JP4561828B2 - Fan filter unit - Google Patents
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Description
本発明は、半導体、液晶、プラズマディスプレイパネルなどを製造するための清浄空間を必要とするクリーンルームなどで使用されるファンフィルタユニットに関する。 The present invention relates to a fan filter unit used in a clean room that requires a clean space for manufacturing semiconductors, liquid crystals, plasma display panels, and the like.
ファンフィルタユニットには、薄型で、清浄空気の吹出口の面積が広く、しかも均一で十分な風量を供給する能力が求められている。そのため複数のファンモータが用いられている。しかしながら複数のファンモータを用いた場合、うなり音が発生する場合がある。 The fan filter unit is required to be thin, have a large area of clean air outlets, and be capable of supplying a uniform and sufficient air volume. Therefore, a plurality of fan motors are used. However, when a plurality of fan motors are used, a roaring sound may occur.
うなり音の発生を抑える方法として、複数のファンモータの単位時間当たりの回転速度(以下、回転速度と称す)を精度良く制御する技術が例えば特開2004−205095号公報に開示されている。 As a method for suppressing the generation of a roaring sound, for example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-205095 discloses a technique for accurately controlling the rotational speeds per unit time (hereinafter referred to as rotational speeds) of a plurality of fan motors.
複数のファンモータを有するファンフィルタユニットにおいてうなり音を抑制する従来の制御では、第1のファンモータの回転速度に第2のファンモータの回転速度を合わせ、さらに第2のファンモータの回転速度に第3のファンモータの回転速度を合わせる。しかしながらモータの能力バラツキにより下位のモータ能力が上位のモータ能力より劣る場合には回転速度を合わすことができない。 In the conventional control for suppressing beat noise in a fan filter unit having a plurality of fan motors, the rotational speed of the second fan motor is matched with the rotational speed of the first fan motor, and the rotational speed of the second fan motor is further adjusted. Match the rotational speed of the third fan motor. However, when the lower motor capacity is inferior to the upper motor capacity due to motor capacity variation, the rotational speed cannot be adjusted.
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンフィルタユニットのモータ能力のバラツキにも対応して、うなり音を抑制することができるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。本発明のファンフィルタユニットは、複数のファンモータと、複数の検出部と、本体制御部と、フィルタとを有する。各ファンモータはファンとモータとを含む。各検出部は各モータの回転速度を検出する。本体制御部は検出部で検出された回転速度に基づき、この検出回転速度が設定回転速度に一致するように各ファンモータをフィードバック制御する。また、いずれかの検出部による回転速度検出値が他の検出部によるそれより小さい場合、回転速度の遅いファンモータの回転速度に他のファンモータの回転速度を合せるように回転速度同調制御を行う。本発明によれば、複数のファンモータを有するファンフィルタユニットにおいて、モータ能力のバラツキを含めて各ファンモータの回転速度を一致させることができる。そして、主に設置場所の空気圧の変動によりファンモータの回転速度が変化するときにも回転速度を一致させ、うなり音を抑制することができる効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。 The present invention solves such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a fan filter unit that can suppress a beat noise in response to variations in motor performance of the fan filter unit. . The fan filter unit of the present invention includes a plurality of fan motors, a plurality of detection units, a main body control unit, and a filter. Each fan motor includes a fan and a motor. Each detection unit detects the rotation speed of each motor. The main body control unit feedback-controls each fan motor based on the rotation speed detected by the detection unit so that the detected rotation speed matches the set rotation speed. In addition, when the rotation speed detected value by any one of the detection units is smaller than that by the other detection units, the rotation speed synchronization control is performed so that the rotation speeds of the fan motors having a low rotation speed are matched with the rotation speeds of the other fan motors. . According to the present invention, in a fan filter unit having a plurality of fan motors, the rotational speeds of the respective fan motors can be made to coincide with each other including variations in motor capacity. Further, it is possible to provide a fan filter unit having an effect of making it possible to match the rotation speed and suppress the beat sound even when the rotation speed of the fan motor changes mainly due to fluctuations in air pressure at the installation location.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、各実施の形態において先行する実施の形態と同様の構成をなすものには同じ符号を付して説明し、詳細な説明を省略する場合がある。また本発明はこれらの実施の形態に限定されない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, in each embodiment, what has the same configuration as the preceding embodiment is described with the same reference numeral, and detailed description may be omitted. The present invention is not limited to these embodiments.
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1によるファンフィルタユニットの概略構成を示し、フィルタの一部を切り欠いた状態を示す正面図である。図2はそのブロック回路図である。このファンフィルタユニットは、第1のファンモータ5A、第2のファンモータ5Bとフィルタ6とを有する。ファンモータ5Aは第1のファン2A、第1のモータ3Aおよび第1のモータドライバ4Aからなる。ファンモータ5Bは、第2のファン2B、第2のモータ3Bおよび第2のモータドライバ4Bからなる。フィルタ6はファン2A、2Bによって送風される空気を清浄化する。フィルタ6は例えばガラス繊維で構成され、ミクロンオーダーの微粒子を高効率にて捕獲する。より具体的には、フィルタ6は0.3μmの微粒子を99.97%以上の捕集効率にて捕集する。フィルタ6はファン2A、2Bの吹出し側、あるいは吸込み側に配置される。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a fan filter unit according to Embodiment 1 of the present invention and showing a state in which a part of the filter is cut away. FIG. 2 is a block circuit diagram thereof. The fan filter unit includes a
また、このファンフィルタユニットはファンモータ5A、5Bを制御する本体制御部(以下、制御部)7と、モータ3Aの回転速度を検出する第1の検出部9Aと、モータ3Bの回転速度を検出する第2の検出部9Bとを有する。制御部7はファンモータ5A、5Bの回転速度を設定する回転速度設定部8と、検出部9Aの検出回転速度を入力してファンモータ5Aを回転制御する第1の回転制御部(以下、制御部)10Aと、検出部9Bの検出回転速度を入力してファンモータ5Bを回転制御する第2の回転制御部(以下、制御部)10Bを有している。制御部7はさらに、第1の比較器30A、第2の比較器30B、第3の比較器31、回転速度同調制御部(以下、制御部)11を有している。比較器30A、30Bは回転速度設定部8で設定された回転速度と検出部9A、9Bで検出された回転速度とを比較し、その結果をそれぞれ制御部10A、10Bに伝える。比較器31は検出部9Aで検出された回転速度と検出部9Bで検出された回転速度とを比較し、遅い方の回転速度が速い方の回転速度に比べ、何r/min遅いかを算出して制御部11に伝える。すなわち、検出部9Aの検出した回転速度と検出部9Bの検出した回転速度との差を算出する。制御部11は比較器31による結果が所定値以上の場合に制御部10A、10Bのうち一方を介してファンモータ5A、5Bのうち速い方の回転速度を下げるよう同調制御する。
The fan filter unit also detects a rotation speed of the
モータ3A、3Bはたとえば電子制御型ブラシレスモータで構成され、モータドライバ4A、4Bはマイコンとソフトウェアまたは専用回路で構成されている。なお、モータ3A、3Bはこれ以外の方式のモータで構成し、モータドライバ4A、4Bがモータ3A、3Bへの印加電力を制御する回路で構成されていてもよい。
The
制御部7を構成する各部はマイコンとソフトウェアまたは専用回路で構成されている。これらは一体に構成しても個別に設けてもよい。さらに検出部9A、9Bが制御部7と一体に構成されていてもよい。なお、ファンモータ5A、5Bがファンフィルタユニットの内部で大きく離れて設けられ、制御部7と距離があっても、回転速度信号はノイズによる影響をあまり受けない。一方、制御部10A、10Bとモータドライバ4A、4Bとのそれぞれの距離はノイズの影響があるため短くする必要がある。そのため少なくとも、ファンモータ5Aと制御部10A、ファンモータ5Bと制御部10Bはそれぞれ隣接して設けることが好ましい。
Each part constituting the
検出部9A、9Bはたとえばモータ3A、3Bによって回転される磁石と、その磁気変化を検出する磁気検出素子、およびその磁気変化から回転速度を算出する回路から構成されている。これ以外に例えば、モータ3A、3Bによって回転される反射部を有する円板と、その輝度を検出する光学素子、およびその輝度変化から回転速度を算出する回路から構成されていてもよい。すなわち、検出部9A、9Bは磁気方式あるいは光学方式などで構成することができる。なお、検出部9A、9Bでは、水晶振動子によってクロック振動を発生させ、この振動を基準に単位時間あたりのモータ3A、3Bの回転数が算出される。このように構成すればモータ3A、3Bの回転数が精度よく検出される。
The
上記構成において、回転速度設定部8で2000r/minと設定された回転速度がモータ3A、3Bに与えられる。そしてそれぞれのモータ3A、3Bの検出回転速度が設定回転速度になるようにフィードバック制御が行われる。すなわち、比較器30A、30Bはそれぞれ検出部9A、9Bの検出回転速度と回転速度設定部8で設定された回転速度とを比較する。そしてその結果を制御部10A、10Bに送る。制御部10A、10Bはそれぞれ、比較器30A、30Bの結果に基づきモータ3A、3Bの回転速度を設定回転速度に近づけるようモータドライバ4A、4Bを制御する。
In the above configuration, the rotation speed set to 2000 r / min by the rotation
このようにフィードバック制御しても、ファンモータ5A、5Bの能力バラツキや設置場所の空気圧の変動によりファンモータ5A、5Bの回転速度差が生じる場合がある。そして例えば回転速度差が10r/min以上ある場合にうなり音が発生する。
Even if feedback control is performed in this way, there may be a difference in rotational speed between the
このとき、制御部11は比較器31の算出結果を受けて、検出回転速度の低いファンモータ5Aに検出回転速度の高い方のファンモータ5Bの回転速度を合わせるように制御部10Bを制御する。すなわち、制御部10A、10Bは比較器30A、30Bの結果よりも制御部11からの制御を優先する。これにより、ファンモータ5A、5Bの能力バラツキや設置場所の空気圧の変動に影響を受けることなく、うなり音の発生が抑制される。
At this time, the
なお、うなり音が発生する条件は、ファンモータ5A、5Bの運転回転数、大きさ、ファン2A、2Bの形状などにより異なる。そのためそれぞれの場合に合せて、回転速度同調制御を開始する回転速度ずれの閾値を設定することが好ましい。
It should be noted that the conditions for generating a roaring sound vary depending on the operating speed and size of the
以上のように、制御部7は、検出部9Aの検出した回転速度に基づき、ファンモータ5Aの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する。同様に、検出部9Bの検出した回転速度に基づき、ファンモータ5Bの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する。さらに、検出部9Aの検出した回転速度が検出部9Bの検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に、検出部9Aの検出した回転速度にファンモータ5Bの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う。同様に、検出部9Bの検出した回転速度が検出部9Aの検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に検出部9Bの検出した回転速度にファンモータ5Aの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う。
As described above, the
なお、ファンモータが2台設けられた場合を説明したが、ファンモータが3台以上設けられた場合にも最も回転速度の遅いファンモータに他のファンモータの回転速度を合せるように制御することで同様の効果が得られる。 In addition, although the case where two fan motors are provided has been described, even when three or more fan motors are provided, control is performed so that the fan motor having the slowest rotation speed matches the rotation speed of the other fan motor. A similar effect can be obtained.
(実施の形態2)
図3は本発明の実施の形態2によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態1による構成と異なる点は、本体制御部73において比較器31と回転数同調制御部(以下、制御部)11との間に安定化部16が設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態1と同様である。
(Embodiment 2)
FIG. 3 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 2 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that a
安定化部16は所定時間の準備運転が経過するまでは制御部11を機能しないようにしている。安定化部16は、ファンモータ5A、5Bの運転開始直後や、瞬間的に回転速度が変動した場合など、ファンモータ5A、5Bの検出回転速度が不安定な時間帯に制御部11が機能するのを防止している。安定化部16もまたマイコン等により構成されている。
The
すなわち、例えば設定回転速度が2000r/minの場合、安定化部16はファンモータ5A、5Bの検出回転速度が互いに±10r/min以上外れている場合に所定時間の間、制御部11が機能するのを防止する。言い換えれば、安定化部16は回転速度同調制御の開始を所定時間だけ遅延させる。すなわち、ファンモータ5A、5Bの検出回転速度が10r/min以上ずれていても所定時間の間、制御部11は機能しない。
That is, for example, when the set rotational speed is 2000 r / min, the stabilizing
所定時間とは例えば、電源投入時の運転開始直後であれば30秒間、設定回転速度が変更された場合もしくはファンモータ5A、5Bの負荷急変により検出回転速度に変化がある場合であれば10秒間に設定される。これらの設定時間は準備運転の時間に相当する。それにより、ファンモータ5A、5Bの回転速度が不安定な状態での回転速度同調制御の過剰反応を抑えることができる。
The predetermined time is, for example, 30 seconds immediately after the start of operation when the power is turned on, or 10 seconds if the set rotational speed is changed or the detected rotational speed is changed due to a sudden change in the load of the
以上のように、本体制御部73は回転速度同調制御の開始を所定時間だけ遅延させる。これによりファンモータ5A、5Bの検出回転速度が不安定な時間帯に制御部11が機能することが防止される。
As described above, the main
(実施の形態3)
図4は本発明の実施の形態3によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態1による構成と異なる点は、本体制御部74にリトライ部19が設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態1と同様である。リトライ部19もまたマイコン等により構成されている。
(Embodiment 3)
FIG. 4 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 3 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that a retry
リトライ部19は回転速度同調制御部(以下、制御部)11が所定時間だけ回転速度同調制御を連続して行った場合に、回転速度設定部8での設定回転速度にファン2A、2Bの回転数を合わせるように試みる制御を行うリトライ機能を有している。
The retry
ファンフィルタユニットが用いられているクリーンルーム内で重要な工程を行っている場合、ファンモータ5A、5Bを停止することが工程の生産性を著しく低下する恐れがある。したがって重要な工程を行っている間に、ファンモータ5A、5Bが低速運転されることにより設定回転速度で得られる期待風量が得られない回転速度で運転し続けるのを避けることが望ましい。
When an important process is performed in a clean room in which the fan filter unit is used, stopping the
リトライ部19は回転速度同調制御が行われている継続時間を計測している。そしてファンモータ5A、5Bの能力バラツキなどにより回転速度同調制御が連続して例えば10分間行われた場合、回転制御部(以下、制御部)10A、10Bを介してファンモータ5A、5Bを初期の設定回転速度で制御することを試みる。すなわち、リトライ部19による指示は制御部11による制御より優先して実施される。このように、本体制御部74は回転速度同調制御が所定時間行われたとき、ファンモータ5A、5Bの回転速度を設定回転速度に合わせるよう試みるリトライ制御を行う。これにより、回転速度同調制御によって、設定回転速度で得られる期待風量が得られずに低速運転し続けることが防止される。このためファンモータ5A、5Bの本来の能力を十分に発揮できる。そして設定回転速度にできるだけ近い回転速度にてファンモータ5A、5Bが再び運転される。
The retry
ここでリトライ部19が計測する所定時間とは、ファンモータユニットが取り付けられるクリーンルーム等の内容積や必要とされる風量に依存する。
Here, the predetermined time measured by the retry
なお、リトライ制御を行ってもやはりファンモータ5A、5Bの回転速度が所定回転速度以上ずれる場合、再度回転速度同調制御が行われることが好ましい。このため、リトライ制御は継続的に行われるのではなく一度リトライ部19が制御部10A、10Bにリトライ制御を指示すると、リトライ部19が計測している回転速度同調制御の継続時間はリセットされる。そして実施の形態1と同様の、通常の制御状態に戻る。このように制御することが好ましい。
If the rotational speed of the
(実施の形態4)
図5は本発明の実施の形態4によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態3による構成と異なる点は、本体制御部75にリトライカウント部20と運転停止部18とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態3と同様である。リトライカウント部20と運転停止部18もまたマイコン等により構成されている。なお、運転停止部18は回転制御部10A、10Bを介してファンモータ5A、5Bを停止する以外に、モータ3A、3Bへの電力供給を停止するようにしてもよい。すなわち、運転停止部18はリレーで構成してもよい。
(Embodiment 4)
FIG. 5 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 4 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the third embodiment in that the main
リトライカウント部20は、リトライ部19によるリトライ機能があらかじめ定められた時間内に所定回数繰り返し行われたことを検知すると、回転速度同調制御を行わず運転停止部18を介してファンモータ5A、5Bを自動で停止する。すなわち、運転停止部18による指示はリトライ部19による指示よりさらに優先して実施される。このように、本体制御部75は、リトライ制御を所定時間内に所定回数繰り返したとき、ファンモータ5A、5Bを停止する。
When the retry
リトライカウント部20は、例えば1時間にリトライ機能が行われた回数をカウントしている。そしてカウントした回数が例えば5回を超えると異常使用であると判断する。このような状態は例えば設置環境の圧力異常が起こったり、ファンモータ5A、5Bへロープなどの異物が混入した場合などの異常使用されたりした場合、あるいはフィルタ6に異常がある場合に生じる。リトライカウント部20は、所定時間内にカウントした回数が所定値以上になると運転停止部18に信号を出力する。運転停止部18はこの信号を受けてファンモータ5A、5Bを自動的に停止する。このようにしてファンモータ5A、5Bの異常使用が自動的に回避される。
For example, the retry
ここで、リトライカウント部20が、リトライ部19によるリトライ機能の指示回数を計測する所定時間は1〜2時間程度とするのが妥当である。この制御は上述のように異常の検知が目的であるため、短時間で判断することが好ましい。また異常のある場合は連続してリトライ機能が行われるので、運転停止部18に信号出力するための閾値は3〜5回程度でよい。
Here, it is appropriate that the predetermined time for the retry
(実施の形態5)
図6は本発明の実施の形態5によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態1による構成と異なる点は、本体制御部76に比較器31に代わって機能の異なる第3の比較器21と、運転停止部18とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態1と同様である。比較器21もまたマイコン等により構成されている。
(Embodiment 5)
FIG. 6 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to Embodiment 5 of the present invention. The configuration according to the present embodiment is different from the configuration according to the first embodiment in that the main
比較器21は比較器31と同様の機能を有し、検出部9Aで検出された回転速度と検出部9Bで検出された回転速度とを比較し、その結果を回転速度同調制御部(以下、制御部)11に伝える。これ以外に、比較器21は、回転速度設定部8による設定回転速度と検出部9A、9Bによる検出回転速度とを比較する。そして設定回転速度と検出部9A、9Bのいずれかによる検出回転速度との差が、例えば設定回転速度の25%に相当する回転差限界より大であるか否かを判断する。さらに差が回転差限界より大であることを検知した場合、運転停止部18を介して回転速度同調制御を行わずにファンモータ5A、5Cを自動的に停止する。このように運転停止部18による指示は制御部11による指示より優先して実施される。
The
このように比較器21は、検出部9A、9Bによる検出回転速度と回転速度設定部8による設定回転速度とを比較して回転速度差を検知している。
In this way, the
図6に示すように設置段階でファンモータ5Bとは全く異なるファンモータ5Cが設置されている場合がある。このようにファンモータ5Cを誤使用している場合に、比較器21はファンモータ5Cの回転速度が大幅に異なることを検出して、誤った設置状態であることを判断することができる。例えば、設定回転速度が2000r/minで、検出回転速度と設定回転速度との差が500r/min以上であることを比較器21が検出する。このような場合に比較器21は運転停止部18に信号を出力する。運転停止部18はこの信号を受けてファンモータ5A、5Cを自動的に停止する。このようにしてファンモータ5Cの異常使用が自動的に回避される。
As shown in FIG. 6, a
あるいは、ファンモータ5A、5Bが正しく設置され、フィルタ6が局部的に目詰まりしてファンモータ5A、5Bの一方が正常に運転できない場合にもファンモータ5A、5Bが停止される。
Alternatively, the
なおファンモータ5Cに代わってファンモータ5Aと同機能のファンモータ5Bが設置されている場合には、運転停止部18が作動しないよう、比較器21における判定基準値を設定する。
When a
以上のように、本体制御部76は、設定回転速度と検出部9Aまたは検出部9Bによる検出回転速度との差が所定値より大きい場合、ファンモータを停止する。これにより一方のファンモータの誤使用や異常状態での運転が防止される。
As described above, the main
(実施の形態6)
図7は本発明の実施の形態6によるファンフィルタユニットのブロック回路図である。本実施の形態による構成が実施の形態1による構成と異なる点は、本体制御部77に比較器31に代わって機能の異なる第3の比較器22と、運転停止部18とが設けられている点である。それ以外の構成は実施の形態1と同様である。比較器22もまたマイコン等により構成されている。
(Embodiment 6)
FIG. 7 is a block circuit diagram of a fan filter unit according to
比較器22は比較器31と同様の機能を有し、検出部9Aで検出された回転速度と検出部9Bで検出された回転速度とを比較し、その結果を回転速度同調制御部(以下、制御部)11に伝える。これ以外に、比較器22は検出部9A、9Bによる検出回転速度と回転速度設定部8で設定された回転速度とを比較する。そして検出部9A、9Bによる検出回転速度が設定回転速度と所定値以上異なる場合に運転停止部18を介してファンモータ5C、5Dを停止する。
The
ここで、ファンモータ5C、5Dは必要な能力を有する取り付けるべきファンモータ5A、5Bとは異なる。このような場合、ファンモータ5C、5Dは必要な回転速度で回転できない。すなわち、取り付けるべきファンモータの能力範囲内であらかじめ定めた回転速度以下に設定回転速度を設定したにもかかわらず、運転開始直後において検出回転速度が設定回転速度に一致しない。このような場合、比較器22は検出部9A、9Bによる検出回転速度と回転速度設定部8で設定された回転速度とを比較することでファンモータ5C、5Dの誤使用を検知する。そして回転速度同調制御を行わず運転停止部18によりファンモータ5C、5Dを自動で停止する。
Here, the
回転速度設定部8にて、ファンモータ5A、5Bの能力範囲である例えば1000〜2000r/min内である1800r/min以下で設定回転速度を設定した場合を想定する。この場合、ファンモータ5A、5Bには十分な能力があり、フィードバック制御可能である。しかしながら誤ってファンモータ5C、5Dが取り付けられていると、検出部9A、9Bによる検出回転速度が設定回転速度の例えば±10r/min以内に入らない。このような場合比較部22は、ファンモータ5A、5Bと能力の全く異なるファンモータ5C、5Dが誤使用されているなどの異常使用であると判断する。そして、運転停止部18に信号を出力する。運転停止部18はこの信号を受けてファンモータ5C、5Dを自動的に停止する。このようにしてファンモータ5C、5Dの異常使用が自動的に回避される。
It is assumed that the rotational
なおファンモータ5C、5Dに代わってファンモータ5A、5Bが設置されている場合には、運転停止部18が作動しないよう、比較器22における判定基準値を設定する。
When the
また運転開始直後においては実施の形態2で述べたように、ファンモータの回転速度が安定しない場合がある。そのため、実施の形態2の安定化部16の機能と同様に、運転停止部18が作動するのを一定時間の間、抑制することが好ましい。
In addition, immediately after the start of operation, as described in the second embodiment, the rotational speed of the fan motor may not be stable. Therefore, it is preferable to suppress the
以上のように、本体制御部77は、設定回転速度と検出部9A、9Bによる検出回転速度との差が所定値より大きい場合、ファンモータ5A、5Bを停止する。
As described above, the main
なお、実施の形態2〜実施の形態6のそれぞれに固有の構成は、互いに相反することがない限り組み合わせてもよく、そのような構成は本発明の範疇である。例えば、実施の形態2の構成を実施の形態3〜6の構成に組み合わせてもよい。 The configurations unique to each of Embodiments 2 to 6 may be combined as long as they do not conflict with each other, and such configurations are within the scope of the present invention. For example, the configuration of the second embodiment may be combined with the configurations of the third to sixth embodiments.
本発明によれば、回転速度の近似したファンが複数台設置されたクリーンルームを含む室内において、回転速度同調制御を用いてファンによるうなり音を抑制することができる。そのため作業環境のみならず住環境を快適にする用途に利用可能である。 According to the present invention, in a room including a clean room in which a plurality of fans having approximate rotational speeds are installed, it is possible to suppress the roaring noise caused by the fans using the rotational speed tuning control. Therefore, it can be used for the purpose of making the living environment comfortable as well as the working environment.
2A 第1のファン
2B 第2のファン
3A 第1のモータ
3B 第2のモータ
4A 第1のモータドライバ
4B 第2のモータドライバ
5A 第1のファンモータ
5B 第2のファンモータ
5C,5D ファンモータ
6 フィルタ
7,73,74,75,76,77 本体制御部
8 回転速度設定部
9A 第1の検出部
9B 第2の検出部
10A 第1の回転制御部
10B 第2の回転制御部
11 回転速度同調制御部
16 安定化部
18 運転停止部
19 リトライ部
20 リトライカウント部
21,22,31 第3の比較器
30A 第1の比較器
30B 第2の比較器
Claims (8)
前記第1のモータの回転速度を検出する第1の検出部と、
第2のファンと第2のモータとを有する第2のファンモータと、
前記第2のモータの回転速度を検出する第2の検出部と、
前記第1のファンと前記第2のファンとによって送風される空気を清浄化するフィルタと、
前記第1の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第1のファンモータの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御するとともに、前記第2の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第2のファンモータの回転速度が前記設定回転速度に一致するようにフィードバック制御し、前記第1の検出部の検出した回転速度が前記第2の検出部の検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に前記第1の検出部の検出した回転速度に前記第2のファンモータの回転速度を下げる回転速度同調制御を行い、前記第2の検出部の検出した回転速度が前記第1の検出部の検出した回転速度に対し所定値以上遅い場合に前記第2の検出部の検出した回転速度に前記第1のファンモータの回転速度を下げる回転速度同調制御を行う本体制御部と、を備えた、
ファンフィルタユニット。A first fan motor having a first fan and a first motor;
A first detector for detecting a rotation speed of the first motor;
A second fan motor having a second fan and a second motor;
A second detector for detecting the rotational speed of the second motor;
A filter for purifying air blown by the first fan and the second fan;
Based on the rotation speed detected by the first detection unit, feedback control is performed so that the rotation speed of the first fan motor matches a set rotation speed, and based on the rotation speed detected by the second detection unit. Feedback control is performed so that the rotation speed of the second fan motor matches the set rotation speed, and the rotation speed detected by the first detection unit is predetermined with respect to the rotation speed detected by the second detection unit. When the rotation speed is slower than the value, rotation speed tuning control is performed to lower the rotation speed of the second fan motor to the rotation speed detected by the first detection unit, and the rotation speed detected by the second detection unit is the first rotation speed. This system performs rotational speed tuning control for lowering the rotational speed of the first fan motor to the rotational speed detected by the second detection section when the rotational speed detected by the detection section is slower than a predetermined value. And the part, with,
Fan filter unit.
前記第1の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第1のファンモータの回転速度が設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する第1の回転制御部と、
前記第2の検出部の検出した回転速度に基づき、前記第2のファンモータの回転速度が前記設定回転速度に一致するようにフィードバック制御する第2の回転制御部と、
前記第1の検出部の検出した回転速度と前記設定回転速度とを比較し、前記第1の回転制御部に伝える第1の比較器と、
前記第2の検出部の検出した回転速度と前記設定回転速度とを比較し、前記第2の回転制御部に伝える第2の比較器と、
前記第1の検出部の検出した回転速度と前記第2の検出部の検出した回転速度との差を算出する第3の比較器と、
前記第3の比較器の算出結果を受けて、前記算出結果が前記所定値以上の場合に前記第1の回転制御部と前記第2の回転制御部のうち一方を介して前記第1、第2のファンモータのうち速い方の回転速度を下げるよう同調制御する回転速度同調制御部と、を有する、
請求項1記載のファンフィルタユニット。The main body control unit
A first rotation control unit that performs feedback control based on a rotation speed detected by the first detection unit so that a rotation speed of the first fan motor matches a set rotation speed;
A second rotation control unit that performs feedback control based on the rotation speed detected by the second detection unit so that the rotation speed of the second fan motor matches the set rotation speed;
A first comparator that compares the rotation speed detected by the first detection unit with the set rotation speed and transmits the comparison to the first rotation control unit;
A second comparator that compares the rotation speed detected by the second detection unit with the set rotation speed and transmits the comparison to the second rotation control unit;
A third comparator for calculating a difference between the rotation speed detected by the first detection unit and the rotation speed detected by the second detection unit;
In response to the calculation result of the third comparator, when the calculation result is equal to or greater than the predetermined value, the first and second rotation control units are connected via one of the first rotation control unit and the second rotation control unit. A rotational speed tuning control unit that performs tuning control so as to lower the rotational speed of the faster one of the two fan motors;
The fan filter unit according to claim 1.
請求項1記載のファンフィルタユニット。The body control unit delays the start of the rotation speed tuning control by a predetermined time;
The fan filter unit according to claim 1.
請求項3記載のファンフィルタユニット。The predetermined time is either immediately after the start of the operation of the fan filter unit or immediately after the set rotational speed of the fan motor is changed, and preparation until the rotational speed detected by the first and second detection units is stabilized. Set to the driving time,
The fan filter unit according to claim 3.
請求項1記載のファンフィルタユニット。The main body control unit performs retry control to try to match the rotation speeds of the first and second fan motors with the set rotation speed when the rotation speed tuning control is performed for a predetermined time.
The fan filter unit according to claim 1.
請求項5記載のファンフィルタユニット。The main body control unit stops the fan motor when the retry control is repeated a predetermined number of times within a predetermined time.
The fan filter unit according to claim 5.
請求項1記載のファンフィルタユニット。In the main body control unit, any one of a difference between the set rotation speed and the rotation speed detected by the first detection unit and a difference between the set rotation speed and the rotation speed detected by the second detection unit is a predetermined value. If larger, stop the first and second fan motors;
The fan filter unit according to claim 1.
請求項1記載のファンフィルタユニット。The main body control unit is configured such that a difference between the set rotation speed and the rotation speed detected by the first detection unit and a difference between the set rotation speed and the rotation speed detected by the second detection unit are larger than a predetermined value. The first and second fan motors are stopped,
The fan filter unit according to claim 1.
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