JP4551690B2 - Dust collector in laser processing - Google Patents

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Description

本発明は、レーザー加工によって基板などの被加工物表面から除去された異物を効率良く回収する装置に関するものである。 The present invention relates to efficiently recover to that equipment the foreign matter removed from the workpiece surface, such as a substrate by laser processing.

従来からレーザー加工装置におけるパーティクル等の塵状及び埃状の異物の除去は、主として集塵ノズル（集塵ダクト）により吸引する方法が一般的である。また、その他の方法としては、被加工物の表面にレジスト等を塗布し、レーザー加工後に溶剤にて除去する方法が用いられている。
特開平９−２７１９８０号公報 特開平７−１８５８７５号公報 Conventionally, removal of dust and other foreign substances such as particles in a laser processing apparatus is generally performed by suction mainly using a dust collection nozzle (dust collection duct). As another method, a method of applying a resist or the like on the surface of a workpiece and removing it with a solvent after laser processing is used.
Japanese Patent Laid-Open No. 9-271980 Japanese Patent Laid-Open No. 7-185875

しかしながら、前者の集塵ノズル（集塵ダクト）によって吸引する方法では、前記異物がレーザー照射によって瞬間的に飛散するため、レーザー照射部において、確実に異物を除去することは難しい。   However, in the former method of sucking with a dust collection nozzle (dust collection duct), the foreign matter is instantaneously scattered by laser irradiation, so it is difficult to reliably remove the foreign matter at the laser irradiation portion.

また、後者のレジスト等を塗布する方法は、前者の集塵ノズル（集塵ダクト）による方法に比べて異物の除去効果は大きいが、異物の除去に溶剤を使用するため、当然ながら溶剤が使用できない被加工物には適用することができない。   In addition, the latter method of applying resist, etc. has a greater effect of removing foreign matter than the former method using a dust collection nozzle (dust collection duct), but of course the solvent is used to remove the foreign matter. It cannot be applied to workpieces that cannot.

本発明が解決しようとする問題点は、溶剤が使用できない被加工物では効率良く異物を除去することができないという点である。   The problem to be solved by the present invention is that a foreign object cannot be efficiently removed by a workpiece that cannot use a solvent.

本発明に係るレーザー加工における集塵装置は、
セルロイド、セルロース、アセテート、アセチシート、アセチレジン、プチシート、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、ポリエチレングリコール、ポリビニルピロリドン、ナイロン、ポリエチレングリコール、ポリビニルブラチラール、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル樹脂、ポリミド、ポリマーのいずれかの皮膜材料と、
この皮膜材料を被加工物表面に被覆する被覆機構と、
レーザー加工後、前記皮膜材料を被加工物表面から剥離して回収する皮膜剥離回収機構と、
この皮膜剥離回収機構によって回収された皮膜材料に付着した異物を皮膜材料から分離除去する装置と、
この分離除去装置によって皮膜材料から分離除去された異物を吸引する吸引装置を備え、
前記皮膜材料の被加工物への被覆と、前記皮膜材料の被加工物表面からの剥離回収と、回収された皮膜材料に付着した異物の皮膜材料からの分離除去及び分離除去した異物の吸引の一連の作業を、レーザー加工と並行して行えるように構成したことを最も主要な特徴としている。 A dust collector in laser processing according to the present invention,
Celluloid, cellulose, acetate, acetyl sheet, acetyl resin, petit sheet, polyvinyl alcohol, carboxymethyl cellulose, polyethylene glycol, polyvinyl pyrrolidone, nylon, polyethylene glycol, polyvinyl brachiral, polystyrene, polyvinyl chloride, polyester resin, polyimide, polymer Coating material,
A coating mechanism for coating the surface of the workpiece with this coating material;
After laser processing, a film peeling recovery mechanism that peels and recovers the film material from the surface of the workpiece,
An apparatus for separating and removing foreign substances adhering to the film material collected by the film peeling and collecting mechanism from the film material;
With a suction device that sucks foreign matter separated and removed from the coating material by this separation and removal device,
Coating of the coating material onto the workpiece, separation and recovery of the coating material from the surface of the workpiece, separation and removal of foreign matter adhering to the collected coating material from the coating material, and suction of the separated and removed foreign matter The main feature is that a series of operations can be performed in parallel with laser processing.

また、本発明に係るレーザー加工における集塵装置は、
請求項１に記載のレーザー加工における集塵方法を実施する装置であって、
セルロイド、セルロース、アセテート、アセチシート、アセチレジン、プチシート、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、ポリエチレングリコール、ポリビニルピロリドン、ナイロン、ポリエチレングリコール、ポリビニルブラチラール、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル樹脂、ポリミド、ポリマーのいずれかの皮膜材料と、
この皮膜材料を被加工物表面に被覆する被覆機構と、
レーザー加工後、前記皮膜材料を被加工物表面から剥離して回収する皮膜剥離回収機構と、
この皮膜剥離回収機構によって回収された皮膜材料に付着した異物を皮膜材料から分離除去する装置と、
この分離除去装置によって皮膜材料から分離除去された異物を吸引する吸引装置を備え、
前記被覆機構を、前記皮膜材料を巻き付け、被加工物との相対移動に伴う回転によって前記皮膜材料を被加工物表面に被覆する回転自在なローラと、
また、前記皮膜剥離回収機構を、前記被加工物との相対移動に伴って回転する皮膜剥離回収ローラとなしたことを最も主要な特徴としている。 In addition, the dust collector in laser processing according to the present invention ,
An apparatus for carrying out the dust collection method in laser processing according to claim 1,
Celluloid, cellulose, acetate, acetyl sheet, acetyl resin, petit sheet, polyvinyl alcohol, carboxymethyl cellulose, polyethylene glycol, polyvinyl pyrrolidone, nylon, polyethylene glycol, polyvinyl brachiral, polystyrene, polyvinyl chloride, polyester resin, polyimide, polymer Coating material,
A coating mechanism for coating the surface of the workpiece with this coating material;
After laser processing, a film peeling recovery mechanism that peels and recovers the film material from the surface of the workpiece,
An apparatus for separating and removing foreign substances adhering to the film material collected by the film peeling and collecting mechanism from the film material;
With a suction device that sucks foreign matter separated and removed from the coating material by this separation and removal device,
The coating mechanism, a rotatable roller that winds the coating material and coats the coating material on the workpiece surface by rotation accompanying relative movement with the workpiece;
Further, the film peeling recovery mechanism, wherein you are the most important feature that no a film peeling recovery roller rotates with the relative movement of the workpiece.

本発明では、皮膜材料を被加工物表面に被覆してレーザー加工し、レーザー加工後に皮膜材料とこの皮膜材料に付着した異物を回収するので、レーザー加工で問題となる異物の飛散もなく、再利用できる状態で確実に回収することができる。発明者の実験結果では、異物の回収率は７０％以上であった。また、皮膜材料を繰返し使用できるうえ、溶剤を使用しないので、被加工物を選ばずに適用できる。   In the present invention, the coating material is coated on the surface of the workpiece, laser processing is performed, and after the laser processing, the coating material and foreign matter adhering to the coating material are collected. It can be reliably recovered in a usable state. According to the experiment results of the inventors, the recovery rate of foreign matters was 70% or more. In addition, since the coating material can be used repeatedly and no solvent is used, it can be applied regardless of the workpiece.

以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を用いて詳細に説明する。
図１及び図２は本発明の第１の例を説明する図面であり、１はレーザー加工前に被加工物２の表面に被覆する皮膜材料である。この皮膜材料１はレーザー３を吸収しにくく、かつ、レーザーによって剥離しないことが必須の要件である。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 and FIG. 2 are drawings for explaining a first example of the present invention, and 1 is a coating material that covers the surface of the workpiece 2 before laser processing. It is an essential requirement that the coating material 1 hardly absorbs the laser 3 and is not peeled off by the laser.

前記の要件を備えた皮膜材料１としては、例えばセルロイド、セルロース、アセテート、アセチシート、アセチレジン、プチシート、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、ポリエチレングリコール、ポリビニルピロリドン、ナイロン、ポリエチレングリコール、ポリビニルブラチラール、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル樹脂、ポリミド、ポリマー等がある。   Examples of the coating material 1 having the above requirements include celluloid, cellulose, acetate, acetyl sheet, acetyl resin, petit sheet, polyvinyl alcohol, carboxymethyl cellulose, polyethylene glycol, polyvinyl pyrrolidone, nylon, polyethylene glycol, polyvinyl bratilal, polystyrene, poly There are vinyl chloride, polyester resin, polyimide, polymer and the like.

４は被加工物２との当接面に例えばアクリル系の粘着材を塗布した前記皮膜材料１を、被加工物２の表面に被覆する被覆機構であり、図１に示した例では、被加工物２の移動に伴う回転によって、外周面に巻き付けた前記皮膜材料１を被加工物２の表面に被覆する回転自在なローラ（以下、被覆機構４のことを「ローラ４」とも言う。）を用いた例を示している。   Reference numeral 4 denotes a coating mechanism for coating the surface of the workpiece 2 with the coating material 1 in which, for example, an acrylic adhesive is applied to the contact surface with the workpiece 2, and in the example shown in FIG. A rotatable roller that coats the surface of the workpiece 2 with the coating material 1 wound around the outer peripheral surface by rotation accompanying the movement of the workpiece 2 (hereinafter, the coating mechanism 4 is also referred to as “roller 4”). An example using is shown.

なお、皮膜材料１に粘着性をもたせるための粘着剤は、レーザー３に対する透明度を有するものであれば、前記アクリル系の粘着剤に限るものではない。また、使用する粘着剤は、レーザー照射によって粘着性が増加するもの（例えば熱硬化性の粘着剤）が望ましいが、剥離する場合を考慮すると、水や熱によって剥がすことができる接着剤等を巧みに使い分けることが肝要である。 The pressure-sensitive adhesive for imparting adhesiveness to the coating material 1 is not limited to the acrylic pressure-sensitive adhesive as long as it has transparency to the laser 3. Further, the pressure-sensitive adhesive to be used is intended to increase the adhesive property by laser irradiation (for example, a thermosetting adhesive agent) is desirable, considering the case of stripping, skillfully adhesive which can be peeled off by water or heat It is important to use properly.

５はレーザー加工後、被加工物２の表面から除去され、前記皮膜材料１に付着した異物７を前記皮膜材料１から剥離して回収する皮膜剥離回収機構であり、図１及び図２に示した例では、前記ローラ４と同調して回転する皮膜剥離回収ローラ（以下、皮膜剥離回収機構５のことを「皮膜剥離回収ローラ５」とも言う。）を用いたものを示している。   Reference numeral 5 denotes a film peeling / recovery mechanism for removing the foreign material 7 removed from the surface of the workpiece 2 after the laser processing and adhering to the film material 1 from the film material 1 and collecting it. In this example, a film peeling / collecting roller rotating in synchronization with the roller 4 (hereinafter, the film peeling / collecting mechanism 5 is also referred to as “film peeling / collecting roller 5”) is shown.

６は前記皮膜剥離回収ローラ５によって回収された皮膜材料１に付着した塵状及び埃状の異物７を皮膜材料１から分離除去する装置であり、図２に示した例では、前記皮膜剥離回収ローラ５に当接する回転ブラシを示している。この図２では、皮膜材料１に付着した異物７の分離除去を効率良く行うために、皮膜剥離回収ローラ５に当接して同調回転する第１の回転ブラシ６ａと、この第１の回転ブラシ６ａと当接しつつ同方向に回転して前記第１の回転ブラシ６ａに回収した異物７を掻き落す第２の回転ブラシ６ｂとで構成したものを示している。   6 is an apparatus for separating and removing dust and dusty foreign matter 7 attached to the film material 1 collected by the film peeling / collecting roller 5 from the film material 1, and in the example shown in FIG. A rotating brush in contact with the roller 5 is shown. In FIG. 2, in order to efficiently separate and remove the foreign matter 7 adhering to the film material 1, a first rotating brush 6a that rotates in synchronization with the film peeling / recovery roller 5 and the first rotating brush 6a. And the second rotating brush 6b that scrapes off the foreign matter 7 collected on the first rotating brush 6a by rotating in the same direction while abutting on.

なお、図１及び図２において、８は前記分離除去装置６によって皮膜材料１から分離除去された異物７を吸引装置（図示省略）まで吸引する吸引ノズルを示す。   1 and 2, reference numeral 8 denotes a suction nozzle that sucks the foreign matter 7 separated and removed from the coating material 1 by the separation / removal device 6 to a suction device (not shown).

かかる構成の図１及び図２に示したレーザー加工における集塵装置の第１の例では、皮膜材料１を巻き取ったローラ４を被加工物２に当接させた状態で、例えば集塵装置に対して被加工物２を移動させれば、被加工物２の移動に伴ってローラ４が回転し、前記皮膜材料１がローラ４から巻き戻されて被加工物２の表面を被覆することになる。   In the first example of the dust collector in the laser processing shown in FIGS. 1 and 2 having such a configuration, for example, a dust collector in a state where the roller 4 around which the film material 1 is wound is brought into contact with the workpiece 2. If the workpiece 2 is moved relative to the workpiece 2, the roller 4 rotates as the workpiece 2 moves, and the coating material 1 is rewound from the roller 4 to cover the surface of the workpiece 2. become.

そして、皮膜材料１を被覆した上方から被加工物２の表面にレーザー３を照射し、前記被加工物２の表面の異物７を除去する。除去された異物７は皮膜材料１に付着し、皮膜材料１は被加工物２の移動に伴って皮膜剥離回収ローラ５に巻き取られ、この巻き取られる際に、分離除去装置６によって異物７が皮膜材料１から掻き取られ、吸引装置に吸引されて回収される。   Then, the surface of the workpiece 2 is irradiated with a laser 3 from above the coating material 1 to remove the foreign matter 7 on the surface of the workpiece 2. The removed foreign matter 7 adheres to the coating material 1, and the coating material 1 is wound around the coating peeling / recovering roller 5 as the workpiece 2 is moved. Is scraped off from the coating material 1 and is sucked and collected by a suction device.

以上の作業は被加工物２の移動に伴って連続して行われる。 The above operations are continuously performed as the workpiece 2 moves .

図３は本発明の第２の例を示したものである。この図３に示した第２の例は、回収しようとする異物７が電荷を帯びる場合に適したものであり、この場合、皮膜材料１は、前記第１の例と異なり、帯電性を有するものを使用している。   FIG. 3 shows a second example of the present invention. The second example shown in FIG. 3 is suitable when the foreign substance 7 to be collected is charged. In this case, the coating material 1 has a charging property unlike the first example. I am using something.

この第２の例では、電荷によって異物７を皮膜材料１に付着させるものであるため、前記分離除去装置６は、第１の例のような回転ブラシに代えて、除電装置６ｃを皮膜剥離回収ローラ５の外周近傍に配置することで、皮膜材料１を巻き取る際に、除電装置６ｃにより皮膜材料１に付着している異物７を分離させる。   In this second example, the foreign matter 7 is attached to the coating material 1 by electric charge. Therefore, the separation / removal device 6 replaces the rotating brush as in the first example with a neutralization device 6c. By disposing in the vicinity of the outer periphery of the roller 5, when the film material 1 is wound up, the foreign matter 7 adhering to the film material 1 is separated by the static eliminator 6c.

なお、この第２の例では、異物７の帯電性によっては、レーザー加工を行う上流側に帯電装置９を配置する必要があるが、必須の構成要件ではない。また、この帯電装置９は、図３では、ローラ４から巻き戻されて、被加工物２に被覆した後の皮膜材料１を帯電するようにしたものを示しているが、図３に想像線で示したように、ローラ４に巻き取られた状態の皮膜材料１を巻き戻す直前に帯電するような位置に配置しても良い。   In the second example, depending on the chargeability of the foreign matter 7, it is necessary to arrange the charging device 9 on the upstream side where laser processing is performed, but this is not an essential component. FIG. 3 shows the charging device 9 which is unwound from the roller 4 and charges the coating material 1 after being coated on the workpiece 2. FIG. As shown in Fig. 5, the film material 1 wound around the roller 4 may be placed at a position where it is charged immediately before rewinding.

本発明は、前記の例に限るものではなく、各請求項に記載の技術的思想の範囲内において、適宜実施の形態を変更しても良いことは言うまでもない。例えば、以上の例では被加工物２を移動させ、本発明に係る集塵装置やレーザー加工装置は固定したものについて説明したが、図４に示した例のように、被加工物２は固定で、本発明に係る集塵装置とレーザー加工するレーザーヘッド１０を移動させるようにしたものでも良い。   The present invention is not limited to the above examples, and it is needless to say that the embodiments may be appropriately changed within the scope of the technical idea described in each claim. For example, in the above example, the workpiece 2 is moved and the dust collector and the laser processing device according to the present invention are fixed. However, the workpiece 2 is fixed as in the example shown in FIG. Thus, the dust collector according to the present invention and the laser head 10 for laser processing may be moved.

この図４の場合、先ず被加工物２に対して被覆機構４を紙面右から左方向に移動させて被加工物２の表面に皮膜材料１を被覆した後（（ａ）図）、レーザーヘッド１０を同じく紙面右から左方向に移動させてレーザー加工を行う。そして、その後、皮膜剥離回収装置５、分離除去装置６を紙面右から左方向に移動させて皮膜材料１に付着している異物７を分離、回収するものである。この図４の例においても、以上の動作を並行して連続的に行っても良い。   In the case of FIG. 4, first, the coating mechanism 4 is moved from the right side to the left side of the workpiece 2 to coat the surface of the workpiece 2 with the coating material 1 (FIG. 4A), and then the laser head. Similarly, laser processing is performed by moving 10 from the right side to the left side of the drawing. Thereafter, the film peeling / recovery device 5 and the separation / removal device 6 are moved from the right to the left in the drawing to separate and collect the foreign matter 7 adhering to the film material 1. In the example of FIG. 4 as well, the above operations may be performed continuously in parallel.

本発明は、単に集塵装置としてではなく、例えば基板表面のＩＴＯ膜をパターニングする際に、図５に示したように、加工部分のＩＴＯ膜７ａのみを皮膜材料１に付着させて回収し、リサイクルするものにも適用可能である。また、加工部以外への異物の付着がないため、電極等を形成させる微細加工にも適用が可能である。   The present invention is not merely as a dust collector, for example, when patterning the ITO film on the substrate surface, as shown in FIG. 5, only the processed portion of the ITO film 7a is attached to the coating material 1 and collected, Applicable to recycling. In addition, since there is no adhesion of foreign matter to other than the processed portion, it can be applied to fine processing for forming electrodes and the like.

本発明のレーザー加工における集塵装置の概略構成を説明する図である。It is a figure explaining the schematic structure of the dust collector in the laser processing of this invention. 図１に示した本発明のレーザー加工における集塵装置を構成する皮膜剥離回収ローラ、分離除去装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the film | membrane peeling collection | recovery roller and separation / removal apparatus which comprise the dust collector in the laser processing of this invention shown in FIG. （ａ）は本発明のレーザー加工における他の集塵装置の概略構成を説明する図、（ｂ）は（ａ）の集塵装置を構成する皮膜剥離回収ローラ、分離除去装置の概略構成図である。(A) is a figure explaining schematic structure of the other dust collector in the laser processing of this invention, (b) is a schematic block diagram of the film | membrane peeling collection | recovery roller and separation / removal apparatus which comprise the dust collector of (a). is there. 本発明の集塵装置をレーザー加工機に組み込んだ場合の図面で、（ａ）は皮膜材料の被覆時、（ｂ）はレーザー加工時、（ｃ）は皮膜材料の剥離回収時を夫々示す図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a drawing when the dust collecting apparatus of the present invention is incorporated in a laser processing machine, where (a) shows a coating material coating, (b) shows a laser processing, and (c) shows a coating material peeling and recovery time. It is. 本発明の集塵装置を使用した方法による皮膜材料の剥離回収時、皮膜材料に加工部分のＩＴＯ膜が付着する状況を説明する図である。It is a figure explaining the condition where the ITO film | membrane of a process part adheres to film | membrane material at the time of peeling collection | recovery of film | membrane material by the method using the dust collector of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ 皮膜材料
２ 被加工物
３ レーザー
４ 皮膜機構（ローラ）
５ 皮膜剥離回収機構（皮膜剥離回収ローラ）
６ 分離除去装置
６ａ 第１の回転ブラシ
６ｂ 第２の回転ブラシ
６ｃ 除電装置
７ 異物
８ 吸引ノズル
1 Film Material 2 Workpiece 3 Laser 4 Film Mechanism (Roller)
5 Film peeling recovery mechanism (film peeling recovery roller)
6 Separation and removal device 6a First rotating brush 6b Second rotating brush 6c Static eliminator 7 Foreign matter 8 Suction nozzle

Claims (2)

被加工物表面にレーザーを照射することにより前記被加工物表面の薄膜を除去するレーザー加工における集塵方法を実施する装置であって、
セルロイド、セルロース、アセテート、アセチシート、アセチレジン、プチシート、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、ポリエチレングリコール、ポリビニルピロリドン、ナイロン、ポリエチレングリコール、ポリビニルブラチラール、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル樹脂、ポリミド、ポリマーのいずれかの皮膜材料と、
この皮膜材料を被加工物表面に被覆する被覆機構と、
レーザー加工後、前記皮膜材料を被加工物表面から剥離して回収する皮膜剥離回収機構と、
この皮膜剥離回収機構によって回収された皮膜材料に付着した異物を皮膜材料から分離除去する装置と、
この分離除去装置によって皮膜材料から分離除去された異物を吸引する吸引装置を備え、
前記皮膜材料の被加工物への被覆と、前記皮膜材料の被加工物表面からの剥離回収と、回収された皮膜材料に付着した異物の皮膜材料からの分離除去及び分離除去した異物の吸引の一連の作業を、レーザー加工と並行して行えるように構成したことを特徴とするレーザー加工における集塵装置。 An apparatus for carrying out our Keru dust collecting method in the laser processing for removing the thin film of the workpiece surface by applying laser to the workpiece surface,
Se Ruroido, cellulose, acetate, Asechishito, Asechirejin, Petit sheet, polyvinyl alcohol, carboxymethyl cellulose, polyethylene glycol, polyvinylpyrrolidone, nylon, polyethylene glycol, polyvinyl Burachira Lumpur, polystyrene, polyvinyl chloride, polyester resin, polyimide, or a polymer Coating materials of
A coating mechanism for coating the surface of the workpiece with this coating material;
After laser processing, a film peeling recovery mechanism that peels and recovers the film material from the surface of the workpiece,
An apparatus for separating and removing foreign substances adhering to the film material collected by the film peeling and collecting mechanism from the film material;
With a suction device that sucks foreign matter separated and removed from the coating material by this separation and removal device,
Coating of the coating material onto the workpiece, separation and recovery of the coating material from the surface of the workpiece, separation and removal of foreign matter adhering to the collected coating material from the coating material, and suction of the separated and removed foreign matter series of operations, the dust collector in the laser processing, characterized by being configured so as to enable parallel with laser processing. 被加工物表面にレーザーを照射することにより前記被加工物表面の薄膜を除去するレーザー加工における集塵方法を実施する装置であって、
セルロイド、セルロース、アセテート、アセチシート、アセチレジン、プチシート、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、ポリエチレングリコール、ポリビニルピロリドン、ナイロン、ポリエチレングリコール、ポリビニルブラチラール、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル樹脂、ポリミド、ポリマーのいずれかの皮膜材料と、
この皮膜材料を被加工物表面に被覆する被覆機構と、
レーザー加工後、前記皮膜材料を被加工物表面から剥離して回収する皮膜剥離回収機構と、
この皮膜剥離回収機構によって回収された皮膜材料に付着した異物を皮膜材料から分離除去する装置と、
この分離除去装置によって皮膜材料から分離除去された異物を吸引する吸引装置を備え、
前記被覆機構が、前記皮膜材料を巻き付け、被加工物との相対移動に伴う回転によって前記皮膜材料を被加工物表面に被覆する回転自在なローラであり、
前記皮膜剥離回収機構が、前記被加工物との相対移動に伴って回転する皮膜剥離回収ローラであることを特徴とするレーザー加工における集塵装置。 An apparatus for carrying out a dust collection method in laser processing that removes a thin film on the workpiece surface by irradiating the workpiece surface with a laser,
Celluloid, cellulose, acetate, acetyl sheet, acetyl resin, petit sheet, polyvinyl alcohol, carboxymethyl cellulose, polyethylene glycol, polyvinyl pyrrolidone, nylon, polyethylene glycol, polyvinyl brachiral, polystyrene, polyvinyl chloride, polyester resin, polyimide, polymer Coating material,
A coating mechanism for coating the surface of the workpiece with this coating material;
After laser processing, a film peeling recovery mechanism that peels and recovers the film material from the surface of the workpiece,
An apparatus for separating and removing foreign substances adhering to the film material collected by the film peeling and collecting mechanism from the film material;
With a suction device that sucks foreign matter separated and removed from the coating material by this separation and removal device,
The coating mechanism is a rotatable roller that winds the coating material and coats the coating material on the workpiece surface by rotation accompanying relative movement with the workpiece,
The dust collecting apparatus in laser processing, wherein the film peeling / recovering mechanism is a film peeling / recovering roller that rotates in association with a relative movement with the workpiece.
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