JP4573027B2 - Excimer lamp lighting device - Google Patents
Excimer lamp lighting device Download PDFInfo
- Publication number
- JP4573027B2 JP4573027B2 JP2004247316A JP2004247316A JP4573027B2 JP 4573027 B2 JP4573027 B2 JP 4573027B2 JP 2004247316 A JP2004247316 A JP 2004247316A JP 2004247316 A JP2004247316 A JP 2004247316A JP 4573027 B2 JP4573027 B2 JP 4573027B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excimer lamp
- power transmission
- transmission cable
- lighting device
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
Description
この発明は、エキシマランプを用いたエキシマランプ点灯装置に係わり、特に、給電装置からエキシマランプに高周波高電圧を給電する送電ケーブルの改良に係わるエキシマランプ点灯装置に関する。 The present invention relates to an excimer lamp lighting device using an excimer lamp, and more particularly to an excimer lamp lighting device related to improvement of a power transmission cable for feeding a high frequency high voltage from a power feeding device to an excimer lamp.
近年、半導体の製造工程や液晶基板の洗浄処理等にエキシマランプから放射されるエキシマ光を利用した乾式処理が利用されるようになってきた。エキシマランプからエキシマ光を放射するためには、エキシマランプに、例えば、数kHzから数百kHz程度の高周波で、且つ数kV以上の高電圧を印加して点灯する必要がある。このような高周波高電圧を用いてエキシマランプを点灯する場合は、エキシマランプと高周波高電圧を発生する給電装置間、特に、エキシマランプと給電装置に設けられる高周波高電圧を出力する昇圧トランス間に設けられる送電ケーブルを短くする必要があった。これは、高周波高電圧の送電時に、送電ケーブルから電磁ノイズが漏れるため送電ケーブルの静電容量による漏洩電流の増加により効率的にエキシマランプを点灯することができないことによるとともに、耐コロナ対応ができないため安全上問題があったためである。 In recent years, dry processing using excimer light emitted from an excimer lamp has been used for semiconductor manufacturing processes, liquid crystal substrate cleaning processing, and the like. In order to emit excimer light from an excimer lamp, it is necessary to light the excimer lamp by applying a high voltage of several kHz to several hundred kHz and a high voltage of several kV or more. When an excimer lamp is lit using such a high frequency high voltage, between the excimer lamp and the power supply device that generates the high frequency high voltage, in particular, between the excimer lamp and the step-up transformer that outputs the high frequency high voltage provided in the power supply device. It was necessary to shorten the transmission cable provided. This is because electromagnetic noise leaks from the power transmission cable during high-frequency and high-voltage power transmission, so that the excimer lamp cannot be turned on efficiently due to an increase in leakage current due to the capacitance of the power transmission cable, and it cannot cope with corona resistance. This is because there was a safety problem.
特開平7−169444号公報には、高周波高電圧を出力する昇圧トランスとエキシマランプ間に設けられる送電ケーブルの距離を極力短くして電磁ノイズの漏れを小さくする技術が開示されている。 Japanese Patent Laid-Open No. 7-169444 discloses a technique for reducing leakage of electromagnetic noise by minimizing the distance between a power transmission cable provided between a step-up transformer that outputs a high-frequency high voltage and an excimer lamp.
図8は、従来技術に係るエキシマランプ点灯装置の一例を示す図である。同図に示すように、放電空間に希ガスを封入したエキシマランプ100がランプハウス101内に配置されており、さらにランプハウス101内には、エキシマランプ100から放射されたエキシマ光を反射して窓部103から放射させる反射鏡102と、エキシマランプ100に高周波高電圧を供給する昇圧トランス104とが配置されている。昇圧トランス104には、ランプハウス101外部に配置された給電装置105から高周波電圧が高周波ケーブル106によって昇圧トランス104に供給され、昇圧トランス104からは昇圧された高周波高電圧が送電ケーブル107によってエキシマランプ100に供給されている。
FIG. 8 is a diagram illustrating an example of an excimer lamp lighting device according to the related art. As shown in the figure, an
しかし、図8に示すようなエキシマランプ点灯装置では、昇圧トランス104をランプハウス101内に配置するために、ランプハウス101が非常に重いものとなり、ランプハウス101が大型化してしまうといった問題があった。また昇圧トランス104をランプハウス101の外部に配置した場合は、高周波高電圧を送電する際に、送電ケーブル107から電磁ノイズが発生するため、送電ケーブル107を長い距離引き回すことが出来ないといった問題があった。また昇圧トランス104からエキシマランプ100までの送電ケーブル107の距離を短くしようとすると、エキシマランプ点灯装置に種々の制約が発生し、装置自身の構成が複雑になったり、取り扱いが困難になるといった問題があった。
However, in the excimer lamp lighting device as shown in FIG. 8, since the step-up transformer 104 is arranged in the
また、送電ケーブル107から漏れる電磁ノイズの対策として、シールド線に代表されるように、導電線の周囲を金属製の網状体等で覆った電磁シールドを設けることが行われている。しかし、高周波高電圧を送電する場合は、このようなシールド技術を採用した場合には、導電線と電磁シールドとの間でコロナ放電等の絶縁破壊が発生し、電磁シールド線を採用しても、高周波高電圧を送電することが出来ないという問題があった。
Further, as a countermeasure against electromagnetic noise leaking from the
本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、給電装置とエキシマランプ間に配設される送電ケーブルに、電磁シールドを施すことによって、電磁ノイズの漏れを抑制又は防止するとともに、導電線と電磁シールド間にコロナ放電のような放電が発生しないようにすることにより、長距離にわたって効率的に高周波高電圧を供給することを可能にしたエキシマランプ点灯装置を提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to suppress or prevent leakage of electromagnetic noise by applying an electromagnetic shield to a power transmission cable disposed between a power feeding device and an excimer lamp, and to prevent a conductive wire and an electromagnetic wave. An object of the present invention is to provide an excimer lamp lighting device that can efficiently supply a high-frequency high voltage over a long distance by preventing discharge such as corona discharge between shields.
本発明は、上記の課題を解決するために、次のような手段を採用した。
第1の手段は、放電空間内に希ガスを封入したエキシマランプと、昇圧トランスにより高周波高電圧を発生する給電装置と、前記エキシマランプと前記給電装置との間に、前記昇圧トランスからの高周波高電圧を供給する送電ケーブルを配設したエキシマランプ点灯装置において、前記送電ケーブルが、導電線と該導電線の周囲を被覆する絶縁性材料とからなる導電層と、前記高周波高電圧の給電時に前記導電層から発生する電磁ノイズの放射を防止するシールド層と、前記導電層と前記シールド層との間に設けられ、前記導電層と前記シールド層間の放電を抑制する空隙層とから構成されたことを特徴とするエキシマランプ点灯装置である。
The present invention employs the following means in order to solve the above problems.
First means, and an excimer lamp filled with a rare gas in the discharge space, a power supply device for generating a high-frequency high voltage by a step-up transformer, between the excimer lamp and the power supply device, a high frequency from the step-up transformer In an excimer lamp lighting device provided with a power transmission cable for supplying a high voltage, the power transmission cable includes a conductive layer made of a conductive wire and an insulating material covering the periphery of the conductive wire, and at the time of feeding the high frequency high voltage. The shield layer is configured to prevent radiation of electromagnetic noise generated from the conductive layer, and a gap layer provided between the conductive layer and the shield layer to suppress discharge between the conductive layer and the shield layer . This is an excimer lamp lighting device.
第2の手段は、第1の手段において、前記空隙層を、蛇腹状の絶縁性樹脂で構成したことを特徴とするエキシマランプ点灯装置である。 A second means is an excimer lamp lighting device according to the first means, wherein the gap layer is made of an accordion-like insulating resin.
請求項1に記載の発明によれば、放電空間内に希ガスを封入したエキシマランプと、昇圧トランスにより高周波高電圧を発生する給電装置と、前記エキシマランプと前記給電装置との間に、前記昇圧トランスからの高周波高電圧を供給する送電ケーブルを配設したエキシマランプ点灯装置において、前記送電ケーブルが、導電線と該導電線の周囲を被覆する絶縁性材料とからなる導電層と、前記高周波高電圧の給電時に前記導電層から発生する電磁ノイズの放射を防止するシールド層と、前記導電層と前記シールド層との間に設けられ、前記導電層と前記シールド層間の放電を抑制する空隙層とから構成したので、高周波高電圧の送電時、送電ケーブルの周囲を覆うようにシールド層を形成しても、導電層とシールド層間の放電を抑制できる。またシールド層が設けられているので、高周波高電圧の送電時に発生する電磁ノイズが送電ケーブルの外部に漏れ出すのを充分防止することができる。また送電ケーブルから電磁ノイズが外部に放射されず、且つ高周波高電圧を長い距離に渡って効率的に送電できるため、ランプハウスと昇圧トランスを含む給電装置とを別々に構成することができるとともに、エキシマランプ点灯装置の配置構成に様々な形態をとることが可能となる。
According to the invention described in claim 1, an excimer lamp in which a rare gas is sealed in a discharge space, a power supply device that generates a high-frequency high voltage by a step-up transformer , and between the excimer lamp and the power supply device , In an excimer lamp lighting device provided with a power transmission cable for supplying a high frequency high voltage from a step-up transformer , the power transmission cable includes a conductive layer made of a conductive wire and an insulating material covering the periphery of the conductive wire, and the high frequency A shield layer that prevents radiation of electromagnetic noise generated from the conductive layer when a high voltage is supplied, and a gap layer that is provided between the conductive layer and the shield layer and suppresses discharge between the conductive layer and the shield layer Therefore, even when a shield layer is formed so as to cover the periphery of the transmission cable during high-frequency and high-voltage power transmission, discharge between the conductive layer and the shield layer can be suppressed. In addition, since the shield layer is provided, it is possible to sufficiently prevent electromagnetic noise generated during high-frequency and high-voltage power transmission from leaking outside the power transmission cable. In addition, electromagnetic noise is not radiated to the outside from the power transmission cable, and high frequency high voltage can be efficiently transmitted over a long distance, so that the lamp house and the power feeding device including the step-up transformer can be configured separately, It becomes possible to take various forms for the arrangement configuration of the excimer lamp lighting device.
請求項2に記載の発明によれば、前記空隙層を、蛇腹状の絶縁性樹脂で構成したので、シールド層と導電層との間隔を一定に保持した状態で、送電ケーブルの軸方向に対する柔軟性を簡便な構成で容易に確保することができる。 According to the second aspect of the present invention, since the gap layer is made of an accordion-like insulating resin, the gap between the shield layer and the conductive layer is kept constant, and the flexibility with respect to the axial direction of the power transmission cable is maintained. Can be easily secured with a simple configuration.
本発明の実施形態を図1乃至図7を用いて説明する。
図1は、本実施形態の発明に係るエキシマランプの一例を示す図である。
同図に示すように、このエキシマランプ1は、例えば、放電容器2が合成石英ガラスで構成され、内側管3と外側管4を同軸に配置して中空円筒状の放電空間5を形成したものである。外側管4はエキシマ光を取り出すための光取り出し窓部材を兼用しており、その外面に光を透過する導電性網からなる電極6が設けられている。内側管3の外面には反射板とエキシマ放電の電極を兼ねた薄膜電極7が設けられている。放電容器2の両端には絶縁性の口金8,9が設けられている。また放電容器2の放電空間5に放電用ガスとしてキセノンガスが封入され、高周波高電圧電源10からはエキシマランプ1に高周波高電圧が印加されるように構成されている。
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 is a diagram showing an example of an excimer lamp according to the invention of this embodiment.
As shown in the figure, this excimer lamp 1 has a discharge vessel 2 made of synthetic quartz glass, for example, and an inner tube 3 and an outer tube 4 are arranged coaxially to form a hollow cylindrical discharge space 5. It is. The outer tube 4 also serves as a light extraction window member for extracting excimer light, and an electrode 6 made of a conductive net that transmits light is provided on the outer surface thereof. On the outer surface of the inner tube 3, a thin film electrode 7 serving as a reflector and an excimer discharge electrode is provided. Insulating bases 8 and 9 are provided at both ends of the discharge vessel 2. Further, xenon gas is sealed as a discharge gas in the discharge space 5 of the discharge vessel 2, and a high frequency high voltage is applied to the excimer lamp 1 from the high frequency high
図2は、本実施形態の発明に係るエキシマランプ点灯装置の概略の構成を示す図である。
同図に示すように、このエキシマランプ点灯装置は、ランプハウス11内に、図1に示すようなエキシマランプ1が複数個並列に配列して収納されているとともに、エキシマランプ1から放射されたエキシマ光を反射し、窓部12から放射させる反射鏡13とが設けられている。給電装置14内には高周波高電圧を発生する昇圧トランス15が備えられており、昇圧トランス15とランプハウス11間には、昇圧トランス15から出力された高周波高電圧を各エキシマランプ1に送電するための送電ケーブル16が配設されている。
FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of an excimer lamp lighting device according to the invention of the present embodiment.
As shown in the figure, this excimer lamp lighting device has a plurality of excimer lamps 1 as shown in FIG. 1 arranged in parallel in a
図3は、図2に示した送電ケーブル16の軸方向の拡大断面図の一例を示す図である。
同図に示すように、この送電ケーブル16は、中心に銅等からなる導電線17がシリコン樹脂等からなる絶縁性材料18で被覆された導電層19と、Ni等からなる網状のシールド材20を絶縁シート21と外皮22とで挟み込んだシールド層23と、導電層19とシールド層23との間を軸方向全体に渡って一定間隔に形成する空隙層24とから構成されている。ここで、空隙層24は、例えば、ポリプロピレン製の絶縁シートからなる、軸方向の断面が連続した略コ字状の蛇腹状絶縁性樹脂25によって形成されている。
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of an enlarged cross-sectional view in the axial direction of the
As shown in the figure, the
本発明のエキシマランプ点灯装置によれば、導電層19とシールド層23との間に空隙層24を設けたので、高周波高電圧の伝送時、送電ケーブル16の周囲を覆うようにシールド層23を形成しても、導電層19とシールド層23間の放電を抑制できる。またシールド層23が設けられているので、高周波高電圧の伝送時に発生する電磁ノイズが送電ケーブル16の外部に漏れ出すのを充分防止することができる。また送電ケーブル16から電磁ノイズが外部に放射されず、且つ電磁ノイズ放射による送電時の損失が少ないため、高周波高電圧を長い距離に渡って効率的に送電できるので、図2に示したランプハウス11と昇圧トランス15を含む給電装置14とを別々に構成することができるとともに、エキシマランプ点灯装置の配置構成に様々な形態をとることが可能となる。
According to the excimer lamp lighting device of the present invention, since the
図4は、図2に示した送電ケーブル16の軸方向の拡大断面図の他の一例を示す図である。
同図において、空隙層24は、例えば、ポリプロピレン製の絶縁シートからなる、軸方向の断面が連続した略コ字状の蛇腹状絶縁性樹脂251,252を2重に構成したものである。なお、その他の構成は図3に示した同符号の構成に対応する。
空隙層24をこのような2重の蛇腹状絶縁性樹脂251,252によって形成しても、図3に示した送電ケーブル16と同様の作用効果を奏することができる。
FIG. 4 is a diagram illustrating another example of an enlarged sectional view in the axial direction of the
In the same figure, the
Even if the
図5は、図2に示した送電ケーブル16の軸方向の拡大断面図の他の一例を示す図である。
同図に示すように、空隙層24は、例えば、ポリプロピレン製の絶縁シートからなる、軸方向の断面が連続した略コ字状の蛇腹状絶縁性樹脂251,252を2重に構成したものであるが、各蛇腹状絶縁性樹脂251,252は、互いに軸方向にずれるように配置される。蛇腹状絶縁性樹脂251,252を互いに軸方向にずれるように配置することによって、図3に示した蛇腹状絶縁性樹脂251,252と比べて、蛇腹状絶縁性樹脂251,252の軸方向に対する垂直方向への立ち上がり部が重ならないので、蛇腹状絶縁性樹脂251,252によって軸方向全体に渡って一様に空隙性を確保することができる。なお、その他の構成は図3に示した同符号の構成に対応する。
空隙層24をこのような2重の蛇腹状絶縁性樹脂251,252によって形成しても、図3に示した送電ケーブル16と同様の作用効果を奏することができる。
FIG. 5 is a diagram illustrating another example of an enlarged cross-sectional view in the axial direction of the
As shown in the figure, the
Even if the
図6は、図2に示した送電ケーブル16の軸方向の拡大断面図の他の一例を示す図である。
同図において、空隙層24は、例えば、ポリプロピレン製の絶縁シートからなる、軸方向の断面が略正弦波状の蛇腹状絶縁性樹脂26によって形成されたものである。蛇腹状絶縁性樹脂26を略正弦波状に形成することによって、蛇腹状絶縁性樹脂26によって軸方向全体に渡って一様に空隙性を確保することができる。なお、その他の構成は図3に示した同符号の構成に対応する。
空隙層24をこのような略正弦波状の蛇腹状絶縁性樹脂26によって形成しても、図3に示した送電ケーブル16と同様の作用効果を奏することができる。
FIG. 6 is a diagram illustrating another example of an enlarged cross-sectional view in the axial direction of the
In the figure, the
Even when the
図7は、図2に示した送電ケーブル16の軸方向の拡大断面図の他の一例を示す図である。
同図において、空隙層24は、例えば、ポリプロピレン製の絶縁シートからなる、軸方向の断面が、全体としては連続した略コ字状に形成されるが、軸方向に対する垂直方向への立ち上がり部が三角波形状に形成された蛇腹状絶縁性樹脂27によって形成される。蛇腹状絶縁性樹脂27をこのような形状とすることによって軸方向全体に渡って一様に空隙性を確保することができる。なお、その他の構成は図3に示した同符号の構成に対応する。
空隙層24をこのような蛇腹状絶縁性樹脂27によって形成しても、図3に示した送電ケーブル16と同様の作用効果を奏することができる。
FIG. 7 is a diagram illustrating another example of an enlarged sectional view in the axial direction of the
In the same figure, the
Even if the
1 エキシマランプ
2 放電容器
3 内側管
4 外側管
5 放電空間
6 電極
7 薄膜電極
8,9 口金
10 高周波高電圧電源
11 ランプハウス
12 窓部
13 反射鏡
14 給電装置
15 昇圧トランス
16 送電ケーブル
17 導電線
18 絶縁性材料
19 導電層
20 シールド材
21 絶縁シート
22 外皮
23 シールド層
24 空隙層
25 軸方向の断面が連続した略コ字状の蛇腹状絶縁性樹脂
251,252 軸方向の断面が連続した略コ字状の蛇腹状絶縁性樹脂
26 軸方向の断面が略正弦波状の蛇腹状絶縁性樹脂
27 軸方向の断面が、全体として連続した略コ字状に形成され、軸方向に対する垂直方向への立ち上がり部が三角波形状に形成された蛇腹状絶縁性樹脂
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Excimer lamp 2 Discharge vessel 3 Inner tube 4 Outer tube 5 Discharge space 6 Electrode 7 Thin film electrode 8, 9
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記送電ケーブルが、導電線と該導電線の周囲を被覆する絶縁性材料とからなる導電層と、前記高周波高電圧の給電時に前記導電層から発生する電磁ノイズの放射を防止するシールド層と、前記導電層と前記シールド層との間に設けられ、前記導電層と前記シールド層間の放電を抑制する空隙層とから構成されたことを特徴とするエキシマランプ点灯装置。 An excimer lamp in which a rare gas is sealed in a discharge space, a power supply device that generates a high-frequency high voltage by a step-up transformer , and power transmission that supplies a high-frequency high voltage from the step-up transformer between the excimer lamp and the power supply device In excimer lamp lighting device with cable,
The power transmission cable is a conductive layer made of a conductive wire and an insulating material covering the periphery of the conductive wire; a shield layer for preventing radiation of electromagnetic noise generated from the conductive layer when the high frequency high voltage is fed ; An excimer lamp lighting device, comprising: a gap layer provided between the conductive layer and the shield layer and suppressing discharge between the conductive layer and the shield layer .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004247316A JP4573027B2 (en) | 2004-08-26 | 2004-08-26 | Excimer lamp lighting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004247316A JP4573027B2 (en) | 2004-08-26 | 2004-08-26 | Excimer lamp lighting device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006066224A JP2006066224A (en) | 2006-03-09 |
JP4573027B2 true JP4573027B2 (en) | 2010-11-04 |
Family
ID=36112536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004247316A Active JP4573027B2 (en) | 2004-08-26 | 2004-08-26 | Excimer lamp lighting device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4573027B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5721546B2 (en) * | 2011-06-07 | 2015-05-20 | 日本特殊陶業株式会社 | Particle sensor |
JP6965714B2 (en) * | 2017-12-13 | 2021-11-10 | 株式会社明電舎 | Gate drive circuit |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03505503A (en) * | 1988-03-24 | 1991-11-28 | ダブリュ.エル.ゴア アンド アソシエイツ,インコーポレイティド | Low dielectric constant reinforced coaxial electrical cable |
JPH07169444A (en) * | 1993-12-17 | 1995-07-04 | Ushio Inc | Dielectric barrier electric discharge lamp apparatus |
JPH07272800A (en) * | 1993-10-22 | 1995-10-20 | Eurocopter Fr | Electrical connection element and connection |
JPH08124431A (en) * | 1994-10-25 | 1996-05-17 | Komatsu Ltd | Cable for torch of plasma working machine |
-
2004
- 2004-08-26 JP JP2004247316A patent/JP4573027B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03505503A (en) * | 1988-03-24 | 1991-11-28 | ダブリュ.エル.ゴア アンド アソシエイツ,インコーポレイティド | Low dielectric constant reinforced coaxial electrical cable |
JPH07272800A (en) * | 1993-10-22 | 1995-10-20 | Eurocopter Fr | Electrical connection element and connection |
JPH07169444A (en) * | 1993-12-17 | 1995-07-04 | Ushio Inc | Dielectric barrier electric discharge lamp apparatus |
JPH08124431A (en) * | 1994-10-25 | 1996-05-17 | Komatsu Ltd | Cable for torch of plasma working machine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006066224A (en) | 2006-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2022168265A (en) | Discharge lamp, and ozone generating method | |
JP4573027B2 (en) | Excimer lamp lighting device | |
JP5379386B2 (en) | UV irradiation equipment | |
JP6541362B2 (en) | Excimer lamp | |
JP3171622B2 (en) | Fluorescent discharge lamp | |
JP5493101B2 (en) | Microwave discharge lamp | |
JP6557011B2 (en) | Excimer lamp | |
JP5271762B2 (en) | Discharge lamp | |
JP2003197156A (en) | Electrodeless discharge lamp and luminaire | |
JP4146666B2 (en) | Dielectric barrier discharge lamp and light irradiation device | |
JPWO2009019978A1 (en) | Discharge lamp | |
JP2021103622A (en) | Excimer lamp and installation method of excimer lamp in pipe | |
JP2008153173A (en) | External electrode type fluorescent lamp | |
KR100615765B1 (en) | Dielectric barrier discharging lamp lighting equipment and ultraviolet illuminating apparatus | |
KR20220155084A (en) | Excimer lamp and light irradiation device having the same | |
WO2013047349A1 (en) | Excimer lamp | |
JP2775697B2 (en) | Dielectric barrier discharge lamp | |
JPH10162791A (en) | Electrodeless discharge lamp, electrodeless discharge lamp lighting device, lighting system, and liquid treatment system | |
JP2003197152A (en) | Dielectric barrier discharge lamp, dielectric barrier discharge lamp component, discharge lamp lighting device and light irradiation device | |
JP2015201300A (en) | excimer lamp | |
JPH05114387A (en) | Fluorescent lamp | |
KR20160052358A (en) | Excimer discharge lamp | |
JP2024044510A (en) | excimer lamp | |
KR100741020B1 (en) | Device and method for operating double tube fluorescent lamp preventing plasma channeling | |
JP2005135863A (en) | Dielectric barrier discharge lamp, and light irradiation device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070306 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100721 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100803 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4573027 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130827 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130827 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140827 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |