JP4543794B2 - 平板状部材の搬送装置 - Google Patents
平板状部材の搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4543794B2 JP4543794B2 JP2004203212A JP2004203212A JP4543794B2 JP 4543794 B2 JP4543794 B2 JP 4543794B2 JP 2004203212 A JP2004203212 A JP 2004203212A JP 2004203212 A JP2004203212 A JP 2004203212A JP 4543794 B2 JP4543794 B2 JP 4543794B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flat plate
- plate member
- housing
- dew point
- ultra
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、搬送時における平板状部材への水分等の有害物質の付着を防止することができ、よって当該平板状部材の製造歩留まりや品質の向上を図ることができる平板状部材の搬送装置を提供することを課題とするものである。
なお、上記平板状部材が、極度に分子状汚染物質を嫌うものである場合には、上記超低露点空気として、5ppb以下の分子状汚染物質が除去されたものを用いることが一層好ましい。
なお、ローラコンベア8と浮上ユニット9とは、図示されない同一フレーム上に配置されている。そして、本実施形態においては、導入口5と送出口6との高さが異なっており、このためローラコンベア8と浮上ユニット9とは、筐体2と上記フレームとの間に設けられたパワーシリンダ等の昇降手段により、図中実線で示す位置から点線で示す位置まで昇降自在に設けられている。
そして、このローラコンベア14に沿って、順次軟X線除電装置15と、水分除去装置16とが配設されている。この軟X線除電装置15は、搬送される平板状部材1の表裏面に微弱なX線を照射するように、ローラコンベア14の基端部の上部および下部にそれぞれ配置されている。
なお、筐体2の内壁および内部の各装置の構成部材は、いずれも水枯れ性がよく、かつそれ自体から有機物をほとんど発生しない材料によって形成されている。
このようにして、除電および水分除去がなされた平板状部材1は、送出口6のシャッター6aを開けることにより、後工程の装置4へと排出されて行く。
2 筐体
5 導入口
6 送出口
8、14 ローラコンベア(搬送手段)
9 浮上ユニット
12 超低露点空気の供給管(第1のクリーンドライエアの供給管)
13 塞ぎ板
15 軟X線除電装置
19 超低露点空気の供給管(第2のクリーンドライエアの供給管)
20 排気口
Claims (4)
- 平板状部材の導入口と送出口とを有する筐体と、この筐体内に配設され、上記導入口から送出口に向けて上記平板状部材の両側部を支承しつつ搬送する搬送手段と、上記平板状部材の裏面側に上記搬送手段と並列的に配設され、噴出する気体によって上記平板状部材を浮上させる浮上ユニットとを備えた平板状部材の搬送装置において、
上記筐体に、その内部を分子状汚染物質が10ppb以下に除去された大気圧露点−100℃以下のクリーンドライエアによって充満させる第1のクリーンドライエアの供給管を設けるとともに、上記浮上ユニットに、上記平板状部材の浮上用気体として上記クリーンドライエアを供給する第2のクリーンドライエアの供給管を設け、かつ上記筐体の内部に、加熱した上記クリーンドライエアを、当該筺体の内部から上記送出口側に向けて、上記平板状部材の表裏面に吹き付けることにより当該平板状部材の表面に付着した水分を除去する水分除去装置を設けたことを特徴とする平板状部材の搬送装置。 - 上記平板状部材の裏面側には、上記搬送方向と直交する方向に1組の上記浮上ユニットを有する場合は、上記搬送手段と当該浮上ユニットとの間に、上記搬送方向と直交する方向に複数組の上記浮上ユニットを有する場合は、上記搬送手段と当該浮上ユニットとの間および当該浮上ユニット間に、それぞれ上記搬送方向に延在して上記気体による浮上効果を向上させる塞ぎ部材が介装されていることを特徴とする請求項1に記載の平板状部材の搬送装置。
- 上記筐体の下部には、内部を陽圧に保持しつつ上記クリーンドライエアを排気する排気口が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の平板状部材の搬送装置。
- 上記筐体の内部には、上記平板状部材に向けて軟X線を照射することにより当該平板状部材の除電を行う軟X線除電装置が設置されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の平板状部材の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004203212A JP4543794B2 (ja) | 2004-07-09 | 2004-07-09 | 平板状部材の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004203212A JP4543794B2 (ja) | 2004-07-09 | 2004-07-09 | 平板状部材の搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006024841A JP2006024841A (ja) | 2006-01-26 |
JP4543794B2 true JP4543794B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=35797884
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004203212A Expired - Fee Related JP4543794B2 (ja) | 2004-07-09 | 2004-07-09 | 平板状部材の搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4543794B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008260636A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-30 | Mitsubishi Chemicals Corp | ポリマーペレットの輸送方法および貯蔵方法 |
JP4442685B2 (ja) | 2007-11-30 | 2010-03-31 | 株式会社デンソー | ワークの支持装置 |
WO2011148548A1 (ja) * | 2010-05-24 | 2011-12-01 | シャープ株式会社 | 平板搬送装置 |
JP5549885B2 (ja) * | 2011-04-08 | 2014-07-16 | 株式会社ダイフク | 板状基材用搬送装置 |
KR101321407B1 (ko) * | 2012-05-11 | 2013-10-23 | 김은주 | 공기 나이프 방식의 건식 세정기 구조 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63157928U (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-17 | ||
JPH07302779A (ja) * | 1994-05-06 | 1995-11-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の液切り乾燥装置 |
JPH09246229A (ja) * | 1996-03-01 | 1997-09-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の液切り装置 |
JP2000062953A (ja) * | 1998-08-17 | 2000-02-29 | Watanabe Shoko:Kk | 浮上搬送装置用の帯電中和装置および浮上搬送システム |
JP2001038137A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-13 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 清浄空気製造方法及び供給システム |
JP2001227868A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板乾燥装置及び乾燥方法 |
JP2004103850A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Fujitsu Ltd | レジスト塗布方法及び装置 |
JP2004179580A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Daiichi Shisetsu Kogyo Kk | 板状部材の搬送装置 |
-
2004
- 2004-07-09 JP JP2004203212A patent/JP4543794B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63157928U (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-17 | ||
JPH07302779A (ja) * | 1994-05-06 | 1995-11-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の液切り乾燥装置 |
JPH09246229A (ja) * | 1996-03-01 | 1997-09-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の液切り装置 |
JP2000062953A (ja) * | 1998-08-17 | 2000-02-29 | Watanabe Shoko:Kk | 浮上搬送装置用の帯電中和装置および浮上搬送システム |
JP2001038137A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-13 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 清浄空気製造方法及び供給システム |
JP2001227868A (ja) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板乾燥装置及び乾燥方法 |
JP2004103850A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Fujitsu Ltd | レジスト塗布方法及び装置 |
JP2004179580A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Daiichi Shisetsu Kogyo Kk | 板状部材の搬送装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006024841A (ja) | 2006-01-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI784799B (zh) | 設備前端模組(efem)系統 | |
TW201021626A (en) | Surface processing apparatus | |
JP4543794B2 (ja) | 平板状部材の搬送装置 | |
JP2007242702A (ja) | 基板処理装置及び基板搬送方法並びに記憶媒体 | |
JP4805384B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2005072374A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5485056B2 (ja) | イオン供給装置及びこれを備えた被処理体の処理システム | |
JP5586316B2 (ja) | Uvオゾン洗浄装置 | |
JP2006021913A6 (ja) | クリーンストッカー | |
JP3121520B2 (ja) | 局所清浄空間 | |
JP3040307B2 (ja) | 蒸気洗浄方法 | |
JP2004165636A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2009262046A (ja) | 紫外光照射処理装置 | |
JP2018176032A (ja) | 光照射装置 | |
JP2008164856A (ja) | カラーフィルタ用基板の洗浄装置及び洗浄方法 | |
KR200433078Y1 (ko) | 평판 디스플레이의 일체형 세정장치 | |
TW200303408A (en) | High- speed drying device | |
JP2007280885A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2005116823A (ja) | パーティクル付着防止装置及び方法、大気搬送装置、真空搬送装置、並びに半導体製造装置 | |
JP2011243913A (ja) | 紫外線処理装置及び紫外線照射装置 | |
JP3497642B2 (ja) | 局所清浄空間 | |
JP7027871B2 (ja) | 光照射装置 | |
JPH06204196A (ja) | 付着物の除去方法及びその装置 | |
JP2005268572A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2012124365A (ja) | 加熱処理装置、およびこれを備える塗布現像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070531 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090813 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090818 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100608 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100621 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130709 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4543794 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |