JP4572383B2 - 圧電デバイス - Google Patents
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Description
図7は、従来の圧電デバイスの概略断面図を示しており(特許文献1参照)、図において、圧電デバイス1は、パッケージ2内に、圧電振動片3と、この圧電振動片3と電気的に接続された集積回路素子等でなる発振回路素子4とを収容するようにした圧電発振器が示されている。
すなわち、凹部7,8の開放された開口端面2aには低融点ガラス5が付着されており、例えば吸着パッド9で蓋体6をこの低融点ガラス5の上に載置し、そして、低融点ガラス5を溶融させることで、パッケージ2と蓋体6とを接合するようになっている。
そして、図8に示すように、低融点ガラス5を外側に押す力が働くと、溶融した低融点ガラス5が幅方向に上手く拡がらず、低融点ガラス5と蓋体6との接合幅W1や、低融点ガラス5とパッケージ2との接合幅W2が十分確保できずに、蓋体6とパッケージ2との接合強度を確保できない恐れもある。
また、複数の凹部空間のうち、圧電振動片が収容された凹部空間以外の他の凹部空間が設けられた領域には、この領域をめぐる全周に溶融した接合材を用いて蓋体が接合されているとともに、全周に設けられた接合材に囲まれた包囲空間が、他の空間と連通するように、小開口が設けられている。このため、この他の凹部空間が設けられた領域についても、小開口を通じて、包囲空間内のガスを排出し、蓋体とパッケージとの接合強度が向上できる。なお、他の凹部空間が設けられた領域とは、他の凹部空間が設けられたパッケージの領域、及びこのパッケージの領域に対応する接合材や蓋体等の領域を意味する。
そして、圧電振動片が収容された凹部空間、及び包囲空間のいずれについてもガスが排出されるため、各空間毎の接合材の溶融具合を略同様にして、蓋体を傾けずにパッケージに接合できる。
かくして、本発明によれば、蓋体を精度よくパッケージに接合するとともに、蓋体とパッケージとの接合強度を向上させて、振動特性が良好で低背化された圧電デバイスを提供することができる。
第2の発明の構成によれば、小開口は全周に設けられた接合材の一部に形成されているので、全周に設けられた接合材に囲まれた包囲空間内のガスは、この接合材の切れ目ともいえる小開口を通じて他の空間へ排出される。
第3の発明の構成によれば、小開口はパッケージの一部に形成されているので、包囲空間内のガスはパッケージを通って他の空間へ排出される。
第4の発明の構成によれば、小開口は蓋体の一部に形成されているので、包囲空間内のガスは蓋体を通って他の空間へ排出される。
第5の発明の構成によれば、小開口は、包囲空間と圧電振動片が収容された凹部空間とが連通するようにして、全周に設けられた接合材の一部に形成されている。このため、包囲空間内のガスは、小開口を通じて圧電振動片が収容された凹部空間に排出される。そして、パッケージには圧電振動片が収容された凹部空間と外部空間とを連通する貫通孔が設けられているので、小開口を通じて流入してきたガスは、この貫通孔を通じて、外部空間へと排出される。
第6の発明の構成によれば、小開口は一つであるため、圧電デバイスの実装後に、外部の異物が小開口を通じて包囲空間に入ろうとしても、空気の抜け道がないので異物は入り難い状態となっている。このため、圧電デバイスの実装後に、圧電デバイス全体にアンダーフィル材を塗布するようにしても、アンダーフィル材が包囲空間に入ることを有効に防止できる。したがって、アンダーフィル材が包囲空間に入り込んで、蓋体をパッケージから剥離させる方向に膨張し、蓋体とパッケージとの接合強度を弱めるようなことを防止できる。
これらの図において、圧電デバイス10は圧電発振器を例示しており、パッケージ30内に圧電振動片20と電子部品50とを収容するようになっている。
そして、これらの基板の一部に所定の孔を形成することで、複数の凹部空間S1,S2が形成されている。この凹部空間S1,S2は水平方向に配置され、平面視において重ならないようになっている。
すなわち、凹部空間S1に露出して内面を構成する第3の基板30cには、図1に示すように、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキで形成したマウント電極31,31が設けられている。そして、マウント電極31,31の上に、シリコーン系またはエポキシ系等の導電性接着剤43,43が塗布され、この導電性接着剤43,43の上に圧電振動片20が載置されて、導電性接着剤43,43が硬化することで、圧電振動片20がパッケージ30に接続されるとともに、凹部空間S1に収容されている。
なお、この凹部空間S2はパッケージ30の裏面側を凹状にすることで形成されているが、凹部空間S1と同様に、パッケージ30の上面側を凹状にすることで形成されてもよい(図7に示すように、パッケージ上面に2つの凹部を形成してもよい。)。
具体的には、圧電振動片20を収容した内部空間を密閉する必要性から、凹部空間S1の開口端面36に、溶融した接合材34を用いて蓋体32を接合して蓋封止するようになっている。また、圧電振動片20が収容された凹部空間S1以外の他の凹部空間S2が設けられた領域にも、蓋体32が接合されており、これにより、例えば吸着パッドを用いて蓋体32をパッケージ30に確実に接合できるようにしている。
透明材料としてはガラスが一般的であり、このようなガラス材料としては、例えばダウンドロー法により製造される硼珪酸ガラス等の薄板ガラスが使用される。そして、薄板ガラスとセラミックパッケージ30とを良好に接合するため、接合材34には低融点ガラス等のロウ材が用いられている。
そして、圧電振動片20の基部21の端部であって表裏面には、振動腕22,23の各々に設けた励振電極(図示せず)を引き出すようにして設けた引出し電極24,25が形成されており、この引出し電極24,25が、上述の導電性接着剤43,43と接合して、パッケージ30側のマウント電極31,31と接続されている。
具体的には、図2に示すように、パッケージ30を構成する2枚の基板30b,30cに連続する貫通孔37a,37bを形成することにより、外部に開口した貫通孔37が設けられている。これにより、圧電振動片20をマウントする際に導電性接着剤43から発生したガスや、蓋体32をパッケージ30に接合する際に接合材34から発生したガスを、貫通孔37から外部に排出することができる。
換言すれば、小開口55は、包囲空間S3に接する領域(本実施形態では、包囲空間S3に接するパッケージ30・接合材34・蓋体32の領域)に設けられており、包囲空間S3に開口しているとともに、外部空間等の他の空間にも開口して、包囲空間S3内のガスを他の空間に排出できる通気路になっている。
また、本実施形態の小開口55は、接合材34の一箇所にのみ設けられて、外部の異物が包囲空間S3内に侵入しないようにしている。すなわち、圧電デバイス10は、図2に示すように、実装基板60に実装された後、全体にアンダーフィル材62を塗布されることが多く、この際、アンダーフィル材62が小開口55から侵入しようとしても、包囲空間S3には、小開口55以外に空気の抜け道がないので、アンダーフィル材62が侵入することを防止できる。したがって、アンダーフィル材62が包囲空間S3に入り込み、蓋体32をパッケージ30から剥離する方向に膨張して、蓋体32とパッケージ30との接合強度を弱めてしまうようなことを防止できる。
そして、圧電振動片20が収容された凹部空間S1、及び包囲空間S3のいずれについてもガスが排出されるため、各空間S1,S3毎の接合材34の溶融具合を略同様にして、蓋体32を傾けずにパッケージ30に接合できる。
これらの図において、図1および図2の圧電デバイス10と同一の符号を付した箇所は共通の構成であるから、重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
本第2の実施形態に係る圧電デバイス12が第1の実施形態と異なるのは、小開口55の位置についてである。
具体的には、小開口55は、包囲空間S3と凹部空間S2とが連通するように、第4の基板30dの一部に小開口55aが形成されており、この小開口55aに連続するようにして、凹部空間S2に充填されたモールド樹脂54の一部に小開口55bが形成されている。あるいは、小開口55は、第1ないし第4の基板30a,30b,30c,30dの各々の一部に、各々が連続するように形成されていてもよい。
この図において、図1および図2の圧電デバイス10と同一の符号を付した箇所は共通の構成であるから、重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
本第3の実施形態に係る圧電デバイス14が第1の実施形態と異なるのは、小開口55の位置についてである。
具体的には、本実施形態における蓋体32は薄板ガラスよりなるため、この薄板ガラスの強度を確保すべく、小開口55は接合材34の近傍に一箇所だけ設けられている。
本発明の第3の実施形態は以上のように構成されており、蓋体32の一部に形成された小開口55を通じて、包囲空間S3内のガスを外部に排出し、第1の実施形態と同様の作用効果を発揮できる。
この図において、図1および図2の圧電デバイス10と同一の符号を付した箇所は共通の構成であるから、重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
本第4の実施形態に係る圧電デバイス16が第1の実施形態と異なるのは、小開口55の位置についてである。
また、上述したように、パッケージ30には、圧電振動片20が収容された凹部空間S1と外部空間とを連通する貫通孔37が設けられている。
これにより、包囲空間S3内のガスは、小開口55を通じて、一旦、凹部空間S1に入り込み、予め存在する凹部空間S1内のガスとともに、貫通孔37を通じて、外部に排出されるようになっている。
なお、本実施形態の小開口55は、貫通孔37に最も近い位置に設けられて、包囲空間S3内のガスをスムーズに貫通孔37に導けるようにしている。
また、本第4の実施形態では、圧電デバイス16の実装後にアンダーフィル材を塗布しても、アンダーフィル材が圧電デバイス16内に入り込む余地はないため、アンダーフィル材の熱膨張で蓋体32が剥がれるなどの問題が生ずることもない。
Claims (6)
- 水平方向に複数の凹部空間を有するパッケージと、前記複数の凹部空間のうち少なくとも一つの凹部空間に収容された圧電振動片とを備えた圧電デバイスであって、
前記パッケージの上面側には、前記圧電振動片が収容された凹部空間S1が形成され、前記圧電振動片が収容された凹部空間S1の開口端面に、溶融した接合材を用いて蓋体が接合されているとともに、前記圧電振動片が収容された凹部空間S1と外部空間とを連通する貫通孔が設けられており、
前記圧電振動片が収容された凹部空間S1の領域以外で、前記パッケージの裏面側に凹部空間S2が設けられ、
前記凹部空間S1と前記凹部空間S2とは平面視において重ならないように配置され、
前記パッケージの上面側であって、平面視において前記凹部空間S2が設けられた領域をめぐる全周に、溶融した接合材を用いて前記蓋体が接合されているとともに、前記全周に設けられた接合材に囲まれた包囲空間S3が、他の空間と連通するように、小開口が設けられている
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 前記小開口は前記全周に設けられた接合材の一部に形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記小開口は前記パッケージの一部に形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記小開口は前記蓋体の一部に形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記小開口は、前記包囲空間S3と前記圧電振動片が収容された凹部空間S1とが連通するようにして、前記全周に設けられた接合材の一部に形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記小開口は一つであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の圧電デバイス。
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