JP4531426B2 - Ultrasonic flow meter - Google Patents
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Description
本発明は、超音波流量計に関する。 The present invention relates to an ultrasonic flow meter.
従来、都市ガス、水などの流体の流量を計測する流量計測装置として、超音波流量計が知られている。その際の測定原理として、「伝搬時間逆数差法」が用いられる。これは、流路の流体流れ方向上手側及び下手側に一対の超音波送受信器を設け、超音波信号の送受信を交互に切り替えて、流れ方向上手側の超音波送受信器（超音波素子）から流れ方向下手側の超音波送受信器（超音波素子）に到達するまでの時間（以下、順方向到達時間という）と、流れ方向下手側の超音波送受信器から流れ方向上手側の超音波送受信器に到達するまでの時間（以下、逆方向到達時間という）とを計測して、両者の時間の逆数差から流路を流れる流体の平均流速及び流量を求める方法である。
こうした超音波流量計では、流路の圧力損失を考慮する必要がある。すなわち、高流速や大流量が計測可能な超音波流量計を考えた場合、流路の断面積を大きくする必要がある。流路断面積を大きくすると、大きな圧力損失を生じさせずに、流体を流すことが可能になるからである。 In such an ultrasonic flow meter, it is necessary to consider the pressure loss of the flow path. That is, when an ultrasonic flowmeter capable of measuring a high flow rate and a large flow rate is considered, it is necessary to increase the cross-sectional area of the flow path. This is because if the cross-sectional area of the flow path is increased, the fluid can flow without causing a large pressure loss.
しかしながら、流路断面積を大きくしたことにより、平均流速、単位断面積あたりの平均流量が小さくなる。このような構成の超音波流量計においては、低流速、小流量時の計測精度を確保することが難しい。それを補うために、超音波素子間を長くすることが考えられる。 However, by increasing the flow path cross-sectional area, the average flow velocity and the average flow rate per unit cross-sectional area are reduced. In the ultrasonic flowmeter having such a configuration, it is difficult to ensure measurement accuracy at a low flow rate and a small flow rate. In order to compensate for this, it is conceivable to lengthen the distance between the ultrasonic elements.
超音波素子間を長くすると、流路中に伝搬させる超音波が流体の流れによる流速、流量にさらされる時間が長くなるので、小流量時の計測精度を確保しやすい。しかしながら、超音波伝搬距離を長くすることに起因して、超音波流量計の大型化の問題が新たに生じてくる。 If the distance between the ultrasonic elements is increased, the time during which the ultrasonic wave propagating in the flow channel is exposed to the flow velocity and flow rate due to the flow of the fluid becomes longer, so it is easy to ensure measurement accuracy at a small flow rate. However, a problem of increasing the size of the ultrasonic flowmeter arises due to an increase in the ultrasonic propagation distance.
上記のような事情に鑑み、本発明は、コンパクトな構成でありながら高流速、大流量が計測可能であり、尚且つ小流量時の計測精度、分解能にも優れた超音波流量計を提供することを課題とする。 In view of the circumstances as described above, the present invention provides an ultrasonic flowmeter capable of measuring a high flow rate and a large flow rate while having a compact configuration, and having excellent measurement accuracy and resolution at a small flow rate. This is the issue.
上記課題を解決するために本発明は、流体が流通する流路に、流体の流れ方向上手側又は下手側に向けて超音波を発振することが可能であって、流れ方向上手側又は下手側から到来する超音波を受信することが可能な一対の対向配置された送受信器を設け、超音波がそれら送受信器間を伝搬する時間を時間計測手段にて計測し、その計測結果に基づいて流体の流量を求めるようにした超音波流量計において、一方の送受信器で発振させた超音波を、両方の送受信器で１回ずつ反射させたのち他方の送受信器で受信し、超音波が送受信器間を１往復半するときの合計伝搬時間を時間計測手段にて計測し、超音波の発振の向きが流体の流れに対して順方向及び逆方向の合計伝搬時間から流体の流量を求めることを主要な特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention is capable of oscillating ultrasonic waves in a flow path through which a fluid flows toward the upper side or the lower side in the flow direction of the fluid, Provided with a pair of opposedly arranged transceivers capable of receiving the ultrasonic waves coming from, and measuring the time during which the ultrasonic waves propagate between the transceivers with a time measuring means, and based on the measurement results, fluid In an ultrasonic flowmeter that determines the flow rate of an ultrasonic wave, the ultrasonic wave oscillated by one transmitter / receiver is reflected once by both transmitter / receivers and then received by the other transmitter / receiver. Measure the total propagation time when making one and a half strokes between them, and find the flow rate of the fluid from the total propagation time in the forward and reverse directions of the ultrasonic oscillation relative to the fluid flow. Main features.
上記本発明の超音波流量計においては、一方の送受信器（上手側送受信器）で発振させた超音波を、両方の送受信器で少なくとも１回ずつ反射させたのち他方の送受信器（下手側送受信器）で受信するようにしたものである。いったん発振された超音波は、各送受信器の持つ反射作用により、それら送受信器間を行き来することとなる。つまり、両送受信器の実質的な間隔増を伴わずに、超音波の伝搬距離を長くすることができる。したがって、大流量計測を要する場合であっても、当該超音波流量計の大型化を招来することがない。また、超音波の伝搬時間が長くなるので、小流量時の計測精度、分解能にも優れた超音波流量計を実現可能である。 In the ultrasonic flowmeter of the present invention, the ultrasonic wave oscillated by one transmitter / receiver (upper side transmitter / receiver) is reflected at least once by both transmitter / receivers and then the other transmitter / receiver (lower side transmitter / receiver). Device). Once oscillated, the ultrasonic waves travel back and forth between the transceivers due to the reflection action of each transceiver. That is, it is possible to increase the propagation distance of the ultrasonic wave without increasing the substantial interval between the two transceivers. Therefore, even when a large flow rate measurement is required, the ultrasonic flow meter is not increased in size. Further, since the propagation time of the ultrasonic wave becomes long, it is possible to realize an ultrasonic flowmeter excellent in measurement accuracy and resolution at a small flow rate.
具体的には、一方の送受信器で発振させた超音波を、両方の送受信器で１回ずつ反射させたのち他方の送受信器で受信し、超音波が送受信器間を１往復半するときの合計伝搬時間を時間計測手段にて計測する。そして、超音波の発振の向きが流体の流れに対して順方向の場合と逆方向の場合とで２通りの合計伝搬時間を求め、これらに基づいて流体の流量を求めることができる。送受信器間を超音波が１往復半するのに必要な時間を計測することとしたので、反射された超音波を受信するときの精度と、伝搬距離を長く取ることとの両立を図ることができる。なお、受信した超音波が何回の反射を経たものであるのか、あるいは発振元の送受信器から直接伝搬してきたものなのかを記憶するためのカウンタを、時間計測手段とともに設けることができる。これにより、超音波の反射回数を正確にカウントすることができる。 Specifically, the ultrasonic wave oscillated by one transmitter / receiver is reflected once by both transmitter / receivers and then received by the other transmitter / receiver. The total propagation time is measured by the time measuring means. Then, two total propagation times can be obtained for the case where the direction of the oscillation of the ultrasonic wave is forward and backward with respect to the flow of the fluid, and the flow rate of the fluid can be obtained based on these. Since the time required for the ultrasonic wave to make one and a half reciprocations between the transmitter and the receiver is measured, it is possible to achieve both the accuracy when receiving the reflected ultrasonic wave and a long propagation distance. it can. A counter for storing the number of reflections of the received ultrasonic wave or the direct propagation from the oscillation source transmitter / receiver can be provided together with the time measuring means. Thereby, the frequency | count of reflection of an ultrasonic wave can be counted correctly.
また、送受信器に超音波を発振すべき旨の信号を送信手段より出力して、実際に送受信器から超音波が発振されるまでの遅延時間と、超音波が送受信器に到達してから実際に検出回路で検出されるまでの遅延時間とを予め求めておき、流速、流量演算時においてその遅延時間を合計伝搬時間から控除（減算）することができる。すなわち、最初は、超音波送受信時に生じる遅延時間や送受信時の超音波受信波形１．５波分などを加算したオフセット時間を計測し、後で上記の合計伝搬時間から減算する。こうすることより、より正確な伝搬時間が求められるので、計測精度が向上する。 Also, a signal indicating that an ultrasonic wave should be oscillated to the transmitter / receiver is output from the transmission means, and the delay time until the ultrasonic wave is actually oscillated from the transmitter / receiver and the actual time after the ultrasonic wave reaches the transmitter / receiver The delay time until detection by the detection circuit is obtained in advance, and the delay time can be subtracted (subtracted) from the total propagation time when calculating the flow velocity and flow rate. In other words, first, an offset time obtained by adding a delay time generated during ultrasonic transmission / reception or 1.5 waves of ultrasonic reception waveform during transmission / reception is measured, and then subtracted from the total propagation time later. By doing so, a more accurate propagation time is required, so that the measurement accuracy is improved.
また、本発明の超音波流量計は、一方の送受信器で発振された超音波が、他方の送受信器で最初に受信されるまでの時間を計測および記憶するように構成することができる。この場合、その記憶した時間内は超音波受信を行なわないようにするためのマスク時間設定手段を設けることができる。すなわち、一方の送受信器で発振された超音波が、他方の送受信器に最初に達したあとは、再び超音波が反射されて戻ってくるまで、随分と時間が空く。この空き時間において、超音波受信を行なわなければ、電気的なノイズなど、外来ノイズを拾い難くなるので、誤検出の可能性が低減し、信頼性の向上を見込めるようになる。 Moreover, the ultrasonic flowmeter of the present invention can be configured to measure and store the time until the ultrasonic wave oscillated by one transceiver is first received by the other transceiver. In this case, it is possible to provide a mask time setting means for preventing ultrasonic reception during the stored time. That is, after the ultrasonic wave oscillated by one transmitter / receiver first reaches the other transmitter / receiver, it takes a long time until the ultrasonic wave is reflected and returned again. If no ultrasonic wave reception is performed in this idle time, it is difficult to pick up external noise such as electrical noise, so that the possibility of erroneous detection is reduced and reliability can be improved.
また、流体の流れ方向上手側の送受信器から発振された超音波を、流れ方向下手側の送受信器で最初に受信し、その最初に受信した超音波の振幅が予め定めた設定振幅以下である場合において、合計伝搬時間を流量演算に用いる低流速モードから、上手側の送受信器から超音波を発振して下手側の送受信器で直接に超音波を受信するまでの直接伝搬時間を流量演算に用いる高流速モードに切り替えるモード切替制御手段を設けることができる。つまり、超音波受信振幅の大小を見ることにより、今現在が低流速であるか高流速であるかをまず判断し、該判断に応じて、低流速モードで流量演算を行なうのか、高流速モードで流量演算を行なうのかを決定するようにしたのである。低流速モードでは、反射を介在させて超音波の伝搬距離を長く取ったときの、合計伝搬時間を流量演算に用いる。高流速モードでは、反射を介在しない直接伝搬時間を流量演算に用いる（つまり従来通り）。このように、流速に応じて計測モードを切り替えるようにすれば、高流速時の流量判定の迅速化が望める上、低流速時、高流速時ともに高い計測精度を得ることができるようになる。 In addition, the ultrasonic wave oscillated from the transmitter / receiver on the upper side in the fluid flow direction is first received by the transmitter / receiver on the lower side in the flow direction, and the amplitude of the first received ultrasonic wave is equal to or lower than a predetermined set amplitude. In some cases, from the low flow rate mode where the total propagation time is used for flow rate calculation, the direct propagation time from when the ultrasonic wave is oscillated from the upper transceiver to directly receiving the ultrasonic wave is used for the flow calculation. Mode switching control means for switching to the high flow rate mode to be used can be provided. In other words, it is first determined whether the current flow rate is a low flow rate or a high flow rate by looking at the magnitude of the ultrasonic reception amplitude, and whether the flow rate calculation is performed in the low flow rate mode according to the determination. In this case, it is determined whether the flow rate calculation is performed. In the low flow rate mode, the total propagation time when the propagation distance of the ultrasonic wave is made long with reflection interposed is used for the flow rate calculation. In the high flow rate mode, the direct propagation time without reflection is used for the flow rate calculation (that is, as usual). As described above, if the measurement mode is switched according to the flow velocity, it is possible to speed up the flow rate determination at the high flow velocity, and it is possible to obtain high measurement accuracy at both the low flow velocity and the high flow velocity.
もちろん、上記の逆も考え得る。すなわち、発振元を流れ方向下手側の送受信器とし、上手側の送受信器で最初に受信した超音波の振幅に応じて、低流速モードと高流速モードとの選択を行なう。ただし、モード切替の為の設定振幅については、発振元が上手側の場合と、下手側の場合とで異ならせる。なぜなら、送受信器に対する超音波駆動パルスの振幅が同じでも、超音波の発振の向きが流体の流れに対して順方向の場合と逆方向の場合とで、受信波の振幅は相違するからである。具体的には、下手側の送受信器を発振元とし上手側の送受信器で受信する場合の受信波の振幅は、その逆の場合よりも大きくなる。 Of course, the reverse is also possible. That is, the low-flow-rate mode and the high-flow-rate mode are selected according to the amplitude of the ultrasonic wave first received by the upper-side transmitter / receiver. However, the set amplitude for mode switching is different depending on whether the oscillation source is the upper side or the lower side. This is because, even if the amplitude of the ultrasonic drive pulse to the transmitter / receiver is the same, the amplitude of the received wave differs depending on whether the direction of ultrasonic oscillation is forward or reverse to the fluid flow. . Specifically, the amplitude of the received wave when the lower-side transceiver is used as the oscillation source and received by the upper-side transceiver is larger than the opposite case.
また、一方の送受信器から発振された超音波を、他方の送受信器で最初に受信したときの波形と、反射を経て戻ってきた超音波の波形とを比較する波形比較手段を設けることができる。発振元の送受信器から超音波を直接受信したときの超音波受信出力と、２回の反射を経た超音波を受信したときの超音波受信出力とを比較することは、実際には同一超音波を比較しているに他ならない。したがって、この比較結果で、大きな差異があれば正確な受信を行なえていないことになり、流路にノイズが入ったとか、回路にノイズが入ったとか、何らかの異常が生じたと考えられる。そうした場合に、再度始めから流速測定をやり直すといった処理を行なうことで、より正確な流量を求めることができるようになり、ひいては当該超音波流量計の信頼性向上に資する。なお、超音波の波形は、サンプルアンドホールド回路によってデジタル化する方法や、一定のスレッショルド電圧を持つシュミットトリガ回路を用いて２値化する方法で容易に記録できる。つまり、Ａ／Ｄ変換した波形同士を比べるのである。 Further, it is possible to provide waveform comparison means for comparing the waveform when the ultrasonic wave oscillated from one transmitter / receiver is first received by the other transmitter / receiver with the waveform of the ultrasonic wave returned through reflection. . Comparing the ultrasonic reception output when receiving ultrasonic waves directly from the transmitter / receiver and the ultrasonic reception output when receiving ultrasonic waves that have undergone two reflections is actually the same ultrasonic wave. Is nothing but comparing. Therefore, in this comparison result, if there is a large difference, accurate reception has not been performed, and it is considered that noise has entered the flow path, noise has entered the circuit, or some abnormality has occurred. In such a case, it is possible to obtain a more accurate flow rate by performing processing such as restarting the flow velocity measurement from the beginning, which contributes to improving the reliability of the ultrasonic flowmeter. The ultrasonic waveform can be easily recorded by a method of digitizing by a sample and hold circuit or a method of binarizing by using a Schmitt trigger circuit having a constant threshold voltage. That is, the A / D converted waveforms are compared.
また、一方の送受信器から発振された超音波を、他方の送受信器で最初に受信したときの超音波受信出力の増幅率と、いずれかの送受信器で反射されて戻ってきた超音波を受信したときの超音波受信出力の増幅率とを異ならせることが可能な可変増幅器を設けることができる。具体的には、マイクロコンピュータからの制御信号を受けて、増幅器のフィードバック抵抗をアナログスイッチ等のスイッチで切り替えるようにしたものを用いることができる。このような構成によれば、反射等を経ることによって超音波が減衰しても、最適な増幅率を設定できるようになるから、安定した超音波受信出力が得られる。したがって、高い計測精度を実現できるようになる。 Also, when the ultrasonic wave oscillated from one transmitter / receiver is first received by the other transmitter / receiver, the amplification factor of the ultrasonic wave reception output and the ultrasonic wave reflected and returned by either transmitter / receiver are received. It is possible to provide a variable amplifier capable of differentiating the amplification factor of the ultrasonic reception output at that time. Specifically, it is possible to use a control circuit in which a feedback signal of an amplifier is switched by a switch such as an analog switch in response to a control signal from a microcomputer. According to such a configuration, an optimum amplification factor can be set even when the ultrasonic wave is attenuated through reflection or the like, and a stable ultrasonic wave reception output can be obtained. Therefore, high measurement accuracy can be realized.
以下、添付の図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。
図１は、一般住宅用ガスメータ等として用いられる超音波流量計の一実施例の基本構成を示す。この超音波流量計１００の流量測定用の流路１には、流量測定用ガス（流体）が流れ方向軸線Ｏに沿って図示の流れ方向に流通（平均流速ｖ）している。流路１の壁部１０には、流れ方向上手側の超音波素子２ａと流れ方向下手側の超音波素子２ｂとが取り付けられている。図１に示すように、流れ方向軸線Ｏと超音波素子２ａとを含む流路断面において、超音波素子２ｂは超音波素子２ａの反対側に位置している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 shows a basic configuration of an embodiment of an ultrasonic flow meter used as a general residential gas meter or the like. A flow measurement gas (fluid) flows along the flow direction axis O in the illustrated flow direction (average flow velocity v) in the flow rate
測定用の流路１は、超音波素子２ａ−超音波素子２ｂ間において流れ方向軸線Ｏが直線状であり、軸断面の形状及び断面積が流れ方向において同一に形成されている。測定対象がガスの場合、測定用流路１の軸断面形状は壁部１０により閉鎖された空間を形成するものであればよく、例えば、円形状、楕円形状、正方形状、矩形状等のいずれを採用してもよい。本実施形態においては、図５びＡ−Ａ断面で示されるように、流路１は矩形状に形成され、流路１の流れ方向直交断面のうち一方の短辺１１ａを形成する壁面（取付面）に超音波素子２ａが取り付けられる。そして、他方の短辺１１ｂを形成する壁面に超音波素子２ｂが取り付けられる。
In the
超音波素子２ａ，２ｂは、圧電素子、振動板、電極等から構成されたトランスデューサであり、これら超音波素子２ａ，２ｂを発振させるための駆動電圧回路等から構成される送信手段２２、あるいは超音波素子２ａ，２ｂの発生電圧を検出するための電圧検出回路等から構成される受信手段３２に接続される。超音波素子２ａ，２ｂの接続先の切り替えは、アナログスイッチ等で構成される切替手段３によって行なわれる。切替手段３は、マイクロコンピュータ９によって制御される。例えば、流れ方向上手側（超音波素子２ａ側）から流れ方向下手側（超音波素子２ａ側）に向けて超音波を送信する場合には、超音波素子２ａが送信側（発振元）となるので、切替手段３は、始め、送信手段２２と超音波素子２ａとを接続し、受信手段３２と超音波素子２ｂとを接続することとなる。
The
また、超音波素子２ａ，２ｂは、流れ方向上手側又は下手側から到来する超音波を受信すると同時に、その超音波を他方の超音波素子２ａ又は２ｂに向けて反射する超音波反射器としての機能を有する。超音波素子２ａ又は２ｂで反射された超音波は、もと来た径路を逆戻りし、他方の超音波素子２ａ又は２ｂで受信される。マイクロコンピュータ９は、超音波を発振するタイミング、反射を経た超音波を受信するタイミングを見計らって切替手段３を制御し、超音波素子２ａ，２ｂの各々の接続先を、送信手段２２から受信手段３２、あるいはその逆に切り替える制御を行なう。
Further, the
なお、図１中の断面図に示すごとく超音波素子２ａ，２ｂは、互いの向かい合う端面が、壁部１０接触するような配置となっている。このようにすれば、超音波の乱反射を低減できるとともに、反射効率が向上する。
As shown in the cross-sectional view of FIG. 1, the
図１において、ガスの平均流速をｖ、ガス中を伝搬する音速をｃ、超音波の進行方向（超音波素子２ａ，２ｂを結ぶライン）とガスの流れ方向（流れ方向軸線Ｏ）とのなす角をθ、超音波素子２ａ−超音波素子２ｂ間の距離をＬ（＝Ｄ／ｃｏｓθ）とすると、超音波が距離Ｌだけ伝搬するときの順方向到達時間Ｔｄ及び逆方向到達時間Ｔｕはそれぞれ次のように表わされる。
Ｔｄ＝Ｌ／（ｃ＋ｖ・ｃｏｓθ）…（１）
Ｔｕ＝Ｌ／（ｃ−ｖ・ｃｏｓθ）…（２）
（１）、（２）式の逆数をとり、その差をとれば次式が得られる。
１／Ｔｄ−１／Ｔｕ＝２ｖ・ｃｏｓθ／Ｌ…（３）
したがって、順方向到達時間Ｔｄと逆方向到達時間Ｔｕの測定から、ガスの平均流速ｖと流量Ｑが次式により求められる。“Ａ”は流路１の断面積である。
ｖ＝（１／２Ｔｄ−１／２Ｔｕ）Ｌ／ｃｏｓθ…（４）
Ｑ＝ｖ・Ａ…（５）
このように、ガスの温度・含有成分等に依存する音速ｃを（４）式から消去することで、測定値（到達時間Ｔｄ，Ｔｕ）と一定値（Ｌ，θ）とから流速ｖが得られる利点を有している。
In FIG. 1, the average flow velocity of gas is v, the velocity of sound propagating in the gas is c, the ultrasonic traveling direction (line connecting the
Td = L / (c + v · cos θ) (1)
Tu = L / (cv · cos θ) (2)
Taking the reciprocal of equations (1) and (2) and taking the difference, the following equation is obtained.
1 /
Therefore, from the measurement of the forward arrival time Td and the reverse arrival time Tu, the average gas flow velocity v and flow rate Q are obtained by the following equations. “A” is a cross-sectional area of the
v = (1 /
Q = v · A (5)
In this way, by eliminating the sound velocity c depending on the gas temperature and the contained components from the equation (4), the flow velocity v is obtained from the measured values (arrival times Td, Tu) and the constant values (L, θ). Has the advantage of being
図１に示すごとく、超音波流量計１００には計測部として、超音波素子２ａ，２ｂにより得られる超音波受信出力を増幅する増幅器４と、後述する「ゼロクロス法」により出力波形から超音波到達時点を検出するゼロクロスポイント検出手段６と、マイクロコンピュータ９とが備えられている。マイクロコンピュータ９は、何回目の反射波を検出したのか計数および記憶するカウンタとしての機能と、超音波到達時間を計測する時間計測手段としての機能を持つ。
As shown in FIG. 1, the
増幅器４は、超音波素子２ａ，２ｂの一方で発振され他方で受信された直接受信信号を増幅する機能、超音波素子２ａ，２ｂの一方で反射され他方で受信された反射受信信号を増幅する機能を有する。この増幅器４は、直接受信信号の増幅率よりも反射受信信号の増幅率が大となるように制御可能な増幅回路によって構成される。増幅率の切り替え制御は、マイクロコンピュータ９に行なわせる。
The
また、時間計測手段としてのマイクロコンピュータ９は、超音波素子２ａ，２ｂの一方が超音波を発振してから、他方がその超音波を受信するまでの直接到達時間と、超音波素子２ａ，２ｂの一方で反射された超音波を他方が受信するまでの反射到達時間とを計測する。
Further, the
図２のブロック図に示すごとく、超音波素子２ａ、２ｂによる超音波受信出力は、増幅器４（例えばオペアンプ）で電圧増幅（例えば非反転増幅）され、増幅信号Ｖａがゼロクロスポイント検出手段６に入力される。ゼロクロスポイント検出手段６において、増幅信号Ｖａはゼロクロス型コンパレータ５１（第一コンパレータ）に入力（例えば非反転入力）され、差動型コンパレータ５２（第二コンパレータ）に入力（例えば反転入力）される。コンパレータ出力Ｖｂ，Ｖｃは、ＲＳフリップフロップ回路（以下、ＲＳＦＦ回路という）５３のポート＃Ｓ，＃Ｒへ各々入力される。ＲＳＦＦ回路５３のポート＃Ｑ出力Ｖｄにより、単安定マルチバイブレータ等で構成されるゼロクロスポイントパルス発生回路５４が出力波形Ｖａにおける超音波到達時点を検出し、ゼロクロスポイント検出信号Ｖｅを時間計測手段たるマイクロコンピュータ９に向けて出力する。マイクロコンピュータ９は、ゼロクロスポイント検出信号Ｖｅの入力によって、超音波の伝搬時間を知る。
As shown in the block diagram of FIG. 2, the ultrasonic reception output by the
次に、超音波流量計１００の作動について説明する。
まず、図３のタイムチャートに示すごとく、送信手段２２の送信信号に基づき、上手側の超音波素子２ａより流路１に超音波が発振（放射）される。超音波素子２ａで超音波が発振されてから、その超音波を下手側の超音波素子２ｂが最初に受信するまでの時間Ｔ１１は、Ｔ１１＝（Ｔｄ＋α）となる。ここで遅延時間αは、超音波素子２ｂで超音波を受信したときの超音波受信波形１．５波分（ゼロクロス検出のマージン）の時間や、超音波素子２ａを駆動してから流路１内に実際に超音波が発振されるまでの時間を含むものである。順方向到達時間Ｔｄは、上手側の超音波素子２ａから下手側の超音波素子２ｂに超音波が至るのに要する伝搬時間である。Ｔｕは逆方向到達時間である。
Next, the operation of the
First, as shown in the time chart of FIG. 3, ultrasonic waves are oscillated (radiated) from the upper
一方、超音波素子２ｂの端面では、超音波素子２ａから発振された超音波が受信と同時に反射される。その反射された超音波を１回反射超音波とする。超音波素子２ｂで超音波が反射されたのち、マイクロコンピュータ９は切替手段３を制御して、受信手投２２と超音波素子２ａとを接続する。そして、流路１を伝搬してくる１回反射超音波を超音波素子２ａで受信する。超音波素子２ｂで超音波の受信・反射が行なわれてから、１回反射超音波を超音波素子２ａが受信するまでの時間は、図３中に示すごとくＴ１２（＝Ｔｕ）となる。
On the other hand, on the end face of the
さらに、１回反射超音波を受信した超音波素子２ａの端面では、１回反射超音波が反射される。そのように２回の反射を経た超音波を２回反射超音波とする。２回反射超音波を受信するために、切替手段３が作動して、受信手段２２と超音波素子２ｂとを接続する。そして、流路１を伝搬してくる２回反射超音波を超音波素子２ｂで受信する。超音波素子２ａで１回反射超音波の受信・反射が行なわれてから、２回反射超音波を超音波素子２ｂが受信するまでの時間はＴ１３となる。これらの時間を合計した合計伝搬時間Ｔ１は、図３から直ちに理解できるよう、下記のようになる。
Ｔ１＝Ｔ１１＋Ｔ１２＋Ｔ１３
＝（Ｔｄ＋α）＋Ｔｕ＋Ｔｄ
＝２Ｔｄ＋Ｔｕ＋α…（６）
Furthermore, the reflected ultrasonic waves are reflected once at the end face of the
T1 = T11 + T12 + T13
= (Td + α) + Tu + Td
= 2Td + Tu + α (6)
合計伝搬時間Ｔ１を計測するために、何回目の反射波の受信であるかをマイクロコンピュータ９のカウンタに記憶させている。すなわち、ゼロクロスポイント検出手段６にてゼロクロスを検出すると、マイクロコンピュータ９のメモリ領域に割り当てられたカウンタを１だけカウントアップする。カウンタの値が１であれば、まだ、直接伝搬された超音波しか受信していないことになるので、２回反射超音波を検出するまで上記の動作を繰り返す。カウンタの値が「３」に達すれば、その時点までを超音波素子２ａより超音波を発振してから、超音波素子２ｂで２回反射超音波を受信するまでの時間とする。
In order to measure the total propagation time T1, the number of reflected waves received is stored in the counter of the
なお、超音波の２回反射波を検出する場合、伝搬した距離により超音波が減衰する。そのため、２回反射超音波を検出するために受信出力の増幅率を確保する必要がある。そのため、反射超音波を検出する場合には、超音波の距離減衰に比例した増幅率で超音波受信出力を受信、検出が可能となるようにする。例えば、図７に示すごとく、アナログスイッチのＯＮ／ＯＦＦによりフィードバック抵抗が変化し、２通り（複数通り）の増幅率を得られるようにした増幅器４２を好適に採用することができる。アナログスイッチのＯＮ／ＯＦＦは、マイクロコンピュータ９によって制御すればよい。図７では２通りの増幅率としているが、例えば３通りの増幅率が得られるようにすれば、段階的に大きい増幅率に切り替えていくといった制御を行なえるようになるので、よりいっそうの計測精度向上を見込める。
In addition, when detecting the reflected wave of an ultrasonic wave twice, an ultrasonic wave attenuate | damps with the propagated distance. Therefore, it is necessary to ensure the amplification factor of the reception output in order to detect the twice reflected ultrasonic wave. For this reason, when detecting reflected ultrasonic waves, it is possible to receive and detect the ultrasonic wave reception output with an amplification factor proportional to the attenuation of the ultrasonic wave distance. For example, as shown in FIG. 7, an amplifier 42 in which the feedback resistance is changed by turning on / off the analog switch and two (a plurality of) amplification factors can be obtained can be suitably employed. The on / off state of the analog switch may be controlled by the
次に、下流側の超音波素子２ｂから超音波を送信し、上手側の超音波素子２ａで２回反射超音波を受信するまでの合計伝搬時間Ｔ２を計測する。図４のタイムチャートに示すごとく、主要な動作は既に説明した通りである。すなわち、切替手段３は、始めに超音波素子２ｂを送信側とするため、送信手段２２と超音波素子２ｂとを接続し、超音波素子２ａと受信手段３２とを接続する。送信手段２２の送信信号に基づき、超音波素子２ｂより流路１に超音波が発振される。下手側の超音波素子２ｂで超音波が発振されたのち、その超音波を上手側の超音波素子２ａが最初に受信するまでの時間Ｔ２１は、Ｔ２１＝（Ｔｕ＋β）となる。遅延時間βは、超音波素子２ａで超音波を受信したときの超音波受信波形１．５波分の時間や、超音波素子２ｂを駆動してから流路１内に実際に超音波が発振されるまでの時間を含むものである。
Next, the ultrasonic wave is transmitted from the
超音波素子２ａの端面では、超音波素子２ｂより発振された超音波が受信と同時に反射される。その１回反射超音波は、再び流路１を伝搬して発振元の超音波素子２ｂで受信される。超音波素子２ａで超音波の受信・反射が行なわれてから、１回反射超音波を超音波素子２ｂが受信するまでの時間はＴ２２となる。さらに、超音波素子２ｂで１回反射超音波の受信・反射が行なわれてから、２回反射超音波を超音波素子２ａが受信するまでの時間はＴ２３となる。これらの時間を合計した合計伝搬時間Ｔ２は、次のようになる。
Ｔ２＝Ｔ２１＋Ｔ２２＋Ｔ２３
＝（Ｔｕ＋β）＋Ｔｄ＋Ｔｕ
＝Ｔｄ＋２Ｔｕ＋β…（７）
On the end face of the
T2 = T21 + T22 + T23
= (Tu + β) + Td + Tu
= Td + 2Tu + β (7)
そして、［｛２×（６）式｝−（７）式］から下記（８）式を算出する。［（６）式−｛２×（７）式｝］から下記（９）式を算出する。
２Ｔｄ＝２／３｛（２Ｔ１−Ｔ２）−（２α−β）｝…（８）
２Ｔｕ＝２／３｛（２Ｔ２−Ｔ１）−（２β−α）｝…（９）
Then, the following equation (8) is calculated from [{2 × (6) equation} − (7) equation]. The following formula (9) is calculated from [(6) formula- {2 × (7) formula}].
2Td = 2/3 {(2T1-T2)-(2α-β)} (8)
2Tu = 2/3 {(2T2-T1)-(2β-α)} (9)
ここで、α≒０，β≒０とすれば、上記（８）式及び（９）式と、前述した（４）式及び（５）式より流路１を流れるガス等の流量を求めることができる。このように、本発明の超音波流量計１００においては、反射作用によって超音波の伝搬距離を長く取ることで、流量計測精度の向上を図っている。
Here, if α≈0 and β≈0, the flow rate of the gas etc. flowing through the
なお、いっそうの流量計測精度の向上を狙う場合には、上記α及びβを予め求めておき、流量演算に組み込むようにするとよい。具体的に、上記αは、次のようにして算出できる。まず、超音波素子２ａから流路１内に超音波を発振して、他方の超音波素子２ｂが超音波を受信するまでの時間Ｔｄと、超音波素子２ｂで受信・反射してから、超音波素子２ａで受信するまでの時間Ｔｕを計測する。上記αは、超音波素子２ａを駆動したときのオフセット時間なので、α＝Ｔｄ−Ｔｕで求められる。これと同様な処理を行なえば、上記βは、β＝Ｔｕ−Ｔｄから求めることができる。こうして超音波流量計に固有のα及びβが既知となり、より正確な２Ｔｄと２Ｔｕが得られるので、流量計測精度がいっそう良好となる。
In addition, when aiming at the further improvement of flow measurement accuracy, it is preferable to obtain α and β in advance and incorporate them in the flow rate calculation. Specifically, the α can be calculated as follows. First, an ultrasonic wave is oscillated from the
本発明の超音波流量計１００には、以下に説明するいくつかの有意な機能を付加することができ、そうした場合に、さらなる計測精度向上、誤作動防止といった効果を得ることができるようになる。
The
まず、図６のブロック図に示すごとく、ある一定期間において超音波受信検出を行なわないようにするためのマスク時間設定手段５を、増幅器４とゼロクロスポイント検出手段６との間に配置することができる。マスク時間設定手段５としては、マイクロコンピュータ９によって制御されるアナログスイッチを示せる。マイクロコンピュータ９は、上手側の超音波素子２ａより超音波を発振した後、下手側の超音波素子２ｂで受信・反射されるまでの時間Ｔ１１（図３、４参照）を計測および記憶する。下手側の超音波素子２ｂが超音波を受信することにより、マイクロコンピュータ９にはゼロクロス検出信号が入力される。この入力に応じて、マイクロコンピュータ９は、記憶した時間Ｔ１１をマスク時間設定手段５に設定し、受信信号が検出される可能性が明らかに無い期間において、ノイズなどにより受信信号として検出されるのを防止する。これにより、当該超音波流量計の耐ノイズ性が高くなる。
First, as shown in the block diagram of FIG. 6, the mask time setting means 5 for preventing the ultrasonic wave reception detection in a certain period may be arranged between the
具体的には、マスク時間設定手段５として構成されるスイッチをＴ１１のあいだオフし、これにより増幅器４とゼロクロスポイント検出手段６とを遮断し、反射波の信号受信が行なわれる可能性のない期間において、超音波素子２ａ，２ｂの受信信号が、時間計測手段であるマイクロコンピュータ９に伝達されないようにすることができる。また、マスク時間設定手段５はＣＲによって構成することもでき、その場合にはＣＲの時定数をＴ１１とすることができる。
Specifically, a switch configured as the mask time setting means 5 is turned off during T11, thereby shutting off the
また、図６のブロック図に示すごとく、増幅器４の後段に、超音波素子２ａ，２ｂが受信した超音波の波形や振幅をモニタするモニタ回路７を配置することができる。具体的には、このモニタ回路７をサンプルアンドホールド回路等のＡ／Ｄ変換回路で構成すれば、超音波の波形をデジタル化してマイクロコンピュータ９のメモリに記録することができる。また、一定のスレッショルド電圧を有するシュミットトリガ回路をモニタ回路７に組み込めば、超音波の波形を２値化してマイクロコンピュータ９のメモリに記録することができる。すなわち、モニタ回路７を設けることにより、次のような機能を超音波流量計１００に付与することができるようになる。
As shown in the block diagram of FIG. 6, a
まず、流路１内に高流速、大流量が発生した場合を想定する。この場合、上手側の超音波素子２ａから超音波を発振し、下手側の超音波素子２ｂでその超音波を受信すると、超音波受信出力の振幅は、流れが無い場合の振幅に比して小さくなる。伝搬時間差法を採用した超音波流量計においては、高流速の場合には、伝搬距離が短くても流速計測精度は比較的良好である。したがって、これまで説明してきたように、超音波が素子間を１．５往復する時間を計測するべき事情が特に無いことになる。そうだとすれば、従来通り、単に片道分の伝搬時間を順方向と逆方向とで計測し、これらを流量演算に用いるようにしてよいことになる。
First, a case where a high flow rate and a large flow rate are generated in the
すなわち、マイクロコンピュータ９は、（ａ）超音波が素子間を１．５往復するのに要した合計伝搬時間を順方向と逆方向とで計測し、これらを流量演算に用いる低流速モードと、（ｂ）超音波が一方の超音波素子で発振され、他方の超音波素子に直に伝搬するのに要した片道伝搬時間を順方向と逆方向とで計測し、これらを流量演算に用いる高流速モードと、をモニタ回路７から取得する振幅データに基づいて選択する（切り替える）制御を行なう。これにより、高流速時の流量演算を簡素化でき、消費電力減に資することとなる一方、低流速時の計測精度も良好となる。好適には、通常は低流速モードで計測を行ない、超音波受信出力の振幅が一定レベル以下のときに高流速モードに切り替わるようにする。
That is, the microcomputer 9 (a) measures the total propagation time required for the ultrasonic wave to reciprocate 1.5 times between the elements in the forward direction and the reverse direction, and uses these for the flow rate calculation, (B) One-way propagation time required for ultrasonic waves to be oscillated by one ultrasonic element and propagated directly to the other ultrasonic element is measured in the forward direction and the reverse direction, and these are used for the flow rate calculation. The flow rate mode is selected (switched) based on the amplitude data acquired from the
なお、下手側の超音波素子２ｂから超音波を発振し、上手側の超音波素子２ａでその超音波を受信すると、超音波受信出力の振幅は、流れが無い場合の振幅に比して大きくなる現象が見られる場合がある。したがって、計測モード切替の閾値となる設定振幅は、何れの方向の受信波を計測モードの切替に使用するかに応じて定めることが必要である。
When an ultrasonic wave is oscillated from the
また、増幅器４の出力波形をモニタ回路７で２値化し、マイクロコンピュータ９に入力してメモリに記録する構成とすれば、次のような処理を行なうことができる。例えば、超音波素子２ａで発振され、最初に超音波素子２ｂで受信した超音波の波形を、２値化した波形データの形で記録する。同様にして、超音波素子２ｂが受信する２回反射超音波の波形データを記録する。そして、最初の受信波形と後の受信波形とが、どの程度一致するのかを調べる。振幅の大小はあるものの、最初に受信した超音波と２回反射超音波との波形は近いはずなので、通常は波形データの一致割合は高いものとなる。
Further, if the output waveform of the
しかしながら、ノイズが入る等の不具合が発生した場合、波形データの一致割合が著しく低下する。こうした知見より、波形データの比較結果が波形比較プログラムに予め設定した一致割合を下回るなど、明らかに異常を示す場合には、もう一度超音波を送信したり、異常を出力したりといったエラー処理を行なうことが可能になる。このことは、より正確な流量計測を行なうことに直結する。 However, when a problem such as noise occurs, the matching ratio of the waveform data is significantly reduced. Based on these findings, if the waveform data comparison result clearly shows an abnormality, such as being less than the preset match rate in the waveform comparison program, error processing such as sending an ultrasonic wave again or outputting an abnormality is performed. It becomes possible. This is directly connected to more accurate flow rate measurement.
また、超音波の２回反射を検出するだけでも、計測精度、計測分僻能は向上するが、それ以上に計測精度、計測分解能を確保する必要がある場合は、２回反射波を検出した後に、最初に超音波を発振した超音波素子を再び駆動して、流路１内に超音波を発振し、再度、２回反射超音波を検出し、直後に再び最初に超音波を発振した超音波素子を駆動する動作をある一定回数繰り返す制御、いわゆるシングアラウンド制御を行なうようにしてもよい。シングアラウンド制御によれば計測時間をいっそう長く取れるので、計測精度を低下させることなく比較的低精度のクロックを用いることができる。したがって、部品コスト等の面で有利である。
Moreover, even if it detects only the reflection of the ultrasonic wave twice, the measurement accuracy and the measurement distribution ability are improved, but when it is necessary to secure the measurement accuracy and measurement resolution more than that, the reflected wave was detected twice. Later, the ultrasonic element that first oscillated the ultrasonic wave was driven again, the ultrasonic wave was oscillated in the
１ 流路
２ａ 超音波素子（上手側送受信器）
２ｂ 超音波素子（下手側送受信器）
３ 切替手段
４ 増幅器
５ マスク時間設定手段
９ マイクロコンピュータ（カウンタ、時間計測手段、波形比較手段）
１００ 超音波流量計
1 Flow
2b Ultrasonic element (Lower side transceiver)
3 switching means 4
100 Ultrasonic flow meter
Claims (5)
を時間計測手段にて計測し、その計測結果に基づいて前記流体の流量を求めるようにした超音波流量計において、
一方の前記送受信器で発振させた超音波を、両方の前記送受信器で１回ずつ反射させたのち他方の前記送受信器で受信し、超音波が前記送受信器間を１往復半するときの合計伝搬時間を前記時間計測手段にて計測し、
超音波の発振の向きが前記流体の流れに対して順方向及び逆方向の前記合計伝搬時間から前記流体の流量を求めることを特徴とする超音波流量計。 It is possible to oscillate ultrasonic waves toward the upper or lower flow direction of the fluid in the flow path through which the fluid flows, and to receive ultrasonic waves coming from the upper or lower flow direction. An ultrasonic wave provided with a pair of possible transmitters and receivers arranged opposite to each other, and the time during which the ultrasonic wave propagates between the transmitters and receivers is measured by time measuring means , and the flow rate of the fluid is obtained based on the measurement result In the flow meter,
The total when the ultrasonic wave oscillated by one of the transceivers is reflected once by both the transceivers and then received by the other transceiver, and the ultrasonic waves make a round trip between the transceivers. Measure the propagation time with the time measuring means,
Ultrasonic flow meter, characterized by determining the flow rate of the fluid from the total propagation time of forward and backward relative to the direction of oscillation of the ultrasonic flow of the fluid.
その記憶した時間内は超音波受信検出を行なわないようにするためのマスク時間設定手段を備えた請求項１に記載の超音波流量計。 The ultrasonic wave oscillated by one of the transceivers is configured to measure and store the time until it is first received by the other transceiver.
2. The ultrasonic flowmeter according to claim 1 , further comprising a mask time setting means for preventing ultrasonic reception detection during the stored time.
前記合計伝搬時間を流量演算に用いる低流速モードから、上手側の前記送受信器から超音波を発振して下手側の前記送受信器で直接に超音波を受信するまでの直接伝搬時間を流量演算に用いる高流速モードに切り替えるモード切替制御手段を備えた請求項１に記載の超音波流量計。 The ultrasonic wave oscillated from the transmitter / receiver on the upper side in the fluid flow direction is first received by the transmitter / receiver on the lower side in the flow direction, and the amplitude of the first received ultrasonic wave is equal to or lower than a predetermined set amplitude. In some cases,
From the low flow rate mode in which the total propagation time is used for the flow rate calculation, the direct propagation time until the ultrasonic wave is directly received by the lower-side transmitter / receiver and the ultrasonic wave is directly received by the lower-side transmitter / receiver is used for the flow rate calculation. ultrasonic flowmeter according to claim 1, further comprising a mode switching control means for switching the high-flow mode with.
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Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
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Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000249691A (en) * | 1999-03-03 | 2000-09-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Gas concentration sensor |
| JP2002318145A (en) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Flow meter |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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