JP4555945B2 - 感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 - Google Patents
感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 Download PDFInfo
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Description
12.0≦R≦26.3 …(1)
[式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6及びR7は、それぞれ独立に水素原子又は炭化水素基を示す。]
12.0≦R≦25.0 …(2)
を満たすことが好ましく、下記式(3)の条件:
13.2≦R≦24.0 …(3)
を満たすことがより好ましく、下記式(4)の条件:
14.4≦R≦22.0 …(4)
を満たすことが特に好ましい。上記Rが10.0未満であると波長400〜450nm光に対するO.D.値が小さく、十分に光を吸収できないため、感度が低くなる。他方、上記Rが26.3を超えるとO.D.値が高く、感度は高いものの、底部まで光が到達しにくくなるため底部の硬化性が悪くなり、現像後のレジスト形状が逆台形状になったり、解像度が悪くなったりする。
まず、表1に示す各成分を同表に示す配合量で混合し、実施例1〜3及び比較例1〜2の感光性樹脂組成物の溶液を得た。なお、(C)成分である7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリンの配合量は表2に示す。
Claims (13)
- 波長400〜450nmの光により露光する直接描画法に用いられる感光性エレメントであって、該感光性エレメントは、支持体と、該支持体上に設けられた(A)バインダポリマ、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物から構成される感光性樹脂組成物層と、を備え、
前記感光性樹脂組成物は、前記(C)成分として下記一般式(I)で示されるクマリン系化合物を含有しており、
前記(A)及び(B)成分の総量100重量部に対する前記クマリン系化合物の重量部をP、前記感光性樹脂組成物層の膜厚をQ[μm]、としたときの、PとQとの積であるRが、下記式(1)の条件を満たすことを特徴とする感光性エレメント。
12.0≦R≦26.3 …(1)
- 前記Rが、下記式(3)の条件を満たすことを特徴とする請求項1記載の感光性エレメント。
13.2≦R≦24.0 …(3) - 前記Rが、下記式(4)の条件を満たすことを特徴とする請求項1記載の感光性エレメント。
14.4≦R≦22.0 …(4) - 波長400〜415nmの光により露光する直接描画法に用いられる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性エレメント。
- 青色レーザから発される光により露光する直接描画法に用いられる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の感光性エレメント。
- 窒化ガリウム系半導体レーザから発される光により露光する直接描画法に用いられる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の感光性エレメント。
- 複数のミラーを配列し、各々のミラーの角度を必要に応じて変更することにより、露光光が画像状になる直接描画法に用いられる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の感光性エレメント。
- デジタルライトプロセッシング露光法により露光する直接描画法に用いられる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の感光性エレメント。
- 波長365nm以下の光を90%以上カットした活性光線により露光する直接描画法に用いられる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性エレメント。
- 光源の発振スペクトルにおける波長400nm〜450nmの面積積分強度aが、波長300nm以上400nm未満の面積積分強度bの10倍以上である光により露光する直接描画法に用いられる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性エレメント。
- 回路形成用基板上に、請求項1〜11のいずれか一項に記載の感光性エレメントの感光性樹脂組成物層を積層する積層工程と、
前記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成させる露光工程と、
前記感光性樹脂組成物層の前記露光部以外の部分を除去する現像工程と、
を備えることを特徴とするレジストパターンの形成方法。 - 請求項12記載のレジストパターンの形成方法によりレジストパターンの形成された回路形成用基板を、エッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
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