JP4570997B2 - プローブ、基板へのプローブの取り付け方法及び装置、電気的接続装置、並びに電気的接続装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明においては、被検査体に垂直の方向を上下方向といい、プローブのアーム領域の長手方向を前後方向といい、上下方向及び前後方向に直交する方向を左右方向という。
上記のような電気的接続装置10は、接触部40が下方となりかつ配線基板20が上方となる状態に、テスターに取り付けられる。
次に、図11を参照して、プローブ基板22の装着部28への各プローブ24の取り付け方法について説明する。
電気的接続装置10は、以下のように製造される。
次に、図12を参照して、プローブ基板へのプローブの取り付け装置70の実施例について説明する。
12 被検査体
14 パッド電極
20 配線基板
22 プローブ基板
23 基板組立体
24,24a,24b,24c,24d プローブ
28,28a,28b,28c,28d 装着部
30 プローブ基板の配線
34 座部領域
36 アーム領域
38 針先領域
40 接触部
41 針先領域
42 アーム
44 スロット
46 端面
48 接着剤
50 溝(又はスロット)
52 プローブ把持具
54,56 レーザセンサ
62 レーザ発信器
70 取り付け装置
72 ベース
74 ワークステージ
76,78,80 ワークステージ用の移動機構
82,84,86,88 プローブ把持具用の移動機構
90 θ移動機構(把持具傾斜装置)
92 取り付け具
94,96 X,Z微調整機構
Claims (12)
- 前後方向へ延びるアーム領域と、該アーム領域の先端部から下方へ延びる針先領域であって、被検査体の電極に押圧される接触部を有する針先領域と、前記アーム領域の後端側から上方へ延びる座部領域であって、基板に導電性接着剤により固定される端面を有する座部領域とを含み、
前記端面は、少なくとも前後方向へ延びる弧面又は斜面とされている、プローブ。 - 前記端面は、前記接触部の側に曲率中心を有する弧面である、請求項1に記載のプローブ。
- 前記端面は、前後方向へ延びる仮想線に対し傾斜する斜面である、請求項1に記載のプローブ。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の複数のプローブを基板に取り付ける、基板へのプローブの取り付け方法であって、各プローブを、前記基板からの前記接触部の高さ位置が同じになるように前記基板に対する角度を調整して位置決めし、その状態で前記基板に前記座部領域の端部において取り付けることを含む、基板へのプローブの取り付け方法。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の複数のプローブを基板に取り付ける、基板へのプローブの取り付け装置であって、各プローブを、前記基板からの前記接触部の高さ位置が同じになるように前記基板に対する角度を調整して位置決めし、その状態に維持する位置決め装置と、前記プローブを前記基板に前記座部領域の端部において装着するための導電性接着剤を加熱する熱源とを含む、基板へのプローブの取り付け装置。
- 前記位置決め装置は、前記基板を受けるワークステージと、前記プローブを把持するプローブ把持具と、該プローブ把持具を前記ワークステージに対し少なくとも前後方向に傾斜させる把持具傾斜機構と、前記プローブ把持具に把持されたプローブの接触部の前記基板からの高さ位置の基準となる光線を発生する少なくとも1つの光源とを含む、請求項5に記載の基板へのプローブの取り付け装置。
- 前記光線は、前記基板に対する前記接触部の三次元的な位置の基準とされる、請求項5に記載の基板へのプローブの取り付け装置。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の複数のプローブと、前記接触部の高さ位置が同じになる状態に前記プローブが前記座部領域の端部において取り付けられた基板とを含み、少なくとも1つのプローブは他のプローブに対し前方又は後方に傾斜した状態に導電性接着剤により固定されている、電気的接続装置。
- 前記基板は、前記プローブが前記座部領域の端部において取り付けられた装着部を有する、請求項8記載の電気的接続装置。
- 前記装着部は前記座部領域の前記端部の少なくとも一部を受け入れる溝又はスロットを有する、請求項9に記載の電気的接続装置。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の複数のプローブを準備すると共に、前記プローブが前記座部領域の端部において取り付ける基板を準備し、各プローブを前記基板からの前記接触部の高さ位置が同じになるように前記基板に対する角度を調整して位置決めし、その状態で各プローブを前記基板に取り付けることを含む、電気的接続装置の製造方法。
- さらに、前記プローブを位置決めするに先だって、前記基板に溶融性及び導電性の接着剤を配置することを含む、請求項11に記載の電気的接続装置の製造方法。
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