JP4561251B2 - 多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法及びその素子 - Google Patents
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
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Description
D.S.Ballantine,R.M.White, S.J.Martin, A. J.Ricco, E.T.Zellers, G.C.Frye, H.Wohltjen著、「ACOUSTIC WAVE SENSORS」、ACADEMIC PRESS。
ここで、本発明において、「弾性表面波」と表記している波は、境界波、回廊波、内郭を周回する表面波、弾性表面波、漏洩弾性表面波、擬似弾性表面波、擬似漏洩弾性表面波等、球形表面にエネルギーを集中させて伝搬する弾性波全般を包含する。
従って、請求項1に対応する発明は以上のような手段を講じたことにより、第1周波数をもつ駆動信号で励起したときの伝搬状態値における第1変化と、第2周波数をもつ駆動信号で励起したときの伝搬状態値における第2変化とを測定し、これら第1周波数、第1の変化、第2周波数及び第2の変化に基づいて、伝搬状態値を変化させる要因の変化量を分析する。すなわち、伝搬状態値を変化させる要因と駆動信号の周波数との関係に基づいて、要因の変化量を分析する構成により、伝搬面の伝搬状態を測定する際に、温度測定を不要としつつ、伝搬状態を変化させる要因を分析することができる。
以下、このような考えに基づいて本発明の各実施形態を述べる。
図1は本発明の第1の実施形態に係る多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析装置の構成を示す模式図である。この伝搬面の分析装置は、多重周回弾性表面波素子10、周波数変更部20、高周波信号源30、スイッチ40、増幅部45、信号測定部50、計算部60及び制御部70を備えている。
但し、B:質量依存定数[ppm/((ng/cm2)・MHz)]
例えば、水晶のATカット基板に1μg/cm2の質量付着があった場合、100MHzの弾性表面波の周回時間は30ppm(ppmは10−6の無次元数。)の変化を起こす。この場合、50MHzの弾性表面波を同じ伝搬面に周回させると、15ppmの変化となる。
=(1+A・Δt)×(1+B・Δm・F1) …(2)
1+dT2=(1+A・Δt)×(1+B・Δm・F2) …(3)
(2)式、(3)式において、AB×Δt×Δm×F1、及びAB×Δt×Δm×F2、は非常に小さな値になるために省略できる。これにより、下記の(4)式および(5)式が成立する。
dT2=A・Δt+B・Δm・F2 …(5)
ここで、(4)式と(5)式の連立方程式を解くことにより、下記の(6)式および(7)式が成立し、伝搬面の温度変化量Δtと質量変化量Δmを独立に求めることが可能となる。
球状弾性表面波素子10Sにアルブミンを付着して、付着前後の弾性表面波の周回時間の変化率dT1,dT2から、アルブミンの付着量Δmを算出した。
図4は本発明の第2の実施形態に係る多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析装置の構成を示す模式図であり、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明を省略し、ここでは異なる部分について主に述べる。なお、以下の各実施形態も同様にして重複した説明を省略する。
このように、計算部60aは、弾性表面波の周回時間の変化率ΔTを共振周波数の変化率ΔFcから求める。
図8は本発明の第3の実施形態に係る多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析装置の構成を示す模式図である。
dFcB≒(FcB2−FcB1)/F2 ・・・(10)
ところで、共振周波数の変化率dFcAとdFcBは、弾性表面波の周回時間の変化率と共振周波数の変化率との関係式である(8)式から、次のように表すことができる。
球弾性表面波素子10Sにアルブミンを付着して、付着前後の弾性表面波の周回時間の変化率dT1,dT2から、アルブミンの付着量Δmを算出した。
図10は第4の実施形態に係る多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析装置に適用されるすだれ状電極の構成を示す模式図である。
Claims (12)
- 弾性表面波を多重周回させて伝搬可能な伝搬面を有する3次元基体と、
入力される駆動信号に応じて、前記伝搬面に弾性表面波を励起するための弾性表面波励起手段と、
前記励起された弾性表面波を検出して検出信号を出力する弾性表面波検出手段と
を備えた多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法であって、
第1周波数をもつ駆動信号を前記弾性表面波励起手段に入力する駆動信号入力ステップと、
前記弾性表面波励起手段により、駆動信号に応じて弾性表面波を前記伝搬面に励起する弾性表面波励起ステップと、
前記励起されて伝搬面を多重周回する弾性表面波を弾性表面波検出手段で検出し、検出信号を出力する弾性表面波検出ステップと、
前記出力された検出信号から前記伝搬面の伝搬状態を示す伝搬状態値における第1変化を測定する第1変化測定ステップと、
前記第1周波数をもつ駆動信号に代えて前記第1周波数とは異なる第2周波数をもつ駆動信号を用い、前記駆動信号入力ステップ、前記弾性表面波励起ステップ及び前記弾性表面波検出ステップを実行し、この弾性表面波検出ステップにて出力された検出信号から前記伝搬面の伝搬状態値における第2変化を測定する第2変化測定ステップと、
前記第1周波数、前記第1変化、前記第2周波数及び前記第2変化に基づいて、前記伝搬状態値を変化させる要因の変化量を分析する要因分析ステップと
を備えたことを特徴とする多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法。 - 請求項1に記載の多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法において、
前記伝搬状態値は、前記弾性表面波が前記3次元基体を多重周回する際の周回速度の変化を示す値であることを特徴とする多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法。 - 請求項2に記載の多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法において、
前記要因の変化量は、伝搬面の質量変化量及び温度変化量であり、
前記要因分析ステップは、
前記周回時間の温度依存係数と前記周回速度の周波数依存係数とを保持し、
前記第1周波数、前記周波数依存係数、前記質量変化量、前記温度変化量及び前記温度依存係数に基づいて前記第1変化を表す式と、前記第2周波数、前記周波数依存係数、前記質量変化量、前記温度変化量及び前記温度依存係数に基づいて前記第2変化を表す式とから得られる前記質量変化量の式と前記温度変化量の式とに基づいて、当該質量変化量及び温度変化量を個別に算出する
ことを特徴とする多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法において、
前記弾性表面波検出ステップは、前記駆動信号の入力を停止した後に、前記多重周回された弾性表面波を検出して検出信号を出力し、
前記第1及び第2変化測定ステップは、それぞれ検出信号の位相変化を測定することにより前記第1変化及び前記第2変化を測定する
ことを特徴とした多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法。 - 請求項4に記載の多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法において、
前記駆動信号入力ステップにおいて、前記弾性表面波励起手段に入力する駆動信号は、第1周波数と第2周波数の両方を有する高周波バースト信号であり、
前記第1及び第2変化測定ステップは、それぞれ検出信号の波形の変化から前記第1周波数成分と前記第2周波数成分のそれぞれの位相変化を測定する
ことを特徴とする多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法において、
前記駆動信号入力ステップにおいて、前記弾性表面波励起手段には共通の高周波信号源から生成される第1周波数の駆動信号と第2周波数の駆動信号を入力し、前記高周波信号源の周波数が変化しても、前記第1周波数と前記第2周波数の周波数比が一定になる
ことを特徴とする多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法において、
前記弾性表面波励起ステップは、前記各駆動信号に応じて弾性表面波を同一3次元基体上の同一経路に励起する
ことを特徴とする多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法において、
前記第1変化は、変化前の値に占める変化分の割合を示す第1変化率であり、
前記第2変化は、変化前の値に占める変化分の割合を示す第2変化率であることを特徴とする多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法。 - 請求項2乃至請求項8のいずれか1項に記載の多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法において、
前記伝搬状態値は、前記周回速度の変化を示す値に代えて、所定の周回に要する周回時間であることを特徴とする多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の多重周回弾性表面波素子の伝搬面の分析方法に用いられる多重周回弾性表面波素子において、
前記伝搬面は、球面によりなる連続した円環状の表面を有する周回経路を備えた
ことを特徴とする多重周回弾性表面波素子。 - 請求項10に記載の多重周回弾性表面波素子において、
前記弾性表面波励起手段は、
前記3次元基体の表面に接するかあるいは近接して設けられ、前記駆動信号の電界を印加するためのすだれ状電極と、
前記すだれ状電極から印加される電界を圧電効果により弾性表面波に変換するための圧電材料とからなる伝搬面を有する
ことを特徴とする多重周回弾性表面波素子。 - 請求項10または請求項12に記載の多重周回弾性表面波素子において、
前記3次元基体は圧電結晶で構成されている
ことを特徴とする多重周回弾性表面波素子。
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