JP4572636B2 - Shelf equipment - Google Patents

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JP4572636B2 JP2004264000A JP2004264000A JP4572636B2 JP 4572636 B2 JP4572636 B2 JP 4572636B2 JP 2004264000 A JP2004264000 A JP 2004264000A JP 2004264000 A JP2004264000 A JP 2004264000A JP 4572636 B2 JP4572636 B2 JP 4572636B2
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Description

本発明は、主として半導体製造工場などのクリーンルームに設置され、半導体製造工程に於ける行程調整のため、一時的にウエハをウエハキャリアであるFOUP(Front Opening Unified Pod)に収納して保管するための棚装置(ストッカ)に関する。 The present invention is mainly installed in a clean room such as a semiconductor manufacturing factory, and temporarily stores a wafer in a front opening unified pod (FOUP) which is a wafer carrier for process adjustment in a semiconductor manufacturing process. The present invention relates to a shelf device (stocker).

半導体製造工場において製造途中のウエハはウエハキャリアに収納され、製造工程に従い半導体製造装置間を搬送される。これら製造工程には種々のプロセスがあり、ウエハは完成に至るまでの各段階で行程待ちの時間調整のため、ウエハキャリアに収納され、一時的にストッカに格納される。半導体工場のクリーンルームはクリーンルーム自体が高価で、運転維持費の高いこともあって、その時点における最先端技術を駆使し、ストッカの収納密度を極限まで高め、ストッカ装置の実質的コストダウンを図ると伴に、ウエハキャリア入出庫作業の高効率化による生産性向上を図っている。
図13、図14は特許文献1に記載された従来技術による代表的なストッカ構造である。図13はストッカ棚部分の正面図、図14はストッカ棚部分の側面図である。
Wafers being manufactured in a semiconductor manufacturing factory are stored in a wafer carrier, and are transferred between semiconductor manufacturing apparatuses according to a manufacturing process. There are various processes in these manufacturing processes, and the wafer is stored in a wafer carrier and temporarily stored in a stocker for adjusting the waiting time for the process at each stage until completion. The clean room of the semiconductor factory itself is expensive and the operation and maintenance costs are high. Using the latest technology at that time, the storage density of the stocker is increased to the limit, and the cost of the stocker device is substantially reduced. At the same time, we are working to improve productivity by increasing the efficiency of wafer carrier loading and unloading operations.
FIGS. 13 and 14 show typical stocker structures according to the prior art described in Patent Document 1. FIG. FIG. 13 is a front view of the stocker shelf portion, and FIG. 14 is a side view of the stocker shelf portion.

ストッカ棚は縦支柱32と横支柱33により骨組構造が組立られ、横支柱33に棚板11が取り付けられ、さらに棚板11の上にウエハキャリア台31が取り付けられる、また、棚板11の前面(ウエハキャリアの入出作業を行う側)側は、補強のため曲げ加工が施され、さらに補強部材34で下面部の補強が図られている。通常縦支柱32と、横支柱33はアルミニュウムプロファイル材(以後プロファイル材と略す)が使用され、これら縦支柱32と横支柱33は専用の結合部材で結合、一体化される。また、棚板11の背面側は横支柱33上に固定支持される。 In the stocker shelf, a frame structure is assembled by the vertical support column 32 and the horizontal support column 33, the shelf plate 11 is attached to the horizontal support column 33, and the wafer carrier table 31 is attached on the shelf plate 11. The side of the wafer carrier entering / exiting operation is bent for reinforcement, and the reinforcing member 34 further reinforces the lower surface. Normally, an aluminum profile material (hereinafter abbreviated as a profile material) is used for the vertical support 32 and the horizontal support 33, and the vertical support 32 and the horizontal support 33 are combined and integrated by a dedicated connecting member. Further, the back side of the shelf board 11 is fixedly supported on the horizontal support 33.

図1はストッカ全体図でストッカ2内部の両側面には多段に設けられた棚を有する棚装置1が配置され、中央床面に敷設された図示されないレール上をスタッカクレーン3が走行する。スタッカクレーン3はスタッカ支柱35とスタッカロボット36とから構成され、スタッカロボット36はスタッカ支柱35上を垂直方向に上下に昇降し、ロボットハンドを水平方向に回転、伸縮させることで、ストッカ2内部の両側面に配置された棚装置1の任意の場所にアクセスし、FOUP5の入出庫を行う。また、ストッカ2の一側面にはFOUPをストッカ内部に搬入、または外部に搬出するためのポート37が設けられる。 FIG. 1 is an overall view of a stocker, and shelf devices 1 having shelves provided in multiple stages are arranged on both side surfaces inside the stocker 2, and a stacker crane 3 runs on a rail (not shown) laid on a central floor surface. The stacker crane 3 includes a stacker column 35 and a stacker robot 36. The stacker robot 36 moves up and down vertically on the stacker column 35, and rotates and expands and contracts the robot hand in the horizontal direction. Access to an arbitrary location of the shelf device 1 arranged on both sides, and carry in / out the FOUP 5. In addition, a port 37 for carrying FOUP into or out of the stocker is provided on one side of the stocker 2.

FOUPはスタッカクレーンによりストッカ内部の棚に入出庫されるが、スタッカクレーンは棚に対し正確に位置決め停止後、入出庫作業を実施する必要があり、位置決めに誤差があるとFOUPの把握に失敗する。スタッカクレーンが棚に対する正確な位置決めを安定して実施できるための前提として、棚自身が設計寸法通り正確に制作されなければならない。従ってストッカの骨組構造を構成する縦支柱32に対し、棚板11は正確に位置決めされ取付られなければならない。 The FOUP is loaded and unloaded on the shelf inside the stocker by the stacker crane. However, the stacker crane needs to carry out loading and unloading work after stopping the positioning accurately with respect to the shelf. . As a premise that the stacker crane can stably carry out accurate positioning with respect to the shelf, the shelf itself must be manufactured accurately as designed. Therefore, the shelf board 11 must be accurately positioned and attached to the vertical column 32 constituting the frame structure of the stocker.

特開2003−182823号公報JP 2003-182823 A 特開平09−289243号公報JP 09-289243 A

ストッカのフレーム構造材であるプロファイル材の断面構造図を図2に示す。また、プロファイル材にボルトと専用ナットを用い板材を取り付ける場合の一般的取付方法を図3に示す。プロファイル材10の長手方向4面には溝29が設けられ、まず専用ナット12を上面の溝に紙面上部方向から垂直に挿入する。このとき専用ナット12の平面部の幅はプロファイル材の溝幅より大きいので、専用ナット12の椀状の局面部でプロファイル材10の溝の縁をかわし、首尾よく溝内に挿入させる。次いで板材30に設けられた穴をプロファイル材10の溝に合せて重ね、さらにスプリングワッシャー19と平ワッシャ28を貫通させたボルト13をこれらスプリングワッシャー19と平ワッシャ28を貫通させたまま、溝内にあらかじめ挿入してある専用ナット12のネジ穴に合わせて、前記棚板11の穴を貫通させる。次いで六角レンチなどネジ締め工具を用いボルト13と専用ナット12を所定の締め付けトルクとなるよう締め上げ、ボルト締結作業を終了させる。 FIG. 2 shows a sectional structural view of a profile material which is a frame structural material of the stocker. Moreover, the general attachment method in the case of attaching a plate material using a bolt and a dedicated nut as a profile material is shown in FIG. Grooves 29 are provided on the four longitudinal surfaces of the profile member 10, and first, the dedicated nut 12 is inserted vertically into the groove on the upper surface from the upper direction of the paper. At this time, since the width of the flat portion of the dedicated nut 12 is larger than the groove width of the profile material, the edge of the groove of the profile material 10 is removed by the bowl-shaped surface portion of the dedicated nut 12 and inserted into the groove successfully. Next, the holes provided in the plate material 30 are overlapped with the grooves of the profile material 10, and the bolt 13 having the spring washer 19 and the flat washer 28 penetrated is further passed through the spring washer 19 and the flat washer 28. The holes of the shelf plate 11 are penetrated in accordance with the screw holes of the dedicated nuts 12 inserted in advance. Next, a bolt fastening tool such as a hexagon wrench is used to tighten the bolt 13 and the dedicated nut 12 to a predetermined tightening torque, and the bolt fastening operation is completed.

従来技術におけるストッカの骨組構造を構成する支柱への棚板の取付作業に於けるボルト締め作業にもこの方法が適用される。
プロファイル材は、長さ方向4面に設けられた連続する溝の任意の位置で、前記ボルト締め作業が実施可能である。棚構造体の骨組構造にプロファイル材を使用する理由はこの任意の位置でボルト締結可能な融通性、汎用性にある。しかし、棚板とプロファイル材を専用ナットで締結する締結作業では、専用ナットをプロファイル材の溝中に挿入した時点では専用ナットを固定する保持力はプロファイル材溝と専用ナット間に働く摩擦力のみで、極めて弱い。このため些細な外力が加わるだけで専用ナットは容易に位置ずれを生じ、また重力方向のボルト締め作業では、一旦挿入した専用ナットが僅かな衝撃で溝内を落下するなど、任意の位置でボルト締結可能と言うプロファイル材の汎用性の欠点として、ボルト締結作業に於ける作業性の悪さ、組立精度確保の困難性が顕在化している。
This method is also applied to the bolting operation in the mounting operation of the shelf board to the column constituting the frame structure of the stocker in the prior art.
The profile material can perform the bolting operation at an arbitrary position of a continuous groove provided on the four surfaces in the length direction. The reason for using the profile material for the frame structure of the shelf structure is versatility and versatility that can be bolted at this arbitrary position. However, in the fastening work of fastening the shelf board and the profile material with the dedicated nut, when the dedicated nut is inserted into the groove of the profile material, the holding force to fix the dedicated nut is only the friction force acting between the profile material groove and the dedicated nut. And very weak. For this reason, the position of the dedicated nut easily shifts with a slight external force applied, and in the bolting operation in the direction of gravity, the special nut once inserted falls in the groove with a slight impact. As disadvantages of the versatility of the profile material that can be fastened, the poor workability in bolt fastening work and the difficulty of ensuring assembly accuracy have become apparent.

これは、プロファイル材に対する専用ナットの位置を確定できる仕組みがプロファイル材にないためである。高い組立精度を求められるストッカ棚板組立作業においては、この欠点を補う手段として通常工夫した位置決め用冶具を用い、棚板の取付位置の確認、取付位置の調整などを、組立作業と同時に実施する組立工法が採用される。しかし、このように工夫した位置決め用冶具を用いる組立作業であっても棚板の取付位置の確認、調整には多くの時間と工数が掛かり、効率が悪くコスト面でも不利な作業となっている。 This is because the profile material does not have a mechanism for determining the position of the dedicated nut with respect to the profile material. In stocker shelf board assembly work that requires high assembly accuracy, a positioning jig that is usually devised as a means to compensate for this defect is used, and the installation position of the shelf board is confirmed and the installation position is adjusted at the same time as the assembly work. Assembly method is adopted. However, even in the assembly work using the positioning jig devised in this way, it takes a lot of time and man-hours to check and adjust the mounting position of the shelf board, which is inefficient and disadvantageous in terms of cost. .

一方、棚の保守点検作業時、何らかの理由で棚板が位置ずれを生じ修正が必要な場合、専用ナットを一旦ゆるめ、棚板取付位置の再調整を行うが、一旦ゆるめた専用ナットは落下し易く、棚板を所定位置に正確にボルト締結し直すのは容易でない。 On the other hand, if the shelf is misaligned for some reason during shelf maintenance and inspection and needs to be corrected, loosen the dedicated nut and readjust the shelf mounting position. It is easy and it is not easy to re-bolt the shelf board accurately at a predetermined position.

本発明は、プロファイル材で構成されるストッカ骨組構造体に棚部材をボルトと専用ナットにて取り付ける組立作業において、棚板を無調整で所定位置にズレなく正確に、しかも短時間でボルト締結を完了させることを可能とする組立作業方法および棚装置構造に関する。 According to the present invention, in an assembly operation in which a shelf member is attached to a stocker frame structure composed of a profile material with a bolt and a dedicated nut, the shelf plate is not adjusted and the bolt is fastened accurately in a short time without shifting to a predetermined position. The present invention relates to an assembly work method and a shelf device structure that can be completed.

課題を解決するための手段および発明の効果Means for Solving the Problems and Effects of the Invention


上記目的を達成するために、本発明では、以下の手段を提案している。

即ち、請求項1に記載の発明は、アルミニュームプロファイル材を柱として組立てられた棚用骨組構造体に、所定間隔で複数段の同一形状の棚板が、垂直方向にボルト、ナットによる結合で一体化されてなる棚装置であって、前記アルミニュームプロファイル材と前記棚板の間に重ねて締結されて使用される結合補助部材を備え、前記結合補助部材は、前記アルミニュームプロファイル材と同一長さ、同一幅の金属材料からなる板材で構成され、前記結合補助部材は、長さ方向両端部の前記アルミニュームプロファイル材との対抗面に形成した前記アルミニュームプロファイル材に対する第1の位置決め部と、所定間隔で複数段に取り付けられる前記棚板との対抗面に形成した前記棚板に対する第2の位置決め部と、前記アルミニュームプロファイル材と前記棚板とを締結する締結用ボルトを貫通させる締結用ボルト貫通穴と、前記締結用ボルトに係合する締結用ナットを保持するナット保持部と、を有する

通常は、棚組立に高い寸法精度が要求される場合、組立、調整作業には多くの工数が必要となるが、このような結合補助部材を用いることにより、棚締結作業において、高精度かつ良好な作業性を実現している。この結合補助部材は、プロファイル材と棚板の中間に重ねて締結されて使用され、長さ方向両端部の前記アルミニュームプロファイル材との対抗面に形成した前記アルミニュームプロファイル材に対する第1の位置決め部を有する。これにより組立作業において結合補助部材はプロファイル材に対し無調整で簡単に、しかも高精度に位置決めされ重ね合わされる。

In order to achieve the above object, the present invention proposes the following means.

That is, according to the first aspect of the present invention, a plurality of steps of identically shaped shelves at predetermined intervals are joined to a shelf frame structure assembled with an aluminum profile material as a column by bolts and nuts in a vertical direction. An integrated shelf device comprising a coupling auxiliary member used by being overlapped between the aluminum profile material and the shelf plate, the coupling auxiliary member having the same length as the aluminum profile material A first positioning portion with respect to the aluminum profile material formed on a surface facing the aluminum profile material at both ends in the length direction, the plate is made of a metal material having the same width, A second positioning portion for the shelf board formed on a facing surface of the shelf board that is mounted in a plurality of stages at a predetermined interval; and the aluminum pro It has a fastening bolt through hole and Airu material wherein passing the fastening bolt for fastening the shelves, and a nut holding portion for holding a fastening nut which engages with the fastening bolt.

Normally, when high dimensional accuracy is required for shelf assembly, many man-hours are required for assembly and adjustment work. By using such a coupling auxiliary member, high accuracy and good work can be achieved in shelf fastening work. Realizes excellent workability. The coupling auxiliary member is used by being fastened in the middle between the profile material and the shelf board, and is used for the first positioning with respect to the aluminum profile material formed on the facing surface of the aluminum profile material at both ends in the longitudinal direction. Part. As a result, in the assembling operation, the coupling auxiliary member is easily positioned without being adjusted with respect to the profile material, and is positioned and superimposed with high accuracy.

また、この結合補助部材においては、所定間隔で複数段に取り付けられる棚板との対抗面にも、棚板に対する第2の位置決め部が設けられている。そのため、プロファイル材に重ねられた結合補助部材に棚板を無調整で簡単に、しかも高精度に位置決めされて重ね合わされる。
また、結合補助部材には、締結用ナットを保持するナット保持部が設けられるので、締結用ナットをナット保持部に保持させた状態で、締結用ボルトを棚板、結合補助部材、プロファイル材を貫いて挿入し、ナット保持部に保持させた締結用ナットにネジ止めすることにより無調整で簡単に、しかも高精度にボルトナットによる棚板のプロファイル材への締結作業を完了させることができる。
Moreover, in this coupling auxiliary member, a second positioning portion for the shelf board is also provided on the surface facing the shelf board that is attached in a plurality of stages at predetermined intervals. For this reason, the shelf board is easily positioned without adjustment on the coupling auxiliary member stacked on the profile material, and is positioned and superimposed with high accuracy.
Further, since the coupling auxiliary member is provided with a nut holding portion for holding the fastening nut, the fastening bolt is attached to the shelf board, the coupling auxiliary member, and the profile material in a state where the fastening nut is held by the nut holding portion. By inserting through and screwing to the fastening nut held by the nut holding portion, it is possible to complete the fastening operation to the profile material of the shelf board with the bolts and nuts easily with high accuracy without adjustment.


更に、前記締結用ボルト貫通穴が、前記締結用ナットを前記アルミニュームプロファイル材に形成された溝内に挿入させる締結用ナット挿入穴として兼用可能な構成とされている。これにより、締結用ナットのプロファイル材溝への挿入作業を結合補助部材との対抗面より実施でき、締結用ナット保持作業の容易化、効率化が図れる。

更に、ボルト締結作業性に優れ、一旦組立を完成させた棚装置の棚板取り付け位置を再調整する必要が生じた場合であっても、締結用ナット挿入穴から専用ナットを容易に取出せ、再調整作業が円滑に進められる。

Further, the fastening bolt through-hole can be used as a fastening nut insertion hole for inserting the fastening nut into a groove formed in the aluminum profile material. Accordingly, the operation of inserting the fastening nut into the profile material groove can be performed from the surface facing the coupling auxiliary member, and the fastening nut holding operation can be facilitated and improved in efficiency.

In addition, it is excellent in bolt fastening workability, and even if it is necessary to readjust the shelf mounting position of the shelf device once assembled, the special nut can be easily taken out from the fastening nut insertion hole and re-installed. Adjustment work proceeds smoothly.


請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の棚装置であって、前記結合補助部材の長さ方向中央部を、所定の辺を残して所定の形状に切断打ち抜きしてパンチング穴を形成するとともに、切断されない前記所定の辺を直角に折り曲げて折り曲げ爪を形成し、前記パンチング穴を、締結用ナット挿入穴として兼用する前記締結用ボルト貫通穴とし、前記折り曲げ爪を前記ナット保持部とし、該ナット保持部を前記アルミニュームプロファイル材の前記溝内に侵入させるようにして前記結合補助部材を前記アルミニュームプロファイル材に重ねることを特徴とする。このような構成としたことで、プロファイル材の溝内に挿入したナットを、プロファイル材の溝内に侵入させた結合補助部材のナット保持部に支持させることが可能になる。

Invention of Claim 2 is the shelf apparatus of Claim 1 , Comprising: The center part of the length direction of the said coupling auxiliary member is cut | punched and punched into a predetermined shape leaving a predetermined | prescribed side, and a punching hole is made The predetermined side that is not cut is bent at a right angle to form a bending claw, and the punching hole is used as the fastening bolt through hole that also serves as a fastening nut insertion hole, and the bending claw is used as the nut holding portion. The coupling auxiliary member is overlapped with the aluminum profile material so that the nut holding portion is inserted into the groove of the aluminum profile material. With such a configuration, the nut inserted into the groove of the profile material can be supported by the nut holding portion of the coupling auxiliary member that has entered the groove of the profile material.


請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の棚装置であって、前記第1の位置決め部を突起又は穴若しくは凹部とし、前記アルミニュームプロファイル材の前記第1の位置決め部と対応する部位には穴若しくは凹部又は突起を形成して結合補助部材用位置決め部とし、これら第1の位置決め部と結合補助部材用位置決め部とを嵌合させることで、前記アルミニュームプロファイル材に対する前記結合補助部材の位置決めをするとともに、前記第2の位置決め部を突起又は穴若しくは凹部とし、前記棚板の前記第2の位置決め部と対応する部位には穴若しくは凹部又は突起を形成して棚板用位置決め部とし、これら第2の位置決め部と棚板用位置決め部とを嵌合させることで、前記結合補助部材に対する前記棚板の位置決めをすることを特徴とする。このように位置決めすることで、無調整かつ高精度に位置合せできる。






According to a third aspect of the invention, a shelf device according to claim 1, said first positioning portion and projections or holes or recesses, corresponding to the first positioning portion of the aluminum profile member A hole, a concave portion, or a projection is formed in a part to form a positioning portion for a coupling assisting member, and the coupling assisting for the aluminum profile material is performed by fitting the first positioning portion and the positioning portion for the coupling assisting member. Positioning the member and positioning the second positioning portion as a projection, hole or recess, and forming a hole, recess or projection at a portion corresponding to the second positioning portion of the shelf plate And positioning the shelf plate with respect to the coupling assisting member by fitting the second positioning portion and the shelf positioning portion. That. By positioning in this way, alignment can be performed with high accuracy without adjustment.





以下、図面を参照しつつ、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図4に本発明の主要部材である冶具プレート(結合補助部材)20の正面図(A)と断面図(B)を示す。冶具プレート20の上下両端部にはプロファイル材料の高さ方向両端部付近に設けられる位置決め用穴に勘合させて位置合わせするための突起21a、21bが形成されている。また、中央部には棚板位置決め用突起14、パンチング穴15、折り曲げ爪16の3要素がセットで、棚段数に応じた数だけ棚板取付の所定ピッチで設けられる。ここに、棚板位置決め用突起14は棚板に設けられた位置決め用穴(図5(A)棚板位置決め穴17)に勘合する突起であり、プレス加工などで形成される。パンチング穴15は打ち抜き穴でボルトがこの穴を貫通すると同時に、専用ナットをアルミプロファイル材料の溝に挿入させる場合の専用ナット挿入穴としても使用される。折り曲げ爪16はパンチング穴15の形成時、パンチング部位の切断されない辺を直角に折り曲げて形成され、アルミプロファイル材の溝に侵入させて用いられ、アルミプロファイル材溝にセットされた専用ナットを支持し、落下を防止する役目を担う。
The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 4 shows a front view (A) and a cross-sectional view (B) of a jig plate (coupling auxiliary member) 20 which is a main member of the present invention. Protrusions 21a and 21b are formed at both upper and lower ends of the jig plate 20 to fit and align with positioning holes provided near both ends in the height direction of the profile material. Further, at the center portion, three elements of the shelf positioning protrusions 14, the punching holes 15, and the bending claws 16 are provided as a set, and the number corresponding to the number of shelf steps is provided at a predetermined pitch for attaching the shelf. Here, the shelf positioning protrusions 14 are projections that fit into positioning holes (shelf positioning holes 17 in FIG. 5A) provided in the shelf, and are formed by pressing or the like. The punching hole 15 is a punched hole, and at the same time as the bolt passes through this hole, it is also used as a dedicated nut insertion hole when the dedicated nut is inserted into the groove of the aluminum profile material. When the punching hole 15 is formed, the bending claw 16 is formed by bending a non-cut side of the punching portion at a right angle and entering the groove of the aluminum profile material to support a dedicated nut set in the aluminum profile material groove. , Responsible for preventing fall.

次に図5を用い本発明の主要部材である冶具プレート20を用い棚板をストッカ骨組構造体の垂直方向の柱を構成するプロファイル材に取り付ける組立作業方法について説明する。図5(A)は組立前のプロファイル材10、冶具プレート20、棚板11が組合せ順に図示されている。プロファイル材10の上下端部には冶具プレート位置決め穴22a、22bが設けられている。冶具プレート20は端部位置決め突起21a、21bをプロファイル材10の冶具プレート位置決め穴22a、22bに勘合させて重ねられる。ついで専用ナット12が冶具プレート20のパンチング穴15を通しプロファイル材10の溝29に挿入される。このとき専用ナット12の幅W2はプロファイル材の溝29の幅W1より大きいので、専用ナット12の背面の曲面部でプロファイル材溝の縁をかわしながら溝29内に挿入し、専用ナット12の平面部を冶具プレート20に対抗させ配置させる。専用ナット12は冶具プレート20の折り曲げ爪16上に支持され、プロファイル材10の溝29内部にあっても落下することはない。 Next, an assembling method for attaching the shelf plate to the profile material constituting the vertical column of the stocker frame structure using the jig plate 20 which is the main member of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5A shows the profile material 10, the jig plate 20, and the shelf board 11 before assembly in the order of combination. Jig plate positioning holes 22a and 22b are provided in the upper and lower ends of the profile material 10. The jig plate 20 is overlaid by fitting the end positioning protrusions 21a and 21b into the jig plate positioning holes 22a and 22b of the profile material 10. Next, the dedicated nut 12 is inserted into the groove 29 of the profile member 10 through the punching hole 15 of the jig plate 20. At this time, since the width W2 of the exclusive nut 12 is larger than the width W1 of the groove 29 of the profile material, it is inserted into the groove 29 while the edge of the profile material groove is displaced by the curved surface portion of the back surface of the exclusive nut 12, The part is opposed to the jig plate 20 and arranged. The dedicated nut 12 is supported on the bending claw 16 of the jig plate 20 and does not fall even if it is inside the groove 29 of the profile material 10.

次いで、棚板11の棚板位置決め穴17を冶具プレート20の棚板位置決め用突起14に勘合させて棚板11を冶具プレート20に重ね、ボルト13を冶具プレート20の棚板取付ボルト穴18に挿入する。ボルト13の先端は棚板11、冶具プレート20、プロファイル材溝を貫通し、専用ナット12に到達する。
専用ナット12のネジ穴は棚板取付ボルト穴18に略位置合わせされ、ボルト13を六角レンチ等の工具を用いネジ込むことで、棚板11はプロファイル材10にボルト止めされる。図5(B)はボルト締結後の外観図である。
図6はボルト締結後の断面図で、ボルト13がスプリングワッシャー19、平ワッシャ28、棚板11、冶具プレート20、プロファイル材10を貫通してボルト締結する状況が示されている。図7はストッカ骨組構造体全体に所定枚数の棚板を取り付け、棚装置としての完成状態を示す。図7においてキネマティックピン27はFOUPを載置するときの、FOUP位置決め用ピンである。また棚装置1は図1にしめすストッカ2に組み込まれストッカとして完成される。
Next, the shelf board positioning hole 17 of the shelf board 11 is engaged with the shelf board positioning protrusion 14 of the jig plate 20 to overlap the shelf board 11 with the jig plate 20, and the bolt 13 is placed in the shelf board mounting bolt hole 18 of the jig plate 20. insert. The tip of the bolt 13 passes through the shelf plate 11, the jig plate 20, and the profile material groove, and reaches the dedicated nut 12.
The screw hole of the dedicated nut 12 is substantially aligned with the shelf plate mounting bolt hole 18, and the shelf plate 11 is bolted to the profile member 10 by screwing the bolt 13 with a tool such as a hexagon wrench. FIG. 5B is an external view after the bolt is fastened.
FIG. 6 is a cross-sectional view after the bolt is fastened, and shows a situation where the bolt 13 penetrates the spring washer 19, the flat washer 28, the shelf plate 11, the jig plate 20, and the profile material 10 and fastens the bolt. FIG. 7 shows a completed state as a shelf apparatus by attaching a predetermined number of shelf boards to the entire stocker frame structure. In FIG. 7, a kinematic pin 27 is a FOUP positioning pin for mounting the FOUP. Further, the shelf device 1 is assembled into a stocker 2 shown in FIG. 1 and completed as a stocker.

次に本発明の下記4つの変形例について以下に順次説明する。
第1の変形例:冶具プレートの棚板位置決め用突起及び端部位置決め突起の変形例
第2の変形例:冶具プレートのパンチング穴の変形例
第3の変形例:棚板位置合わせ勘合部の変形例
第4の変形例:棚板設置の変形例
Next, the following four modifications of the present invention will be sequentially described below.
First modified example: Modified examples of shelf plate positioning protrusions and end portion positioning protrusions of the jig plate Second modified example: Modified examples of punching holes of the jig plate Third modified example: Modified deformation of the shelf plate alignment fitting portion Example 4th modification: Modification of shelf board installation

まず第1の変形例である冶具プレートの棚板位置決め用突起及び端部位置決め突起の変形例について図8を用い説明する。
プロファイル材料の高さ方向両端部付近に設けられた位置決め用穴部に勘合させて位置合わせするための冶具プレートの上下両端部に設けた突起21と、冶具プレートの高さ方向中央部に棚段数に応じて複数個設けられる棚板位置決め用突起14の機能、形状は類似する。ここでは代表として棚板位置決め用突起14について述べる。
First, a modified example of the shelf plate positioning projection and the end portion positioning projection of the jig plate, which is a first modified example, will be described with reference to FIG.
Protrusions 21 provided at both upper and lower end portions of the jig plate for fitting to positioning holes provided in the vicinity of both end portions in the height direction of the profile material, and the number of shelves at the center portion in the height direction of the jig plate The function and shape of the plurality of shelf positioning protrusions 14 provided according to the above are similar. Here, the shelf positioning projection 14 will be described as a representative.

図8(A)に示す突起14は図4に示す突起14と同一で、図8(A)は突起部のみ図示したものである。凸形状のプレス型を用い、ハーフパンチングでプレス形成したものである。しかしこのこのハーフパンチングの凸形状は、勘合による位置決め機能を果たす形状、構造であれば図8(A)の形状に拘らない。例えば図8(B)〜(E)に示す41〜44の構造でも同一機能が達成される。図8(B)は角型のハーフパンチングプレス型を用い形成した突起である。
図8(C)はテーパ状の絞り金型を用いたもの。図8(D)は三角型のハーフパンチングプレス型を用い形成した突起、図8(E)は角型パンチング金型を用い打ち抜き、打ち抜き部を直角に折り曲げ形成した突起である。図8の(A)〜(E)に示す5種類の突起は機能的に全て同じであるが、位置合わせ作業の容易性、位置決め精度、位置決め後ネジ止め完了までの冶具プレート保持の安定性、作業性などで若干の差異が認められ目的に応じて使い分ける。
The protrusion 14 shown in FIG. 8A is the same as the protrusion 14 shown in FIG. 4, and FIG. 8A shows only the protrusion. It is formed by press-forming by half punching using a convex press die. However, the convex shape of this half punching is not limited to the shape of FIG. For example, the same function can be achieved by the structures 41 to 44 shown in FIGS. FIG. 8B shows protrusions formed using a square half punching press die.
FIG. 8C shows a taper-shaped drawing die. FIG. 8D shows a protrusion formed using a triangular half punching press die, and FIG. 8E shows a protrusion formed by punching using a square punching die and bending the punched portion at a right angle. The five types of projections shown in FIGS. 8A to 8E are all functionally the same, but the ease of alignment work, positioning accuracy, and stability of holding the jig plate until completion of screwing after positioning, Some differences are recognized in workability, etc., and they are used according to the purpose.

次に第2の変形例である冶具プレートのパンチング穴の変形例について図9を用い説明する。
パンチング穴の主要機能は、折り曲げ爪をプロファイル材溝に侵入させ、専用ナットを定位置に支持することにある。さらに、パンチング切断により形成される打ち抜き穴部を通し、専用ナットをプロファイル材溝に挿入できれば好ましい。図4に示した冶具プレートの折り曲げ爪は下辺を除く3辺をパンチング切断し、下辺を直角に折り曲げ形成され、専用ナット支持と専用ナット挿入の両機能を持つ。図9(A)の折り曲げ爪は上辺を除く3辺をパンチング切断し、上辺を直角に折り曲げ形成される。専用ナット支持は可能であるが、専用ナットはあらかじめプロファイル材溝に挿入する方法を採る。図9(B)の折り曲げ爪は左右何れか一方の縁を除く3辺を切断し、切断しない辺を直角に折り曲げて形成され、専用ナット支持と専用ナットの挿入両機能を持つ。
Next, a modified example of the punching hole of the jig plate as the second modified example will be described with reference to FIG.
The main function of the punching hole is to allow the bent claws to enter the profile material groove and to support the exclusive nut in place. Furthermore, it is preferable that a dedicated nut can be inserted into the profile material groove through a punched hole formed by punching. The bending claw of the jig plate shown in FIG. 4 is formed by punching and cutting three sides excluding the lower side and bending the lower side at a right angle, and has both functions of supporting a dedicated nut and inserting a dedicated nut. The bending claw shown in FIG. 9A is formed by punching and cutting three sides excluding the upper side and bending the upper side at a right angle. A dedicated nut can be supported, but the dedicated nut is previously inserted into the profile material groove. The bending claw in FIG. 9B is formed by cutting three sides excluding either one of the left and right sides and bending the non-cut side at a right angle, and has both functions of supporting a dedicated nut and inserting a dedicated nut.

図9(C)の折り曲げ爪はパンチング穴の左右両辺とパンチング穴中央部を上下辺と平行に切断し、上下各辺部をそれぞれ直角に折り曲げて作製される。また専用ナット支持と専用ナット挿入の両機能を持つ。図9(D)は切断を伴わないパンチングで円筒状の突起を形成する。専用ナット支持は可能であるが、専用ナットはあらかじめプロファイル材溝に挿入する。
以上図9の(A)〜(D)の形状の爪であっても、図4の冶具プレートの折り曲げ爪同様冶具プレートのパンチング穴として本願発明の目的を達成できる。
9C is manufactured by cutting the left and right sides of the punching hole and the center of the punching hole in parallel with the upper and lower sides and bending the upper and lower sides at right angles. In addition, it has both functions of exclusive nut support and exclusive nut insertion. In FIG. 9D, a cylindrical protrusion is formed by punching without cutting. Although a dedicated nut can be supported, the dedicated nut is inserted into the profile material groove in advance.
9A to 9D, the object of the present invention can be achieved as a punching hole of the jig plate as in the case of the bending claw of the jig plate of FIG.

次に棚板位置合せ穴の変形例について図10を用い説明する。
図5(A)に棚板位置合せ穴17の形状を示したが、棚板位置合せ穴の機能は棚のネジ止め作業に先だって棚板位置合せ穴を冶具プレートの位置決め用突起に勘合させ、棚板を冶具プレートに仮固定させる役割を担う。図10に棚板位置合せ穴の機能を満たす4種類の変形例を示す。図10(A)は2つの丸形位置合せ穴17a、17bを棚板取付ボルト穴18の上下に有し、位置合せ穴17a、17bに対抗する冶具プレート上には2つの丸形棚板位置決め用突起14a、14bが設けられ、位置合せ穴1つの場合に比べ高精度、かつ確実な位置合せを可能とする。
図10(B)も2つの丸形位置合せ穴17a、17bを棚板取付ボルト穴18の上下に有するが、一方の位置合せ穴17bが長穴で、図10(A)に比べ棚板セッティング作業の容易化を図ったものである。またこの位置合せ穴17a、17bに対抗する冶具プレート上には2つの丸形棚板位置決め突起14a、14bが設けられる。
Next, a modified example of the shelf board alignment hole will be described with reference to FIG.
Although the shape of the shelf board alignment hole 17 is shown in FIG. 5A, the function of the shelf board alignment hole is to engage the shelf board alignment hole with the positioning projection of the jig plate prior to the screwing operation of the shelf, Plays the role of temporarily fixing the shelf board to the jig plate. FIG. 10 shows four types of modifications that satisfy the function of the shelf alignment holes. FIG. 10 (A) has two round alignment holes 17a and 17b above and below the shelf mounting bolt holes 18, and two circular shelf positioning on the jig plate that opposes the alignment holes 17a and 17b. Protrusions 14a and 14b are provided to enable highly accurate and reliable alignment as compared with the case of one alignment hole.
FIG. 10 (B) also has two round alignment holes 17a and 17b above and below the shelf mounting bolt holes 18, but one alignment hole 17b is a long hole and shelf setting compared to FIG. 10 (A). It is intended to facilitate the work. Two round shelf positioning protrusions 14a and 14b are provided on the jig plate that opposes the alignment holes 17a and 17b.

図10(C)は2つの角形位置合せ穴17a、17bを棚板取付ボルト穴18の上下に有し、位置合せ穴17a、17bに対抗する冶具プレート上に2つの角形棚板位置決め用突起14a、14bが設けられ高精度、かつ確実な位置合せを可能としている。
図10(D)は2つの丸形位置合せ穴17a、17bを棚板取付ボルト穴18の左右方向に設け、対抗する冶具プレート上にも2つの丸形棚板位置決め用突起14a、14bが設けられ高精度、かつ確実な位置合せを可能としている。
以上図10(A)〜(D)の4種類の棚板位置合せ穴の変形例を示したが、これらはいずれも位置合せ穴1つの場合に比べ高精度、かつ確実な位置合せが可能である。なお、上記以外にも様々な変形が可能であるが、図10と同一機能、同一目的とする変形は本発明の範疇である。
FIG. 10C has two square alignment holes 17a and 17b above and below the shelf mounting bolt holes 18, and two square shelf positioning protrusions 14a on the jig plate facing the alignment holes 17a and 17b. , 14b are provided to enable highly accurate and reliable alignment.
In FIG. 10D, two round alignment holes 17a and 17b are provided in the left-right direction of the shelf mounting bolt hole 18, and two round shelf positioning protrusions 14a and 14b are also provided on the opposing jig plate. High accuracy and reliable alignment is possible.
10A to 10D, the four types of shelf plate alignment holes have been modified. All of these can be aligned with high accuracy and reliability compared to the case of one alignment hole. is there. Various modifications other than those described above are possible, but modifications having the same function and the same purpose as those in FIG. 10 are within the scope of the present invention.

次に第3の変形例である棚板位置合せ勘合部の変形例について説明する。
プロファイル材料の高さ方向両端部付近に設けられた位置決め用凹部と勘合させ位置合わせする冶具プレートの上下両端部に設けた突起、或いは、冶具プレートの棚板位置決め用突起と勘合させる棚板に設けられた位置決め用穴に於いて、突起と穴の関係は逆転する関係にあっても何ら問題ない。図11はこの関係を棚板11と冶具プレート20の場合を例に説明したものである。図11(A)では棚板11に穴が設けられ、冶具プレート20に突出部が設けられる。図11(B)では逆に棚板11に突出部が設けられ、冶具プレート20に穴が設けられるが、これらは(A)、(B)何れであってもよい。
Next, a modified example of the shelf alignment fitting portion as a third modified example will be described.
Protrusions provided on the upper and lower ends of the jig plate to be aligned with the positioning recesses provided near both ends in the height direction of the profile material, or provided on the shelf plate to be engaged with the protrusions for positioning the shelf on the jig plate In the positioning hole thus formed, there is no problem even if the relationship between the protrusion and the hole is reversed. FIG. 11 illustrates this relationship by taking the case of the shelf plate 11 and the jig plate 20 as an example. In FIG. 11A, holes are provided in the shelf plate 11, and protrusions are provided in the jig plate 20. In FIG. 11 (B), the shelf plate 11 is provided with a protruding portion and the jig plate 20 is provided with a hole, but these may be either (A) or (B).

第4の変形例である棚板設置の変形例について説明する。
図5において、棚板はストッカ骨組構造体垂直方向の柱を構成するプロファイル材に冶具プレートを介し直接取り付けるが、例えば図12に示す棚板支持部材24を用いることで、棚板をプロファイル材に直接ボルト締結しないで、棚の組立が可能となる。即ち、棚板支持部材24は位置決め穴25で冶具プレートの突起部に位置決めし、取付ボルト穴26にボルトを貫通させ、プロファイル材溝に挿入されている専用ナットにネジ止めする。冶具プレートには図4と同じ冶具プレートを使用する。棚板支持部材24には柱取付部39から水平方向に直角に曲げられたハの字形状の棚板受け部38a、38bが設けられている。棚板をストッカ骨組構造体の水平方向同一高さ位置にネジ止めされた複数の棚板支持部材24の棚板受け部38a、38b上に載置し棚装置を組み立てる。
この方法によれば棚板は棚板支持部材24に載置し、必要に応じて簡単な固定を施すだけで、棚組立を完了させることができる。
A modified example of shelf board installation, which is a fourth modified example, will be described.
In FIG. 5, the shelf board is directly attached to the profile material constituting the column in the vertical direction of the stocker frame structure through the jig plate. For example, by using the shelf board support member 24 shown in FIG. 12, the shelf board is used as the profile material. The shelf can be assembled without direct bolting. That is, the shelf board support member 24 is positioned at the protrusion of the jig plate through the positioning hole 25, the bolt is passed through the mounting bolt hole 26, and is screwed to the exclusive nut inserted into the profile material groove. The same jig plate as FIG. 4 is used for the jig plate. The shelf support member 24 is provided with square-shaped shelf receivers 38a and 38b bent at right angles in the horizontal direction from the column attachment portion 39. The shelf board is placed on the shelf board receiving portions 38a and 38b of the plurality of shelf board support members 24 screwed to the same height in the horizontal direction of the stocker frame structure to assemble the shelf apparatus.
According to this method, the shelf board can be completed by simply placing the shelf board on the shelf board support member 24 and performing simple fixing as required.

汎用部材であるプロファイル材を骨組構造体として使用し、高い寸法精度の要求される棚等の構造物を作業性よく制作する技術分野に適用可能である。 The profile material which is a general-purpose member is used as a frame structure, and can be applied to a technical field in which a structure such as a shelf which requires high dimensional accuracy is produced with good workability.

ストッカの上方斜視図である。It is an upper perspective view of a stocker. アルミニュームプロファイル材の断面構造図である。It is a cross-section figure of an aluminum profile material. アルミニュームプロファイル材への専用ナット取り付け図である。It is an attachment figure of a special nut to an aluminum profile material. 冶具プレートの構造図である。It is a structural diagram of a jig plate. 冶具プレートを用いた棚板のプロファイル材への締結方法である。It is the fastening method to the profile material of the shelf board using a jig plate. 冶具プレートを用いた棚板とプロファイル材の締結の様子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the mode of the fastening of the shelf board and profile material using a jig plate. ストッカ用棚構造である。This is a shelf structure for stockers. パンチプレートの凸部形状の変形例である。It is a modification of the convex part shape of a punch plate. 落下防止爪の変形例である。It is a modification of a fall prevention claw. 棚板位置合せ穴の変形例である。It is a modification of a shelf board alignment hole. 棚板位置合わせ勘合部の変形例である。It is a modification of a shelf board alignment fitting part. 棚板支持部材である。It is a shelf support member. 従来技術による棚構造正面図である。It is a shelf structure front view by a prior art. 従来技術による棚構造側面図である。It is a shelf structure side view by a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

1. ストッカ棚
10. プロファイル材(アルミニュームプロファイル材)
11. 棚板
12. 専用ナット(締結用ナット)
13. ボルト(締結用ボルト)
14. 棚板位置決め用突起(第2の位置決め部)
15. パンチング穴(締結用ボルト貫通穴、締結用ナット挿入穴)
16. 折り曲げ爪(ナット保持部)
17. 棚板位置決め穴(棚板用位置決め部)
18. 棚板取付穴
20. 冶具プレート(結合補助部材)
21a,21b. 端部位置決め突起(第1の位置決め部)
22a,22b. 冶具プレート位置決め穴(結合補助部材用位置決め部)
29. 溝
1. Stocker shelf 10. Profile material (aluminum profile material)
11. Shelf 12. Dedicated nut (fastening nut)
13. Bolt (fastening bolt)
14 Shelf positioning protrusion (second positioning part)
15. Punching holes (fastening bolt through holes, fastening nut insertion holes)
16. Bending claw (nut holding part)
17. Shelf board positioning hole (shelf board positioning part)
18. Shelf board mounting hole 20. Jig plate (joint auxiliary member)
21a, 21b. End positioning protrusion (first positioning part)
22a, 22b. Jig plate positioning hole (positioning part for coupling auxiliary member)
29. groove

Claims (3)


アルミニュームプロファイル材を柱として組立てられた棚用骨組構造体に、所定間隔で複数段の同一形状の棚板が、垂直方向にボルト、ナットによる結合で一体化されてなる棚装置であって、

前記アルミニュームプロファイル材と前記棚板の間に重ねて締結されて使用される結合補助部材を備え、

前記結合補助部材は、前記アルミニュームプロファイル材と同一長さ、同一幅の金属材料からなる板材で構成され、

前記結合補助部材は、長さ方向両端部の前記アルミニュームプロファイル材との対抗面に形成した前記アルミニュームプロファイル材に対する第1の位置決め部と、所定間隔で複数段に取り付けられる前記棚板との対抗面に形成した前記棚板に対する第2の位置決め部と、前記アルミニュームプロファイル材と前記棚板とを締結する締結用ボルトを貫通させる締結用ボルト貫通穴と、前記締結用ボルトに係合する締結用ナットを保持するナット保持部と、を有し、

前記締結用ボルト貫通穴が、前記締結用ナットを前記アルミニュームプロファイル材に形成された溝内に挿入させる締結用ナット挿入穴として兼用可能な構成とされていることを特徴とする棚装置。

A shelf apparatus in which a plurality of steps of identically shaped shelf boards are integrated in a vertical direction with bolts and nuts in a frame structure for a shelf assembled using aluminum profile materials as columns,

A coupling auxiliary member used by being overlapped and fastened between the aluminum profile material and the shelf board,

The coupling auxiliary member is composed of a plate material made of a metal material having the same length and width as the aluminum profile material,

The coupling auxiliary member includes: a first positioning portion for the aluminum profile material formed on a facing surface of the aluminum profile material at both ends in the length direction; and the shelf plate attached in a plurality of stages at a predetermined interval. A second positioning portion for the shelf plate formed on the facing surface, a fastening bolt through hole for passing a fastening bolt for fastening the aluminum profile material and the shelf plate, and the fastening bolt are engaged. A nut holding portion for holding a fastening nut ,

The shelf device , wherein the fastening bolt through hole is configured to be used as a fastening nut insertion hole for inserting the fastening nut into a groove formed in the aluminum profile material .

請求項1に記載の棚装置であって、

前記結合補助部材の長さ方向中央部を、所定の辺を残して所定の形状に切断打ち抜きしてパンチング穴を形成するとともに、切断されない前記所定の辺を直角に折り曲げて折り曲げ爪を形成し、

前記パンチング穴を、締結用ナット挿入穴として兼用する前記締結用ボルト貫通穴とし、前記折り曲げ爪を前記ナット保持部とし、該ナット保持部を前記アルミニュームプロファイル材の前記溝内に侵入させるようにして前記結合補助部材を前記アルミニュームプロファイル材に重ねることを特徴とする棚装置。

The shelf device according to claim 1 ,

A punching hole is formed by cutting and punching the center portion in the length direction of the coupling auxiliary member into a predetermined shape, leaving a predetermined side, and a bending claw is formed by bending the predetermined side that is not cut at a right angle,

The punching hole is used as the fastening bolt through hole that is also used as a fastening nut insertion hole, the bending claw is used as the nut holding portion, and the nut holding portion is inserted into the groove of the aluminum profile material. A shelf apparatus, wherein the coupling auxiliary member is stacked on the aluminum profile material.

請求項1に記載の棚装置であって、

前記第1の位置決め部を突起又は穴若しくは凹部とし、前記アルミニュームプロファイル材の前記第1の位置決め部と対応する部位には穴若しくは凹部又は突起を形成して結合補助部材用位置決め部とし、これら第1の位置決め部と結合補助部材用位置決め部とを嵌合させることで、前記アルミニュームプロファイル材に対する前記結合補助部材の位置決めをするとともに、

前記第2の位置決め部を突起又は穴若しくは凹部とし、前記棚板の前記第2の位置決め部と対応する部位には穴若しくは凹部又は突起を形成して棚板用位置決め部とし、これら第2の位置決め部と棚板用位置決め部とを嵌合させることで、前記結合補助部材に対する前記棚板の位置決めをする

ことを特徴とする棚装置。

The shelf device according to claim 1,

The first positioning portion is a projection, hole, or recess, and a hole, a recess, or a projection is formed in a portion corresponding to the first positioning portion of the aluminum profile material to form a coupling assisting member positioning portion. By fitting the first positioning portion and the positioning portion for the coupling auxiliary member, the positioning of the coupling auxiliary member with respect to the aluminum profile material,

The second positioning portion is a projection, a hole or a recess, and a hole, a recess or a projection is formed in a portion corresponding to the second positioning portion of the shelf plate to form a shelf plate positioning portion. By positioning the positioning part and the shelf positioning part, the shelf board is positioned with respect to the coupling auxiliary member.

A shelf device characterized by that.
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