JP4571433B2 - ミリ電磁波またはサブミリ電磁波のためのアンテナと最適化キャビティとを備えてなる輻射検出デバイスならびにその製造方法 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 18
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 47
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 45
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 45
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 45
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 15
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 10
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 229910000789 Aluminium-silicon alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0837—Microantennas, e.g. bow-tie
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/20—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices
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Description
参考文献[1]:欧州特許出願公開第0 749 007号明細書、米国特許第5,825,029号明細書に対応(Patrick Agnese 氏および Jean-Michel Sajer 氏による)。
参考文献[2]:国際公開第00/40937号パンフレット,“Bolometric detector
with antenna”、Patrick Agnese 氏。
参考文献[3]:米国特許第6,329,655号明細書,“Architecture and method
of coupling electromagnetic energy to thermal detectors”,Micheal D. Jack 氏他。
温度検出器は、例えばTiNやTaNといったような抵抗性金属からなる梁(26)から、懸架されている。
−例えば450μm厚さといったような、バルクシリコン基板(36)。
−厚さが例えば380nmとされているような、シリカ製埋込薄層(38)。
−厚さが例えば5μmとされているような、エピタキシャル形成シリコンからなる薄層(40)。
−厚さが例えば380nmとされているような、さらなるシリカ製埋込薄層(42)。
−厚さが例えば1μmとされているような、エピタキシャル形成シリコンからなる他の薄層(44)。
−p++にドーピングされたシリコン(図5Bにおける符号(46))を形成するための第1イオン打込。これにより、層(44)内において、3つの領域(48,50,52)が形成される。
−例えば500nm厚さとされたような、n++にドーピングされたシリコン領域(54)を、中央領域(52)内に形成するための第2イオン打込。
18 検出部
22 受信アンテナ
24 温度検出部材
26 梁またはアーム(抵抗負荷)
28 共鳴キャビティ
34 基板
68 受信アンテナ
88 温度検出部材
90 梁またはアーム(抵抗負荷)
92 反射性基板
96 マトリクス
98 ボロメータ
100 反射性基板
Claims (7)
- 中心波長λに対応した中心周波数を有したミリ電磁波またはサブミリ電磁波に関する検出のための方法であって、
ボロメータが使用され、
このボロメータが、
抵抗負荷(26,90)と、
受信アンテナ(22)と温度検出部材(24)とを有した検出部(18)と、
前記検出部に対向して配置された反射性基板(16,92)と、
前記反射性基板と前記検出部との間に規定されているキャビティと、
を備え、
前記受信アンテナが、前記キャビティの上方に配置され、
このような方法において、
前記キャビティの厚さを、前記受信アンテナと前記反射性基板との間の距離とするとともに、λ/4よりも薄いものとし、
前記抵抗負荷(26,90)と前記受信アンテナ(22)と温度検出部材(24)とを、第1基板から構成するとともに、前記受信アンテナを、前記検出部によって少なくとも部分的に支持し、さらに、前記検出部を、前記第1基板の2つの側方部分(80,82)によって支持し、
前記反射性基板(16,92)を、前記第1基板とは別部材をなす第2基板から構成し、
前記第1基板の前記側方部分を、前記受信アンテナと前記反射性基板との間に前記キャビティが形成されるようにして、前記第2基板上に配置することを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記受信アンテナが、4極型アンテナ(22,68)とされていることを特徴とする方法。 - 請求項1または2記載の方法において、
前記ボロメータが、冷却されるタイプのものであることを特徴とする方法。 - 請求項1または2記載の方法において、
前記ボロメータが、冷却されないタイプのものであることを特徴とする方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法において、
MおよびNを1以上の整数としたときに、M×N個の前記ボロメータからなるマトリクス(96)を使用することを特徴とする方法。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法において、
前記受信アンテナ(68)と前記抵抗負荷(90)と前記温度検出部材(88)と前記キャビティとを備えてなる前記ボロメータを、バルクシリコン/シリカ/シリコン薄層という構造を有してなる基板(34)から形成することを特徴とする方法。 - 請求項6記載の方法において、
前記基板(34)が、バルクシリコン/シリカ/シリコン薄層/シリカ/シリコン薄層という構造を有していることを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0350176A FR2855609B1 (fr) | 2003-05-26 | 2003-05-26 | Dispositif de detection bolometrique a antenne, a cavite optimisee, pour ondes electromagnetiques millimetriques ou submillimetriques, et procede de fabrication de ce dispositif |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004354380A JP2004354380A (ja) | 2004-12-16 |
JP4571433B2 true JP4571433B2 (ja) | 2010-10-27 |
Family
ID=33104529
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004155269A Expired - Fee Related JP4571433B2 (ja) | 2003-05-26 | 2004-05-25 | ミリ電磁波またはサブミリ電磁波のためのアンテナと最適化キャビティとを備えてなる輻射検出デバイスならびにその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6985116B2 (ja) |
EP (1) | EP1482289B1 (ja) |
JP (1) | JP4571433B2 (ja) |
AT (1) | ATE470135T1 (ja) |
DE (1) | DE602004027441D1 (ja) |
FR (1) | FR2855609B1 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI114658B (fi) * | 2002-06-03 | 2004-11-30 | Metorex Internat Oy | Suprajohtava antennikytketty kuumapistemikrobolometri, menetelmät sellaisen valmistamiseksi ja käyttämiseksi sekä bolometrinen kuvantamisjärjestely |
US7038623B2 (en) * | 2003-12-04 | 2006-05-02 | Raytheon Company | Method and apparatus for detecting radiation at one wavelength using a detector for a different wavelength |
FR2884608B1 (fr) * | 2005-04-18 | 2007-05-25 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur bolometrique, dispositif de detection d'ondes electromagnetiques submillimetriques et millimetriques mettant en oeuvre un tel detecteur |
JP4221424B2 (ja) | 2006-08-09 | 2009-02-12 | 株式会社東芝 | 固体撮像素子及びその製造方法並びに撮像装置 |
JP4398972B2 (ja) * | 2006-12-11 | 2010-01-13 | 株式会社東芝 | 電磁波センサ、撮像素子及び撮像装置 |
JP5597862B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2014-10-01 | 日本電気株式会社 | ボロメータ型THz波検出器 |
JP5219745B2 (ja) * | 2007-11-14 | 2013-06-26 | キヤノン株式会社 | 発光装置 |
US8130160B2 (en) * | 2008-07-03 | 2012-03-06 | The Boeing Company | Composite dipole array assembly |
FR2934044B1 (fr) * | 2008-07-17 | 2014-08-15 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur bolometrique d'ondes electromagnetiques. |
FR2945119B1 (fr) * | 2009-04-30 | 2011-04-08 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur bolometrique d'un rayonnement electromagnetique dans le domaine du terahertz et dispositif de detection matriciel comportant de tels detecteurs |
MD340Z (ro) * | 2010-04-23 | 2011-09-30 | Институт Электронной Инженерии И Промышленных Технологий | Bolometru |
FR2969284B1 (fr) * | 2010-12-17 | 2012-12-14 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur infrarouge a base de micro-planches bolometriques suspendues |
JP5685980B2 (ja) * | 2011-02-23 | 2015-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 熱型光検出器、熱型光検出装置及び電子機器 |
US9759693B2 (en) * | 2012-12-20 | 2017-09-12 | International Business Machines Corporation | Method of simulating the absorption of plane waves using FEM software tools |
US20170030775A1 (en) * | 2014-04-18 | 2017-02-02 | Nec Corporation | Terahertz-wave detector |
US9476774B2 (en) | 2014-12-17 | 2016-10-25 | Institut National D'optique | Uncooled microbolometer pixel and array for configurable broadband and multi-frequency terahertz detection |
US11217874B2 (en) * | 2019-04-15 | 2022-01-04 | Analog Devices, Inc. | Silicon cavity backed radiator structure |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06213708A (ja) * | 1992-04-17 | 1994-08-05 | Terumo Corp | 赤外線センサおよびその製造方法 |
WO2000040937A1 (fr) * | 1998-12-30 | 2000-07-13 | Commissariat A L'energie Atomique | Detecteur bolometrique a antenne |
US6329655B1 (en) * | 1998-10-07 | 2001-12-11 | Raytheon Company | Architecture and method of coupling electromagnetic energy to thermal detectors |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5286976A (en) * | 1988-11-07 | 1994-02-15 | Honeywell Inc. | Microstructure design for high IR sensitivity |
JPH06317475A (ja) * | 1991-07-19 | 1994-11-15 | Terumo Corp | 赤外線センサおよびその製造方法 |
US5397897A (en) * | 1992-04-17 | 1995-03-14 | Terumo Kabushiki Kaisha | Infrared sensor and method for production thereof |
US5572060A (en) * | 1995-02-01 | 1996-11-05 | Southern Methodist University | Uncooled YBaCuO thin film infrared detector |
FR2735574B1 (fr) | 1995-06-15 | 1997-07-18 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de detection bolometrique pour ondes millimetriques et submillimetriques et procede de fabrication de ce dispositif |
FR2752299B1 (fr) * | 1996-08-08 | 1998-09-11 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur infrarouge et procede de fabication de celui-ci |
FR2773215B1 (fr) * | 1997-12-31 | 2000-01-28 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur thermique bolometrique |
JPH11344377A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 赤外線検知素子およびその製造方法 |
FR2780784B1 (fr) * | 1998-07-06 | 2000-08-11 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur thermique a amplification par effet bolometrique |
FR2796148B1 (fr) * | 1999-07-08 | 2001-11-23 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur bolometrique a isolation electrique intermediaire et procede de fabrication de ce detecteur |
US6300554B1 (en) * | 1999-09-09 | 2001-10-09 | Metrodyne Microsystem Corp. | Method of fabricating thermoelectric sensor and thermoelectric sensor device |
US6292140B1 (en) * | 1999-11-03 | 2001-09-18 | Hypres, Inc. | Antenna for millimeter-wave imaging and bolometer employing the antenna |
FI114658B (fi) * | 2002-06-03 | 2004-11-30 | Metorex Internat Oy | Suprajohtava antennikytketty kuumapistemikrobolometri, menetelmät sellaisen valmistamiseksi ja käyttämiseksi sekä bolometrinen kuvantamisjärjestely |
-
2003
- 2003-05-26 FR FR0350176A patent/FR2855609B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-05-06 US US10/839,129 patent/US6985116B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-24 EP EP04102263A patent/EP1482289B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-24 DE DE602004027441T patent/DE602004027441D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-24 AT AT04102263T patent/ATE470135T1/de not_active IP Right Cessation
- 2004-05-25 JP JP2004155269A patent/JP4571433B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06213708A (ja) * | 1992-04-17 | 1994-08-05 | Terumo Corp | 赤外線センサおよびその製造方法 |
US6329655B1 (en) * | 1998-10-07 | 2001-12-11 | Raytheon Company | Architecture and method of coupling electromagnetic energy to thermal detectors |
WO2000040937A1 (fr) * | 1998-12-30 | 2000-07-13 | Commissariat A L'energie Atomique | Detecteur bolometrique a antenne |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1482289B1 (fr) | 2010-06-02 |
US20040252065A1 (en) | 2004-12-16 |
JP2004354380A (ja) | 2004-12-16 |
US6985116B2 (en) | 2006-01-10 |
FR2855609A1 (fr) | 2004-12-03 |
ATE470135T1 (de) | 2010-06-15 |
FR2855609B1 (fr) | 2005-07-01 |
DE602004027441D1 (de) | 2010-07-15 |
EP1482289A1 (fr) | 2004-12-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070410 |
|
A977 | Report on retrieval |
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