JP4564312B2 - 撮像方法、撮像装置、及びパターン検査装置 - Google Patents
撮像方法、撮像装置、及びパターン検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4564312B2 JP4564312B2 JP2004266471A JP2004266471A JP4564312B2 JP 4564312 B2 JP4564312 B2 JP 4564312B2 JP 2004266471 A JP2004266471 A JP 2004266471A JP 2004266471 A JP2004266471 A JP 2004266471A JP 4564312 B2 JP4564312 B2 JP 4564312B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- imaging
- magnification
- pattern
- lens
- inspection object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
図22は、従来の第1画像検査方法を実行する検査装置を示している。該検査装置10は、検査対象物を載置し、上記検査対象物をX及びY方向に移動可能とする移動機構を有するステージ1と、上記検査対象物を照明する照明装置2と、光学系4を有し上記検査対象物の撮像を行う撮像装置3と、撮像装置3に接続され撮像装置3にて撮像した上記検査対象物の画像の良否を判断する画像処理装置5とを有する。ここで、上記検査対象物は、例えば上述のディスプレイパネルであり、縦縞状、横縞状、又は格子状のライン状のパターンが形成されている。よって、上記検査対象物の画像の良否判断とは、上記パターンの良否を判断することである。
まず、パネル6をステージ1に載置する。照明装置2は、パネル6に光を照射する。ステージ1が一定速度にて移動することで、固定されている撮像装置3は、パネル6に形成されている縦縞状、横縞状、又は格子状のライン状のパターンを撮像し一定周期にて画像情報を得る。該画像情報は、画像処理装置5に送出されパネル6のパターンの良否が判断される。尚、図23に、画像処理装置5にて処理された、プラズマディスプレイパネルの不良画像の一例を示す。
撮像部25は、ズームレンズ26を備え、該ズームレンズ26により、検査に必要な分解能に応じてカラーテレビカメラ27のレンズ倍率を変更する。即ち、検査部位が微小な半田付け部位であれば、レンズ倍率を上げ高分解能の検査を行い、一方、検査部位が広大な半田付け部位であれば、レンズ倍率を下げ広視野の検査を行う。該検査により、検査対象物の撮像画像データが画像処理部28から判定部29へ供給される。一方、検査対象物30の画像に対する判定データファイルが制御部31から判定部29へ供給される。よって上記判定部29は、上記判定データファイルと上記撮像画像データとを比較して、検査対象物30の良否を判断し、その結果を制御部31へ送出する。又、撮像コントローラ32は、制御部31の制御に基づき、検査対象物30への照明の制御、カメラ27における各色相光出力の相互バランスの制御、レンズ26の倍率の変更等を行う。
該検査方法によれば、各検査部位につき、検査に必要な分解能を判別した上で、撮像部25のレンズ倍率を最適状態に変更し、高精度の検査を効率よく実施することができる(例えば、特許文献1参照)。
又、上述の第2画像検査方法では、レンズ倍率を低くすることで、検査速度を上げることはできるが、低倍率ゆえ、十分な検査精度が得られないという問題がある。
一方、PDP及び液晶等のパネルにおけるパターン検査では、図25に示すような、ショート欠陥40及び断線欠陥41は、確実に検出する必要があるが、図26に示すような、突起欠陥42及び欠損欠陥43については、ショート欠陥40等に比べて高い検査精度を必要としない。よって、ショート欠陥40及び断線欠陥41を確実に、かつ高速に検出することが最大の課題となる。
本発明は、このような要請に応えるもので、検査対象物のパターンにおける欠陥を確実かつ高速に検出可能な、撮像方法、パターン検査方法、撮像装置、及びパターン検査装置を提供することを目的とする。
即ち、本発明の第1態様の撮像方法は、撮像用レンズとラインセンサとから構成される撮像用カメラを用い、検査対象物と上記撮像用カメラとを相対移動させて上記検査対象物をスキャンして画像データを得る撮像方法において、
上記撮像用レンズが高倍率及び該高倍率に比して低倍率となり、上記スキャンのスキャン速度が高速及び該高速に比して遅い低速となる場合、上記スキャンのスキャン方向が上記検査対象物におけるパターンの延在方向と同方向であるとき、上記撮像用レンズを上記低倍率にし、上記スキャン速度を上記低速にする、
ことを特徴とする。
上記撮像部と上記検査対象物との間に設けられ、高倍率及び該高倍率に比して低倍率となるレンズ部と、
上記検査対象物におけるパターンの延在方向と同方向、又は上記延在方向に平面上で直交する直交方向に沿って上記検査対象物及び上記撮像部を相対移動させる移動装置と、
上記撮像部が上記検査対象物をスキャンするスキャン方向に応じて、上記相対移動の速度の変更と上記レンズ部の倍率の変更とを行う制御装置と、を備え、
上記撮像部は、上記スキャン方向に平面上で直交する列方向に沿って一列状にCCDを配列したラインセンサ構造を有し、
上記移動装置は、高速及び該高速に比して遅い低速にて上記相対移動を行い、
上記制御装置は、上記スキャン方向が上記パターンの上記延在方向と同方向であるとき、上記レンズ部を上記低倍率にし、上記移動装置に対して上記低速での上記相対移動を行わせる、
ことを特徴とする。
尚、パターン210としての認識、及びパターン間隔の認識に、それぞれ4画素の割り当てが必要と述べたが、サブピクセル画象処理の場合、もっと少ない割り当て画素で認識可能な場合もあるし、2値化処理のような場合は、10画素以上必要な場合もあり、対象デバイスと、画象処理手法により変わってくる。
そこで、本発明の第1態様の撮像方法では、上記パターンの延在方向に対する上記パターンを撮像するスキャン方向に応じて、上記スキャン速度及び上記レンズを切り換えることで、欠陥を確実かつ高速に検出可能としたものである。
よって、検査対象物におけるパターンの延在方向により、上記スキャン方向が上記延在方向と同方向になったり、直交する方向になったりする。そこで上述のように、上記延在方向に対する上記スキャン方向に応じて、即ち上記スキャン方向が上記延在方向と同方向か、若しくは直交方向かによって、上記スキャン速度及び上記レンズを切り換える。
尚、CCD1601には、被撮像物250における被撮像部251の影像がレンズ252を通して結像される。
上記パターンの撮像を行うとき、上記パターンの延在方向に対する上記スキャンを行うスキャン方向に応じて、スキャン速度及び上記撮像用のレンズを切り換えて上記画像データを得ることを特徴とする。
上記撮像装置から得られる、検査対象物におけるパターンの画像データに基づいて上記パターンの良否を判定する判定装置と、
を備えたことを特徴とする。
図1には、本実施形態の撮像装置101が示されている。該撮像装置101は、基本的構成として、ステージ110と、カメラ部160と、移動装置120と、制御装置180とを備え、さらに付属的構成部分として、照明装置310と、パネル搬送装置320とを備える。
又、本実施形態の撮像装置101では、カメラ部160は、移動装置120によりY方向にのみ可動であり、ステージ110は、X方向及びY方向のいずれにも移動しない構成である。又、パネル搬送装置320は、検査対象物であるディスプレイデバイス190をX方向に沿って搬送する。
高倍レンズ142は、上記列方向1602において高倍の画像を、上記スキャン方向201において上記高倍に比べて低倍の画像をTDIセンサ1620に結像するレンズである。
この場合、移動装置120によるカメラ部160の移動方向であるスキャン方向201と、パターン210の延在方向205とが平行になる。よって、パターン210におけるショート欠陥40及び断線欠陥41を検出するには、延在方向205に沿った画像を高分解能にて得る必要がある。一方、延在方向205に直交する直交方向206に沿う画像については、延在方向205における画像分解能に比べて低い画像分解能で良い。
よって、制御装置180は、カメラ部160におけるレンズ切換装置150を動作させ、TDIセンサ1620に対して低倍レンズ141を配置させる。これにより、スキャン方向201に直交する直交方向206における画素分解能は、50μmであるが、スキャン方向201方向における画素分解能は10μmである。よって、Y方向に沿った影像を高分解能にて撮像することが可能となる。
このように本実施形態の撮像装置101、及び該撮像装置101を有するパターン検査装置105によれば、従来に比べて短時間で、ディスプレイデバイス190の検査を完了することができる。
この場合、移動装置120によるカメラ部160の移動方向であるスキャン方向201と、直交方向206とが平行になり、スキャン方向201は、パターン210の延在方向205に対して直交する。よって、パターン210におけるショート欠陥40及び断線欠陥41を検出するには、直交方向206に沿った画像を高分解能にて得る必要がある。一方、上記延在方向205に沿う画像については、直交方向206における画像分解能に比べて低い分解能による撮像が可能である。
よって、制御装置180は、カメラ部160におけるレンズ切換装置150を動作させて、高倍レンズ142を通して結像されるようにTDIセンサ1620に対して高倍レンズ142を配置させる。これにより、カメラ部160の移動方向つまりスキャン方向201と直交する直交方向206における画像分解能は、10μmと高分解能であり、スキャン方向201に平行なパターン210の延在方向205における画素分解能は、50μmであり、直交方向206における画像分解能に比して低分解能である。よって、直交方向206に沿ったパターン210を高分解能にて撮像及びパターン検査することが可能となる。
第1実施形態における撮像装置101及びパターン検査装置105では、移動装置120によるカメラ部160の移動方向つまりスキャン方向201は、一方向に限定されており、かつステージ110も載置したディスプレイデバイス190の載置方向を変更することはできない構成である。よって、図6に示すように、格子状のパターン230を有するディスプレイデバイス191については、撮像及びパターン検査ができない。本第2実施形態における撮像装置102及びパターン検査装置106は、格子状のパターン230を有するディスプレイデバイス191についても撮像及びパターン検査を可能にするものである。
このように構成される移動装置121によれば、カメラ部160は、X方向及びY方向に、自由に移動可能となり、図6に示すような格子状のパターン230を有するディスプレイデバイス191についても撮像及び検査が可能となる。尚、カメラ部160によるX方向に平行なスキャン方向について「201X」と付番し、Y方向に平行なスキャン方向について「201Y」と付番する。
移動装置121によりカメラ部160がY方向つまりスキャン方向201Yに移動されるとき、ショート欠陥40−Y及び断線欠陥41−Yを検出するには、上述した第1実施形態の場合と同様に、Y方向に沿った画像を高分解能にて得る必要がある。よって、制御装置180は、レンズ切換装置150を制御し、TDIセンサ1620に対して低倍レンズ141を配置させる。これにより、カメラ部160の移動方向と直交する方向つまりX方向における画素分解能は、50μmであるが、カメラ部160の移動方向に平行な方向つまりスキャン方向201Yにおける画素分解能は10μmである。よって、Y方向に沿った画像を高分解能にて検査が可能となる。
さらに、光源312にてディスプレイデバイス191を照明し、カメラ部160を100mm/秒の移動速度にてY方向つまりスキャン方向201Yに移動させて、カメラ部160にて撮像を行う。
上述の動作によりカメラ部160から得られた画像を図8に示す。
さらに、光源312にてディスプレイデバイス191を照明し、カメラ部160を500mm/秒の移動速度にてX方向に移動させて、カメラ部160にて撮像を行う。
上述の動作によりカメラ部160から得られた画像を図9に示す。
このような検査方法によれば、第1実施形態にて上述したように、低倍レンズ141による検査、及び高倍レンズ142による検査の共に、それぞれ50秒の検査時間であることから、一枚のディスプレイデバイス191を100秒で検査を完了することができる。
一方、従来の方法によれば、X方向及びY方向ともに高倍率であるため、1回で検査が可能であるが、X方向及びY方向の検査に250秒を要する。よって、本実施形態の検査方法に比べて2.5倍の時間を要する。
このように、第2実施形態の撮像装置及びパターン検査装置、並びに撮像方法及びパターン検査方法によれば、格子状にパターン230が形成されている場合においても、必要となる検査精度を低下させることなく、従来に比べて検査時間を短縮し高速化することができる。
即ち、図10に示す、撮像装置1011及びパターン検査装置1051のように、移動装置120は、カメラ部160をY方向に沿って可動とするカメラ移動機構1201と、ディスプレイデバイスをX方向に可動とするX−パネル移動機構1202とを備えるように構成してもよい。
さらに、上述の各変形例を適宜組み合わせた構成を採ることもできる。
さらに、上記通常のレンズを使用する場合、レンズ部140には、光学系に通常使用される公知のズーム機構145を追加することもできる。該ズーム機構145を設けることで、一つのレンズにて種々の倍率を得ることができ、レンズを一つにすることもできる。
図19を参照して上述したように、ラインセンサ1610は、上記スキャン方向201に平面上で直交する列方向1602に沿って一列状に複数のCCD1601を配列した構成を有し、スキャン方向201へのスキャン速度を変化させることで、画像分解能を変化させることができる。
142…高倍率レンズ、148…非等倍レンズ、150…レンズ切換装置、
151…回転駆動装置、172…判定部、180…制御装置、
190…ディスプレイデバイス、201…スキャン方向、205…延在方向、
206…直交方向、210…パターン、
1602…列方向、1610…ラインセンサ、1620…TDIセンサ。
Claims (9)
- 撮像用レンズとラインセンサとから構成される撮像用カメラを用い、検査対象物と上記撮像用カメラとを相対移動させて上記検査対象物をスキャンして画像データを得る撮像方法において、
上記撮像用レンズが高倍率及び該高倍率に比して低倍率となり、上記スキャンのスキャン速度が高速及び該高速に比して遅い低速となる場合、上記スキャンのスキャン方向が上記検査対象物におけるパターンの延在方向と同方向であるとき、上記撮像用レンズを上記低倍率にし、上記スキャン速度を上記低速にする、
ことを特徴とする撮像方法。 - 撮像用レンズとラインセンサとから構成される撮像用カメラを用い、検査対象物と上記撮像用カメラとを相対移動させて上記検査対象物をスキャンして画像データを得る撮像方法において、
上記撮像用レンズが高倍率及び該高倍率に比して低倍率となり、上記スキャンのスキャン速度が高速及び該高速に比して遅い低速となる場合、上記スキャンのスキャン方向が上記検査対象物におけるパターンの延在方向に平面上で直交する直交方向であるとき、上記撮像用レンズを上記高倍率にし、上記スキャン速度を上記高速にする、
ことを特徴とする撮像方法。 - 上記パターンの上記延在方向と上記スキャン方向とを同方向として上記パターンを撮像した後、上記パターンの上記延在方向に平面上で直交する直交方向に沿って上記パターンをスキャンするときには、上記撮像用レンズを上記低倍率から上記高倍率にし、上記スキャン速度を上記低速から上記高速にする、請求項1記載の撮像方法。
- 検査対象物をスキャンしながら撮像する撮像部と、
上記撮像部と上記検査対象物との間に設けられ、高倍率及び該高倍率に比して低倍率となるレンズ部と、
上記検査対象物におけるパターンの延在方向と同方向、又は上記延在方向に平面上で直交する直交方向に沿って上記検査対象物及び上記撮像部を相対移動させる移動装置と、
上記撮像部が上記検査対象物をスキャンするスキャン方向に応じて、上記相対移動の速度の変更と上記レンズ部の倍率の変更とを行う制御装置と、を備え、
上記撮像部は、上記スキャン方向に平面上で直交する列方向に沿って一列状にCCDを配列したラインセンサ構造を有し、
上記移動装置は、高速及び該高速に比して遅い低速にて上記相対移動を行い、
上記制御装置は、上記スキャン方向が上記パターンの上記延在方向と同方向であるとき、上記レンズ部を上記低倍率にし、上記移動装置に対して上記低速での上記相対移動を行わせる、
ことを特徴とする撮像装置。 - 検査対象物をスキャンしながら撮像する撮像部と、
上記撮像部と上記検査対象物との間に設けられ、高倍率及び該高倍率に比して低倍率となるレンズ部と、
上記検査対象物におけるパターンの延在方向と同方向、又は上記延在方向に平面上で直交する直交方向に沿って上記検査対象物及び上記撮像部を相対移動させる移動装置と、
上記撮像部が上記検査対象物をスキャンするスキャン方向に応じて、上記相対移動の速度の変更と上記レンズ部の倍率の変更とを行う制御装置と、を備え、
上記撮像部は、上記スキャン方向に平面上で直交する列方向に沿って一列状にCCDを配列したラインセンサ構造を有し、
上記移動装置は、高速及び該高速に比して遅い低速にて上記相対移動を行い、
上記制御装置は、上記スキャン方向が上記パターンの上記延在方向に平面上で直交する直交方向に一致するとき、上記レンズ部を上記高倍率にし、上記移動装置に対して上記高速での上記相対移動を行わせる、
ことを特徴とする撮像装置。 - 検査対象物をスャンしながら撮像する撮像部と、
上記撮像部と上記検査対象物との間に設けられ、高倍率及び該高倍率に比して低倍率となるレンズ部と、
上記検査対象物におけるパターンの延在方向と同方向、又は上記延在方向に平面上で直交する直交方向に沿って上記検査対象物及び上記撮像部を相対移動させる移動装置と、
上記撮像部が上記検査対象物をスキャンするスキャン方向に応じて、上記相対移動の速度の変更と上記レンズ部の倍率の変更とを行う制御装置と、を備え、
上記撮像部は、上記スキャン方向に平面上で直交する列方向に沿って一列状にCCDを配列したラインセンサ構造を有し、
上記レンズ部は、上記パターンの延在方向において高倍率となり上記延在方向に平面上で直交する直交方向において上記低倍率となる第1非等倍レンズと、上記延在方向において低倍率となり上記直交方向において高倍率となる第2非等倍レンズとを有し、
上記撮像部は、上記スキャン方向に平面上で直交する列方向に沿って配列した一列のCCDを上記スキャン方向に沿って複数の列にて配置したTDI(時間遅延積分)構成を有し、
上記移動装置は、高速及び該高速に比して遅い低速にて上記相対移動を行い、
上記制御装置は、上記スキャン方向が上記パターンの上記延在方向と同方向であるとき、上記第2非等倍レンズを上記撮像部に対向させ、上記移動装置に対して上記低速での上記相対移動を行う、
ことを特徴とする撮像装置。 - 検査対象物をスキャンしながら撮像する撮像部と、
上記撮像部と上記検査対象物との間に設けられ、高倍率及び該高倍率に比して低倍率となるレンズ部と、
上記検査対象物におけるパターンの延在方向と同方向、又は上記延在方向に平面上で直交する直交方向に沿って上記検査対象物及び上記撮像部を相対移動させる移動装置と、
上記撮像部が上記検査対象物をスキャンするスキャン方向に応じて、上記相対移動の速度の変更と上記レンズ部の倍率の変更とを行う制御装置と、を備え、
上記レンズ部は、上記パターンの延在方向において高倍率となり上記延在方向に平面上で直交する直交方向において上記低倍率となる第1非等倍レンズと、上記延在方向において低倍率となり上記直交方向において高倍率となる第2非等倍レンズとを有し、
上記撮像部は、上記スキャン方向に平面上で直交する列方向に沿って配列した一列のCCDを上記スキャン方向に沿って複数の列にて配置したTDI(時間遅延積分)構成を有し、
上記移動装置は、高速及び該高速に比して遅い低速にて上記相対移動を行い、
上記制御装置は、上記スキャン方向が上記直交方向に一致するとき、上記第1非等倍レンズを上記撮像部に対向させ、上記移動装置に対して上記高速での上記相対的移動を行う、
ことを特徴とする撮像装置。 - 上記パターンは縞模様にてなる、請求項4から7のいずれかに記載の撮像装置。
- 請求項4から8のいずれかに記載の撮像装置と、
上記撮像装置から得られる、上記検査対象物におけるパターンの画像データに基づいて上記パターンの良否を判定する判定装置と、
を備えたことを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004266471A JP4564312B2 (ja) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | 撮像方法、撮像装置、及びパターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004266471A JP4564312B2 (ja) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | 撮像方法、撮像装置、及びパターン検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006084189A JP2006084189A (ja) | 2006-03-30 |
JP4564312B2 true JP4564312B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=36162830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004266471A Expired - Fee Related JP4564312B2 (ja) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | 撮像方法、撮像装置、及びパターン検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4564312B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022107117A1 (en) * | 2020-11-19 | 2022-05-27 | Orbotech Ltd. | Resampling with tdi sensors |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2226625A1 (en) * | 2007-12-05 | 2010-09-08 | Nikon Corporation | Monitoring apparatus and monitoring method |
US8593625B2 (en) | 2009-03-31 | 2013-11-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Examining apparatus and examining method |
KR102081647B1 (ko) * | 2016-07-04 | 2020-02-27 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 검사 장치 및 검사 방법 |
KR101933079B1 (ko) * | 2017-01-26 | 2019-03-15 | 주식회사 제니스테크 | 정밀도가 향상된 필름 검사 장치, 이를 포함하는 패턴 형성 장치 및 필름 검사 방법 |
JP6906823B1 (ja) * | 2020-12-07 | 2021-07-21 | レーザーテック株式会社 | マスク検査方法及びマスク検査装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004125471A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 周期性パターンのムラ検査方法及び装置 |
JP2004177377A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Hitachi Ltd | 検査方法および検査装置 |
JP2004177284A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3150203B2 (ja) * | 1992-07-13 | 2001-03-26 | 株式会社日立製作所 | パターン検出方法とその装置 |
JPH0772093A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-03-17 | Hitachi Ltd | 異物等の欠陥検出方法および検査装置 |
JPH0961137A (ja) * | 1995-08-25 | 1997-03-07 | Nippon Steel Corp | 表面品質検査方法 |
JP3924809B2 (ja) * | 1996-07-15 | 2007-06-06 | 株式会社日立製作所 | 薄膜多層基板の製造方法及びパターン検査装置 |
-
2004
- 2004-09-14 JP JP2004266471A patent/JP4564312B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004125471A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 周期性パターンのムラ検査方法及び装置 |
JP2004177284A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JP2004177377A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Hitachi Ltd | 検査方法および検査装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022107117A1 (en) * | 2020-11-19 | 2022-05-27 | Orbotech Ltd. | Resampling with tdi sensors |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006084189A (ja) | 2006-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070188859A1 (en) | Visual inspection apparatus | |
JP5854501B2 (ja) | 自動外観検査装置 | |
JP2004012325A (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
JP2006242821A (ja) | 光学パネルの撮像方法、光学パネルの検査方法、光学パネルの撮像装置、光学パネルの検査装置 | |
JP2006300913A (ja) | 導光板外観検査装置 | |
WO2001084127A1 (fr) | Procede et dispositif pour detecter des matieres etrangeres dans des trous traversants | |
JP4564312B2 (ja) | 撮像方法、撮像装置、及びパターン検査装置 | |
JP2000283929A (ja) | 配線パターン検査方法及びその装置 | |
JP7368141B2 (ja) | ウエーハ外観検査装置および方法 | |
JP2008180578A (ja) | 周期性パターンのムラ検査装置 | |
JP4279412B2 (ja) | 半導体デバイス検査装置 | |
JP2009188175A (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP2009204410A (ja) | 画像欠陥検査装置及び画像欠陥検査方法 | |
JP5104438B2 (ja) | 周期性パターンのムラ検査装置および方法 | |
US8654223B2 (en) | Image pickup apparatus | |
JP2008122128A (ja) | 撮像システム及び撮像方法 | |
WO2024124369A1 (en) | Imaging systems for scanning surfaces | |
JPS63134940A (ja) | パターン検査装置 | |
JP2004317330A (ja) | 表示用パネルの検査方法及び装置 | |
KR100890050B1 (ko) | 패턴 검사 장치 | |
JP4792314B2 (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
KR20070028709A (ko) | 유기발광장치 검사시스템 | |
JPH11101712A (ja) | パネル面検査装置 | |
JP2003185596A (ja) | 薄型板状体の撮像処理方法および撮像処理装置 | |
JP2008039465A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20061206 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070509 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100309 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100430 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100720 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100730 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4564312 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |