JP4532185B2 - 電子ビーム描画方法 - Google Patents
電子ビーム描画方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4532185B2 JP4532185B2 JP2004192702A JP2004192702A JP4532185B2 JP 4532185 B2 JP4532185 B2 JP 4532185B2 JP 2004192702 A JP2004192702 A JP 2004192702A JP 2004192702 A JP2004192702 A JP 2004192702A JP 4532185 B2 JP4532185 B2 JP 4532185B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- track
- disk
- pattern
- radial direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
前記転写パターンは、円周状トラックの各セクタの転写領域に、トラック幅に配置される第1のエレメントと、トラック幅の半分に配置される第2のエレメントとを有し、
前記電子ビーム描画装置は、照射する電子ビームを前記ディスクの半径方向に偏向する偏向手段と、描画部分以外は電子ビームの照射を遮断するブランキング手段とを備え、
前記ディスクを一方向に回転させつつ、前記電子ビームを前記偏向手段により1トラック分ずつ半径方向に偏向させて、ディスク1回転で1トラック分ずつ前記第1および第2のエレメントの描画を行うものであり、
前記第1のエレメントの描画は、トラック幅に相当する偏向分だけ電子ビームを照射して行う一方、前記第2のエレメントの描画は、トラック幅に相当する偏向分のうち、描画しない半トラック分の偏向は、前記ブランキング手段で電子ビームの照射を遮断し、残りの半トラックの偏向分だけ電子ビームを照射して行うことを特徴とするものである。
12 パターン
13 第1のエレメント
14 第2のエレメント
D 偏向送り
EB 電子ビーム
T トラック
X 周方向
Y ディスク半径方向
21、22 偏向手段
23 電子銃
25 アパーチャ
26 ブランキング(ブランキング手段)
40 電子ビーム描画装置
41 回転ステージ
44 スピンドルモータ
45 回転ステージユニット
49 直線移動手段
50 コントローラ
Claims (3)
- 磁気転写用マスター担体の転写パターンを、レジストが塗布され半径方向に移動可能な回転ステージに設置されたディスク上に、前記回転ステージを回転させつつ、電子ビーム描画装置より照射された電子ビームを走査することにより転写パターンを構成するエレメントの描画を行う電子ビーム描画方法であって、
前記転写パターンは、円周状トラックの各セクタの転写領域に、トラック幅に配置される第1のエレメントと、トラック幅の半分に配置される第2のエレメントとを有し、
前記電子ビーム描画装置は、照射する電子ビームを前記ディスクの半径方向に偏向する偏向手段と、描画部分以外は電子ビームの照射を遮断するブランキング手段とを備え、
前記ディスクを一方向に回転させつつ、前記電子ビームを前記偏向手段により1トラック分ずつ半径方向に偏向させて、ディスク1回転で1トラック分ずつ前記第1および第2のエレメントの描画を行うものであり、
前記第1のエレメントの描画は、トラック幅に相当する偏向分だけ電子ビームを照射して行う一方、前記第2のエレメントの描画は、トラック幅に相当する偏向分のうち、描画しない半トラック分の偏向は、前記ブランキング手段で電子ビームの照射を遮断し、残りの半トラックの偏向分だけ電子ビームを照射して行うことを特徴とする電子ビーム描画方法。 - 前記エレメントの周方向の描画長さを、前記電子ビームを前記ディスクの半径方向とほぼ直交する周方向へ高速に往復振動させる振幅で規定することを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム描画方法。
- 前記転写パターンが、バースト部を含むサーボパターンであることを特徴とする請求項1または2に記載の電子ビーム描画方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004192702A JP4532185B2 (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 電子ビーム描画方法 |
EP05013942A EP1612838A3 (en) | 2004-06-30 | 2005-06-28 | Electron beam lithography method |
US11/170,141 US7229743B2 (en) | 2004-06-30 | 2005-06-30 | Electron beam lithography method, patterned master carrier for magnetic transfer, lithography method for patterned master carrier for magnetic transfer, and method for producing performatted magnetic recording media |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004192702A JP4532185B2 (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 電子ビーム描画方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006017783A JP2006017783A (ja) | 2006-01-19 |
JP4532185B2 true JP4532185B2 (ja) | 2010-08-25 |
Family
ID=35792160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004192702A Expired - Fee Related JP4532185B2 (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 電子ビーム描画方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4532185B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4855875B2 (ja) * | 2006-09-06 | 2012-01-18 | 富士フイルム株式会社 | 電子ビーム描画装置及び電子ビームのずれ補償方法 |
JP2009170044A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Fujifilm Corp | 電子ビーム描画方法、微細パターン描画システムおよび凹凸パターン担持体 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10154218A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-06-09 | Oji Paper Co Ltd | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体の使用方法、磁気記録方法および磁気記録再生方法 |
JP2004110949A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気転写用マスター担体の作製方法 |
-
2004
- 2004-06-30 JP JP2004192702A patent/JP4532185B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10154218A (ja) * | 1996-09-30 | 1998-06-09 | Oji Paper Co Ltd | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体の使用方法、磁気記録方法および磁気記録再生方法 |
JP2004110949A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気転写用マスター担体の作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006017783A (ja) | 2006-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4109085B2 (ja) | 電子ビーム描画方法 | |
US7229743B2 (en) | Electron beam lithography method, patterned master carrier for magnetic transfer, lithography method for patterned master carrier for magnetic transfer, and method for producing performatted magnetic recording media | |
JP2009237001A (ja) | 電子ビーム描画方法、微細パターン描画システム、凹凸パターン担持体の製造方法および磁気ディスク媒体の製造方法 | |
JP2009122217A (ja) | 電子ビーム描画方法、微細パターン描画システムおよび凹凸パターン担持体 | |
US8030625B2 (en) | Electron beam writing method, fine pattern writing system, method for manufacturing uneven pattern carrying substrate, and method for manufacturing magnetic disk medium | |
US7868308B2 (en) | Electron beam writing method, fine pattern writing system, and manufacturing method of uneven pattern carrying substrate | |
US7141356B2 (en) | Electron beam lithography method | |
US7972764B2 (en) | Electron beam writing method, fine pattern writing system, method for manufacturing uneven pattern carrying substrate, and method for manufacturing magnetic disk medium | |
US20090140162A1 (en) | Electron beam writing method, fine pattern writing system, method for manufacturing uneven pattern carrying substrate, and method for manufacturing magnetic disk medium | |
JP4532185B2 (ja) | 電子ビーム描画方法 | |
JP2009186581A (ja) | 電子ビーム描画方法、微細パターン描画システム、凹凸パターン担持体の製造方法および磁気ディスク媒体の製造方法 | |
US20090184265A1 (en) | Electron beam writing method, fine pattern writing system, and manufacturing method of uneven pattern carrying substrate | |
JP2006018867A (ja) | 電子ビーム描画方法 | |
JP2004177783A (ja) | 電子ビーム描画方法 | |
JP5283410B2 (ja) | 電子ビーム描画方法、微細パターン描画システム、凹凸パターン担持体の製造方法および磁気ディスク媒体の製造方法 | |
JP2010232035A (ja) | 電子ビーム描画方法、電子ビーム描画装置、モールドの製造方法および磁気ディスク媒体の製造方法 | |
JP4842288B2 (ja) | 電子ビーム描画方法、微細パターン描画システム、凹凸パターン担持体の製造方法および磁気ディスク媒体の製造方法 | |
JP2006031828A (ja) | 磁気転写用パターンドマスター担体およびその描画方法並びにプリフォーマットされた磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2009163850A (ja) | 電子ビーム描画方法、微細パターン描画システムおよび凹凸パターン担持体 | |
JP2011090738A (ja) | 磁気転写用パターンの描画方法 | |
JP2010054671A (ja) | 電子ビーム描画方法、微細パターン描画システム、凹凸パターン担持体磁気ディスク媒体の製造方法 | |
JP2011128241A (ja) | 電子ビーム描画方法、電子ビーム描画装置、モールドの製造方法および磁気ディスク媒体の製造方法 | |
JP2007242072A (ja) | 電子ビームによるディスクリートトラックメディアの原盤描画方法、電子ビームによるディスクリートトラックメディアの原盤描画装置 | |
JP2012185880A (ja) | 電子ビーム描画方法、電子ビーム描画システム、インプリントモールドの製造方法および磁気ディスク媒体の製造方法 | |
JP2011192354A (ja) | 電子ビーム描画方法、電子ビーム描画装置、モールドの製造方法および磁気ディスク媒体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061207 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100406 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100512 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100608 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100610 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |