JP4574718B1 - 電磁波測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電磁波測定装置が、被測定物1に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器2と、被測定物1を透過した電磁波を検出する電磁波検出器4と、被測定物1を透過する電磁波の光路と被測定物1とが交差する交差部分100の被測定物1に対する相対位置を変化させる相対位置変化部6と、電磁波検出器4の検出結果に基づき、被測定物1を透過した電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部12と、位相導出部12の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部16と、サイノグラムに基づき、交差部分100の軌跡を含む被測定物1の断面の画像を導出する断層像導出部18とを備える。
【選択図】図4
Description
図1は、本発明の第一の実施形態にかかる電磁波測定装置の構成を示す図である。第一の実施形態にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器2、電磁波検出器4、走査用ステージ(相対位置変化部)6、ディスプレイ8、画像導出装置10を備える。電磁波測定装置は、被測定物1を測定するためのものである。
または、サイノグラム導出部16は、分散導出部15から分散CD1(x, θ, f)を受け、以下の式(4)のようにして、分散についてのサイノグラムSCD1(x, θ)を導出する。分散CD1(x, θ, f)は位相Ph1(x, θ, f)に基づき導出されるので(式(2)参照)、サイノグラムSCD1(x, θ)もまた位相Ph1(x, θ, f)に基づき導出されることになる。
第二の実施形態は、(第一)被測定物1および第二被測定物20を用いる点が、第一の実施形態と異なる。なお、第一の実施形態における被測定物1を、第二の実施形態においては第一被測定物1という。
第一被測定物の屈折率についてのサイノグラムSn(x, θ)から、断層像導出部18が、第一の実施形態と同様に、被測定物1の断面の画像を導出する。ディスプレイ8は、画像導出装置10により導出された画像を表示する。
第三の実施形態は、第二の実施形態と同様に第一被測定物1および第二被測定物20を用いるものの、サイノグラム導出部16によるサイノグラムの導出および断層像導出部18による画像の導出が第二の実施形態と異なる。
1a、1b 内容物
20 第二被測定物
100 交差部分
2 電磁波出力器
4 電磁波検出器
6 走査用ステージ(相対位置変化部)
8 ディスプレイ
10 画像導出装置
11 AD変換器
12 位相導出部
14 群遅延導出部
15 分散導出部
16 サイノグラム導出部
18 断層像導出部(画像導出部)
Claims (4)
- 被測定物に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出部と、
前記位相導出部の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出部と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出部と、
前記位相導出部の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出部と、
を備え、
前記サイノグラム導出部が、前記群遅延についてのサイノグラムを導出する、
電磁波測定装置。 - 被測定物に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定方法であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出工程と、
前記位相導出工程の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出工程と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出工程と、
前記位相導出工程の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出工程と、
を備え、
前記サイノグラム導出工程が、前記群遅延についてのサイノグラムを導出する、
測定方法。 - 被測定物に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
前記サイノグラム導出処理が、前記群遅延についてのサイノグラムを導出する、
プログラム。 - 被測定物に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波を出力する電磁波出力器と、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する電磁波検出器と、前記被測定物を透過する前記電磁波の光路と前記被測定物とが交差する交差部分の前記被測定物に対する相対位置を変化させる相対位置変化部とを備えた電磁波測定装置を用いた測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における位相を導出する位相導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、サイノグラムを導出するサイノグラム導出処理と、
前記サイノグラムに基づき、前記交差部分を含む前記被測定物の断面の画像を導出する画像導出処理と、
前記位相導出処理の導出結果に基づき、前記被測定物を透過した前記電磁波の周波数領域における群遅延を導出する群遅延導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であり、
前記サイノグラム導出処理が、前記群遅延についてのサイノグラムを導出する、
記録媒体。
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