JP4577484B2 - 横型熱処理炉のフランジ接合構造及び接合方法並びにフッ素樹脂シート - Google Patents
横型熱処理炉のフランジ接合構造及び接合方法並びにフッ素樹脂シート Download PDFInfo
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Description
SiC製の横型炉チューブの尾管にあるフランジと、プロセスガス配管が接続されたSUS製フランジと、P30のOリングと、1mm厚のフッ素樹脂シート(材質:ポリテトラフロロエチレン:PTFE)を用意した。フランジはどちらも直径90mmであり、チューブ側フランジの直径70mmのところに4つのボルトを通す穴を90°間隔で設け、SUS製フランジの直径70mmのところにM6の雌ネジを形成した。また、SUS製フランジには、P30のOリングに合うよう外径36+0.08−0mm(JIS規格)の溝を設けなければならないが、P30のOリングをより適切に潰して最適な密閉性を得るには、溝の深さを2.7mm±0.05mm(JIS規格)にする必要がある。そのためには、ボルトで締め付けた時のフッ素樹脂シートの厚さとフランジに形成されるOリング用の溝深さの合計がこの規格内に入るようにすればよい。予めフッ素樹脂シートをボルト締めして圧縮してみたところ、圧縮時のシート厚さは0.7mmであったため、溝深さを2mm、溝の外径を36mmとしてOリング用の溝を形成した。
実施例1と同じSiC製の横型炉チューブの尾管にあるフランジと、プロセスガス配管が接続されたSUS製フランジと、P30のOリングと、フッ素樹脂シートを用意し、SUS製フランジには深さ2mm、外径36mmのOリング用の溝のみを形成した。そして、Oリングを前記溝に嵌め込み、ボルトを通す穴を開けた内径36.5mm、外径90mmの平板ドーナツ形状の前記フッ素樹脂シート(材質:PTFE)の側面を指で押えながら両フランジを4本のボルトで人力により締め付けた。締め付け後フランジを調査したところ、フッ素樹脂シートが鉛直下方向に1mm程度ずれていることがわかった。そのまま実施例1と同様に100枚のウェーハを横型炉に投入して100%Ar雰囲気下で1200℃1時間の熱処理を行った。熱処理終了後、5枚のウェーハを抜き取って表面粗さを調査したところ、尾管側から抜き取ったウェーハ2枚の主表面のヘイズが悪化して不良レベルになっており、Oリングがフッ素樹脂シートと接触して変形し、十分につぶれず、外気(空気)の侵入を生じていたことが分かった。
Claims (3)
- シリコンウェーハを熱処理する横型熱処理炉内に設置される熱処理チューブに設けられた第1フランジと所定の別部材に設けられた第2フランジとを、これらのフランジ間をOリングでシールしかつこれらのフランジ間にフッ素樹脂シートを介在させて接合するフランジ接合構造であって、前記第1フランジ及び第2フランジの少なくとも一方のフランジの接合面にリング状溝を形成し、このリング状溝に対応して前記フッ素樹脂シートの片面又は両面にリング状突条を形成し、前記リング状溝に前記リング状突条を嵌着することにより、前記第1フランジ及び第2フランジのいずれか一方のフランジの接合面に前記フッ素樹脂シートを固定し、この状態で前記第1フランジと第2フランジとを締付具で締付接合するようにしたことを特徴とするフランジ接合構造。
- シリコンウェーハを熱処理する横型熱処理炉内に設置される熱処理チューブに設けられた第1フランジと所定の別部材に設けられた第2フランジとを接合する際に、前記第1フランジと第2フランジとの間に介在させるフッ素樹脂シートであって、前記第1フランジ及び第2フランジの少なくとも一方のフランジの接合面に形成されたリング状溝に対応して前記フッ素樹脂シートの片面又は両面にリング状突条を設けたことを特徴とするフッ素樹脂シート。
- シリコンウェーハを熱処理する横型熱処理炉内に設置される熱処理チューブに設けられた第1フランジと所定の別部材に設けられた第2フランジとを、これらのフランジ間をOリングでシールしかつこれらのフランジ間にフッ素樹脂シートを介在させて接合するフランジ接合方法であって、前記第1フランジ及び第2フランジの少なくとも一方のフランジの接合面にリング状溝を形成するとともに前記フッ素樹脂シートとして請求項2記載のフッ素樹脂シートを用い、前記リング状溝に前記リング状突条を嵌着することにより、第1フランジ及び第2フランジのいずれか一方のフランジの接合面に前記フッ素樹脂シートを固定し、次いで前記第1フランジと第2フランジとを締付具で締付接合するようにしたことを特徴とするフランジ接合方法。
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