JP4573939B2 - ガスセンサ素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車等の内燃機関における排気ガス中の窒素酸化物(以下、単にNOxという場合がある。)などのガスを直接検出するガスセンサ素子に関するもので、具体的にはセンサ部とヒータ部とが一体化されてなり、熱衝撃性に優れ、且つ活性化時間の短いヒータ一体型のガスセンサ素子に係わる。
【0002】
【従来技術】
従来、自動車等の内燃機関においては、燃焼制御のためにNOxセンサが設けられている。上記NOxセンサは、例えば酸素イオン導電性を有するZrO2を利用して排気ガス中に存在するNOxガス濃度を検出するものが知られている。
【0003】
このようなNOxセンサは、図15の概略断面図に示すように、酸素イオン導電性の平板状の固体電解質板51、52と、絶縁板53との積層体からなり、固体電解質板51、52との間には、ガス拡散体54および多孔質隔壁55をもって2つの測定室a,bが形成されている。また、固体電解質板51の測定室側と反対の面には、大気に通じる小さな大気導入孔56が形成されている。
【0004】
そして、固体電解質板52の測定室a側とその反対側には、一対の電極57、58が形成されており第1のポンプセルを形成している。また、固体電解質板51の測定室a側と大気導入孔56側にも一対の電極59、60が形成されており濃淡電池セルを形成している。さらに、固体電解質板51の測定室b側にも電極61が形成され、電極60と電極61間で第2のポンプセルを形成している。
【0005】
このような素子では、外部よりガス拡散体54を通して排気ガスを測定室aに導入し、まず第1ポンプ電極57、58により排気ガス中の酸素を素子の外部に排出した後、さらに多孔質隔壁55を通して測定室bに残りの排気ガスを導き、測定室bで同様にポンプ電極60、61により、残存するNOxを分解させてその酸素濃度を測定することにより排気ガス中のNOxの濃度を検出するものである。
【0006】
この際、測定室a内では、排気ガス中のNOxの分解を抑制するため、ポンプ電極60、61と共通に用いられている電極60と電極59を用い測定室a内の酸素分圧の測定が行なわれる。また、上記のNOxセンサ素子の下部には、絶縁層62中に発熱体63が埋設されたヒータ部が上記センサ部とスペーサ64を介して一体的に形成されており、このヒータ部によってセンサ部を700〜900℃の温度まで加熱することによってセンサを作動させる仕組みとなっている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の平板型素子では、作動温度が700〜900℃と高いため、室温から作動温度までの温度サイクルが繰り返し付加されると、素子形状が平板形状であるために固体電解質板51、52のエッジ部に応力が集中しやすく、その結果、NOxセンサ素子の固体電解質板51、52にクラックが発生し、測定室a,bの封止性が損なわれて測定精度が著しく低下したり、場合によってはセンサ素子が破壊してしまうという致命的な問題があった。
【0008】
従って、本発明は上述のようなガスセンサ素子に対してヒータ部が一体的に形成され、急速昇温などの熱衝撃性に優れた円筒状のヒータ一体型のガスセンサ素子を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の問題について検討した結果、酸素イオン導電性を有するセラミック固体電解質からなる円筒管の外側に、所定の空間領域を介して固体電解質層を設け、その空間をガス透過性のある隔壁で分離して第1空間室と第2空間室を形成し、且つ前記第1および第2空間室の周囲に素子を加熱するための発熱体を埋設したセラミック絶縁層を配設した、全体として円筒型構造とすることにより温度サイクルに対しても強いヒータ一体型のガスセンサ素子を提供できることを見出し本発明に至った。
【0010】
即ち、本発明のガスセンサ素子は、少なくとも酸素イオン導電性を有するセラミック固体電解質からなり一端が封止された円筒管と、該円筒管の外面に形成され、所定の空間領域を具備し、且つその空間領域の周囲に発熱体が埋設されてなるセラミック絶縁層と、前記セラミック絶縁層の空間領域を塞ぐ位置に形成された固体電解質層と、前記空間領域をガス透過性隔壁によって分離形成された第1空間室および第2空間室と、前記固体電解質層の第1空間室側の内面および前記固体電解質層の外面の互いに対向する位置に形成された第1の電極対と、前記円筒管の第2空間室側の外面および前記円筒管の内面の互いに対向する位置に形成された第2の電極対と、前記第1空間室に被測定ガスを取り込むための拡散孔と、を具備したことを特徴とするものである。
【0011】
この際、前記拡散孔は前記固体電解質層または前記セラミック絶縁層に形成することが望ましい。
【0012】
従来のヒータを一体化した平板型のガスセンサ素子では、急速に昇温すると素子のエッジ部に熱応力が集中して素子が破壊し易い。これに対して、本発明のガスセンサ素子は、酸素イオン導電性を有するセラミック固体電解質からなり一端が封止された円筒管の外側にセンサ部を設けることによって全体として円筒形状からなるため、熱応力が素子全体にわたり均等に分散されるため、熱応力の集中が防止され、平板型素子では得られない優れた熱衝撃性が得られる。
【0013】
また、本発明のセンサ素子によれば、発熱体を内蔵したセラミック絶縁層をセンサ部の周囲に配置したことによって、発熱体によるセンサ部の加熱効率を高め、急速昇温を行うことができる結果、センサ素子の活性化時間を短縮することができる。
【0014】
なお、本発明のガスセンサ素子は、後述するように、製造にあたって、固体電解質からなる円筒管を具備するセンサ素体の表面に、固体電解質シート表面に電極パターン、セラミック絶縁層および発熱体パターンを埋設したシート状積層体を巻き付け、ヒータ素体とセンサ素体とを同時焼成して作製できるため、製造コストが極めて安価になり、経済性の観点からも優れている。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のヒータ一体型のガスセンサ素子として、NOxセンサ素子を例として説明する。本発明のNOxセンサ素子の構造を、図1の概略斜視図および図2(a)に示す図1のX1−X1の断面図、図2(b)に示すX2−X2の断面図を用い説明する。
【0016】
本発明のNOxセンサ素子1によれば、酸素イオン導電性を有するセラミック固体電解質からなる一端が封止された、言い変えれば縦断面図がU字状の円筒管2の外面には、所定の空間領域を具備し、且つその空間領域の周囲に発熱体3が埋設されてなるセラミック絶縁層4が形成されており、さらにそのセラミック絶縁層4の空間領域には、空間領域を塞ぐ位置に所定の厚さの固体電解質層5が形成されている。
【0017】
そして、セラミック絶縁層4および固体電解質層5によって囲まれた空間領域は、ガス透過性を有する隔壁6によって第1空間室7および第2空間室8とに分離形成されている。
【0018】
また、固体電解質層5の第1空間室7側の内面および前記固体電解質層5の外面の互いに対向する位置には第1の電極対9、10が被着形成されている。さらに、円筒管2の第2空間室8側の外面および前記円筒管2の内面の互いに対向する位置には第2の電極対11、12が被着形成されている。
【0019】
そして、第1空間室7の固体電解質層5、第1の電極対9、10には、第1空間室7に被測定ガスを取り込むための拡散孔13が設けられている。
【0020】
上記のNOxセンサ素子1においては、固体電解質層5と第1の電極対9、10によって、第1空間室7内のNOxが分解しない程度で酸素濃度が一定になるように酸素イオンをポンピングで第1空間室7から汲み出し、この一定の酸素濃度に保たれた排気ガスは、さらにガス透過性隔壁6を通り、第2空間室8に導かれる。この第2の空間室8では排気ガス中のNOxは電極12によって完全に分解され生成した酸素を酸素イオンを円筒管2と第2の電極対11、12によってポンピングして円筒管2内部に排出する。本発明のNOxセンサ素子1は、電極対11、12のポンピング電流値から排気ガス中のNOxの濃度を検出する仕組みとなっている。
【0021】
この際、セラミック絶縁層4中に埋設された発熱体3は、リード電極14を経由して端子電極15と接続されており、これらを通じて発熱体3に電流を流すことにより発熱体3が加熱され、第2の電極対11、12を具備する固体電解質からなる円筒管2および第1の電極対9、10を具備する固体電解質層5からなるセンサ部を効率的に加熱する仕組みとなっている。
【0022】
NOxセンサ素子全体の大きさとしては、外径を3〜6mm、特に3〜4mmとすることにより、素子の消費電力を低減するとともに、センシング性能を高めることができる。
【0023】
なお、図1および図2には、説明の便宜上、図示していないが、円筒管2の内側の電極11を除き、固体電解質層5に形成された第1電極対9、10、第2の電極対11、12のうち、第2空間室8側に形成された電極12には、排気ガスによる被毒を防止する観点から、表面に多孔質のセラミック保護層を形成することが望ましい。
【0024】
また、本発明においては、第1空間室7内での急激なNOxの分解を抑制し酸素分圧を一定値(10-8atm)以上に保つため、図3に示すように第1空間室7の円筒管2表面と円筒管2内面に第3の電極対16、17を形成することが望ましい。その際、第2の電極対11、12のうちの円筒管2内部の電極11と第3の電極対16、17のうち円筒管2内部の電極17とを同一の電極として形成することも可能である。
【0025】
この円筒管2に形成した第3の電極対16、17を用いて、円筒管2の内外部で発生する起電力を測定し、第1空間室7の酸素分圧が一定になるように制御することにより、第1の電極対9、10のポンピング電流の制御を行うことがNOx濃度の測定精度と感度の観点から好ましい。
【0026】
次に、本発明のセンサ素子に用いられる材料と素子の各部の構造について説明する。
(固体電解質材質)
本発明のNOxセンサ素子において、円筒管2および固体電解質層5を形成する固体電解質は、ZrO2を含有するセラミックスからなることが好適で、具体的には、ZrO2に、Y2O3およびYb2O3、Sc2O3、Sm2O3、Nd2O3、Dy2O3等の希土類酸化物を酸化物換算で1〜30モル%、好ましくは3〜15モル%含有する部分安定化ZrO2あるいは安定化ZrO2が用いられている。また、ZrO2中のZrを1〜20原子%をCeで置換したZrO2を用いることにより、酸素イオン導電性が大きくなり、応答性がさらに改善されるといった効果がある。
【0027】
さらに、焼結性を改善する目的で、上記ZrO2に対して、Al2O3やSiO2を添加含有させることができるが、多量に含有させると、高温におけるクリープ特性が悪くなることから、Al2O3およびSiO2の添加量は総量で5重量%以下、特に2重量%以下であることが望ましい。
(セラミック絶縁層)
一方、発熱体3を埋設するセラミック絶縁層4としては、アルミナ、スピネル、フォルステライト、ジルコニア、ガラス等のセラミック材料が好適に用いられる。さらに、セラミック絶縁層4としてガラス絶縁層にはガラスを用いることができるが、この場合は耐熱性の観点から、BaO、PbO、SrO、CaO、CdOのうちの少なくとも1種を5重量%以上含有するガラスであり、特に結晶化ガラスであることが望ましい。
【0028】
また、このセラミック絶縁層4は、相対密度が80%以上、開気孔率が5%以下の緻密質なセラミックスによって構成されていることが望ましい。これは、セラミック絶縁層4が緻密質であることにより絶縁層の強度が高くなる結果、センサ素子自体の機械的な強度を高めることができるためである。
(発熱体)
また、上記セラミック絶縁層4の内部に埋設される発熱体3としては、白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウムの群から選ばれる1種の金属、または2種以上の合金からなることが望ましく、特に、セラミック絶縁層4との同時焼結性の点で、そのセラミック絶縁層4の焼成温度よりも融点の高い金属または合金を選択することが望ましい。
【0029】
また、発熱体3中には上記の金属の他に焼結防止と絶縁層との接着力を高める観点からアルミナ、スピネル、アルミナ/シリカの化合物、フォルステライトあるいは上述の電解質となり得るジルコニア等を体積比率で5〜50%、特に10〜20%の範囲で混合することが望ましい。
(ヒータ部構造)
セラミック絶縁層4の内部に発熱体3を埋設してなるヒータ部の構造は、図3の断面図に示すように、固体電解質からなる円筒管2の表面に内部に発熱体3が埋設されたセラミック絶縁層4を積層した構造を有する。すなわち、円筒管2の外面に、内部に発熱体3が埋設されたアルミナ、スピネル、フォルステライト等のセラミック絶縁層4が形成されているが、このそのセラミック絶縁層4の外面には、第1および第2の空間室7、8上のみならず、固体電解質層5を形成することが望ましい。
【0030】
このセラミック絶縁層上の固体電解質層5は、発熱体3からの熱の放散を防止するとともに、固体電解質の円筒管2セラミック絶縁層4間の熱膨張差や焼成収縮差等に起因する応力を緩和させ熱応力をできる限り小さくする作用をなす。
【0031】
発熱体3は、円筒管2や固体電解質層5および電極と直接接することがないようにセラミック絶縁層4内に配設されていることが必要であって、発熱体7と円筒管2、および発熱体7と固体電解質層5との間のセラミック絶縁層の厚みは、それぞれ2〜100μmの範囲が好ましい。これは上記セラミック絶縁層の厚みが2μmより薄いと、電気絶縁性が悪くなり漏れ電流が発生し、センシングに影響を与える。逆に、上記セラミック絶縁層の厚みが100μmを超えると、固体電解資質との熱膨張係数の差による熱応力が大きくなり素子の熱衝撃性が悪くなる。絶縁層の厚みとしては、特に5〜30μmであることが望ましい。
(電極)
第1空間室7上部の固体電解質層5および第2空間室8の円筒管2の表面に被着形成される第1電極対9、10、第2電極対11、12、第3電極対16、17は、いずれも白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウムおよび金の群から選ばれる1種、または2種以上の合金が用いられる。また、センサ動作時の電極中の金属の粒成長を防止する目的と、応答性に係わる金属粒子と固体電解質と気体との、いわゆる3相界面の接点を増大する目的で、上述のセラミック固体電解質成分を1〜50体積%、特に10〜30体積%の割合で上記電極中に混合してもよい。
【0032】
第1空間室7の固体電解質層5に形成される第1の電極対9、10および第3の電極対16、17は、NOxの分解を抑制する観点からNOxに対して不活性電極とする必要があり、そのため金を重量換算で1〜30%、特に1〜10%含有させた白金を用いることが望ましい。一方、第2の電極対11、12について、固体電解質からなる円筒管2の内面の電極11や電極17は、第2空間室8側または第1空間室7の電極12や電極16の面積よりも大きい面積、例えば、円筒管2の内面全面に形成されていてもよい。
【0033】
また、この拡散孔13は、他の形態として、固体電解質層5に形成するのみならず、図5の概略断面図に示すように、先端側のセラミック絶縁層4を貫通するように、円筒管2の長手方向に溝状に形成することもできる。
【0034】
さらに他の形態として、図6の概略断面図に示すように、センサ素子の先端側のセラミック絶縁層4の一部を多孔質体19によって一部置換し、この多孔質体19を拡散孔13として代用することも可能である。
(ガス透過性隔壁)
本発明のNOxセンサ素子、第1空間室7と第2空間室8をガス透過性隔壁6で分離することが必要である。この隔壁6は、ガスを透過し得る性質を有するものであればよく、緻密体に小さな拡散孔を形成したものや、多孔質体からなるものであってもよい。
隔壁6を形成する材料としては、アルミナ、スピネル、フォルステライト、ジルコニア、ガラスの群から選ばれる少なくとも1種のセラミック材料が好適に用いられる。ガラスを用いる場合には耐熱性の観点から、BaO、PbO、SrO、CaO、CdOのうちの少なくとも1種を5重量%以上含有するガラスであり、特に結晶化ガラスであることが望ましい。隔壁を多孔質体によって形成する場合には、気孔サイズにもよるが、開気孔率として20〜70%、特に40〜50%の範囲が好ましい。
(電極保護層)
図面に図示していない電極保護層は、円筒管内部の電極11、17を除き、排気ガスに晒されるその他の電極9、10、12、16が被毒することを防止することを目的として設けるものであり、排ガスに晒される上記電極の表面にアルミナ、スピネル、フォルステライト、ジルコニア、マグネシアの群から選ばれる少なくとも1種からなる多孔質の保護層として形成され、その開気孔率が20〜60%のセラミック多孔質体からなることが望ましく、厚みとしては、開気孔率にもよるが10〜200μm、特に50〜150μmの範囲が望ましい。
【0035】
また、空間室7、8内部の電極10、12を保護する目的で、図7に示すように拡散孔13の周囲の第1空間室7内に多孔質体20を形成することにより空間室7、8内の電極10、12が直接排気ガスに晒されないようにしてもよい。
(素体の作製方法)
次に、本発明のセンサ素子の製造方法について、特に図1および図2の構造のNOxセンサ素子の製造方法を例に説明する。
(1)まず図8(a)に示すような一端が封止された中空の円筒管21を作製する。この円筒管21は、ジルコニア等の酸素イオン導電性を有するセラミック固体電解質粉末に対して、適宜、成形用有機バインダーを添加して押出成形や、静水圧成形(ラバープレス)あるいはプレス形成などの周知の方法により作製される。
【0036】
この時、用いられる固体電解質粉末としては、ジルコニア粉末に対して、前述したような種々の安定化剤を添加した混合粉末、あるいはジルコニアと上記安定化剤との共沈原料粉末が用いられる。また、ZrO2中のZrを1〜20原子%をCeで置換したZrO2粉末、または共沈原料を用いることもできる。さらに、焼結性を改善する目的で、上記固体電解質粉末に、Al2O3やSiO2を5重量%以下、特に2重量%以下の割合で添加することも可能である。
(2)そして、図8(b)のように上記固体電解質からなる円筒管21の内面および外面に、第2の電極対11、12となる電極パターン22、23を例えば、白金を含有する導電性ペーストを用いてスラリーデッィプ法、あるいはスクリーン印刷、パット印刷、ロール転写で形成する。この時、円筒管21内面への電極の印刷は、導体ペーストを充填して排出して、内面全面に塗布形成すると効率がよい。このようにして素体Aを作製する。
(3)次に、図9(a)に示すように、上記のジルコニア粉末に適宜成形用有機バインダーを添加してスラリーを調製し、この絶縁体スラリーを用いてドクターブレード法、押し出し成形法、プレス法などにより所定厚さのセラミック絶縁層4を形成するためのジルコニアグリーンシート24を作製する。グリーンシート24の1枚の厚みは、シートの取り扱いの観点から50〜500μm、特に100〜300μmの範囲が特に好ましい。
【0037】
この後、図9(a)に示すようにグリーンシート24両面の所定の位置に金を含有する白金の導電性ペーストを用いてスラリーデッィプ法、あるいはスクリーン印刷、パット印刷、ロール転写で第1の電極9、10を形成するためリードを含む電極パターン25、26を形成する。
【0038】
次に、図9(b)のようにアルミナ、スピネル、フォルステライト、ジルコニア、ガラス等のセラミック粉末を用いて、適宜成形用有機バインダーを添加してスラリーを調製し、このスラリーを第1空間室7および第2空間室8を形成する領域を除きグリーンシート24の片面にスクリーン印刷等でセラミック絶縁層27を所定の厚みで塗布形成する。その後、図9(c)のように、セラミック絶縁層27表面に白金粉末を含む導電性ペーストをスクリーン印刷法、パット印刷法、ロール転写法等により印刷して発熱体パターン29を形成する。そして、さらにもう一度、図9(d)に示すように上記の絶縁体スラリーを塗布して、発熱体パターン29を絶縁層27内に埋設させる。この際、第1空間室7と、第2空間室8との隔壁28も同様に上記と同様に多孔質体を形成し得るスラリーを用いてスクリーン印刷等で印刷形成して図10の概略斜視図に示されるような素体Bを作製する。
(4)そして、図11に示すように、上記円筒状の素体Aの表面に、平板状の素体Bを巻き付けて円筒状積層体を作製する。この際、素体Bを素体Aに巻き付けるには、素体Bと素体Aとの間にアクリル樹脂や有機溶媒などの接着剤を介在させて接着させるか、あるいはローラ等で圧力を加えながら機械的に接着することができる。
【0039】
この時、図2(b)に示すように、本発明においては、巻き付けされた素体Bの合わせ目は、焼成後、端面の開きθが円周角でθ=5〜50°の範囲になるようにすることが望ましい。この端面の開きが、5°より小さくすると素体Bの大きさおよび素体Aの製造ばらつきの観点から、ヒータ素体の端面が一部重なり合うものが発生しやすく、素子の量産時の歩留まりに影響が出る虞がある。それに対して、端面の開きが50°を越えると、焼成時に素子が楕円形に変形して、その結果、熱衝撃性が低下するおそれがある。端面の開きθは、円周角で10〜20°が特に望ましい。
(拡散孔の形成)なお、図1の拡散孔13の形成にあたっては、図9(d)に示すように、素体Bと素体Aとを一体化する前に、素体Bにマイクロドリルなどを用いて焼成後に直径が100〜500μmとなるような孔30を形成する。また、この孔30は、上記の素体Aと素体Bとの一体化によって円筒状の積層体を形成した後に形成してもよいし、さらには、後述する焼成後に形成することも可能であるが、作業性および歩留まりの観点からは焼成前に上記の方法で形成することが好ましい。
【0040】
また、図5に示したように、拡散孔13をセラミック絶縁層4の先端側に形成する場合も、前記と同様に焼成前の図9による素体Bを作成する段階で、セラミック絶縁層4に先端への貫通する溝を形成することもできる。また、焼成後に、先端からマイクロドリルを用いて形成することも可能である。
【0041】
さらに、図6のように拡散孔13を多孔質体19によって代用する場合には、図9(b)〜(d)の段階で、先端部に粒子径の大きなアルミナ、スピネル、フォルステライト、ジルコニア、ガラス等のセラミック粉末からなるスラリー、あるいは上記の原料粉末に有機物からなるポア形成添加したスラリーを塗布すればよい。
(焼成)そして、上記の素体Aと素体Bとの一体物からなる円筒状積層体を素体Aと素体Bとが同時に焼成可能な温度で焼成することにより、素体Aと素体Bとを完全に一体化することができる。例えば、固体電解質としてジルコニアを用いた場合には、アルゴンガス等の不活性雰囲気中あるいは大気中1300〜1700℃で1〜10時間程度焼成することにより同時焼成することができる。
(電極保護層の形成)電極保護層は、円筒状積層体の焼成前に、上記の素体Bの電極パターンの表面や、素体Bにおける電極パターン25、26や、素体Aにおける電極パターン22の表面に、焼成後多孔質となるようなアルミナ、スピネル、フォルステライト、ジルコニア、マグネシア等のセラミックスラリーを、スクリーン印刷法、スラリーディップ法により形成した後、素体Aと素体Bとを巻き付けて一体化した後、焼成すればよい。このセラミック電極保護層としては、ガス透過性の観点か20〜60%、特に30〜40%の開気孔率を有することが望ましい。
(他の製造方法)また、素体Bの製造方法として、図9に示した方法以外に、次の方法も採用し得る。図12に示すように、上記ジルコニアなどの固体電解質からなるグリーンシート31の両面の所定の位置に金を含有する白金を含有する導電性ペーストを用いてスラ
リーデッィプ法、あるいはスクリーン印刷、パット印刷、ロール転写で第1電極対となる電極パターン32、33を形成するとともに、その一方の表面に、多孔質スラリーを塗布して第1空間室と第2空間室を分離するための隔壁28を形成する。
【0042】
一方、セラミック絶縁材料からなるグリーンシート34に、第1空間室と第2空間室を形成するためにパンチング等の方法で開口部35を形成する。また、セラミック絶縁材料からなるグリーンシート36に同様の開口部35を形成するとともにその開口部35の周辺に発熱パターン37を印刷塗布する。
【0043】
その後、これらグリーンシート31、34、36を位置合わせして積層一体化して図10の素体Bを作製することができる。
【0044】
さらに、前記素体Aの表面に素体Bを巻き付けるにあたって、素体Aの外表面側の電極パターン22を図13に示すように円筒管21と同じ固体電解質からなるグリーンシート38の表面に印刷し、素体Bとあらかじめ積層した後、円筒管21の内部に電極パターン23のみを形成した素体Aの表面に、素体Bとグリーンシート38との積層体を巻き付けて一体化処理し、焼成することも可能である。これは、円筒管21の曲面に電極パターンを形成することが難しいことから、パターニングをすべて素体B側で行うことによって量産性を高めることができる。その場合、円筒管21内部の電極パターン23は、円筒管21の内部に電極ペーストを充填、排出し、円筒管21の内部全面に電極パターン23を形成することが容易に形成できる。
【0045】
本発明のNOxセンサ素子は、上記図1乃至図13の構造および製造方法に限定されるものではなく、例えば、第1空間室7と第2空間室8とを入れ換え、円筒管2の先端側に第2空間室8を設けてもよい。また、本発明のセンサ素子は、自動車用内燃機関の排ガス中のNOx濃度を検出するNOxセンサ素子の他に、測定精度と感度の優れたSOxセンサ素子やHCセンサ素子としても用いることができる。
【0046】
【実施例】
(実施例1)
実施例として、図1に示すガスセンサ素子構造を例に、図9の作製方法を用いて本発明の素子を説明する。
市販のアルミナ粉末と、平均粒子径が0.5μmと3μmの5モル%Y2O3含有のジルコニア粉末と、10体積%のZrO2を含有する白金粉末、および金を5重量%およびZrO2を10重量%含有する白金粉末をそれぞれ準備した。
【0047】
まず、図8(a)に示すように、粒子径が0.5μmの5モル%Y2O3含有のジルコニア粉末にポリビニルアルコール溶液を添加して坏土を作製し、押出成形により焼結後、外径が約4mm、内径が1mmになるように一端が封じた円筒状成形体を作製した。
【0048】
そして、その円筒状成形体の表面に、図8(b)のように第2の電極対として、ZrO2を10体積%含有する白金ペーストからなる長方形状の電極パターンを印刷塗布するとともに、円筒状成形体の内部全面に前記白金ペーストを充填、排出して円筒状成形体の内面全面に電極を形成し、素体Aを作製した。なお、この際、電極の厚みは焼成後に約10μmとなるように調整した。
【0049】
また、粒子径が0.5μmの5モル%Y2O3含有のジルコニア粉末にアクリル系バインダーとトルエン溶液を加えてスラリーを作製し、ドクターブレード法により厚みが約300μmのジルコニアグリーンシートを作製した。
【0050】
このグリーンシートを用いて、図9(a)に示すように、シートの両面に対向する位置に、金を5重量%およびZrO2を10体積%含有する白金ペーストを用いて第1の電極対を形成した。その後、絶縁層を形成するために、図9(b)のようにアルミナ粉末を含むスラリーをスクリーン印刷で焼成後約10μmの厚みになるように塗布した。また、多孔質の隔壁を形成するため、粒子径が3μmの5モル%Y2O3含有のジルコニア粉末からなるスラリーを用いて、スクリーン印刷により隔壁パターンを印刷した。
【0051】
さらに、絶縁層の表面に、図9(c)の白金の発熱体パターンを形成し、さらに図9(d)のように上記の方法によりアルミナの絶縁層を約10μmの厚み形成し、発熱体パターンを絶縁層中に埋設し、素体Bを作製した。
【0052】
この後、図11に示すように上記の第2電極を形成した円筒状の素体A表面に、上述のシート状積層体からなる素体Bをアクリル系バインダを用いて巻き付け、円筒状積層体を作製し、1400℃、大気中で1時間行いヒータ一体型の窒素酸化物(NOx)センサ素子を完成させた。この際、素体Bによる端面の開き角(θ)を約15°とした。
【0053】
作製したガスセンサ素子を、室温から1000℃まで20秒で昇温し、1000℃から室温まで空冷するという温度サイクルを1サイクルとし、これを5万回繰り返し素子が破壊する確率を求めた。この際、試料は100個とした。また、比較のため市販のヒータが一体化した平板型NOxセンサ素子についても同様な試験を行った。
【0054】
その結果、市販の平板型のNOxセンサ素子においては、破損率は92%であったのに対して、本発明の円筒型のNOxセンサ素子は、32%と低いものであり、本発明の構造のガスセンサ素子は、市販の平板型センサ素子に比較して、熱サイクルによる破損率が極めて低いことがわかる。この結果から、本発明の円筒型センサ素子が優れた熱衝撃性を有するものであることが充分理解できる。
(実施例2)
実施例1の試料を用いて、800℃で酸素濃度を0.4と4.0%(バランスガスとしてN2使用)とした場合の、NOx濃度と第2電極対のポンピング電流の関係を求めた。結果を図14に示す。これより、雰囲気の酸素濃度によらず、本発明の素子は広い酸素濃度範囲で安定したNOx濃度の検出能力を有することがわかる。
【0055】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明のガスセンサ素子は、少なくとも酸素イオン導電性を有するセラミック固体電解質からなり一端が封止された円筒管と、該円筒管の外面に形成され、所定の空間領域を具備し、且つその空間領域の周囲に発熱体が埋設されてなるセラミック絶縁層と、前記セラミック絶縁層の空間領域を塞ぐ位置に形成された固体電解質層と、前記空間領域をガス透過性隔壁によって分離形成された第1空間室および第2空間室と、前記固体電解質層の第1空間室側の内面および前記固体電解質層の外面の互いに対向する位置に形成された第1の電極対と、前記円筒管の第2空間室側の外面および前記円筒管の内面の互いに対向する位置に形成された第2の電極対と、前記第1空間室に被測定ガスを取り込むための拡散孔と、を具備することにより、従来の平板型のセンサ素子では得られない急速昇温などの熱衝撃性に優れたガスセンサ素子が提供できる。また、その結果、センサ素子の活性化時間を短縮することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガスセンサ素子の一例としてNOxセンサ素子の概略斜視図である。
【図2】(a)は図1のNOxセンサ素子のX1−X1 線概略断面図であり、(b)はX2−X2 線概略断面図である。
【図3】本発明のNOxセンサ素子の他の例を説明するための概略断面図である。
【図4】本発明のNOxセンサ素子のさらに他の例を説明するための概略断面図である。
【図5】本発明のNOxセンサ素子のさらに他の例を説明するための概略断面図である。
【図6】本発明のNOxセンサ素子のさらに他の例を説明するための概略断面図である。
【図7】本発明のNOxセンサ素子のさらに他の例を説明するための概略断面図である。
【図8】図1のガスセンサ素子の製造方法を説明するためのもので、(a)(b)は素体Aの作製方法を説明するための工程図である。
【図9】図1のガスセンサ素子の製造方法を説明するためのもので、(a)〜(d)は素体Bの作製方法を説明するための工程図である。
【図10】図9によって作製された素体Bの概略斜視図である。
【図11】図1のガスセンサ素子の製造方法を説明するためのもので、素体Aを素体Bに巻き付け処理する工程を説明するための概略斜視図である。
【図12】図1のガスセンサ素子の製造方法を説明するためのもので、素体Bの他の作製方法を説明するための工程図である。
【図13】図1のガスセンサ素子の製造方法を説明するためのもので、素体Bの他の作製方法を説明するための工程図である。
【図14】本発明のNOxセンサ素子のNOx濃度とポンピング電流との関係を示した図である。
【図15】従来の平板型のNOxセンサ素子の概略断面図である。
【符号の説明】
1 ガスセンサ素子
2 円筒管
3 発熱体
4 セラミック絶縁層
5 固体電解質層
6 ガス透過性隔壁
7 第1空間室
8 第2空間室
9、10 第1電極対
11、12 第2電極対
13 拡散孔
Claims (3)
- 少なくとも酸素イオン導電性を有するセラミック固体電解質からなり一端が封止された円筒管と、該円筒管の外面に形成され、所定の空間領域を具備し、且つその空間領域の周囲に発熱体が埋設されてなるセラミック絶縁層と、前記セラミック絶縁層の空間領域を塞ぐ位置に形成された固体電解質層と、前記空間領域をガス透過性隔壁によって分離形成された第1空間室および第2空間室と、前記固体電解質層の第1空間室側の内面および前記固体電解質層の外面の互いに対向する位置に形成された第1の電極対と、前記円筒管の第2空間室側の外面および前記円筒管の内面の互いに対向する位置に形成された第2の電極対と、前記第1空間室に被測定ガスを取り込むための拡散孔と、を具備したことを特徴とするガスセンサ素子。
- 前記拡散孔が前記固体電解質層に形成されてなる請求項1記載のガスセンサ素子。
- 前記拡散孔が前記セラミック絶縁層に形成されてなる請求項1記載のガスセンサ素子。
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Citations (1)
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO1999014584A1 (de) * | 1997-09-15 | 1999-03-25 | Heraeus Electro-Nite International N.V. | Gassensor |
WO1999014586A1 (de) * | 1997-09-15 | 1999-03-25 | Heraeus Electro-Nite International N.V. | Gassensor |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018204066A1 (de) | 2017-03-31 | 2018-10-04 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensorelement |
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