal line. As will be described later, on the actuator unit 21, individual electrodes 35 (see FIG. 7) having a substantially rhombus shape and slightly smaller than the pressure chamber 10 are arranged in a matrix so as to face the pressure chamber 10. Yes. In FIG. 5, only some of the plurality of individual electrodes 35 are drawn for the sake of simplicity.

圧力室１０は、配列方向Ａ（第１の方向）及び配列方向Ｂ（第２の方向）の２方向にマトリクス状に隣接配置されるとともに、配列方向Ａに沿って複数の圧力室１０が千鳥状配列パターンで形成されている。配列方向Ａは、インクジェットヘッド１の長手方向、すなわち流路ユニット４の延在方向であって、圧力室１０の短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす圧力室１０の一斜辺方向である。そして、圧力室１０の両方の鋭角部は、隣接する別の２つの圧力室の間に位置している。   The pressure chambers 10 are adjacently arranged in a matrix in two directions of the arrangement direction A (first direction) and the arrangement direction B (second direction), and a plurality of pressure chambers 10 are staggered along the arrangement direction A. It is formed in the shape arrangement pattern. The arrangement direction A is the longitudinal direction of the inkjet head 1, that is, the extending direction of the flow path unit 4, and is parallel to the shorter diagonal line of the pressure chamber 10. The arrangement direction B is an oblique side direction of the pressure chamber 10 that forms an obtuse angle θ with the arrangement direction A. Both acute angle portions of the pressure chamber 10 are located between two adjacent pressure chambers.

配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置された圧力室１０は、配列方向Ａに沿って解像度に対応した間隙を介して配置されている。例えば、本実施の形態では、１５０ｄｐｉの解像度による印字を可能とするため、隣接する圧力室１０は配列方向Ａに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔している。また、圧力室１０は、アクチュエータユニット２１内において、配列方向Ｂに１６個並べられているとともに、図５の紙面に対して垂直な方向（第３の方向）から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）沿って８個並べられている。   The pressure chambers 10 arranged adjacent to each other in a matrix in two directions of the arrangement direction A and the arrangement direction B are arranged along the arrangement direction A via a gap corresponding to the resolution. For example, in the present embodiment, adjacent pressure chambers 10 are separated along the arrangement direction A by a distance corresponding to 37.5 dpi in order to enable printing with a resolution of 150 dpi. In addition, 16 pressure chambers 10 are arranged in the arrangement direction B in the actuator unit 21 and are orthogonal to the arrangement direction A when viewed from the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 5 (the third direction). Eight are arranged along the direction (fourth direction).

マトリクス状に配置された多数の圧力室１０は、図５に示す配列方向Ａに沿って、複数の圧力室列１１を形成している。複数の圧力室列１１は、第３の方向から見て、各マニホールド流路５との相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の幅方向における一方から他方（図５中下方から上方）に向けて、１１ｃ→１１ａ→１１ｄ→１１ｂ→１１ｃ→１１ａ→・・１１ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。なお、これら周期的に４個ずつ配置された第１〜第４の圧力室列毎に４つの圧力室群１２が形成されており、各圧力室群１２の圧力室１０が各マニホールド流路５とそれぞれアパーチャ１３を介して連通している。つまり、各圧力室群１２は各マニホールド流路５毎に形成されているため、４色のインクに対応するように圧力室群１２Ｍ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｋに分けられる。これら４つの圧力室群１２Ｍ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｋのそれぞれに属する圧力室１０がアクチュエータユニット２１によって容積変化されることで４色のインクを各圧力室群１２と連通したノズル８から吐出することが可能になる。   A large number of pressure chambers 10 arranged in a matrix form a plurality of pressure chamber rows 11 along the arrangement direction A shown in FIG. The plurality of pressure chamber rows 11 includes a first pressure chamber row 11a, a second pressure chamber row 11b, and a third pressure chamber according to the relative position with respect to each manifold channel 5 when viewed from the third direction. It is divided into a row 11c and a fourth pressure chamber row 11d. These first to fourth pressure chamber rows 11a to 11d are arranged from one side in the width direction of the actuator unit 21 to the other side (from the lower side to the upper side in FIG. 5), 11c → 11a → 11d → 11b → 11c → 11a → -4 pieces are periodically arranged in the order of 11b. In addition, four pressure chamber groups 12 are formed for each of the first to fourth pressure chamber rows that are periodically arranged by four, and the pressure chambers 10 of each pressure chamber group 12 are connected to each manifold channel 5. And communicate with each other via an aperture 13. That is, since each pressure chamber group 12 is formed for each manifold channel 5, it is divided into pressure chamber groups 12M, 12Y, 12C, and 12K so as to correspond to four colors of ink. The pressure chambers 10 belonging to each of the four pressure chamber groups 12M, 12Y, 12C, and 12K are subjected to volume change by the actuator unit 21 so that four color inks are ejected from the nozzles 8 communicating with the respective pressure chamber groups 12. Is possible.

第１の圧力室列１１ａを構成する圧力室１０ａ及び第３の圧力室列１１ｃを構成する圧力室１０ｃにおいては、第３の方向から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に関して、ノズル８が図５の紙面下側に偏在している。そして、ノズル８が、図５中平面視においてそれぞれ対応する圧力室１０の下端部の左側付近と隣接している。一方、第２の圧力室列１１ｂを構成する圧力室１０ｂ及び第４の圧力室列１１ｄを構成する圧力室１０ｄにおいては、第４の方向に関して、ノズル８が図４の紙面上側に偏在している。そして、ノズル８が、図５中平面視においてそれぞれ対応する圧力室１０の上端部の右側付近と隣接している。第１及び第４の圧力室列１１ａ、１１ｄにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ａ、１０ｄの半分以上の領域が、マニホールド流路５と重なっている。第２及び第３の圧力室列１１ｂ、１１ｃにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ｂ、１０ｃのほぼ全領域が、マニホールド流路５ａと重なっていない。そのため、いずれの圧力室列に属する圧力室１０についてもこれに連通するノズル８がマニホールド流路５ａと重ならないようにしつつ、マニホールド流路５の幅を可能な限り広くして各圧力室１０にインクを円滑に供給することが可能となっている。   In the pressure chambers 10a constituting the first pressure chamber row 11a and the pressure chambers 10c constituting the third pressure chamber row 11c, a direction (fourth direction) orthogonal to the arrangement direction A when viewed from the third direction. ), The nozzle 8 is unevenly distributed on the lower side of the drawing sheet of FIG. The nozzle 8 is adjacent to the vicinity of the left side of the lower end of the corresponding pressure chamber 10 in plan view in FIG. On the other hand, in the pressure chamber 10b constituting the second pressure chamber row 11b and the pressure chamber 10d constituting the fourth pressure chamber row 11d, the nozzle 8 is unevenly distributed on the upper side in FIG. 4 in the fourth direction. Yes. The nozzles 8 are adjacent to the vicinity of the right side of the upper end portion of the corresponding pressure chamber 10 in plan view in FIG. In the first and fourth pressure chamber rows 11 a and 11 d, the region of more than half of the pressure chambers 10 a and 10 d overlaps the manifold channel 5 when viewed from the third direction. In the second and third pressure chamber rows 11b and 11c, almost all the regions of the pressure chambers 10b and 10c do not overlap the manifold channel 5a when viewed from the third direction. Therefore, for the pressure chambers 10 belonging to any pressure chamber row, the width of the manifold channel 5 is made as wide as possible while preventing the nozzle 8 communicating therewith from overlapping with the manifold channel 5a. Ink can be supplied smoothly.

なお、流路ユニット４のキャビティプレート２２には、マニホールド流路５Ｃとマニホールド流路５Ｋ間の領域と重なる位置において、複数の空隙６０が形成されている。複数の空隙６０は圧力室１０と同じように配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向に隣接配置されている。配列方向Ａに沿う複数の空隙６０は、互いに平行な４列の空隙列６１を形成しており、それら４列の空隙列６１によって空隙群６２が構成されている。空隙群６２の複数の空隙６０は、キャビティプレート２２に形成された圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する孔がアクチュエータユニット２１及びベースプレート２３によって塞がれることによって画定されている。つまり、空隙６０にはインク流路が接続されていないため、複数の空隙６０はインクで満たされることがない。また、流路ユニット４のインク吐出面７０ａにおいて、空隙６０と連なるノズルが空隙群６２と対向する位置に形成されていないため、インク吐出面７０ａに形成されたインク吐出領域がブラック色のインクを吐出するブラック領域とマゼンタ、イエロー及びシアン色のインクを吐出するカラー領域とに分けられることになる。このようにインク吐出領域がカラー領域とブラック領域とに分けられることで、ブラック色のインクだけをパージするためのキャップを配置しやすくなる。なお、空隙群６２をキャビティプレート２２に形成する理由は、インクの吐出を行う圧力室１０に対する剛性の均一化によりインク吐出特性を改善するためである。   A plurality of gaps 60 are formed in the cavity plate 22 of the flow path unit 4 at positions that overlap with the area between the manifold flow path 5C and the manifold flow path 5K. The plurality of gaps 60 are arranged adjacent to each other in two directions of the arrangement direction A and the arrangement direction B in the same manner as the pressure chamber 10. The plurality of gaps 60 along the arrangement direction A form four rows of gaps 61 parallel to each other, and these four rows of gaps 61 constitute a gap group 62. The plurality of gaps 60 of the gap group 62 are defined by the holes having the same shape and the same size as the pressure chambers 10 formed in the cavity plate 22 being closed by the actuator unit 21 and the base plate 23. That is, since the ink flow path is not connected to the gap 60, the plurality of gaps 60 are not filled with ink. Further, on the ink discharge surface 70 a of the flow path unit 4, the nozzle connected to the gap 60 is not formed at a position facing the gap group 62, so that the ink discharge area formed on the ink discharge surface 70 a uses black ink. It is divided into a black area to be ejected and a color area to eject magenta, yellow and cyan inks. As described above, the ink discharge area is divided into the color area and the black area, so that it is easy to dispose a cap for purging only the black ink. The reason why the gap group 62 is formed in the cavity plate 22 is to improve ink ejection characteristics by making the rigidity uniform with respect to the pressure chamber 10 that ejects ink.

次に、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。アクチュエータユニット２１上には、圧力室１０と同じ配列パターンで多数の個別電極３５がマトリクス状に配置されている。各個別電極３５は、平面視において圧力室１０と対向する位置に配置されている。このように複数の圧力室１０及び個別電極３５が規則正しく配置されていることで、設計が容易になる。   Next, the configuration of the actuator unit 21 will be described. On the actuator unit 21, a large number of individual electrodes 35 are arranged in a matrix with the same arrangement pattern as the pressure chambers 10. Each individual electrode 35 is disposed at a position facing the pressure chamber 10 in plan view. In this way, the plurality of pressure chambers 10 and the individual electrodes 35 are regularly arranged, so that the design is facilitated.

図７は、アクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図６における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。図８は、図４に示す２点鎖線で囲まれた領域を示す拡大図である。なお、図７（ａ）においては各個別電極３５と電気的に接続されたＦＰＣ５０を２点鎖線で描いている。また、図８を分かりやすくするために、本来、破線で描かれるアクチュエータユニット２１の個別電極３５及びＦＰＣ５０の端子４６、配線４８を実線で描いている。図７（ａ）、（ｂ）に示すように、個別電極３５は圧力室１０と対向する位置に配置されており、平面視において圧力室１０の平面領域内に形成された主電極領域３５ａと、主電極領域３５ａにつながっており且つ圧力室１０の平面領域外に形成された補助電極領域３５ｂとから構成されている。   7A and 7B show the actuator unit, in which FIG. 7A is an enlarged view of a portion surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. 6, and FIG. 7B is a plan view of an individual electrode. FIG. 8 is an enlarged view showing a region surrounded by a two-dot chain line shown in FIG. In FIG. 7A, the FPC 50 electrically connected to each individual electrode 35 is drawn with a two-dot chain line. In order to make FIG. 8 easy to understand, the individual electrodes 35 of the actuator unit 21, the terminals 46 of the FPC 50, and the wirings 48, which are originally drawn with broken lines, are drawn with solid lines. As shown in FIGS. 7A and 7B, the individual electrode 35 is disposed at a position facing the pressure chamber 10, and a main electrode region 35a formed in the plane region of the pressure chamber 10 in plan view. The auxiliary electrode region 35 b is connected to the main electrode region 35 a and is formed outside the plane region of the pressure chamber 10.

図７（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート１４，１５，１６，１７を含んでいる。これら圧電シート１４〜１７は、ヘッド本体７０内のインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート１４〜１７が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート１４上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート１４〜１７は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。   As shown in FIG. 7A, the actuator unit 21 includes four piezoelectric sheets 14, 15, 16, and 17 formed to have the same thickness of about 15 μm. The piezoelectric sheets 14 to 17 are continuous layered flat plates (continuous flat plate layers) so as to be disposed across a large number of pressure chambers 10 formed in the ink discharge region in the head main body 70. Since the piezoelectric sheets 14 to 17 are arranged as a continuous flat plate layer across a large number of pressure chambers 10, the individual electrodes 35 can be arranged on the piezoelectric sheet 14 at a high density by using, for example, a screen printing technique. It has become. For this reason, the pressure chambers 10 formed at positions corresponding to the individual electrodes 35 can be arranged with high density, and high-resolution images can be printed. The piezoelectric sheets 14 to 17 are made of a lead zirconate titanate (PZT) ceramic material having ferroelectricity.

最上層の圧電シート１４上に形成された個別電極３５の主電極領域３５ａは、図７（ｂ）に示すように、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の主電極領域３５ａにおける一方の鋭角部は延出され、補助電極領域３５ｂとつながっている。補助電極領域３５ｂの先端には、個別電極３５と電気的に接続された円形のランド部３６が設けられている。図７（ｂ）に示すように、ランド部３６は、キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない領域に対向している。ランド部３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図７（ａ）に示すように、補助電極領域３５ｂにおける表面上に形成されている。   As shown in FIG. 7B, the main electrode region 35a of the individual electrode 35 formed on the uppermost piezoelectric sheet 14 has a substantially rhombic planar shape that is substantially similar to the pressure chamber 10. One acute angle portion of the substantially rhomboid main electrode region 35a extends and is connected to the auxiliary electrode region 35b. A circular land portion 36 electrically connected to the individual electrode 35 is provided at the tip of the auxiliary electrode region 35b. As shown in FIG. 7B, the land portion 36 faces a region where the pressure chamber 10 is not formed in the cavity plate 22. The land portion 36 is made of, for example, gold containing glass frit, and is formed on the surface of the auxiliary electrode region 35b as shown in FIG.

図８に示すように、複数の個別電極３５は圧力室列１１と同様に配列方向Ａに沿って互いに平行に配列された複数の個別電極列３７を形成している。隣接する個別電極列３７同士では、列中で隣接する個別電極３５の間に別の列中の個別電極３５が位置するように配置されている。ちょうど、配列方向Ａにおける個別電極３５の配列間隔（ピッチ）の１／２だけずれている。全体的には、複数の個別電極３５が、配列方向Ａに沿って千鳥状配列パターンで形成されている。つまり、第４の方向に沿う複数の個別電極３５が互いに平行な複数の個別電極行を形成しており、隣り合う２つの個別電極行に属する個別電極３５が互いに異なる個別電極列３７に属している。複数の個別電極列３７は圧力室列１１ａ〜１１ｄに対応する個別電極列３７ａ〜３７ｄに分けられている。これら個別電極列３７ａ〜３７ｄを１つの群として、４つの圧力室群１２に対応する４つの個別電極群３８が構成されている。各個別電極列３７は、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の基端側（図８における下方側）に形成された個別電極３５と、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の先端側（図８における上方側）に形成された個別電極３５とを含んでいる。配列方向Ａには、各補助電極領域３５ｂがＦＰＣ５０の基端側と先端側とを交互に向くように配置されている。また、個別電極群３８において、配列方向Ｂについても、各補助電極領域３５ｂがＦＰＣ５０の基端側又は先端側を交互に向くように配列されている。つまり、図８に示すように、個別電極行において、補助電極領域３５ｂがＦＰＣ５０の基端側にある個別電極３５と先端側にある個別電極３５とが第４の方向に沿って交互に配置されている。   As shown in FIG. 8, the plurality of individual electrodes 35 form a plurality of individual electrode rows 37 arranged in parallel with each other along the arrangement direction A in the same manner as the pressure chamber row 11. In the adjacent individual electrode rows 37, the individual electrodes 35 in another row are arranged between the adjacent individual electrodes 35 in the row. It is just shifted by ½ of the arrangement interval (pitch) of the individual electrodes 35 in the arrangement direction A. Overall, a plurality of individual electrodes 35 are formed in a staggered arrangement pattern along the arrangement direction A. That is, the plurality of individual electrodes 35 along the fourth direction form a plurality of individual electrode rows parallel to each other, and the individual electrodes 35 belonging to two adjacent individual electrode rows belong to different individual electrode columns 37. Yes. The plurality of individual electrode rows 37 are divided into individual electrode rows 37a to 37d corresponding to the pressure chamber rows 11a to 11d. With these individual electrode rows 37a to 37d as one group, four individual electrode groups 38 corresponding to the four pressure chamber groups 12 are configured. Each individual electrode row 37 includes an individual electrode 35 in which the auxiliary electrode region 35b is formed on the base end side (lower side in FIG. 8) of the FPC 50 with respect to the main electrode region 35a, and the auxiliary electrode region 35b in the main electrode region 35a. On the other hand, an individual electrode 35 formed on the front end side (upper side in FIG. 8) of the FPC 50 is included. In the arrangement direction A, the auxiliary electrode regions 35b are arranged so as to alternately face the proximal end side and the distal end side of the FPC 50. Further, in the individual electrode group 38, also in the arrangement direction B, the auxiliary electrode regions 35b are arranged so as to alternately face the proximal end side or the distal end side of the FPC 50. That is, as shown in FIG. 8, in the individual electrode rows, the auxiliary electrode regions 35b are alternately arranged along the fourth direction with the individual electrodes 35 on the proximal end side of the FPC 50 and the individual electrodes 35 on the distal end side. ing.

本実施形態では、カラーインクを吐出する領域（カラー領域）とブラックインクを吐出する領域（ブラック領域）との間に、個別電極３５の配置が不要な４列の空隙列６１が介在している。しかし、行中における補助電極領域３５ｂの配置の規則性はこれら２つの領域を跨いで連続している。空隙列６１が介在しない場合でも、このような規則性の連続は重要で、個別電極３５が配置される領域の全域に亘って、ＦＰＣ５０の配線を無理のない間隔で引き回すことができる。なお、本実施の形態のように複数の領域を個別電極行が跨ぐような場合には、領域間で上述の規則性が不連続であってもよい。つまり、介在する個別電極不要領域が一種の緩衝領域となってＦＰＣ５０の配線間隔を規制することはない。   In the present embodiment, four rows of gaps 61 in which the arrangement of the individual electrodes 35 is unnecessary are interposed between the region for discharging the color ink (color region) and the region for discharging the black ink (black region). . However, the regularity of the arrangement of the auxiliary electrode regions 35b in the row is continuous across these two regions. Even when the gap row 61 is not interposed, the continuity of such regularity is important, and the wiring of the FPC 50 can be routed at a reasonable interval over the entire region where the individual electrodes 35 are disposed. Note that when the individual electrode rows straddle a plurality of regions as in the present embodiment, the above-described regularity may be discontinuous between the regions. That is, the intervening individual electrode unnecessary region becomes a kind of buffer region, and the wiring interval of the FPC 50 is not restricted.

図７に戻って最上層の圧電シート１４とその下側の圧電シート１５との間には、圧電シート１４と同じ外形及び略２μｍの厚みを有する共通電極３４が介在している。個別電極３５及び共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。   Returning to FIG. 7, a common electrode 34 having the same outer shape as the piezoelectric sheet 14 and a thickness of approximately 2 μm is interposed between the uppermost piezoelectric sheet 14 and the lower piezoelectric sheet 15. Both the individual electrode 35 and the common electrode 34 are made of, for example, a metal material such as an Ag—Pd system.

共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しく一定の電位、本実施の形態ではグランド電位に保たれている。   The common electrode 34 is grounded in a region not shown. As a result, the common electrode 34 is kept at an equally constant potential in the region corresponding to all the pressure chambers 10, that is, the ground potential in the present embodiment.

ＦＰＣ５０は、図７（ａ）に示すように、ベースフィルム４９と、その下面に形成された複数の配線４８と、ベースフィルム４９の下面のほぼ全体を覆うカバーフィルム５２と、を含む。ベースフィルム４９は略２５μｍ、配線４８は略９μｍ、カバーフィルム５２は略２０μｍの厚みをそれぞれ有する。カバーフィルム５２には、配線４８より小さな面積の貫通孔５３が、アクチュエータユニット２１に形成されたランド部３６に対応して複数形成されている。ベースフィルム４９、配線４８、及び、カバーフィルム５２は、各貫通孔５３の中心と配線４８の中心線とが対応し、配線４８の外周縁部分がカバーフィルム５２に覆われるよう、互いに位置合わせして積層される。ＦＰＣ５０の端子４６は、貫通孔５３を介して、配線４８と接続されている。   As shown in FIG. 7A, the FPC 50 includes a base film 49, a plurality of wirings 48 formed on the lower surface thereof, and a cover film 52 that covers substantially the entire lower surface of the base film 49. The base film 49 has a thickness of approximately 25 μm, the wiring 48 has a thickness of approximately 9 μm, and the cover film 52 has a thickness of approximately 20 μm. A plurality of through holes 53 having an area smaller than the wiring 48 are formed in the cover film 52 corresponding to the land portions 36 formed in the actuator unit 21. The base film 49, the wiring 48, and the cover film 52 are aligned with each other so that the center of each through-hole 53 corresponds to the center line of the wiring 48 and the outer peripheral edge of the wiring 48 is covered with the cover film 52. Are stacked. The terminal 46 of the FPC 50 is connected to the wiring 48 through the through hole 53.

ベースフィルム４９及びカバーフィルム５２は、いずれも絶縁性を有するシート部材である。本実施形態において、ベースフィルム４９はポリイミド樹脂からなり、カバーフィルム５２は感光性材料からなる。このようにカバーフィルム５２を感光性材料から構成することで、多数の貫通孔５３を形成するのが容易になる。   The base film 49 and the cover film 52 are both sheet members having insulation properties. In the present embodiment, the base film 49 is made of a polyimide resin, and the cover film 52 is made of a photosensitive material. By forming the cover film 52 from a photosensitive material in this way, it becomes easy to form a large number of through holes 53.

配線４８は、銅箔により形成されている。配線４８は、ドライバＩＣ７５と接続された配線であり、ベースフィルム４９の下面において、所定のパターンを形成している。   The wiring 48 is formed of copper foil. The wiring 48 is a wiring connected to the driver IC 75, and forms a predetermined pattern on the lower surface of the base film 49.

端子４６は、例えばニッケルなどの導電性材料から構成されている。端子４６は、貫通孔５３を塞ぐと共に、貫通孔５３の外側周縁を覆い、カバーフィルム５２の下面より突出して形成されている。端子４６の径は略５０μｍ、カバーフィルム４０下面からの厚みは略３０μｍである。   The terminal 46 is made of a conductive material such as nickel. The terminal 46 closes the through hole 53, covers the outer periphery of the through hole 53, and projects from the lower surface of the cover film 52. The diameter of the terminal 46 is about 50 μm, and the thickness from the lower surface of the cover film 40 is about 30 μm.

図８に示すように、ＦＰＣ５０の複数の端子４６は、個別電極３５のランド部３６に対向する位置に複数設けられており、各端子４６がそれぞれ１つのランド部３６と接合できるよう構成されている。また、各端子４６は配線４８がＦＰＣ５０の基端側及び先端側に向けて一方向（流路ユニット４の幅方向であって主走査方向）に引き出されており、ＦＰＣ５０の基端側に引き出された配線４８によって各端子４６が独立してドライバＩＣ７５に接続されている。これにより、圧力室１０ごとに電位を制御することが可能となっている。なお、本実施の形態のＦＰＣ５０においては、ＦＰＣ５０の端子４６にランド部３６と接続するための半田メッキを電解メッキで施すために、端子４６から配線４８がＦＰＣ５０の基端側及び先端側に向かって引き出されている。また、ＦＰＣ５０の各端子４６に半田メッキが施された後に、ＦＰＣ５０のアクチュエータユニット２１と対向する部分（ＦＰＣ５０の複数の端子４６が形成された領域）を残してＦＰＣ５０の先端側部分が切断され、図４に示すようなＦＰＣ５０の形態となっている。   As shown in FIG. 8, a plurality of terminals 46 of the FPC 50 are provided at positions facing the land portions 36 of the individual electrodes 35, and each terminal 46 is configured to be able to be joined to one land portion 36. Yes. Each terminal 46 has a wiring 48 drawn in one direction (the width direction of the flow path unit 4 and the main scanning direction) toward the base end side and the tip end side of the FPC 50, and is drawn out to the base end side of the FPC 50. Each terminal 46 is independently connected to the driver IC 75 by the wiring 48. As a result, the potential can be controlled for each pressure chamber 10. In the FPC 50 according to the present embodiment, since the solder plating for connecting to the land portion 36 is applied to the terminal 46 of the FPC 50 by electrolytic plating, the wiring 48 extends from the terminal 46 toward the proximal end side and the distal end side of the FPC 50. It has been pulled out. In addition, after solder plating is performed on each terminal 46 of the FPC 50, the tip side portion of the FPC 50 is cut leaving a portion facing the actuator unit 21 of the FPC 50 (a region where the plurality of terminals 46 of the FPC 50 are formed) It is in the form of an FPC 50 as shown in FIG.

また、ＦＰＣ５０の各端子４６から引き出された複数の配線４８のうち、当該端子４６から引き出された配線４８以外の配線４８が当該端子４６の周辺領域を避けて配線非形成領域３９を形成するように屈曲している。また、ＦＰＣ５０の各端子４６から引き出された配線４８は、端子４６周辺領域に挟まれた領域においてほぼ等間隔に配設されている。   Further, among the plurality of wirings 48 drawn out from each terminal 46 of the FPC 50, the wirings 48 other than the wiring 48 drawn out from the terminal 46 form a wiring non-formation region 39 while avoiding the peripheral region of the terminal 46. Is bent. Further, the wirings 48 drawn out from the respective terminals 46 of the FPC 50 are arranged at almost equal intervals in a region sandwiched between the peripheral regions of the terminals 46.

次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート１４の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート１４を活性部が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート１５〜１７を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート１４中の電極に挟まれた電界印加部分が活性部（圧力発生部）として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。   Next, a method for driving the actuator unit 21 will be described. The polarization direction of the piezoelectric sheet 14 in the actuator unit 21 is the thickness direction thereof. In other words, the actuator unit 21 includes the upper piezoelectric element 14 (that is, away from the pressure chamber 10) as a layer in which the active portion exists and the lower piezoelectric element 10 (that is, close to the pressure chamber 10). It has a so-called unimorph type structure in which 15 to 17 are inactive layers. Therefore, when the individual electrode 35 is set to a positive or negative predetermined potential, for example, if the electric field and polarization are in the same direction, the electric field application portion sandwiched between the electrodes in the piezoelectric sheet 14 acts as an active portion (pressure generating portion), Shrink in the direction perpendicular to the polarization direction due to the piezoelectric transverse effect.

本実施の形態では、圧電シート１４において個別電極３５と共通電極３４とによって挟まれた部分は、電界が印加されると圧電効果によって歪みを発生する活性部として働く。一方、圧電シート１４の下方にある３枚の圧電シート１５〜１７は、外部から電界が印加されることが無く、そのために活性部としてほとんど機能しない。したがって、圧電シート１４において主に主電極領域３５ａと共通電極３４とによって挟まれた部分が、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。   In the present embodiment, the portion sandwiched between the individual electrode 35 and the common electrode 34 in the piezoelectric sheet 14 functions as an active portion that generates distortion due to the piezoelectric effect when an electric field is applied. On the other hand, the three piezoelectric sheets 15 to 17 below the piezoelectric sheet 14 are not applied with an electric field from the outside, and therefore hardly function as active parts. Therefore, a portion of the piezoelectric sheet 14 sandwiched mainly between the main electrode region 35a and the common electrode 34 is contracted in a direction perpendicular to the polarization direction due to the piezoelectric lateral effect.

一方、圧電シート１５〜１７は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート１４と下層の圧電シート１５〜１７との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート１４〜１７全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図７（ａ）に示したように、圧電シート１４〜１７で構成されたアクチュエータユニット２１の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート）２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート１４〜１７は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート１４〜１７は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド流路５側から吸い込む。   On the other hand, since the piezoelectric sheets 15 to 17 are not affected by the electric field and are not spontaneously displaced, the piezoelectric sheets 15 to 17 are not displaced in the direction perpendicular to the polarization direction between the upper piezoelectric sheet 14 and the lower piezoelectric sheets 15 to 17. A difference is caused in the distortion, and the whole piezoelectric sheets 14 to 17 try to be deformed so as to be convex on the non-active side (unimorph deformation). At this time, as shown in FIG. 7A, the lower surface of the actuator unit 21 constituted by the piezoelectric sheets 14 to 17 is fixed to the upper surface of the partition wall (cavity plate) 22 that partitions the pressure chamber. Specifically, the piezoelectric sheets 14 to 17 are deformed so as to protrude toward the pressure chamber. For this reason, the volume of the pressure chamber 10 is reduced, the pressure of the ink is increased, and the ink is ejected from the nozzle 8. Thereafter, when the individual electrode 35 is returned to the same potential as that of the common electrode 34, the piezoelectric sheets 14 to 17 return to the original shape and the volume of the pressure chamber 10 returns to the original volume, so that ink is sucked from the manifold channel 5 side. .

なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート１４〜１７が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクがマニホールド流路５側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート１４〜１７が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。こうして、ノズル８からインクが吐出されると共に、インクジェットヘッド１が適宜、主走査方向に移動され用紙に所望画像が印刷される。   As another driving method, the individual electrode 35 is set to a potential different from that of the common electrode 34 in advance, and the individual electrode 35 is once set to the same potential as the common electrode 34 every time there is an ejection request, and then again individually at a predetermined timing. The electrode 35 can be at a different potential from the common electrode 34. In this case, when the individual electrodes 35 and the common electrode 34 are at the same potential, the piezoelectric sheets 14 to 17 return to the original shape, so that the volume of the pressure chamber 10 is in an initial state (the potentials of the two electrodes are different). ) And the ink is sucked into the pressure chamber 10 from the manifold channel 5 side. Thereafter, at the timing when the individual electrode 35 is set to a potential different from that of the common electrode 34 again, the piezoelectric sheets 14 to 17 are deformed so as to protrude toward the pressure chamber 10, and the pressure on the ink increases due to the volume reduction of the pressure chamber 10. Ink is ejected. In this way, ink is ejected from the nozzles 8 and the inkjet head 1 is appropriately moved in the main scanning direction to print a desired image on the paper.

以上のようなインクジェットヘッド１によると、アクチュエータユニット２１の複数の個別電極３５と電気的に接続されたＦＰＣ５０の端子４６から引き出された複数の配線４８の間隔を比較的大きな間隔にすることが可能になる。つまり、図８に示すようにＦＰＣ５０の基端側に最も近いアクチュエータユニット２１の個別電極列３７ｃには、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の先端側にある個別電極３５と、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の基端側にある個別電極３５とが交互に存在している。そのため、上記公報のように隣接する個別電極３５の補助電極領域３５ｂが同方向を向いて配置されたのと比較して、隣接する補助電極領域３５ｂ間の距離が２倍に長くなっている。すなわち、個別電極列３７ｃにおいて、互いに隣接する３つの個別電極３５を考えたときに、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の基端側にある２つの個別電極３５に挟まれた個別電極３５の補助電極領域３５ｂがＦＰＣ５０の先端側にあるので、配列方向Ａに平行な方向において隣接する補助電極領域３５ｂ間の距離が長くなる。そのため、ＦＰＣ５０の基端に最も近い個別電極３５に対応して形成されたＦＰＣ５０の各端子４６の各々に接続された配線４８の幅や間隔を広くすることができる。したがって、ＦＰＣ５０の作製のときに、ＦＰＣ５０の配線４８間隔が広くなっているので、その作製が容易になる。しかも、アクチュエータユニットのサイズの大きくして個別電極３５のランド部３６の間隔を広げてランド部３６に接続されるＦＰＣ５０の端子４６の間隔を広げるとともに配線４８の間隔を広げる必要がなくなり、インクジェットヘッドのサイズの大型化も防ぐことができる。また、画像の高解像度化や圧力室の高密度化に容易に対応することができる。   According to the ink jet head 1 as described above, it is possible to make the interval between the plurality of wirings 48 drawn from the terminals 46 of the FPC 50 electrically connected to the plurality of individual electrodes 35 of the actuator unit 21 relatively large. become. That is, as shown in FIG. 8, in the individual electrode row 37c of the actuator unit 21 closest to the base end side of the FPC 50, the auxiliary electrode region 35b has the individual electrode 35 on the tip side of the FPC 50 with respect to the main electrode region 35a, The auxiliary electrode regions 35b alternately exist with the individual electrodes 35 on the base end side of the FPC 50 with respect to the main electrode region 35a. Therefore, the distance between the adjacent auxiliary electrode regions 35b is doubled compared to the case where the auxiliary electrode regions 35b of the adjacent individual electrodes 35 are arranged in the same direction as in the above publication. That is, in the individual electrode row 37c, when considering the three individual electrodes 35 adjacent to each other, the auxiliary electrode region 35b is sandwiched between the two individual electrodes 35 on the proximal end side of the FPC 50 with respect to the main electrode region 35a. Since the auxiliary electrode region 35b of the individual electrode 35 is on the tip side of the FPC 50, the distance between the adjacent auxiliary electrode regions 35b in the direction parallel to the arrangement direction A becomes longer. Therefore, the width and interval of the wirings 48 connected to each terminal 46 of the FPC 50 formed corresponding to the individual electrode 35 closest to the base end of the FPC 50 can be increased. Therefore, when the FPC 50 is manufactured, the interval between the wirings 48 of the FPC 50 is widened, so that the manufacture becomes easy. Moreover, it is not necessary to increase the size of the actuator unit to increase the interval between the land portions 36 of the individual electrodes 35 to increase the interval between the terminals 46 of the FPC 50 connected to the land portion 36 and increase the interval between the wirings 48. An increase in the size of can also be prevented. In addition, it is possible to easily cope with higher image resolution and higher pressure chamber density.

また、インクジェットヘッド１のアクチュエータユニット２１に形成されたすべての個別電極列３７において、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の先端側にある個別電極３５と、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の基端側にある個別電極３５とが交互に存在しているので、すべての個別電極列に対応して形成された端子４６の各々に接続された配線４８の幅や間隔を全域に亘って均等に広くすることができる。したがって、ＦＰＣ５０の作製がさらに容易になる。また、複数の圧力室１０で構成される圧力室群１２の平面形状の自由度が増す。つまり、複数の個別電極３５にそれぞれ対向する複数の圧力室１０がなす圧力室群の形状がどのような平面形状になっていても、個別電極３５がなすいずれの個別電極列においても、配列方向Ａに沿って交互に補助電極領域３５ｂが配置されておれば、補助電極領域３５ｂのランド部３６の間隔が広がるので、ＦＰＣ５０の端子４６間隔も広がり且つ端子４６から引き出された配線４８の幅や間隔も広がる。さらに、本実施の形態では、個別電極列の延在する方向に対して、ほぼ直交して配線４８が引き出されている。このことは、同じランド部３６の同幅であっても、配線幅や配線間隔を狭めることなくより多くの配線４８を配設できることに寄与している。   Further, in all the individual electrode rows 37 formed in the actuator unit 21 of the inkjet head 1, the auxiliary electrode region 35b is mainly provided with the individual electrode 35 on the front end side of the FPC 50 with respect to the main electrode region 35a and the auxiliary electrode region 35b. Since the individual electrodes 35 on the base end side of the FPC 50 are alternately present with respect to the electrode region 35a, the width of the wiring 48 connected to each of the terminals 46 formed corresponding to all the individual electrode rows. And the interval can be evenly widened over the entire area. Therefore, the manufacture of the FPC 50 is further facilitated. Further, the degree of freedom of the planar shape of the pressure chamber group 12 composed of the plurality of pressure chambers 10 is increased. That is, in any individual electrode row formed by the individual electrodes 35, the arrangement direction of the pressure chamber group formed by the plurality of pressure chambers 10 respectively facing the plurality of individual electrodes 35 is any plane shape. If the auxiliary electrode regions 35b are alternately arranged along the line A, the distance between the land portions 36 of the auxiliary electrode region 35b increases, so that the distance between the terminals 46 of the FPC 50 also increases and the width of the wiring 48 drawn from the terminal 46 increases. Spacing increases. Furthermore, in the present embodiment, the wiring 48 is drawn out substantially orthogonal to the direction in which the individual electrode rows extend. This contributes to the fact that a larger number of wirings 48 can be disposed without reducing the wiring width or wiring interval even if the same land portion 36 has the same width.

なお、本実施の形態におけるインクジェットヘッド１においては、アクチュエータユニット２１に形成された複数の個別電極３５がなす複数の個別電極列３７は、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の先端側にある個別電極３５と、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の基端側にある個別電極３５とが交互に配置されている。これにより、ランド部３６の同幅を広げることができ、高密度高解像度のインクジェットヘッド１が得られる。   In the inkjet head 1 according to the present embodiment, the plurality of individual electrode rows 37 formed by the plurality of individual electrodes 35 formed in the actuator unit 21 has the auxiliary electrode region 35b with respect to the main electrode region 35a. The individual electrodes 35 on the side and the individual electrodes 35 in which the auxiliary electrode regions 35b are on the proximal end side of the FPC 50 with respect to the main electrode region 35a are alternately arranged. Thereby, the same width of the land portion 36 can be increased, and the high-density and high-resolution inkjet head 1 can be obtained.

続いて、本発明の他の実施形態によるインクジェットヘッドについて、以下に説明する。図９は、本発明の他の実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。図１０は、図９のX−X線に沿った断面図である。インクジェットヘッド１００は、図９に示すように、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体１７０と、ヘッド本体１７０の上方に配置され且つ２つのインク溜まり１０３が形成されたベースブロック１７１と、ヘッド本体１７０の上面に接合されたＦＰＣ１５０とを含んでいる。   Subsequently, an inkjet head according to another embodiment of the present invention will be described below. FIG. 9 is an external perspective view of an inkjet head according to another embodiment of the present invention. 10 is a cross-sectional view taken along line XX in FIG. As shown in FIG. 9, the inkjet head 100 includes a head body 170 having a rectangular planar shape extending in the main scanning direction for ejecting ink onto a sheet, and two head bodies 170 disposed above the head body 170. A base block 171 in which the ink reservoir 103 is formed and an FPC 150 joined to the upper surface of the head main body 170 are included.

ヘッド本体１７０は、図１０に示すように、インク流路が形成された流路ユニット１０４と、流路ユニット１０４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤によって接着された複数のアクチュエータユニット１２１とを含んでいる。流路ユニット１０４は、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成である。また、ヘッド本体１７０の底面は微小径を有する多数のノズル１０８（図１３参照）が配列されたインク吐出面１７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット１２１の上面には、ＦＰＣ１５０が接合され左又は右に引き出されるとともに、ＦＰＣ１５０が図１０中において屈曲しながら上方に引き出されている。   As shown in FIG. 10, the head main body 170 includes a flow path unit 104 in which an ink flow path is formed, and a plurality of actuator units 121 bonded to the upper surface of the flow path unit 104 with an epoxy thermosetting adhesive. Is included. The flow path unit 104 has a configuration in which a plurality of thin plates are stacked and bonded to each other. The bottom surface of the head main body 170 is an ink ejection surface 170a on which a large number of nozzles 108 (see FIG. 13) having a minute diameter are arranged. Further, the FPC 150 is joined to the upper surface of the actuator unit 121 and pulled out to the left or right, and the FPC 150 is pulled upward while being bent in FIG.

図１１は、ＦＰＣ１５０が接合されたヘッド本体１７０を上方から見た平面図である。図１１に示すように、流路ユニット１０４は、主走査方向に延在した矩形平面形状を有し、その内部にマニホールド流路１０５が設けられている。このマニホールド流路１０５は、流路ユニット４の長手方向（主走査方向）と平行に延在する複数の副マニホールド流路１０５ａに分岐しており、ベースブロック１７１からのインクが開口（インク供給口）１０３ａを通じて供給される。   FIG. 11 is a plan view of the head main body 170 to which the FPC 150 is bonded as seen from above. As shown in FIG. 11, the flow path unit 104 has a rectangular planar shape extending in the main scanning direction, and a manifold flow path 105 is provided therein. The manifold channel 105 is branched into a plurality of sub-manifold channels 105a extending in parallel with the longitudinal direction (main scanning direction) of the channel unit 4, and ink from the base block 171 is opened (ink supply port). ) 103a.

流路ユニット１０４の上面には、平面形状が台形である４つのアクチュエータユニット１２１が、開口１０３ａを避けるように、千鳥状で２列に配列されて接着されている。各アクチュエータユニット１２１は、その平行対向辺（上辺及び下辺）が流路ユニット１０４の長手方向に沿うように配置されている。複数の開口１０３ａは流路ユニット１０４の長手方向に沿って２列に配列されており、各列５個、計１０個の開口１０３ａがアクチュエータユニット１２１と干渉しない位置に設けられている。そして、隣接するアクチュエータユニット１２１の斜辺同士が、流路ユニット１０４の幅方向（副走査方向）に部分的にオーバーラップしている。   On the upper surface of the flow path unit 104, four actuator units 121 having a trapezoidal planar shape are arranged in a zigzag manner and bonded in two rows so as to avoid the openings 103a. Each actuator unit 121 is arranged such that its parallel opposing sides (upper side and lower side) are along the longitudinal direction of the flow path unit 104. The plurality of openings 103 a are arranged in two rows along the longitudinal direction of the flow path unit 104, and a total of ten openings 103 a in each row are provided at positions where they do not interfere with the actuator unit 121. The oblique sides of the adjacent actuator units 121 partially overlap in the width direction (sub-scanning direction) of the flow path unit 104.

インク吐出面１７０ａには、アクチュエータユニット１２１の接着領域に対応する領域ごとに、多数のノズル１０８がマトリクス状に配列されて、インク吐出領域が形成されている。各アクチュエータユニット１２１の接着領域には、多数の圧力室１１０（図１３参照）がマトリクス状に配列されて、圧力室群１０９が形成されている。言い換えると、アクチュエータユニット１２１は、圧力室群１０９を構成する多数の圧力室１１０に跨る寸法を有している。   On the ink discharge surface 170a, an ink discharge region is formed by arranging a large number of nozzles 108 in a matrix for each region corresponding to the adhesion region of the actuator unit 121. In the adhesion region of each actuator unit 121, a number of pressure chambers 110 (see FIG. 13) are arranged in a matrix to form a pressure chamber group 109. In other words, the actuator unit 121 has a dimension that spans a large number of pressure chambers 110 constituting the pressure chamber group 109.

図１０に戻って、ベースブロック１７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック１７１内のインク溜まり１０３は、ベースブロック１７１の長手方向に沿って延在する略直方体の中空領域である。インク溜まり１０３は、その一端に設けられた開口（図示せず）を通じて外部に設置されたインクタンク（図示せず）からインクが供給され、常にインクで満たされている。インク溜まり１０３には、インクを流出するための開口１０３ｂが、その延在方向に沿って２列に計１０個設けられている。これら開口１０３ｂは、流路ユニット１０４の開口１０３ａと接続されるように千鳥状に設けられている。すなわち、インク溜まり１０３の１０個の開口１０３ｂと流路ユニット１０４の１０個の開口１０３ａは、平面視において、同じ位置関係となるように設けられている。   Returning to FIG. 10, the base block 171 is made of a metal material such as stainless steel. The ink reservoir 103 in the base block 171 is a substantially rectangular parallelepiped hollow region extending along the longitudinal direction of the base block 171. The ink reservoir 103 is supplied with ink from an ink tank (not shown) installed outside through an opening (not shown) provided at one end thereof, and is always filled with ink. The ink reservoir 103 is provided with a total of ten openings 103b for discharging ink in two rows along the extending direction. These openings 103 b are provided in a staggered manner so as to be connected to the openings 103 a of the flow path unit 104. That is, the ten openings 103b of the ink reservoir 103 and the ten openings 103a of the flow path unit 104 are provided to have the same positional relationship in plan view.

ベースブロック１７１の下面１７３は、開口１０３ｂの近傍部分１７３ａにおいて周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック１７１は、この近傍部分１７３ａにおいてのみ流路ユニット１０４の開口１０３ａの近傍部分と接触している。そのため、開口１０３ｂの近傍部分１７３ａ以外の領域は、ヘッド本体１７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット１２１が配されている。本実施の形態では、アクチュエータユニット１２１に接続されたＦＰＣ１５０と下面１７３との間に所定の間隙が残されている。   The lower surface 173 of the base block 171 protrudes downward from the periphery in the vicinity 173a of the opening 103b. The base block 171 is in contact with the vicinity of the opening 103a of the flow path unit 104 only at the vicinity 173a. Therefore, a region other than the vicinity portion 173a of the opening 103b is separated from the head main body 170, and the actuator unit 121 is disposed in this separated portion. In the present embodiment, a predetermined gap is left between the FPC 150 connected to the actuator unit 121 and the lower surface 173.

ホルダ１７２は、ベースブロック１７１を把持する把持部１７２ａと、副走査方向に間隔をおいて設けられ把持部１７２ａの上面から上方に向けて突出する一対の突出部１７２ｂとを含んでいる。ベースブロック１７１は、ホルダ１７２の把持部１７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。アクチュエータユニット１２１に接続されたＦＰＣ１５０は、スポンジなどの弾性部材１８３を介してホルダ１７２の突出部１７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。そして、ホルダ１７２の突出部１７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ１５０上にドライバＩＣ１８０が設置されている。ＦＰＣ１５０は、ドライバＩＣ１８０から出力された駆動信号をヘッド本体１７０のアクチュエータユニット１２１に伝達するものであり、アクチュエータユニット１２１及びドライバＩＣ１８０とは半田付けによって電気的に接合されている。   The holder 172 includes a gripping portion 172a that grips the base block 171 and a pair of projecting portions 172b that are provided at intervals in the sub-scanning direction and project upward from the upper surface of the gripping portion 172a. The base block 171 is adhesively fixed in a recess formed in the lower surface of the grip portion 172a of the holder 172. The FPCs 150 connected to the actuator unit 121 are respectively arranged along the surface of the protruding portion 172b of the holder 172 via an elastic member 183 such as a sponge. A driver IC 180 is installed on the FPC 150 arranged on the surface of the protrusion 172b of the holder 172. The FPC 150 transmits a drive signal output from the driver IC 180 to the actuator unit 121 of the head main body 170, and the actuator unit 121 and the driver IC 180 are electrically joined by soldering.

ドライバＩＣ１８０の外側表面には略直方体形状のヒートシンク１８２が密着配置されているため、ドライバＩＣ１８０で発生した熱を効率的に散逸させることができる。ドライバＩＣ１８０及びヒートシンク１８２の上方においては、ＦＰＣ１５０の外側に接続された基板１８１が配置されている。ヒートシンク１８２の上面と基板１８１との間、および、ヒートシンク１８２の下面とＦＰＣ１５０との間は、それぞれシール部材１８４で接着されており、インクジェットヘッド１００の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。   Since the heat sink 182 having a substantially rectangular parallelepiped shape is closely disposed on the outer surface of the driver IC 180, the heat generated by the driver IC 180 can be efficiently dissipated. A substrate 181 connected to the outside of the FPC 150 is disposed above the driver IC 180 and the heat sink 182. The upper surface of the heat sink 182 and the substrate 181 and the lower surface of the heat sink 182 and the FPC 150 are bonded by seal members 184, respectively, to prevent dust and ink from entering the main body of the inkjet head 100. Yes.

図１２は、図１１に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。図１２に示すように、流路ユニット１０４内のアクチュエータユニット１２１と対向する領域には、流路ユニット１０４の長手方向（主走査方向）と平行に４本の副マニホールド流路１０５ａが延在している。各副マニホールド流路１０５ａには、ノズル１０８の各々に通じる上述した個別インク流路７と同様な多数の個別インク流路１０７が接続されている（図１３参照）。   FIG. 12 is an enlarged plan view of a region surrounded by a dashed line drawn in FIG. As shown in FIG. 12, four sub-manifold channels 105 a extend in parallel to the longitudinal direction (main scanning direction) of the channel unit 104 in a region facing the actuator unit 121 in the channel unit 104. ing. A large number of individual ink channels 107 similar to the above-described individual ink channels 7 communicating with each of the nozzles 108 are connected to each sub-manifold channel 105a (see FIG. 13).

流路ユニット１０４上面の圧力室群１０９は、アクチュエータユニット１２１の外形とほぼ同じ大きさの台形形状を有し、各アクチュエータユニット１２１について１つずつ形成されている。圧力室群１０９に属する各圧力室１１０は、その長い対角線の一端（一方の鋭角部）においてノズル１０８に連通されていると共に、長い対角線の他端（他方の鋭角部）においてアパーチャ１１２に連通されている。後述するように、アクチュエータユニット１２１上には、平面形状がほぼ菱形で圧力室１１０よりも一回り小さい個別電極１３５（図１４参照）が、圧力室１１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図１２において、図面を分かりやすくするために、ＦＰＣ１５０の下方にあって破線で描くべきアクチュエータユニット１２１、圧力室１１０（圧力室群１０９）、アパーチャ１１２及びノズル１０８を実線で描いている。   The pressure chamber group 109 on the upper surface of the flow path unit 104 has a trapezoidal shape that is almost the same size as the outer shape of the actuator unit 121, and one pressure chamber is formed for each actuator unit 121. Each pressure chamber 110 belonging to the pressure chamber group 109 communicates with the nozzle 108 at one end (one acute angle portion) of the long diagonal, and communicates with the aperture 112 at the other end (the other acute angle portion) of the long diagonal. ing. As will be described later, on the actuator unit 121, individual electrodes 135 (see FIG. 14) whose planar shape is approximately rhombus and slightly smaller than the pressure chamber 110 are arranged in a matrix so as to face the pressure chamber 110. Yes. In FIG. 12, the actuator unit 121, the pressure chamber 110 (pressure chamber group 109), the aperture 112, and the nozzle 108, which are to be drawn by broken lines below the FPC 150, are drawn by solid lines for easy understanding of the drawing.

図１３は、図１２に示すXIII−XIII線に沿った断面図である。ヘッド本体１７０
は、図１３に示すように、上から、アクチュエータユニット１２１、キャビティプレート１２２、ベースプレート１２３、アパーチャプレート１２４、サプライプレート１２５、マニホールドプレート１２６、１２７、１２８、カバープレート１２９及びノズルプレート１３０が積層された積層構造を有している。こられのうち、アクチュエータユニット１２１を除いた９枚のプレート１２２〜１３０から流路ユニット１０４が構成されている。これらのプレート１２２〜１３０は、それぞれステンレス鋼などからなる金属プレートである。流路ユニット１０４は、上述した流路ユニット４とほぼ同様な構成を有している。つまり、キャビティプレート１２２には圧力室１１０、アパーチャプレート１２４にはアパーチャ１１２、３枚のマニホールドプレート１２６〜１２８にはそれぞれ副マニホールド流路１０５ａ（マニホールド流路１０５）、ノズルプレート１３０にはノズル１０８がそれぞれ設けられている。圧力室１１０、アパーチャ１１２等の流路の構成要素は、図１３に示すように、各プレートに形成された貫通孔により連通されて、個別インク流路７と同様の個別インク流路１０７が構成されている。この個別インク流路１０７は、流路ユニット１０４内で圧力室１１０毎に形成されている。なお、本実施の形態では、上述した流路ユニット４におけるマニホールドプレート２９が、カバープレート１２９と置き換わっている点で異なる。このカバープレート１２９には、マニホールド流路用の開口はない。 13 is a cross-sectional view taken along line XIII-XIII shown in FIG. Head body 170
As shown in FIG. 13, the actuator unit 121, the cavity plate 122, the base plate 123, the aperture plate 124, the supply plate 125, the manifold plates 126, 127, and 128, the cover plate 129, and the nozzle plate 130 are stacked from the top. It has a laminated structure. Among these, the flow path unit 104 is composed of nine plates 122 to 130 excluding the actuator unit 121. Each of these plates 122 to 130 is a metal plate made of stainless steel or the like. The channel unit 104 has substantially the same configuration as the channel unit 4 described above. That is, the pressure plate 110 is provided in the cavity plate 122, the aperture 112 is provided in the aperture plate 124, the sub manifold channel 105a (manifold channel 105) is provided in each of the three manifold plates 126 to 128, and the nozzle 108 is provided in the nozzle plate 130. Each is provided. As shown in FIG. 13, the components of the flow path such as the pressure chamber 110 and the aperture 112 are communicated by through holes formed in each plate, and the individual ink flow path 107 similar to the individual ink flow path 7 is configured. Has been. The individual ink flow path 107 is formed for each pressure chamber 110 in the flow path unit 104. Note that the present embodiment is different in that the manifold plate 29 in the flow path unit 4 described above is replaced with a cover plate 129. The cover plate 129 has no manifold channel opening.

図１２に戻って、圧力室１１０は、配列方向Ｅ及び配列方向Ｆの２方向にマトリクス状に隣接配置されるとともに、配列方向Ｅに沿って複数の圧力室１１０が千鳥状配列パターンで形成されている。配列方向Ｅは、インクジェットヘッド１００の長手方向、すなわち流路ユニット１０４の延在方向であって、圧力室１１０の短い方の対角線と平行である。配列方向Ｆは、配列方向Ｅと鈍角θ´をなす圧力室１１０の一斜辺方向である。そして、圧力室１１０の両方の鋭角部は、隣接する他の２つの圧力室の間に位置している。   Returning to FIG. 12, the pressure chambers 110 are adjacently arranged in a matrix in two directions of the arrangement direction E and the arrangement direction F, and a plurality of pressure chambers 110 are formed in a staggered arrangement pattern along the arrangement direction E. ing. The arrangement direction E is the longitudinal direction of the inkjet head 100, that is, the extending direction of the flow path unit 104, and is parallel to the shorter diagonal line of the pressure chamber 110. The arrangement direction F is an oblique side direction of the pressure chamber 110 that forms an obtuse angle θ ′ with the arrangement direction E. Both acute angle portions of the pressure chamber 110 are located between the other two adjacent pressure chambers.

図１２に示すように、圧力室１１０は、配列方向Ｅに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔して配列している。また、圧力室１１０は、配列方向Ｆに１６個並べられているとともに、図１２の紙面に対して垂直な方向から見て、配列方向Ｅと直交する方向Ｇに沿って８個並べられている。１つのアクチュエータユニット１２１内には、配列方向Ｅに延びる圧力室列１１１が互いに平行に１６列形成されており、全体として６００ｄｐｉの解像度で印字ができるようになっている。   As shown in FIG. 12, the pressure chambers 110 are arranged along the arrangement direction E by a distance corresponding to 37.5 dpi. 16 pressure chambers 110 are arranged in the arrangement direction F, and eight pressure chambers 110 are arranged along a direction G orthogonal to the arrangement direction E when viewed from the direction perpendicular to the paper surface of FIG. . In one actuator unit 121, 16 pressure chamber rows 111 extending in the arrangement direction E are formed in parallel with each other, and printing can be performed with a resolution of 600 dpi as a whole.

これら１６本の圧力室列１１１は、所定の間隔を介して隣接しており、圧力室群１０９が構成されている。圧力室列１１１は、図１２の紙面に対して垂直な方向からみて、副マニホールド流路１０５ａとの相対位置に応じて、第１の圧力室列１１１ａ、第２の圧力室列１１１ｂ、第３の圧力室列１１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１１ａ〜１１１ｄは、アクチュエータユニット２１の上辺から下辺に向けて、１１１ｃ→１１１ｄ→１１１ａ→１１１ｂ→１１１ｃ→１１１ｄ→…→１１１ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。   These 16 pressure chamber rows 111 are adjacent to each other at a predetermined interval, and a pressure chamber group 109 is configured. The pressure chamber row 111 has a first pressure chamber row 111a, a second pressure chamber row 111b, a third pressure chamber row 111, and a third pressure chamber row 111b according to the relative position with respect to the sub-manifold channel 105a as viewed from the direction perpendicular to the paper surface of FIG. Are divided into a pressure chamber row 111c and a fourth pressure chamber row 111d. The first to fourth pressure chamber rows 111a to 111d are periodically arranged in order of 111c → 111d → 111a → 111b → 111c → 111d → ... → 111b from the upper side to the lower side of the actuator unit 21. Has been placed.

第１の圧力室列１１１ａを構成する圧力室１１０ａ及び第２の圧力室列１１１ｂを構成する圧力室１１０ｂにおいては、配列方向Ｅと直交する方向にとった方向Ｇに関して、ノズル１０８が下側に偏在し、それぞれ対応する圧力室１０の下端部付近と対向している。一方、第３の圧力室列１１１ｃを構成する圧力室１１０ｃ及び第４の圧力室列１１１ｄを構成する圧力室１１０ｄにおいては、方向Ｇに関して、ノズル１０８が上側に偏在し、それぞれ対応する圧力室１１０の上端部付近と対向している。   In the pressure chamber 110a constituting the first pressure chamber row 111a and the pressure chamber 110b constituting the second pressure chamber row 111b, the nozzle 108 is located on the lower side with respect to the direction G taken in the direction orthogonal to the arrangement direction E. It is unevenly distributed and faces the vicinity of the lower end of the corresponding pressure chamber 10. On the other hand, in the pressure chamber 110c constituting the third pressure chamber row 111c and the pressure chamber 110d constituting the fourth pressure chamber row 111d, the nozzles 108 are unevenly distributed upward in the direction G, and the corresponding pressure chambers 110 respectively. It faces the vicinity of the upper end of the.

次に、アクチュエータユニット１２１について説明する。アクチュエータユニット１２１は、上述したアクチュエータユニット２１とほぼ同様な構成を有しており、図１３に示すように、４枚の圧電シート１４１〜１４４が積層され且つそのうちの最上層だけが電界印加時に活性部となる部分を有する層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）とされ、残り３層が活性部を有しない非活性層とされたものである。アクチュエータユニット１２１上には、図１２に示すように、平面形状がほぼひし形で圧力室１１０よりも一回り小さい個別電極１３５（図１４参照）が、圧力室１１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図１２には、図面を簡略にするために、複数の個別電極１３５のうちの幾つかだけを描いており、それらにはハッチングが施されている。このように複数の圧力室１１０及び個別電極１３５が規則正しく配置されていることで、設計が容易になる。   Next, the actuator unit 121 will be described. The actuator unit 121 has substantially the same configuration as the actuator unit 21 described above. As shown in FIG. 13, four piezoelectric sheets 141 to 144 are laminated, and only the uppermost layer is activated when an electric field is applied. A layer having a part to be a part (hereinafter simply referred to as “layer having an active part”), and the remaining three layers are inactive layers having no active part. On the actuator unit 121, as shown in FIG. 12, individual electrodes 135 (see FIG. 14) whose planar shape is almost diamond-shaped and slightly smaller than the pressure chamber 110 are arranged in a matrix so as to face the pressure chamber 110. Has been. In FIG. 12, only some of the plurality of individual electrodes 135 are drawn for the sake of simplicity, and hatching is applied to them. As described above, since the plurality of pressure chambers 110 and the individual electrodes 135 are regularly arranged, the design is facilitated.

図１４は、図１２に示す一点鎖線で囲まれた領域を示す拡大図である。なお、図１４において、図面を分かりやすくするために、本来、破線で描かれるアクチュエータユニット１２１上の個別電極１３５及びＦＰＣ１５０の端子１４６、配線４８を実線で描いている。図１３及び図１４に示すように、個別電極１３５は圧力室１１０と対向する位置に配置されており、平面視において圧力室１１０の平面領域内に形成された主電極領域１３５ａと、主電極領域１３５ａにつながっており且つ圧力室１１０の平面領域外に形成された補助電極領域１３５ｂとから構成されている。   FIG. 14 is an enlarged view showing a region surrounded by an alternate long and short dash line shown in FIG. In FIG. 14, the individual electrodes 135 on the actuator unit 121, the terminals 146 of the FPC 150, and the wirings 48, which are originally drawn with broken lines, are drawn with solid lines in order to make the drawing easier to understand. As shown in FIGS. 13 and 14, the individual electrode 135 is disposed at a position facing the pressure chamber 110, and a main electrode region 135 a formed in the planar region of the pressure chamber 110 in plan view, and the main electrode region The auxiliary electrode region 135b is connected to the 135a and formed outside the plane region of the pressure chamber 110.

図１３に示すように、４枚の圧電シート１４１〜１４４はそれぞれの厚みがほぼ同じである。これら圧電シート１４１〜１４４は、ヘッド本体１７０内のインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１１０に跨って配置されている。いずれも、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。   As shown in FIG. 13, the four piezoelectric sheets 141 to 144 have almost the same thickness. These piezoelectric sheets 141 to 144 are arranged across a large number of pressure chambers 110 formed in the ink discharge region in the head main body 170. Both are made of a ceramic material of lead zirconate titanate (PZT) having ferroelectricity.

最上層の圧電シート１４１上に形成された個別電極１３５の主電極領域１３５ａは、図１４に示すように、圧力室１１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の主電極領域１３５ａにおける一方の鋭角部は延出され、補助電極領域１３５ｂとつながっている。補助電極領域１３５ｂの先端には、個別電極１３５と電気的に接続された円形のランド部１３６が設けられている。ランド部１３６は、キャビティプレート１２２において圧力室１１０が形成されていない領域に対向している。ランド部１３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図１３に示すように、補助電極領域１３５ｂの表面上に形成されている。   As shown in FIG. 14, the main electrode region 135 a of the individual electrode 135 formed on the uppermost piezoelectric sheet 141 has a substantially rhombic planar shape that is substantially similar to the pressure chamber 110. One acute angle portion of the substantially rhomboid main electrode region 135a extends and is connected to the auxiliary electrode region 135b. A circular land portion 136 that is electrically connected to the individual electrode 135 is provided at the tip of the auxiliary electrode region 135b. The land portion 136 faces a region where the pressure chamber 110 is not formed in the cavity plate 122. The land portion 136 is made of, for example, gold containing glass frit, and is formed on the surface of the auxiliary electrode region 135b as shown in FIG.

図１４に示すように、複数の個別電極１３５は圧力室列１１１と同様に配列方向Ｅに沿って互いに平行に配列された複数の個別電極列１３７を構成している。複数の個別電極列１３７は圧力室列１１１ａ〜１１１ｄに対応する個別電極列１３７ａ〜１３７ｄに分けられている。各個別電極列１３７は、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の基端側（図１４における下方側）に形成された個別電極１３５と、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の先端側（図１４における上方側）に形成された個別電極１３５とを含んでおり、これらの補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の基端側又は先端側を向くように配列方向Ｅに沿って交互に配置されている。また、複数の個別電極１３５により、方向Ｇに沿って複数配列され互いに平行な複数の個別電極行１３８が形成されている。隣り合う２つの個別電極行１３８に属する個別電極１３５は互いに異なる個別電極列１３７に属している。また、行中の補助電極領域１３５ｂの配置方向により、２種類の個別電極行１３８がある。第１の個別電極行１３８ｂは、補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の先端側に形成された個別電極１３５の連続配置により構成されている。一方、第２の個別電極行１３８ａは、補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の基端側に形成された個別電極１３５により構成されたものである。そして、個別電極行１３８ａと個別電極行１３８ｂとは、配列方向Ｅに沿って２つずつ交互に配列されている。なお、各補助電極領域１３５ｂ（ランド部１３６）に対応して、ＦＰＣ１５０の端子１４６や配線４８が形成されることになるが、これにより、端子１４６の分布する全域で、端子間隔の広い部分が場所によらず確実にできるので、ＦＰＣ１５０における配線４８の幅や間隔に余裕が生まれる。   As shown in FIG. 14, the plurality of individual electrodes 135 form a plurality of individual electrode rows 137 arranged in parallel with each other along the arrangement direction E, like the pressure chamber row 111. The plurality of individual electrode rows 137 are divided into individual electrode rows 137a to 137d corresponding to the pressure chamber rows 111a to 111d. Each individual electrode row 137 includes an individual electrode 135 in which the auxiliary electrode region 135b is formed on the base end side (lower side in FIG. 14) of the FPC 150 with respect to the main electrode region 135a, and the auxiliary electrode region 135b in the main electrode region 135a. On the other hand, an individual electrode 135 formed on the front end side (the upper side in FIG. 14) of the FPC 150 is included, and these auxiliary electrode regions 135b are arranged along the arrangement direction E so as to face the base end side or the front end side of the FPC 150. Are alternately arranged. The plurality of individual electrodes 135 form a plurality of individual electrode rows 138 arranged in parallel along the direction G and parallel to each other. Individual electrodes 135 belonging to two adjacent individual electrode rows 138 belong to different individual electrode columns 137. Further, there are two types of individual electrode rows 138 depending on the arrangement direction of the auxiliary electrode regions 135b in the row. The first individual electrode row 138 b is configured by a continuous arrangement of individual electrodes 135 in which the auxiliary electrode region 135 b is formed on the front end side of the FPC 150. On the other hand, the second individual electrode row 138 a is configured by the individual electrode 135 in which the auxiliary electrode region 135 b is formed on the base end side of the FPC 150. The individual electrode rows 138a and the individual electrode rows 138b are alternately arranged two by two along the arrangement direction E. Note that the terminal 146 and the wiring 48 of the FPC 150 are formed corresponding to each auxiliary electrode region 135b (land portion 136). As a result, a portion having a wide terminal interval is distributed over the entire area where the terminals 146 are distributed. Since it can be surely performed regardless of the location, there is a margin in the width and interval of the wiring 48 in the FPC 150.

図１３に戻って最上層の圧電シート１４１とその下側の圧電シート１４２との間には、圧電シート１４１と同じ外形及び略２μｍの厚みを有する共通電極１３４が介在している。個別電極１３５及び共通電極１３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。共通電極１３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極１３４は、すべての圧力室１１０に対応する領域において等しく一定の電位、本実施の形態ではグランド電位に保たれている。   Returning to FIG. 13, a common electrode 134 having the same outer shape as the piezoelectric sheet 141 and a thickness of about 2 μm is interposed between the uppermost piezoelectric sheet 141 and the lower piezoelectric sheet 142. Both the individual electrode 135 and the common electrode 134 are made of, for example, a metal material such as an Ag—Pd system. The common electrode 134 is grounded in a region not shown. As a result, the common electrode 134 is kept at an equal and constant potential in the region corresponding to all the pressure chambers 110, that is, the ground potential in the present embodiment.

ＦＰＣ１５０は、図１３に示すように、上述したＦＰＣ５０とほぼ同じ構成を有しており、複数の配線４８と電気的に接続された端子１４６の配置形態だけが異なっている。これより、同様なものについては同符号で示し説明を省略する。ＦＰＣ１５０の複数の端子１４６は、個別電極１３５のランド部１３６に対向する位置に複数設けられており、各端子１４６がそれぞれ１つのランド部１３６と接合できるよう構成されている。また、各端子１４６は配線４８がＦＰＣ１５０の基端側及び先端側に向けて一方向（流路ユニット１０４の幅方向であって副走査方向）に引き出されている。このうち、ＦＰＣ１５０の基端側に引き出された配線４８によって各端子１４６が独立してドライバＩＣ７５に接続されている。これにより、圧力室１１０ごとに電位を制御することが可能となっている。なお、本実施の形態のＦＰＣ１５０においては、上述のＦＰＣ５０と同様に、ＦＰＣ１５０の端子１４６にランド部１３６と接続するための半田メッキを電解メッキで施すために、端子１４６から配線４８がＦＰＣ１５０の基端側及び先端側に向かって引き出されている。また、ＦＰＣ１５０の各端子１４６に半田メッキが施された後に、ＦＰＣ１５０のアクチュエータユニット１２１と対向する部分（ＦＰＣ１５０の複数の端子１４６が形成された領域）を残してＦＰＣ１５０の先端側部分が切断され、図１１に示すようなＦＰＣ１５０の形態となっている。   As shown in FIG. 13, the FPC 150 has substantially the same configuration as the FPC 50 described above, and only the arrangement form of terminals 146 electrically connected to the plurality of wirings 48 is different. Accordingly, the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. A plurality of terminals 146 of the FPC 150 are provided at positions facing the land portions 136 of the individual electrodes 135, and each terminal 146 is configured to be able to be joined to one land portion 136. Each terminal 146 has a wiring 48 drawn out in one direction (the width direction of the flow path unit 104 and the sub-scanning direction) toward the proximal end side and the distal end side of the FPC 150. Among these, each terminal 146 is independently connected to the driver IC 75 by the wiring 48 drawn to the base end side of the FPC 150. Thereby, the potential can be controlled for each pressure chamber 110. In the FPC 150 of the present embodiment, as in the FPC 50 described above, the wiring 48 extends from the terminal 146 to the base of the FPC 150 in order to perform solder plating on the terminal 146 of the FPC 150 by electrolytic plating. It is pulled out toward the end side and the front end side. Further, after each terminal 146 of the FPC 150 is subjected to solder plating, the front end side portion of the FPC 150 is cut leaving a portion facing the actuator unit 121 of the FPC 150 (a region where the plurality of terminals 146 of the FPC 150 are formed) The FPC 150 is configured as shown in FIG.

また、ＦＰＣ１５０の各端子１４６から引き出された複数の配線４８のうち、当該端子１４６から引き出された配線４８以外の配線４８が当該端子１４６の周辺領域を避けて配線非形成領域１３９を形成するように屈曲している。また、ＦＰＣ１５０の各端子１４６から引き出された配線４８は、端子１４６周辺領域に挟まれた領域においてほぼ等間隔に配設されている。   Further, among the plurality of wirings 48 drawn from each terminal 146 of the FPC 150, the wirings 48 other than the wiring 48 drawn from the terminal 146 form a wiring non-formation region 139 while avoiding the peripheral region of the terminal 146. Is bent. Further, the wirings 48 drawn from the respective terminals 146 of the FPC 150 are arranged at almost equal intervals in a region sandwiched between the peripheral regions of the terminals 146.

次に、アクチュエータユニット１２１の駆動方法について述べる。なお、上述したアクチュエータユニット２１とアクチュエータユニット１２１との構成がほぼ同様になっているので、その駆動方法についてもほぼ同様なものである。つまり、アクチュエータユニット１２１は、圧電シート１４１の分極方向がその厚み方向の、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。したがって、個別電極１３５を共通電極１３４に対して正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート１４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性部として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。   Next, a method for driving the actuator unit 121 will be described. Since the actuator unit 21 and the actuator unit 121 described above have substantially the same configuration, the driving method is also substantially the same. That is, the actuator unit 121 has a so-called unimorph type configuration in which the polarization direction of the piezoelectric sheet 141 is the thickness direction. Therefore, when the individual electrode 135 has a predetermined positive or negative potential with respect to the common electrode 134, for example, if the electric field and polarization are in the same direction, the electric field application portion sandwiched between the electrodes in the piezoelectric sheet 141 serves as an active portion. It shrinks in the direction perpendicular to the polarization direction due to the piezoelectric transverse effect.

一方、圧電シート１４２〜１４４は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート１４１と下層の圧電シート１４２〜１４４との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート１４１〜１４４全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図１３に示したように、アクチュエータユニット１２１の下面は圧力室１１０を区画する隔壁（キャビティプレート１２２）の上面に固定されているので、結果的に圧電シート１４１〜１４４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル１０８からインクが吐出される。その後、個別電極１３５を共通電極１３４と同じ電位に戻すと、圧電シート１４１〜１４４は元の形状になって圧力室１１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド流路１０５側から吸い込む。   On the other hand, since the piezoelectric sheets 142 to 144 are not spontaneously displaced because they are not affected by the electric field, the piezoelectric sheets 142 to 144 are not displaced in the direction perpendicular to the polarization direction between the upper piezoelectric sheet 141 and the lower piezoelectric sheets 142 to 144. A difference is caused in the distortion, and the piezoelectric sheets 141 to 144 try to be deformed so as to be convex toward the non-active side (unimorph deformation). At this time, as shown in FIG. 13, the lower surface of the actuator unit 121 is fixed to the upper surface of the partition wall (cavity plate 122) that partitions the pressure chamber 110, and as a result, the piezoelectric sheets 141 to 144 are placed on the pressure chamber side. Deforms to become convex. As a result, the volume of the pressure chamber 110 decreases, the ink pressure increases, and ink is ejected from the nozzles 108. Thereafter, when the individual electrode 135 is returned to the same potential as that of the common electrode 134, the piezoelectric sheets 141 to 144 have the original shape and the volume of the pressure chamber 110 returns to the original volume, so that ink is sucked from the manifold channel 105 side. .

なお、他の駆動方法として、予め個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極１３５を共通電極１３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極１３５と共通電極１３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート１４１〜１４４が元の形状に戻ることにより、圧力室１１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクが圧力室１１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート１４１〜１４４が圧力室１１０側へ凸となるように変形し、圧力室１１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。こうして、ノズル１０８からインクが吐出され搬送されてきた用紙に対して所望画像が印刷される。   As another driving method, the individual electrode 135 is set to a potential different from that of the common electrode 134 in advance, and the individual electrode 135 is once set to the same potential as the common electrode 134 every time there is an ejection request, and then again individually at a predetermined timing. The electrode 135 can have a potential different from that of the common electrode 134. In this case, when the individual electrodes 135 and the common electrode 134 are at the same potential, the piezoelectric sheets 141 to 144 return to their original shapes, so that the volume of the pressure chamber 110 is in an initial state (the potentials of the two electrodes are different). ) And the ink is sucked into the pressure chamber 110. Thereafter, at the timing when the individual electrode 135 is set to a potential different from that of the common electrode 134 again, the piezoelectric sheets 141 to 144 are deformed so as to protrude toward the pressure chamber 110, and the pressure to the ink increases due to the volume reduction of the pressure chamber 110. Ink is ejected. In this way, a desired image is printed on the paper on which ink is ejected from the nozzle 108 and conveyed.

以上のようなインクジェットヘッド１００によると、アクチュエータユニット１２１の複数の個別電極１３５と電気的に接続されたＦＰＣ１５０の端子１４６から引き出された複数の配線４８の間隔を比較的大きな間隔にすることが可能になる。つまり、図１４に示すようにＦＰＣ１５０の基端側に最も近いアクチュエータユニット１２１の個別電極列１３７ｂでは、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の先端側にある個別電極１３５と、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の基端側にある個別電極１３５とが交互に存在している。そのため、上述のインクジェットヘッド１と同様にＦＰＣ１５０の基端に最も近い個別電極１３５に対応して形成されたＦＰＣ１５０の各端子１４６もその間隔を広くすることができる。すなわち、個別電極列１３７ｂにおいて、互いに隣接する３つの個別電極１３５を考えたときに、補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の基端側にある２つの個別電極１３５に挟まれた個別電極１３５の補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の先端側にあるので、配列方向Ｅにおいて隣接するランド部１３６間の距離が長くなるからである。したがって、ＦＰＣ１５０の作製のときに、ＦＰＣ１５０の端子１４６間隔も広くなって配線４８を引き出すための空間的余裕が生まれるので、その作製が容易になる。また、アクチュエータユニットのサイズを大きくすることで、個別電極１３５のランド部１３６の間隔を広げるとともに配線４８の間隔を広げる必要がなくなり、インクジェットヘッドのサイズの大型化も防ぐことができる。また、千鳥パターンで配置された圧力室１１０のそれぞれに対向する位置に個別電極１３５が配置されているので、圧力室１１０及び個別電極１３５を高密度に配列させることが可能になり、画像の高解像度化や圧力室の高密度化に容易に対応することができる。   According to the ink jet head 100 as described above, the intervals between the plurality of wirings 48 drawn from the terminals 146 of the FPC 150 electrically connected to the plurality of individual electrodes 135 of the actuator unit 121 can be made relatively large. become. That is, as shown in FIG. 14, in the individual electrode row 137b of the actuator unit 121 closest to the proximal end side of the FPC 150, the auxiliary electrode region 135b is connected to the individual electrode 135 on the distal end side of the FPC 150 with respect to the main electrode region 135a. The individual electrode 135 in which the electrode region 135b exists in the base end side of FPC150 with respect to the main electrode region 135a exists alternately. Therefore, similarly to the inkjet head 1 described above, the intervals between the terminals 146 of the FPC 150 formed corresponding to the individual electrode 135 closest to the base end of the FPC 150 can be widened. That is, in the individual electrode row 137b, when considering the three individual electrodes 135 adjacent to each other, the auxiliary electrode region of the individual electrode 135 in which the auxiliary electrode region 135b is sandwiched between the two individual electrodes 135 on the base end side of the FPC 150. This is because the distance between the adjacent land portions 136 in the arrangement direction E becomes longer because 135b is on the front end side of the FPC 150. Accordingly, when the FPC 150 is manufactured, the interval between the terminals 146 of the FPC 150 is widened, and a space for drawing out the wiring 48 is created. Therefore, the FPC 150 is easily manufactured. Further, by increasing the size of the actuator unit, it is not necessary to widen the distance between the land portions 136 of the individual electrodes 135 and widen the distance between the wirings 48, and the size of the ink jet head can be prevented from being increased. In addition, since the individual electrodes 135 are arranged at positions facing the pressure chambers 110 arranged in a staggered pattern, the pressure chambers 110 and the individual electrodes 135 can be arranged with high density, and the image height can be increased. It can easily cope with resolution and high density of the pressure chamber.

また、インクジェットヘッド１００のアクチュエータユニット１２１に形成されたすべての個別電極列１３７において、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の先端側にある個別電極１３５と、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の基端側にある個別電極１３５とが交互に存在し、さらに、補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の基端側にある個別電極１３５が方向Gに沿って連続して配置された個別電極行１３８ａと、補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の先端側にある個別電極１３５が方向Ｇに沿って連続して配置された個別電極行１３８ｂとが、配列方向Ｅに沿って２つずつ交互に配列されているので、すべての個別電極１３５に対応して形成された端子１４６の各々に接続された配線４８の幅や間隔を全域に亘って均等に広くすることができる。したがって、高密度な配線にかかわらず、ＦＰＣ１５０の作製がさらに容易になる。さらに、高解像度化や高密度化に容易に対応することができるとともに、同様の効果を兼ね備えてインクジェットヘッドの長尺化にも対応することができる。また、複数の圧力室１１０で構成される圧力室群１０９の平面形状の自由度が増す。つまり、複数の個別電極１３５にそれぞれ対向する複数の圧力室１１０がなす圧力室群の形状がどのような平面形状になっていても、個別電極１３５がなすいずれの個別電極列においても、配列方向Ｅに沿って交互に補助電極領域１３５ｂが配置されておれば、補助電極領域１３５ｂのランド部１３６の間隔が広がるので、ＦＰＣ１５０の端子１４６間隔も広がり且つ端子１４６から引き出された配線４８の幅や間隔も広がる。また、各圧力室１１０が配列方向Ｅに千鳥状に配列することで、さらに高密度なインクジェットヘッドとなる。さらに、本実施の形態では、個別電極列の延在する方向に対して、ほぼ直交して配線４８が引き出されている。このことは、同じランド部１３６の同幅であっても、配線幅や配線間隔を狭めることなくより多くの配線４８を配設できることに寄与している。   Further, in all the individual electrode rows 137 formed in the actuator unit 121 of the inkjet head 100, the auxiliary electrode region 135b has the individual electrode 135 on the front end side of the FPC 150 with respect to the main electrode region 135a, and the auxiliary electrode region 135b is the main electrode row. The individual electrodes 135 on the base end side of the FPC 150 are alternately present with respect to the electrode region 135 a, and the individual electrode 135 on the base end side of the FPC 150 is continuously arranged along the direction G. The individual electrode rows 138a and the individual electrode rows 138b in which the individual electrodes 135 having the auxiliary electrode region 135b on the front end side of the FPC 150 are continuously arranged along the direction G are provided two by two along the arrangement direction E. Since they are arranged alternately, they are connected to each of the terminals 146 formed corresponding to all the individual electrodes 135. The width and interval of the formed wirings 48 can be uniformly increased over the entire area. Therefore, the FPC 150 can be more easily manufactured regardless of high-density wiring. Furthermore, it is possible to easily cope with higher resolution and higher density, and it is possible to cope with the increase in the length of the inkjet head having the same effect. Further, the degree of freedom of the planar shape of the pressure chamber group 109 constituted by a plurality of pressure chambers 110 is increased. That is, regardless of the planar shape of the pressure chamber group formed by the plurality of pressure chambers 110 respectively facing the plurality of individual electrodes 135, the arrangement direction in any individual electrode row formed by the individual electrodes 135 If the auxiliary electrode regions 135b are alternately arranged along E, the interval between the land portions 136 of the auxiliary electrode region 135b increases, so that the interval between the terminals 146 of the FPC 150 also increases and the width of the wiring 48 drawn from the terminal 146 Spacing increases. Further, by arranging the pressure chambers 110 in a staggered manner in the arrangement direction E, a higher-density ink jet head is obtained. Furthermore, in the present embodiment, the wiring 48 is drawn out substantially orthogonal to the direction in which the individual electrode rows extend. This contributes to the fact that a larger number of wirings 48 can be provided without reducing the wiring width and the wiring interval even if the same land portion 136 has the same width.

本実施形態におけるすべての個別電極１３５は、アクチュエータユニット１２１毎に上述のような規則的な配置形態で配列されているが、図１２に示す２本の２点鎖線間である帯状領域Ｒ（すなわち、隣接したアクチュエータユニット１２１の方向Ｇにおいてオーバーラップする領域）では、個別電極１３５の補助電極領域１３５ｂが対応するＦＰＣ１５０の基端側又は先端側に向くように形成されていてもよい。つまり、帯状領域Ｒに存在する個別電極１３５の補助電極領域１３５ｂがすべて同方向を向き、互いに流路ユニット１０４の幅方向にオーバーラップしない領域にある補助電極領域１３５ｂが、ＦＰＣ１５０の先端又は基端側を向くように配列方向Ｅに沿って交互に配置されておれば、補助電極領域の間隔が広がり、ＦＰＣ１５０の端子の間隔も広がることになる。隣接した２つのアクチュエータユニット１２１に形成された複数の個別電極列１３７のうち、少なくとも各ＦＰＣ１５０の基端側に最も近い個別電極列１３７において、補助電極領域１３５ｂがそれぞれＦＰＣ１５０の先端側にある個別電極１３５と、基端側にある個別電極１３５とが混在されておれば、各圧力室群１０９の平面形状に制約（すなわち、流路ユニット１０４の幅方向に互いに圧力室群１０９がオーバーラップするような平面形状となる制約）が生じるものの、上述したような効果を得ることができる。   All the individual electrodes 135 in this embodiment are arranged in the regular arrangement form as described above for each actuator unit 121, but the band-like region R (that is, between the two two-dot chain lines shown in FIG. 12 (that is, In the adjacent region in the direction G of the actuator unit 121, the auxiliary electrode region 135 b of the individual electrode 135 may be formed so as to face the proximal end side or the distal end side of the corresponding FPC 150. That is, the auxiliary electrode regions 135b of the individual electrodes 135 existing in the belt-like region R all face the same direction and do not overlap each other in the width direction of the flow path unit 104. If they are alternately arranged along the arrangement direction E so as to face the side, the interval between the auxiliary electrode regions is widened and the interval between the terminals of the FPC 150 is also widened. Of the plurality of individual electrode rows 137 formed on the two adjacent actuator units 121, at least in the individual electrode row 137 closest to the proximal end side of each FPC 150, the individual electrode in which the auxiliary electrode region 135b is on the distal end side of the FPC 150, respectively. 135 and the individual electrode 135 on the base end side are mixed, the planar shape of each pressure chamber group 109 is restricted (that is, the pressure chamber groups 109 overlap each other in the width direction of the flow path unit 104). However, the above-described effects can be obtained.

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいてさまざまな設計変更が可能なものである。例えば、上述した実施の形態におけるインクジェットヘッド１，１００は圧電方式のアクチュエータユニットによって駆動され、インクがノズルから吐出されるが、ＦＰＣ５０，１５０から送られた信号によって各圧力室内のインクを加熱し、圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与する方式のインクジェットヘッドであっても適用可能である。つまり、ＦＰＣ５０，１５０の端子４６，１４６と接続される個別電極３５，１３５のランド部３６，１３６までは同じ構成とし、各圧力室に加熱体を設けて、各圧力室に対応する個別電極と加熱体とを接続しておれば、ＦＰＣからの信号によって加熱体を加熱することが可能となり、このようなインクジェットヘッドにも適用可能となる。   The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various design changes can be made as long as they are described in the claims. For example, the inkjet heads 1 and 100 in the above-described embodiment are driven by a piezoelectric actuator unit, and ink is ejected from the nozzles. The ink in each pressure chamber is heated by a signal sent from the FPCs 50 and 150, The present invention is also applicable to an ink jet head that applies ejection energy to ink in a pressure chamber. In other words, the land electrodes 36 and 136 of the individual electrodes 35 and 135 connected to the terminals 46 and 146 of the FPCs 50 and 150 have the same configuration, a heating body is provided in each pressure chamber, and an individual electrode corresponding to each pressure chamber is provided. If the heating body is connected, the heating body can be heated by a signal from the FPC, and the invention can be applied to such an ink jet head.

また、ＦＰＣ５０，１５０は、端子４６，１４６に対する半田メッキを施す上での利便性から、いずれの端子４６，１４６からもＦＰＣ５０，１５０の基端側及び先端側に配線４８が引き出されている構成としたが、基端側にだけ配線４８が引き出されているＦＰＣを用いてもよい。この場合、端子位置が、ＦＰＣの先端側から基端側に移るに従い、それから引き出される配線４８の数が次第に増える。つまり、配線４８の密度が、ＦＰＣの先端側から基端側に移るに従い高くなる。そこで、少なくとも基端側のアクチュエータユニットの領域だけでも、各実施の形態で示したような規則性を補助電極領域に対して付与することで、配線４８の数が増えても無理のない密度で各配線４８を配置することができる。   Further, the FPCs 50 and 150 are configured such that the wirings 48 are drawn from the terminals 46 and 146 to the proximal end side and the distal end side of the FPCs 50 and 150 for convenience in performing solder plating on the terminals 46 and 146. However, an FPC in which the wiring 48 is drawn out only on the base end side may be used. In this case, as the terminal position moves from the front end side to the base end side of the FPC, the number of wirings 48 drawn therefrom is gradually increased. That is, the density of the wiring 48 increases as it moves from the front end side to the base end side of the FPC. Therefore, at least in the region of the actuator unit on the base end side, by providing the regularity as shown in each embodiment to the auxiliary electrode region, the density can be increased even if the number of wirings 48 is increased. Each wiring 48 can be arranged.

本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。1 is an external perspective view of an inkjet head according to an embodiment of the present invention. 図１のII−II線における断面図である。It is sectional drawing in the II-II line of FIG. 図２に示すヘッド本体に補強板が接着された状態を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a reinforcing plate is bonded to the head body shown in FIG. 2. ヘッド本体の平面図である。It is a top view of a head body. 図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。It is an enlarged view of the area | region enclosed with the dashed-dotted line drawn in FIG. 図５のVI−VI線における断面図である。It is sectional drawing in the VI-VI line of FIG. 本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドのアクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図６における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。The actuator unit of the inkjet head by one Embodiment of this invention is shown, (a) is an enlarged view of the part enclosed with the dashed-dotted line in FIG. 6, (b) is a top view of an individual electrode. 図８は、図４に示す２点鎖線で囲まれた領域を示す拡大図である。FIG. 8 is an enlarged view showing a region surrounded by a two-dot chain line shown in FIG. 本発明の他の実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the inkjet head by other embodiment of this invention. 図９のX−X線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the XX line of FIG. ＦＰＣが接合されたヘッド本体の平面図である。It is a top view of the head main body with which FPC was joined. 図１１に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。FIG. 12 is an enlarged plan view of a region surrounded by an alternate long and short dash line depicted in FIG. 11. 図１２に示すXIII−XIII線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the XIII-XIII line | wire shown in FIG. 図１２に示す一点鎖線で囲まれた領域を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the area | region enclosed with the dashed-dotted line shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１，１００ インクジェットヘッド
４，１０４ 流路ユニット
４ａ，１０３ａ インク供給口
８，１０８ ノズル
１０，１１０ 圧力室
２１，１２１ アクチュエータユニット
３５，１３５ 個別電極
３５ａ，１３５ａ 主電極領域
３５ｂ，１３５ｂ 補助電極領域
３７（３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ），１３７（１３７ａ，１３７ｂ，１３７ｃ，１３７ｄ） 個別電極列
１３８（１３８ａ，１３８ｂ） 個別電極行
４６，１４６ 端子
４８ 配線
５０，１５０ ＦＰＣ（平型柔軟ケーブル） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,100 Inkjet head 4,104 Flow path unit 4a, 103a Ink supply port 8,108 Nozzle 10,110 Pressure chamber 21,121 Actuator unit 35,135 Individual electrode 35a, 135a Main electrode area 35b, 135b Auxiliary electrode area 37 ( 37a, 37b, 37c, 37d), 137 (137a, 137b, 137c, 137d) Individual electrode row 138 (138a, 138b) Individual electrode row 46, 146 Terminal 48 Wiring 50, 150 FPC (flat flexible cable)

Claims (10)

それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配列されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、
前記圧力室に対応して形成された主電極領域及び前記主電極領域につながった補助電極領域をそれぞれ有する複数の個別電極を有すると共に、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するアクチュエータユニットと、
前記補助電極領域とそれぞれ電気的に接続された複数の端子を有すると共に、前記複数の端子にそれぞれ接続された複数の配線が一方向に延在して前記端子から引き出された平型柔軟ケーブルとを備えており、
前記アクチュエータユニットには、前記個別電極が前記一方向と交差する方向に沿って複数配列された個別電極列が互いに平行となるように複数配列されており、
前記複数の個別電極列のうち少なくとも前記平型柔軟ケーブルの先端から前記配線が引き出される方向に最も離れた前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 A plurality of pressure chambers each communicating with the nozzle are arranged along a plane, and a flow path unit having an ink flow path from the ink supply port to the nozzle through the pressure chamber,
A plurality of individual electrodes each having a main electrode region formed corresponding to the pressure chamber and an auxiliary electrode region connected to the main electrode region, and fixed to the plane of the flow path unit, An actuator unit that applies ejection energy to the ink;
A flat flexible cable having a plurality of terminals each electrically connected to the auxiliary electrode region, and a plurality of wirings respectively connected to the plurality of terminals extending in one direction and drawn from the terminals; With
In the actuator unit, a plurality of individual electrode rows in which the individual electrodes are arranged along a direction intersecting the one direction are arranged in parallel to each other,
Among the plurality of individual electrode rows, in the individual electrode row that is farthest in the direction in which the wiring is drawn from at least the tip of the flat flexible cable, the auxiliary electrode region is more of the flat flexible cable than the main electrode region. The inkjet head, wherein the individual electrode on the distal end side and the individual electrode in the auxiliary electrode region on the proximal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region are alternately arranged . すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが混在していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。   In all the individual electrode rows, the auxiliary electrode region is located on the distal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region, and the flat flexible cable has the auxiliary electrode region with respect to the main electrode region. The inkjet head according to claim 1, wherein the individual electrodes on the base end side of the ink jet are mixed. 前記アクチュエータユニットには、１つおきの前記個別電極列に属する前記個別電極が前記一方向に沿って複数配列された個別電極行が互いに平行となるように複数配列されており、
隣り合う２つの前記個別電極行に属する複数の前記個別電極が、互いに異なる前記個別電極列に属していることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。 In the actuator unit, a plurality of individual electrode rows belonging to every other individual electrode column are arranged so that a plurality of individual electrode rows arranged in parallel with the one direction are parallel to each other,
The inkjet head according to claim 2, wherein a plurality of the individual electrodes belonging to two adjacent individual electrode rows belong to different individual electrode columns. すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。   In all the individual electrode rows, the auxiliary electrode region is located on the distal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region, and the flat flexible cable has the auxiliary electrode region with respect to the main electrode region. The inkjet head according to claim 1, wherein the individual electrodes on the base end side of the inkjet head are alternately arranged. 前記アクチュエータユニットには、１つおきの前記個別電極列に属する前記個別電極が前記一方向に沿って複数配列された個別電極行が互いに平行となるように複数配列されており、
隣り合う２つの前記個別電極行に属する複数の前記個別電極が、互いに異なる前記個別電極列に属していることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。 In the actuator unit, a plurality of individual electrode rows belonging to every other individual electrode column are arranged so that a plurality of individual electrode rows arranged in parallel with the one direction are parallel to each other,
The inkjet head according to claim 4 , wherein the plurality of individual electrodes belonging to two adjacent individual electrode rows belong to different individual electrode columns. 前記個別電極行には、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されている領域があることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。 The individual electrode row includes the individual electrode in which the auxiliary electrode region is on the distal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region, and the auxiliary electrode region of the flat flexible cable with respect to the main electrode region. The inkjet head according to claim 5 , wherein there is a region where the individual electrodes on the base end side are alternately arranged. 前記個別電極行には、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極が複数連続して配置された領域を有する第１の個別電極行と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極が複数連続して配置された領域を有する第２の個別電極行とがあり、
前記第１の個別電極行と前記第２の個別電極行とが２つずつ交互に配列されていることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。 In the individual electrode row, a first individual electrode row having a region in which the plurality of individual electrodes are continuously arranged, the auxiliary electrode region being on the distal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region, A second individual electrode row having a region in which the plurality of individual electrodes are continuously arranged, the auxiliary electrode region being closer to the base end side of the flat flexible cable than the main electrode region;
The inkjet head according to claim 5 , wherein the first individual electrode rows and the second individual electrode rows are alternately arranged two by two. 前記主電極領域が前記圧力室に対向した位置に配置されており、
前記圧力室の平面形状が２つの鋭角部を有する平行四辺形形状であり、前記交差する方向が前記圧力室の短い方の対角線と平行であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。 The main electrode region is disposed at a position facing the pressure chamber;
A parallelogram shape planar shape of the pressure chamber has two acute angle portions, claim 1-7, characterized in that the intersecting direction is parallel to the diagonal line of the shorter of the pressure chamber 2. An ink jet head according to item 1. それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配列されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、
主電極領域及び前記主電極領域につながった補助電極領域をそれぞれ有する複数の個別電極を有すると共に、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、
前記補助電極領域とそれぞれ電気的に接続された複数の端子を有すると共に、前記複数の端子にそれぞれ接続された複数の配線が一方向に延在した平型柔軟ケーブルとを備えており、
前記流路ユニットには、２つの鋭角部を有する平行四辺形形状の平面形状を有する前記圧力室が前記一方向と交差する方向に沿って複数配列された圧力室列が互いに平行となるように複数配列されており、
前記アクチュエータユニットには、前記主電極領域を前記圧力室に対向して配置した前記個別電極が互いに平行な複数の個別電極列をなし、すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 A plurality of pressure chambers each communicating with the nozzle are arranged along a plane, and a flow path unit having an ink flow path from the ink supply port to the nozzle through the pressure chamber,
An actuator unit that has a plurality of individual electrodes each having a main electrode region and an auxiliary electrode region connected to the main electrode region, and is fixed to the plane of the flow path unit to change the volume of the pressure chamber;
A plurality of terminals electrically connected to the auxiliary electrode region, and a flat flexible cable in which a plurality of wires respectively connected to the plurality of terminals extend in one direction;
In the flow path unit, a plurality of pressure chamber rows in which a plurality of the pressure chambers having a parallelogram-shaped planar shape having two acute angle portions are arranged in a direction crossing the one direction are parallel to each other. There are multiple arrays,
In the actuator unit, the individual electrodes arranged with the main electrode region facing the pressure chamber form a plurality of individual electrode rows parallel to each other, and the auxiliary electrode region is the main electrode region in all the individual electrode rows. The individual electrodes on the distal end side of the flat flexible cable with respect to the electrode region and the individual electrodes on which the auxiliary electrode region is located on the proximal end side of the flat flexible cable with respect to the main electrode region are alternately arranged. An ink jet head characterized by comprising: 前記交差する方向が前記圧力室の短い方の対角線と平行であることを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッド。The inkjet head according to claim 9, wherein the intersecting direction is parallel to a shorter diagonal line of the pressure chamber.
JP2005021696A 2004-01-29 2005-01-28 Inkjet head Active JP4581709B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005021696A JP4581709B2 (en) 2004-01-29 2005-01-28 Inkjet head

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004021459 2004-01-29
JP2005021696A JP4581709B2 (en) 2004-01-29 2005-01-28 Inkjet head

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005238839A JP2005238839A (en) 2005-09-08
JP4581709B2 true JP4581709B2 (en) 2010-11-17

Family

ID=35021071

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005021696A Active JP4581709B2 (en) 2004-01-29 2005-01-28 Inkjet head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4581709B2 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4940672B2 (en) 2006-01-27 2012-05-30 ブラザー工業株式会社 Inkjet recording head
JP4497127B2 (en) * 2006-05-18 2010-07-07 ブラザー工業株式会社 Inkjet head
JP2008238413A (en) * 2007-03-23 2008-10-09 Seiko Epson Corp Wiring member for liquid jet head, and liquid jet head
JP5633342B2 (en) * 2010-11-30 2014-12-03 ブラザー工業株式会社 Method for manufacturing liquid discharge head and liquid discharge head
JP5738608B2 (en) * 2011-01-26 2015-06-24 京セラ株式会社 Ink jet head and recording apparatus
JP6977131B2 (en) * 2016-04-20 2021-12-08 東芝テック株式会社 Inkjet head and inkjet recording device
JP6708523B2 (en) * 2016-08-26 2020-06-10 京セラ株式会社 Piezoelectric substrate, liquid ejection head using the same, and recording device
JP2018199292A (en) * 2017-05-29 2018-12-20 セイコーエプソン株式会社 Piezoelectric device, liquid discharge head, liquid discharge device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001010037A (en) * 1999-06-30 2001-01-16 Brother Ind Ltd Ink jet apparatus
WO2001042024A1 (en) * 1999-12-10 2001-06-14 Fujitsu Limited Ink jet head and printer
JP2002052706A (en) * 2000-08-07 2002-02-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ink jet head and ink jet recorder
JP2003165215A (en) * 2001-11-30 2003-06-10 Brother Ind Ltd Ink jet printer head
JP2003311959A (en) * 2002-02-20 2003-11-06 Brother Ind Ltd Ink jet head and ink jet printer comprising it
JP2005119293A (en) * 2003-09-24 2005-05-12 Fuji Photo Film Co Ltd Inkjet recording head, inkjet recording apparatus and manufacturing method for ink jet recording head

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001010037A (en) * 1999-06-30 2001-01-16 Brother Ind Ltd Ink jet apparatus
WO2001042024A1 (en) * 1999-12-10 2001-06-14 Fujitsu Limited Ink jet head and printer
JP2002052706A (en) * 2000-08-07 2002-02-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ink jet head and ink jet recorder
JP2003165215A (en) * 2001-11-30 2003-06-10 Brother Ind Ltd Ink jet printer head
JP2003311959A (en) * 2002-02-20 2003-11-06 Brother Ind Ltd Ink jet head and ink jet printer comprising it
JP2005119293A (en) * 2003-09-24 2005-05-12 Fuji Photo Film Co Ltd Inkjet recording head, inkjet recording apparatus and manufacturing method for ink jet recording head

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005238839A (en) 2005-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1616701B1 (en) Inkjet head unit
JP4419754B2 (en) Inkjet head
US7568783B2 (en) Inkjet head
JP4581709B2 (en) Inkjet head
JP3991952B2 (en) Inkjet head
JP4616609B2 (en) Inkjet head
JP4329734B2 (en) Inkjet head
JP4810908B2 (en) Inkjet head
JP4179099B2 (en) Inkjet head
JP4274085B2 (en) Inkjet head
JP4069831B2 (en) Inkjet head
JP4539064B2 (en) Inkjet head
JP4240135B2 (en) Inkjet head
JP4274084B2 (en) Inkjet head
JP4075731B2 (en) Inkjet head
JP2005231038A (en) Inkjet head
JP4507782B2 (en) Inkjet recording device
JP4492170B2 (en) Recording head
JP4639610B2 (en) Inkjet head design method and inkjet head
JP4196875B2 (en) Printed circuit board and inkjet head using the same
JP2005219325A (en) Inkjet head
JP5187645B2 (en) Inkjet recording device
JP3885808B2 (en) Inkjet head
JP4457818B2 (en) Inkjet head
JP5158161B2 (en) Inkjet head

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070809

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100427

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100628

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100803

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100816

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4581709

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130910

Year of fee payment: 3