JP4574092B2 - リーク検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、包装パック等の包装品バリア袋に生じるリーク(ガス漏れ)の有無を検出するリーク検出装置に関し、詳細には製品を多数個収納した段ボール箱(製品の最終出荷姿)の外側より多数個の内部製品を一括してリーク検査するリーク検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば医薬品では雑菌の侵入防止や腐敗防止のため、薬品においては組成変化の防止のため、それらを収容した製品(バリア袋)には、保護ガス(ヘリウムガス、その他の不活性ガス)が封入されているものが多い。
【0003】
そのため、包装のバリア袋にピンホール等によるガス漏れが無いかどうか検査を行っている。例えば、被検査体(多数個の製品を収納した段ボール箱)を順に搬送するコンベヤの上部に、真空容器が上下移動機構により上下動可能に設置され、この真空容器に配管系を介して真空弁及び真空引きポンプが接続され、配管系に分析計が設けられた装置を用いてリークの有無を検出している。
【0004】
この装置では、真空容器が上昇した状態で真空容器の直下に被検査体を位置させ、真空容器を下降させて真空容器を密閉した後、真空引きポンプにより真空引きして真空容器内部を真空状態とし、被検査体、即ち段ボール箱内の個々の製品から保護ガスが漏れていないかどうかを検査する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の装置では、被検査体から漏れた保護ガスを吸引するガス吸引口は真空容器内の被検査体よりも離れた所の或る箇所にだけ設けられているため、実際にガス漏れがあった場合に、被検査体からの漏洩ガスがガス吸引口から分析計に到達するまでに時間が掛かり、分析結果が出るまでに時間を要し、応答性が悪くなるという問題がある。
【0006】
また、ガス漏れが微量である場合には、漏洩ガスがガス吸引口から吸引されるまでに真空容器内で拡散してしまうので、漏洩ガスの濃度が低下し、それにより分析計でのガス漏れ検知の感度が低下し、しかも応答時間が長く掛かるという問題がある。
【0007】
この発明は、そのような問題点に着目してなされたものであって、素早い応答(リーク検査の時間短縮)、ガス漏れ検知感度の向上を実現するリーク検出装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、この発明の請求項1記載のリーク検出装置は、被検査体から漏れたガスを吸引するガス吸引口を有すると共に被検査体を出入自在とした真空容器と、この真空容器を真空引きする真空手段と、真空容器内で真空引きされた被検査体からのガス漏れを検知する分析計とを備えたものにおいて、複数個の排出口を有するとともに新鮮な空気を導入するためのパージ配管が前記真空容器の内壁に沿って配置され、このパージ配管の内側に、前記真空引き時に被検査体の膨張を抑えるために被検査体の少なくとも1面を押圧できるように被検査体に対して進退可能な押さえ板が配置され、複数個の前記ガス吸引口を有するとともにガス漏れ検査のための吸引及びクリーニング用ガスの排出を行うためのサンプリング配管が前記押さえ板及び当該押さえ板以外の真空容器内に付設され、前記分析計が前記サンプリング配管に接続され、前記分析計によりガス漏れが検知された場合は、前記真空手段により真空容器を真空引きしながら真空容器内及びサンプリング配管から分析計の手前までの配管系内にクリーニング用のガスを導入してクリーニングを行い、その後に真空容器を大気開放するとともにサンプリング配管を通じてクリーニング用ガスを真空容器内に導入し、大気開放の終了後にパージ配管を通じて新鮮な空気を真空容器内に導入するようにしたことを特徴とする。
【0009】
この装置では、押さえ板により被検査体を押圧することで、サンプリング配管の複数個のガス吸引口が被検査体の周りに位置することになるので、真空容器内に被検査体を配置して真空引きしたとき、被検査体からガス漏れがあると、被検査体から出た漏洩ガスが直ちにガス吸引口から吸引され、分析計でガス漏れが検知される。従って、漏洩ガスが真空容器内で拡散せずに分析計に取り込まれるので、ガス漏れが有った場合の応答が早くなり、延いてはリーク検査の時間が短縮されるだけでなく、被検査体からの漏洩ガスが薄められずに分析計に到達するのでガス漏れの検知感度が向上する。
【0010】
また、サンプリング配管が付設された押さえ板が被検査体に対して進退可能であるので、被検査体の形状や大きさにかかわらず、ガス吸引口を被検査体に近接させることができる。
【0011】
更に、複数個のガス吸引口を有するサンプリング配管が被検査体に対して進退可能な押さえ板に付設されているため、押さえ板により被検査体の膨張が抑えられて被検査体からガスが出やすくなり、低真空でもガスをよく絞り出すことができる。しかも、ガス漏れが有る場合に被検査体からの漏洩ガスがより素早く分析計まで到達するようになり、応答が一層早くなり、ガス漏れの検知感度も更に高まる。その上、押さえ板により被検査体の外装にダメージを与えなくなる。
【0012】
押さえ板を使用する場合、押さえ板は被検査体の上面側及び側面側にそれぞれ配置することとすれば、被検査体(多数個の製品を収納した段ボール箱)において、収納されたどの製品で(段ボール箱内のどの箇所で)ガス漏れが起きても、漏洩ガスが被検査体からガス吸引口に吸い込まれる時間がより一様になり、各被検査体にかかわらず、応答の安定性が更に増し、検知感度が一層安定する。
【0013】
一方、サンプリング配管と分析計とを連絡する配管系に前記真空手段とは別個の漏洩ガス検出用の低真空漏洩ガス吸引手段を設け、予め真空手段により被検査体を真空引きし、その後にサンプリング配管の複数個のガス吸引口から低真空漏洩ガス吸引手段により吸引し、被検査体からのガス漏れを分析計により検知するようにすることで、即ち真空引きを真空手段により行うのとは別途に、リーク検査のためのガス吸引を低真空漏洩ガス吸引手段で行うことで、ガス漏れ検査を効率良く行うことができる。
【0014】
他方、この種の装置ではリーク検査を繰り返し行うため、ガス漏れが有った場合は、真空容器内及びガス吸引口から分析計に至る配管系に漏洩ガスが残留し、この残留ガスの影響を受け易くなる。そこで、分析計によりガス漏れが検知された場合は、真空手段により真空容器を真空引きしながら真空容器内及びサンプリング配管から分析計の手前までの配管系内にクリーニング用のガスを導入してクリーニングを行い、その後に真空容器を大気開放するとともにサンプリング配管を通じてクリーニング用ガスを真空容器内に導入し、大気開放の終了後にパージ配管を通じて新鮮な空気を真空容器内に導入するようにしている。これにより、1回毎のリーク検査を効率良く行え、測定時間サイクルを短縮できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態により、この発明を更に詳細に説明する。
【0016】
その一実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図を図1(真空容器及び配管系の一部)、図2(真空容器の一部及び配管系の残部)、図3(配管系の残部)及び図4(配管系の残部)に示す。
【0017】
まず図1において、被検査体(多数個の製品を収納した段ボール箱)100を出入自在とする真空容器1は、底部が開口したもので、真空容器昇降用のエアシリンダ3のピストンロッド3aの先端部に取付けられ、エアシリンダ3により上下動可能に支持されている。この真空容器1に対向して、その下方には被試験計測台5が配置されている。また、真空容器1の下部周囲端面には環状のパッキン7が設けられると共に、被試験計測台5の対応部分にも環状のパッキン8が設けられている。従って、真空容器1が下降して被試験計測台5に接触することで、パッキン7,8同士が密着し、真空容器1と被試験計測台5による密閉空間が形成される。但し、パッキン7,8に代えて、真空容器1の下部周囲端面にのみOリングを設けてもよい。
【0018】
真空容器1の内側には、新鮮な空気を導入するためのパージ配管10が真空容器1の内壁に沿って適当なパターンで配置され、パージ配管10は一定間隔毎に複数個の排出口10aを有する。このパージ配管10の更に内側には、真空引き時に被検査体100の膨張を抑えるために被検査体100の上面を押圧するための平板状の押さえ板20が配置されている。押さえ板20は、押さえ板駆動用の2個のエアシリンダ25のピストンロッド25aの先端部に取付けられ、エアシリンダ25により上下動可能である。
【0019】
この押さえ板20には、被検査体100に封入されたガス(例えばヘリウムガス)の漏れ検査のための吸引及びクリーニングのためのN2 ガス排出を行うためのサンプリング配管21が縦横に付設され、その一部は真空容器1の底部開口に向かって延びている。サンプリング配管21は、押さえ板20以外の部分及び押さえ板20の部分にそれぞれ一定間隔を置いて複数個のガス吸引口21a,21bを有する。
【0020】
なお、図1では、押さえ板20とサンプリング配管21は、便宜上離して示されているが、押さえ板20上のサンプリング配管21部分は、実際には押さえ板20に固定されている。押さえ板20とサンプリング配管21との固定関係は、押さえ板20内部にサンプリング配管21を埋設し、そのガス吸引口21bを押さえ板20の表面(下面)から露出させてもよいし、或いは押さえ板20の下面にサンプリング配管21を付設してもよい。また、押さえ板20にガス吸引口21bが示されているが、これも便宜上のもので、実際にはサンプリング配管21のガス吸引口21bが押さえ板20から現出している。
【0021】
一方、被試験計測台5側においても、一定間隔毎に複数個の排出口11aを有するパージ配管11が、被試験計測台5の上壁に沿って適当なパターンで配置されている。このパージ配管11の更に上側には、コンベヤ(図示せず)により順に搬送されてくる被検査体100を載せる平板状の支持板30が配置されている。支持板30は、支持板駆動用の2個のエアシリンダ35のピストンロッド35aの先端部に取付けられ、エアシリンダ35により上下動可能である。
【0022】
この支持板30にも、上記押さえ板20と同様に、一定間隔毎に複数個のガス吸引口22aを有するサンプリング配管22が縦横に付設されている。ここでも、支持板30とサンプリング配管22は離して示されているが、前記と同様に実際にはサンプリング配管22は支持板30に固定されており、ガス吸引口22aが支持板30の上面から現出する。
【0023】
パージ配管10,11は同じ配管系A(エア配管系,図3及び図4参照)に接続され、その配管系Aにそれぞれエアパージ弁50,51が設けられている。この配管系Aとは別系統でサンプリング配管21,22は配管系B(測定配管系、図3及び図4参照)に接続され、その配管系Bにそれぞれサンプリング弁60,61が設けられている。また、真空容器1の内部の真空圧を測定するための真空計35が設けられている。
【0024】
図2において、真空容器1の内部を真空引きする真空ポンプ(真空手段)40が設けられ、真空ポンプ40は、この真空ポンプ40の真空元の真空圧を測定するための真空計41と、粗引弁(真空弁)42を介して真空容器1の内部に接続されている。更に、真空容器1は、大気開放弁(リーク弁)44を介して外部(屋外)に連通すると共に、大気維持弁(パージ保持用弁)46と大気維持圧調整用絞りボール式弁47を介しても屋外に連通している。
【0025】
図3及び図4において、真空容器1の昇降用エアシリンダ3はエアシリンダ駆動パイロット弁53に接続され、エアシリンダ駆動パイロット弁53は、パージ配管10,11が接続された配管系Aに接続されている。その配管系Aには、パージ圧を測定する圧力計54、パージ用減圧調圧弁55、空気圧元減圧調圧弁56が設けられ、外部装置(図示せず)により空気圧が供給される。また、配管系Aには、空気圧パージ監視流量計57が設けられている。
【0026】
一方、サンプリング配管21,22が接続された配管系Bでは、ストップ弁63とサンプリングポンプ(漏洩ガス検出用の低真空漏洩ガス吸引手段)64が直列接続され、これと並列にN2 パージバイパス弁65が接続されている。更に、配管系Bには、パージ切換弁66及びスニファ弁67を介して、漏洩ヘリウムガスを吸い込むためのスニファユニット(スニファとポンプで構成されたもの)70及びヘリウムガスの有無を検知するための分析計(Heリークデテクタ)71が設けられている。
【0027】
また、パージ切換弁66とスニファ弁67との間には、スニファ用として大気吸込み流量調整用絞り弁68が設けられている。スニファユニット70は、サンプリング確認流量計73を介して屋外に接続されている。
【0028】
ストップ弁63とサンプリングポンプ64との間からは、N2 ガスパージ用の配管系B′が分岐し、その配管系B′には、クリーニング弁80、パージ監視用流量計81、N2 ガスパージ圧を測定する圧力計82を介して、N2 ガスパージ用ボンベ(図示せず)が接続されている。
【0029】
次に、上記のように構成したリーク検出装置の動作について、図5及び図6の動作概念図と図7及び図8のタイムチャートを参照して説明する。但し、ここでは、被検査体100のマーカーガスとしてヘリウムガスを、クリーニング用のガスとしてN2 ガスを使用するものとする。また、図6に示された時間(SEC)を表す数値は一例であり、これに限定されない。
【0030】
なお、図5の動作概念図において、*注1は、クリーニング時間を表し、クリーニングは分析計71が漏洩ヘリウムガスを計測しきい値のα%以上検出したとき動作し、漏洩ヘリウムガスを検知したとき(NG判定したとき)動作する。*注3は、クリーニング時間の後半の時間、即ち真空容器1が上昇してからクリーニング設定時間がタイムアップするまでの時間を表す。*注4は、NG判定した時のNG処理時間とNG多漏れ時の処理時間を表す。*注2は無い。
【0031】
真空容器昇降用のエアシリンダ3により真空容器1が上昇して上限に位置し、支持板昇降用のエアシリンダ35により支持板30が下降した状態において、コンベヤにより被検査体100が搬送され、支持板30上に載せられると、検査(テスト)が開始する。まずエアシリンダ3により真空容器1が下降し、被試験計測台5に接触する。これにより、真空容器1のパッキン7と被試験計測台5のパッキン8が密接し、真空容器1と被試験計測台5により閉鎖空間が形成される。
このとき、大気維持弁46が開いているので、真空容器1を被試験計測台5に接触させるときに空気抵抗は受けない。
【0032】
真空容器1の下降が終了すると、粗引弁42が開き、真空ポンプ40により真空容器1が真空引きされる。この段階では、まだ大気維持弁46が開いたままであるが、絞りボール式弁47により真空容器1の内部は低い真空の状態になる(大気維持時間)。
【0033】
大気維持時間が終了すると、エアパージ弁50,51が開から閉に、サンプリング弁60,61も開から閉に切り換わると共に、大気維持弁46が閉じる。これにより、真空容器1は完全な密閉状態になり、真空容器1が真空引きされる。
また、ストップ弁63が開き、N2 パージバイパス弁65が閉じ、サンプリングポンプ64がONになる。
【0034】
これと併行して、押さえ板20が押さえ板昇降用エアシリンダ25により下降し、押さえ板20が被検査体100の上面を適度の力で押圧し、真空引きによる被検査体100の膨張が阻止される。この状態で真空引きが続行され、真空容器1の真空圧が真空計35の測定により所定値に達すると、ガス漏れ検査が開始する。
【0035】
ガス漏れ検査が開始すると、粗引弁42が閉じ、真空ポンプ40に係る真空引き回路が閉止し、サンプリング弁60,61が閉から開に変わり、スニファ弁67が開く。但し、真空ポンプ40は運転を継続する。この状態のまま、しばらくは計測時間のうちの検出開始時間となる。
【0036】
検出開始時間が終了した後の計測時間中は、真空容器1内のガス(空気や被検査体100から漏れたヘリウムガス)は、サンプリング配管21のガス吸引口21a,21bとサンプリング配管22のガス吸引口22aから吸引され、配管系Bを通じて分析計71に到達する。即ち、ガスは、配管系Bにおいて、ストップ弁63、サンプリングポンプ64、パージ切換弁66、スニファ弁67を順に通過し、スニファユニット70に達し、更に分析計71に至る。
【0037】
被検査体100からヘリウムガスが外に漏れ出した場合は、分析計71によりヘリウムガスが検知されるので、リーク有(ガス漏れNG)と判定される。この場合は、NG処理(*注1)が行われる。このNG処理は、ヘリウムガスの室内飛散防止と配管系Bのクリーニングを目的として、真空容器1の密閉状態で装置内の漏れたヘリウムガスを室外に放出するために行われる。ここでは、N2 ガスを装置内に取り込み、真空引きによりN2 ガスでヘリウムガスを追い出すようにする。なお、NG処理時間は10〜20秒程度である。
【0038】
つまり、NG処理を行うときは、粗引弁42が開、大気開放弁44が開、大気維持弁46が開となる。また、ストップ弁63が閉、N2 パージバイパス弁65が開、サンプリングポンプ64がOFF、クリーニング弁80が開、パージ切換弁66が閉、スニファ弁67が閉となる。この状態で、真空ポンプ40による真空引きが行われると、配管系Bから分岐する配管系B′を通じてN2 ガスがN2 パージ用ボンベから装置内に導入される。
【0039】
N2 ガスは、配管系B′において、パージ監視用流量計81、クリーニング弁80を通過して配管系Bに流入し、更に配管系Bにおいて、サンプリングポンプ64、N2 パージバイパス弁65を通過し、サンプリング配管21のガス吸引口21a,21bとサンプリング配管22のガス吸引口22aから真空容器1内に噴射される。真空容器1内に入ったN2 ガスは、更に真空容器1内から粗引弁42を通って真空ポンプ40により屋外に排出される。このN2 ガスが屋外に排出されることで、N2 ガスにより配管系B、サンプリング配管21,22及び真空容器1内部がクリーニングされ、それらに残留する漏洩ヘリウムガスが屋外に排出される。
【0040】
NG処理が終了すると、換言するとヘリウムガスの漏れが検出されない場合は、GOOD判定となり、大気開放と同時にクリーニングが行われる。このクリーニング時には、粗引弁42が閉、大気開放弁44が開、大気維持弁46が開、ストップ弁63が閉、N2 パージバイパス弁65が開、サンプリングポンプ64がOFF、クリーニング弁80が開、パージ切換弁66が閉となる。
【0041】
このクリーニングでは、粗引弁42が閉じ、真空ポンプ40による真空引きは行われず、大気開放弁44及び大気維持弁46が共に開状態であるため、真空容器1は大気開放され、大気圧と平衡する。同時に、N2 パージ用ボンベからのN2 ガスは、NG処理と同様に配管系B′から配管系Bに流入し、サンプリング配管21,22から真空容器1内に入る。このN2 ガスによるクリーニングは、上記NG処理に比べて、真空ポンプ40による真空引きが行われない点だけが異なる。
【0042】
クリーニング中に、大気開放時間が終わると、真空容器1がエアシリンダ3により上昇し始める。真空容器1が上限位置に達すると、大気開放弁44が閉、エアパージ弁50,51が開、大気維持弁46が閉となる。これにより、空気が配管系Aに導入される。即ち、配管系Aにおいて、空気は空気圧元減圧調圧弁56、パージ用減圧調圧弁55、エアパージ弁50,51を順に通過し、パージ配管10の排出口10aとパージ配管11の排出口11aから噴射される。また、押さえ板20がエアシリンダ25により上昇する。
【0043】
真空容器1が上限位置に達してから、パージ切換弁66が開き、更にその後にクリーニングが終了する。但し、真空容器1が上限に位置してからクリーニングが終了するまでの時間(*注2)は、真空容器1が上昇してからクリーニング設定時間がタイムアップするまでの時間である。
【0044】
また、真空容器1が上限位置に達した後、支持板30上の被検査体100が搬出されると共に、次の新たな被検査体が搬入され、支持板30上に載せられる。
そして、前記したリーク検出動作が同様に繰り返される。
【0045】
このリーク検出装置では、真空ポンプ40による真空引きを行った後、サンプリングポンプ64により真空容器1内のガスを引くとき、特にサンプリング配管21,22が被検査体100の周囲に位置するので、被検査体100からヘリウムガスが漏れている場合、ヘリウムガスは、真空容器1内で拡散することなく直ちにガス吸引口21a,21b,22aから吸引され、配管系Bの分析計71に達する。このため、ヘリウムガス漏れが有った場合に、分析計71による分析結果が早く出ることになり、応答が早くなり、リーク検査に要する時間が短縮され、リーク検査を効率良く繰り返すことができる。しかも、被検査体100からのヘリウムガスが薄められずに分析計71に到達するので、ヘリウムガス漏れの検知感度が向上する。
【0046】
また、押さえ板20及び支持板30が被検査体100に接触し、押さえ板20及び支持板30にガス吸引口21b,22aが有るので、即ちガス吸引口21b,22aが被検査体100に接するので、ヘリウムガス漏れが有る場合に、ヘリウムガスがより素早く分析計71まで到達するようになり、応答が一層早くなり、検知感度も更に高まる。
【0047】
更には、押さえ板20が昇降可能であるので、ガス吸引口21a,21bも被検査体100に対して進退可能であり、被検査体100の形状や大きさにかかわらず、ガス吸引口21a,21bを被検査体100に近接させることができる。
【0048】
上記実施形態では、押さえ板20は被検査体100の上面(1面)側だけに配置されているが、上面側以外にも配置してもよい。その一例を図9に示す。図9では、被検査体100の両側面(2面)側にも押さえ板90が配置されている。
押さえ板90は、エアシリンダ95のピストンロッド95aの先端部に取付けられ、横方向に移動可能である。勿論、押さえ板90にもサンプリング配管21が付設され、そのガス吸引口21bが押さえ板90から現出している。その他の構成は上記実施形態と同じである。
【0049】
この場合、被検査体100(多数個の製品を収納した段ボール箱)において、収納されたどの製品で(段ボール箱内のどの箇所で)ガス漏れが起きても、漏洩ガスが被検査体100からガス吸引口21bに吸い込まれる時間がより一様になり、各被検査体100にかかわらず、応答の安定性が更に増し、検知感度が一層安定する。
【0050】
他方、上記実施形態では、エア配管系Aと測定配管系Bは別系統になっているが、配管系Bに切換弁を設け、配管系Bを介して空気を送るようにしてもよい。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項1記載のリーク検出装置によれば、複数個のガス吸引口を有するサンプリング配管が被検査体に対して進退可能な押さえ板に付設されているので、被検査体からガス漏れがあると、被検査体から出た漏洩ガスが直ちにガス吸引口から吸引され、分析計でガス漏れが検知される。従って、漏洩ガスが真空容器内で拡散せずに分析計に取り込まれるので、ガス漏れが有った場合の応答が早くなり、延いてはリーク検査の時間が短縮される。また、被検査体からの漏洩ガスが薄められずに分析計に到達するので、ガス漏れの検知感度が向上する。
【0052】
また、サンプリング配管が付設された押さえ板が被検査体に対して進退可能であるので、被検査体の形状や大きさにかかわらず、ガス吸引口を被検査体に近接させることができる。
【0053】
更に、複数個のガス吸引口を有するサンプリング配管が被検査体に対して進退可能な押さえ板に付設されているため、押さえ板により被検査体の膨張が抑えられて被検査体からガスが出やすくなり、低真空でもガスをよく絞り出すことができる。しかも、ガス漏れが有る場合に被検査体からの漏洩ガスがより素早く分析計まで到達するようになり、応答が一層早くなり、ガス漏れの検知感度も更に高まる。その上、押さえ板により被検査体の外装にダメージを与えなくなる。更にまた、1回毎のリーク検査を効率良く行え、測定時間サイクルを短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図(真空容器及び配管系の一部)である。
【図2】同リーク検出装置の概略構成図(真空容器の一部及び配管系の残部)である。
【図3】同リーク検出装置の概略構成図(配管系の残部)である。
【図4】同リーク検出装置の概略構成図(配管系の残部)である。
【図5】同リーク検出装置の動作概念図(一部)である。
【図6】図5の動作概念図に続く図(残部)である。
【図7】同リーク検出装置の動作のタイムチャート(一部)である。
【図8】図7のタイムチャートに続くチャート(残部)である。
【図9】別実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図(真空容器及び配管系の一部)である。
【符号の説明】
1 真空容器
3,25,35 エアシリンダ
5 被試験計測台
10,11 パージ配管
10a,11a 排出口
20,90 押さえ板
21,22 サンプリング配管
21a,21b ガス吸引口
22a ガス吸引口
30 支持板
40 真空ポンプ(真空手段)
64 サンプリングポンプ(低真空漏洩ガス吸引手段)
71 分析計
100 被検査体
A,B,B′ 配管系
Claims (1)
- 被検査体から漏れたガスを吸引するガス吸引口を有すると共に被検査体を出入自在とした真空容器と、この真空容器を真空引きする真空手段と、真空容器内で真空引きされた被検査体からのガス漏れを検知する分析計とを備えたリーク検出装置において、
複数個の排出口を有するとともに新鮮な空気を導入するためのパージ配管が前記真空容器の内壁に沿って配置され、
このパージ配管の内側に、前記真空引き時に被検査体の膨張を抑えるために被検査体の少なくとも1面を押圧できるように被検査体に対して進退可能な押さえ板が配置され、
複数個の前記ガス吸引口を有するとともにガス漏れ検査のための吸引及びクリーニング用ガスの排出を行うためのサンプリング配管が前記押さえ板及び当該押さえ板以外の真空容器内に付設され、
前記分析計が前記サンプリング配管に接続され、
前記分析計によりガス漏れが検知された場合は、前記真空手段により真空容器を真空引きしながら真空容器内及びサンプリング配管から分析計の手前までの配管系内にクリーニング用のガスを導入してクリーニングを行い、その後に真空容器を大気開放するとともにサンプリング配管を通じてクリーニング用ガスを真空容器内に導入し、大気開放の終了後にパージ配管を通じて新鮮な空気を真空容器内に導入するようにしたことを特徴とするリーク検出装置。
Priority Applications (1)
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