JP4529794B2 - 気体浮上搬送装置 - Google Patents
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Description
このようなエア浮上搬送装置50としては、例えば、図5に示すように、平板基板51の搬送方向に沿って複数配置されたエア浮上ユニット52と、浮上した平板基板51を送り出す送出機構(図示略)とを備えるものがある。ここで、エア浮上ユニット52は、供給された加圧エアを噴射する噴出部53を備えており、噴出部53からエアを噴射することで平板基板51を搬送面54から浮上させて非接触状態とする。そして、搬送面54から浮上した平板基板51は、送出機構によって搬送方向に沿って送り出される。
本実施形態におけるエア浮上搬送装置(気体浮上搬送装置)1は、例えば、半導体基板や液晶基板などのような薄板状の平板基板(被搬送体)2の下面に気体としてエアを噴き当てることによってエア浮上搬送装置1に対して非接触で平板基板2を搬送する搬送装置である。
そして、搬送面4は、送出端4Aが受取端4Bよりも鉛直方向における高さが図1に示すL2だけ高くなるように、水平面に対して傾斜するように設けられている。したがって、平板基板2は、搬送面4に沿って傾斜面を上るように搬送される。また、搬送面4の送出端4Aの高さは、搬送方向前方に隣り合うように配置されたエア浮上ユニット3の受取端4Bの高さよりも、L2だけ高くなっている。ここで、送出端4Aと受取端4Bとの鉛直方向での高さの差であるL2は、平板基板2の撓み量であるL1よりも大きい値となっている。
凹部11は、底面12が上面視でほぼ円形状であり、この凹部11の内周面が搬送面4に対してほぼ垂直方向となっている。
連通孔13は、断面円形の貫通孔であって、その中心軸が底面12の中心軸とほぼ合致するように形成されている。そして、各連通孔13にエア供給経路7から送り出されたエアは、連通孔13の搬送面4側の開口端13Aから噴出される。
開口端13Aからのエアの噴射方向に平板基板2が存在している場合には、エアが開口端13Aから平板基板2の下面に噴き当たるようにして搬送面4と平板基板2との間の隙間5に流入する。このようにして、平板基板2を搬送面4に対して非接触状態で浮上させる。
ここで、平板基板2を複数のエア浮上ユニット3の上方に搬送していくと、搬送方向で隣り合うように配置された2つのエア浮上ユニット3の間には噴出部6が設けられていないので、図1に示すように、平板基板2がその自重によって鉛直方向下方に撓む。しかし、搬送方向で隣り合うように配置された2つのエア浮上ユニット3のうち、搬送方向後方に配置されたエア浮上ユニット3の送出端4Aの高さが他方のエア浮上ユニット3の受取端4Bの高さよりも、平板基板2の撓み量L1よりも大きいL2だけ高くなっている。すなわち、平板基板2は、複数のエア浮上ユニット3上に配置されても、搬送面4に接触することがない。
その後、上述した送出機構によって、搬送方向に沿って順に図1に示す矢印A方向に平板基板2を搬送する。
第2の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、第1の実施形態では搬送面4が水平面に対して傾斜するように設けられているのに対し、第2の実施形態におけるエア浮上搬送装置30では、エア浮上ユニット3の搬送面4が水平面と平行になっている点である。
なお、本実施形態においても、上述した第1の実施形態と同様に、平板基板2の撓み量に応じて一方のエア浮上ユニット3の送出端4Aと他方のエア浮上ユニット3の受取端4Bとの高さの差を適宜変更してもよい。
第3の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、第1の実施形態におけるエア浮上搬送装置1ではエア浮上ユニット3の搬送面4が水平面に対して傾斜するように固定して設けられているのに対し、第3の実施形態におけるエア浮上搬送装置40では、エア浮上ユニット3が搬送面4の水平面に対する傾斜角及び水平面からの高さを可変とする調整装置41上に設けられている点である。
例えば、上記実施形態では、噴出する気体としてエアを用いたが、他の気体であってもよい。
また、被搬送体としては、薄板状の平板基板に限らず、可撓性のないものであってもよい。
また、第1から第3の実施形態におけるエア浮上ユニットを複数組み合わせた構成としてもよい。すなわち、搬送面4が水平面と平行であるエア浮上ユニットと、搬送面4が水平面に対して傾斜しているエア浮上ユニットと、調整装置41を備えるエア浮上ユニットとを適宜組み合わせた構成としてもよい。
また、噴出部6の連通孔13の中心軸が搬送面4に対して垂直となるように形成されているが、搬送面4に対して搬送方向後方に向くように形成するなど、適宜変更してもよい。さらに、連通孔13の形状も適宜変更してもよい。
また、噴出部6の凹部11の中心軸が搬送面4に対して垂直となるように形成されているが、上述した連通孔13と同様に、搬送面4に対して搬送方向後方に向くように形成するなど、適宜変更してもよい。さらに、凹部11の形状も適宜変更してもよい。
2 平板基板(被搬送体)
3 エア浮上ユニット
4 搬送面
4A 送出端(送出部)
4B 受取端(受取部)
Claims (2)
- 被搬送体に対して気体を噴射して搬送面から前記被搬送体を浮上させる気体浮上ユニットを少なくとも3つ連設し、前記気体浮上ユニットの前記搬送面の搬送方向後方に形成された受取部で前記被搬送体を受け取り、前記搬送面の前記搬送方向前方に形成された送出部から前記被搬送体を送り出しながら、該被搬送体を前記搬送面に対して非接触状態で順次搬送する気体浮上搬送装置において、
前記気体浮上ユニットの少なくとも1つは、前記送出部が前記受取部より鉛直方向で高くなるように、前記搬送面が水平面に対して傾斜して設けられ、
搬送方向に沿って隣り合うように配置された2つの前記気体浮上ユニットのうち、前記搬送方向後方側の一方の前記気体浮上ユニットの前記送出部が、他方の前記気体浮上ユニットの前記受取部よりも高い位置にあることを特徴とする気体浮上搬送装置。 - 前記気体浮上ユニットの前記送出部及び前記受取部の高さをそれぞれ変更可能な調整装置を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の気体浮上搬送装置。
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