JP4529433B2 - Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method - Google Patents

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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Description

本発明は、投影光学系の像面側を局所的に液体で満たした状態で投影光学系によって投影したパターンの像で露光する露光装置及び露光方法、この露光装置を用いるデバイス製造方法に関するものである。   The present invention relates to an exposure apparatus and an exposure method for exposing with an image of a pattern projected by a projection optical system in a state where an image plane side of the projection optical system is locally filled with a liquid, and a device manufacturing method using the exposure apparatus. is there.

半導体デバイスや液晶表示デバイスは、マスク上に形成されたパターンを感光性の基板上に転写する、いわゆるフォトリソグラフィの手法により製造される。このフォトリソグラフィ工程で使用される露光装置は、マスクを支持するマスクステージと基板を支持する基板ステージとを有し、マスクステージ及び基板ステージを逐次移動しながらマスクのパターンを投影光学系を介して基板に転写するものである。近年、デバイスパターンのより一層の高集積化に対応するために投影光学系の更なる高解像度化が望まれている。投影光学系の解像度は、使用する露光波長が短くなるほど、また投影光学系の開口数が大きいほど高くなる。そのため、露光装置で使用される露光波長は年々短波長化しており、投影光学系の開口数も増大している。そして、現在主流の露光波長は、ＫｒＦエキシマレーザの２４８ｎｍであるが、更に短波長のＡｒＦエキシマレーザの１９３ｎｍも実用化されつつある。また、露光を行う際には、解像度と同様に焦点深度（ＤＯＦ）も重要となる。解像度Ｒ、及び焦点深度δはそれぞれ以下の式で表される。   Semiconductor devices and liquid crystal display devices are manufactured by a so-called photolithography technique in which a pattern formed on a mask is transferred onto a photosensitive substrate. An exposure apparatus used in this photolithography process has a mask stage for supporting a mask and a substrate stage for supporting a substrate, and a mask pattern is transferred via a projection optical system while sequentially moving the mask stage and the substrate stage. It is transferred to the substrate. In recent years, in order to cope with higher integration of device patterns, higher resolution of the projection optical system is desired. The resolution of the projection optical system becomes higher as the exposure wavelength used becomes shorter and the numerical aperture of the projection optical system becomes larger. Therefore, the exposure wavelength used in the exposure apparatus is shortened year by year, and the numerical aperture of the projection optical system is also increasing. The mainstream exposure wavelength is 248 nm of the KrF excimer laser, but the 193 nm of the shorter wavelength ArF excimer laser is also being put into practical use. Also, when performing exposure, the depth of focus (DOF) is important as well as the resolution. The resolution R and the depth of focus δ are each expressed by the following equations.

Ｒ＝ｋ１・λ／ＮＡ … （１）
δ＝±ｋ２・λ／ＮＡ２ … （２）
ここで、λは露光波長、ＮＡは投影光学系の開口数、ｋ１、ｋ２はプロセス係数である。（１）式、（２）式より、解像度Ｒを高めるために、露光波長λを短くして、開口数ＮＡを大きくすると、焦点深度δが狭くなることが分かる。 R = k 1 · λ / NA (1)
δ = ± k 2 · λ / NA 2 (2)
Here, λ is the exposure wavelength, NA is the numerical aperture of the projection optical system, and k 1 and k 2 are process coefficients. From the equations (1) and (2), it can be seen that the depth of focus δ becomes narrower when the exposure wavelength λ is shortened and the numerical aperture NA is increased in order to increase the resolution R.

焦点深度δが狭くなり過ぎると、投影光学系の像面に対して基板表面を合致させることが困難となり、露光動作時のフォーカスマージンが不足する恐れがある。そこで、実質的に露光波長を短くして、且つ焦点深度を広くする方法として、例えば国際公開第９９／４９５０４号公報に開示されている液浸法が提案されている。この液浸法は、投影光学系の下面と基板表面との間を水や有機溶媒等の液体で満たし、液体中での露光光の波長が、空気中の１／ｎ（ｎは液体の屈折率で通常１．２〜１．６程度）になることを利用して解像度を向上するとともに、焦点深度を約ｎ倍に拡大するというものである。
国際公開第９９／４９５０４号パンフレット If the depth of focus δ becomes too narrow, it becomes difficult to match the substrate surface with the image plane of the projection optical system, and the focus margin during the exposure operation may be insufficient. Therefore, as a method for substantially shortening the exposure wavelength and increasing the depth of focus, for example, an immersion method disclosed in International Publication No. 99/49504 has been proposed. In this immersion method, the space between the lower surface of the projection optical system and the substrate surface is filled with a liquid such as water or an organic solvent, and the wavelength of the exposure light in the liquid is 1 / n (n is the refractive index of the liquid). The resolution is improved by utilizing the fact that the ratio is usually about 1.2 to 1.6), and the depth of focus is expanded about n times.
International Publication No. 99/49504 Pamphlet

ところで、上記従来技術には以下に述べる問題が存在する。上記従来技術は、投影光学系の像面側の下面と基板（ウエハ）との間を局所的に液体で満たす構成であり、基板の中央付近のショット領域を露光する場合には液体の基板外側への流出は生じない。しかしながら、図１４に示す模式図のように、基板Ｐの周辺領域（エッジ領域）Ｅを投影光学系の投影領域１００に移動して、この基板Ｐのエッジ領域Ｅを露光しようとすると、液体は基板Ｐの外側へ流出してしまう。この流出した液体を放置しておくと、基板Ｐがおかれている環境（湿度など）の変動をもたらし、基板Ｐを保持する基板ステージ位置情報を計測する干渉計の光路上や各種光学的検出装置の検出光の光路上の屈折率の変化を引き起こすなど、所望のパターン転写精度を得られなくなるおそれが生じる。更に、流出した液体により、基板Ｐを支持する基板ステージ周辺の機械部品などに錆びを生じさせるなどの不都合も生じる。基板Ｐのエッジ領域Ｅを露光しないことにより液体を流出させないようにすることも考えられるが、エッジ領域Ｅにも露光処理を施してパターンを形成しておかないと、後工程である例えばＣＭＰ（化学的機械的研磨）処理時において、ＣＭＰ装置の研磨面に対してウエハである基板Ｐが片当たりして良好に研磨できないという別の問題が生じる。更に、流出した液体が、真空系（吸気系）の管内に浸入してしまうと、真空源となる真空ポンプなどが破損したり、故障したりするおそれもあった。   By the way, the above-described prior art has the following problems. The above prior art has a configuration in which the space between the lower surface on the image plane side of the projection optical system and the substrate (wafer) is locally filled with liquid, and when exposing a shot region near the center of the substrate, the outside of the liquid substrate There will be no spillage. However, as shown in the schematic diagram of FIG. 14, when the peripheral region (edge region) E of the substrate P is moved to the projection region 100 of the projection optical system and the edge region E of the substrate P is exposed, the liquid is It will flow out of the substrate P. If the spilled liquid is left unattended, the environment (humidity, etc.) in which the substrate P is placed changes, and the optical path of the interferometer that measures the position information of the substrate stage holding the substrate P and various optical detections. This may cause a change in the refractive index on the optical path of the detection light of the apparatus, resulting in failure to obtain desired pattern transfer accuracy. Furthermore, the outflowed liquid also causes inconveniences such as rusting on machine parts around the substrate stage that supports the substrate P. Although it is conceivable to prevent the liquid from flowing out by not exposing the edge region E of the substrate P, if the edge region E is not subjected to an exposure process to form a pattern, a subsequent process such as CMP ( During the chemical mechanical polishing process, another problem arises in that the substrate P, which is a wafer, hits the polishing surface of the CMP apparatus and cannot be polished well. Furthermore, if the liquid that has flowed out enters the vacuum system (intake system) pipe, the vacuum pump or the like serving as a vacuum source may be damaged or broken.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、投影光学系と基板との間を液体を満たして露光処理する場合において、精度良くパターン転写できる露光装置及び露光方法、並びにこの露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances. An exposure apparatus and an exposure method capable of accurately transferring a pattern in the case where an exposure process is performed by filling a liquid between a projection optical system and a substrate, and the exposure. An object of the present invention is to provide a device manufacturing method using an apparatus.

上記の課題を解決するため、本発明は実施の形態に示す図１〜図１３に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定する意図は無い。   In order to solve the above-described problems, the present invention adopts the following configuration corresponding to FIGS. 1 to 13 shown in the embodiment. However, the reference numerals with parentheses attached to each element are merely examples of the element, and there is no intention to limit each element.

本発明の第１の態様に従えば、パターンの像を液体（５０）を介して基板（Ｐ）上に転写して基板を露光する露光装置であって、
パターンの像を基板に投影する投影光学系（ＰＬ）と、
前記基板の外側に流出した液体を回収する回収装置（２０）を備える露光装置（ＥＸ）が提供される。 According to a first aspect of the present invention, there is provided an exposure apparatus for transferring a pattern image onto a substrate (P) through a liquid (50) to expose the substrate.
A projection optical system (PL) that projects an image of the pattern onto the substrate;
An exposure apparatus (EX) provided with a recovery apparatus (20) for recovering the liquid that has flowed out of the substrate is provided.

本発明によれば、基板の外側に液体が流出しても、この流出した液体は放置されずに回収装置で回収される。したがって、基板のおかれている環境の変動が抑えられるとともに、基板を支持する基板ステージ周辺の機械部品に錆びなどが発生するといった不都合の発生も抑えられるので、基板に対して精度良くパターン転写でき、高いパターン精度を有するデバイスを製造することができる。   According to the present invention, even if the liquid flows out to the outside of the substrate, the liquid that has flowed out is not left and is collected by the collecting device. Therefore, fluctuations in the environment in which the substrate is placed can be suppressed, and inconveniences such as rusting on the mechanical parts around the substrate stage that support the substrate can also be suppressed. A device having high pattern accuracy can be manufactured.

本発明の第２の態様に従えば、パターンの像を液体（５０）を介して基板上に転写して基板を露光する露光装置であって、
パターンの像を基板に投影する投影光学系（ＰＬ）と、
前記基板の上方から液体を供給する液体供給機構（１）と、
前記液体供給機構（１）から供給された液体を回収する回収装置（２０）とを備え、
前記回収装置は、前記基板の上方から液体の回収をしない露光装置（ＥＸ）が提供される。 According to a second aspect of the present invention, there is provided an exposure apparatus for exposing a substrate by transferring an image of a pattern onto the substrate via a liquid (50),
A projection optical system (PL) that projects an image of the pattern onto the substrate;
A liquid supply mechanism (1) for supplying a liquid from above the substrate;
A recovery device (20) for recovering the liquid supplied from the liquid supply mechanism (1),
The recovery apparatus is provided with an exposure apparatus (EX) that does not recover liquid from above the substrate.

本発明によれば、基板の上方からでなくても液体を回収（吸引）を行うことができる。それゆえ、基板の露光中に音や振動が発生するのを防止できる。また、基板の外側に流出した液体は回収装置によって回収されるので、基板の置かれている環境の変動や機械部品の錆び等の発生を防止することができる。したがって、基板に精度良くパターンを形成することができ、高いパターン精度を有するデバイスを製造することができる。   According to the present invention, the liquid can be collected (sucked) without being from above the substrate. Therefore, it is possible to prevent the generation of sound and vibration during the exposure of the substrate. In addition, since the liquid flowing out of the substrate is recovered by the recovery device, it is possible to prevent the environment in which the substrate is placed and the occurrence of rusting of machine parts. Accordingly, a pattern can be formed on the substrate with high accuracy, and a device having high pattern accuracy can be manufactured.

本発明の第３の態様に従えば、パターンの像を液体（５０）を介して基板（Ｐ）上に転写して基板を露光する露光装置であって、
パターンの像を基板に投影する投影光学系（ＰＬ）と、
吸気口を有する吸気系（２４，３２，３３）と、
該吸気口から吸引された液体を回収する回収装置とを備える露光装置（ＥＸ）が提供される。 According to a third aspect of the present invention, there is provided an exposure apparatus for transferring a pattern image onto a substrate (P) through a liquid (50) to expose the substrate.
A projection optical system (PL) that projects an image of the pattern onto the substrate;
An intake system (24, 32, 33) having an intake port;
An exposure apparatus (EX) is provided that includes a recovery device that recovers the liquid sucked from the intake port.

本発明によれば、例えば液体が流出して、吸気系の吸気口に液体が流入しても、その液体が回収され、その吸気の源としての真空源への液体の浸入が防止される。それゆえ、液浸露光を行っても、吸気系の機能が保証され、確実に基板を高精度なパターンで露光してデバイスを製造することができる。   According to the present invention, for example, even if the liquid flows out and flows into the intake port of the intake system, the liquid is recovered and the liquid is prevented from entering the vacuum source as the source of the intake air. Therefore, even if immersion exposure is performed, the function of the intake system is guaranteed, and the device can be manufactured by reliably exposing the substrate with a highly accurate pattern.

本発明の第４の態様に従えば、パターンの像を液体（５０）を介して基板（Ｐ）上に転写して基板を露光する露光装置であって、
パターンの像を基板に投影する投影光学系（ＰＬ）と、
前記基板を保持する基板ステージ（ＰＳＴ）と、
前記基板ステージに少なくとも一部が設けられ、液体を回収する回収装置（２０）とを備える露光装置が提供される。本発明の露光装置は、基板の置かれている環境の変動や機械部品の錆び等の発生を防止することができる。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an exposure apparatus for transferring a pattern image onto a substrate (P) through a liquid (50) to expose the substrate.
A projection optical system (PL) that projects an image of the pattern onto the substrate;
A substrate stage (PST) for holding the substrate;
There is provided an exposure apparatus provided with at least a part of the substrate stage and a recovery device (20) for recovering a liquid. The exposure apparatus of the present invention can prevent the environment in which the substrate is placed and the occurrence of rusting of machine parts.

本発明の第５の態様に従えば、投影光学系により所定パターンの像を基板上に転写することで基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系と前記基板との間に液体を基板の上方から供給することと、
前記供給された液体を、基板の外側で且つ基板より低い位置から回収することと、本発明の露光方法では、液浸露光を行う際に、液体を基板の上方から供給するとともに基板の保持位置よりの下方から液体を回収するので、基板の露光中に音や振動が発生するのを有効に防止することができる。
前記液体の供給及び回収が行われている間に前記基板を露光することとを含む露光方法が提供される。 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an exposure method for exposing a substrate by transferring an image of a predetermined pattern onto the substrate by a projection optical system,
Supplying a liquid from above the substrate between the projection optical system and the substrate;
In the exposure method according to the present invention, the supplied liquid is recovered from a position outside the substrate and lower than the substrate, and when performing immersion exposure, the liquid is supplied from above the substrate and the holding position of the substrate. Since the liquid is recovered from below, it is possible to effectively prevent the generation of sound and vibration during the exposure of the substrate.
Exposing the substrate while the liquid is being supplied and recovered.

本発明では、さらに、上記第１〜４のいずれかの態様の露光装置（ＥＸ）を用いるデバイス製造方法が提供される。   The present invention further provides a device manufacturing method using the exposure apparatus (EX) according to any one of the first to fourth aspects.

本発明によれば、液体が流出してもこの流出した液体は放置されずに回収装置で回収される。したがって、流出した液体に起因する不都合を防止することができ、高いパターン精度を有するデバイスを製造することができる。   According to the present invention, even if the liquid flows out, the liquid that has flowed out is not left and is collected by the collecting device. Therefore, inconvenience due to the liquid that has flowed out can be prevented, and a device having high pattern accuracy can be manufactured.

以下、本発明の露光装置及びデバイス製造方法について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。図１は本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成図である。   Hereinafter, the exposure apparatus and device manufacturing method of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto. FIG. 1 is a schematic block diagram showing an embodiment of the exposure apparatus of the present invention.

第１実施形態
図１において、露光装置ＥＸは、マスクＭを支持するマスクステージＭＳＴと、基板Ｐを支持する基板ステージＰＳＴと、マスクステージＭＳＴに支持されているマスクＭを露光光ＥＬで照明する照明光学系ＩＬと、露光光ＥＬで照明されたマスクＭのパターンの像を基板ステージＰＳＴに支持されている基板Ｐに投影露光する投影光学系ＰＬと、基板Ｐ上に液体５０を供給する液体供給装置１と、基板Ｐの外側に流出した液体５０を回収する回収装置２０と、露光装置ＥＸ全体の動作を統括制御する制御装置ＣＯＮＴとを備えている。 First Embodiment In FIG. 1, an exposure apparatus EX illuminates a mask stage MST for supporting a mask M, a substrate stage PST for supporting a substrate P, and a mask M supported by the mask stage MST with exposure light EL. Illumination optical system IL, projection optical system PL that projects and exposes an image of the pattern of mask M illuminated by exposure light EL onto substrate P supported by substrate stage PST, and liquid that supplies liquid 50 onto substrate P A supply apparatus 1, a recovery apparatus 20 that recovers the liquid 50 that has flowed out of the substrate P, and a control apparatus CONT that controls the overall operation of the exposure apparatus EX are provided.

ここで、本実施形態では、露光装置ＥＸとしてマスクＭと基板Ｐとを走査方向における互いに異なる向き（逆方向）に同期移動しつつマスクＭに形成されたパターンを基板Ｐに露光する走査型露光装置（所謂スキャニングステッパ）を使用する場合を例にして説明する。以下の説明において、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸと一致する方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向に垂直な平面内でマスクＭと基板Ｐとの同期移動方向（走査方向）をＸ軸方向、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に垂直な方向（非走査方向）をＹ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわり方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。なお、ここでいう「基板」は半導体ウエハ上にレジストを塗布したものを含み、「マスク」は基板上に縮小投影されるデバイスパターンを形成されたレチクルを含む。   Here, in the present embodiment, as the exposure apparatus EX, scanning exposure is performed in which the pattern formed on the mask M is exposed to the substrate P while the mask M and the substrate P are synchronously moved in different directions (reverse directions) in the scanning direction. A case where an apparatus (so-called scanning stepper) is used will be described as an example. In the following description, the direction that coincides with the optical axis AX of the projection optical system PL is the Z-axis direction, the synchronous movement direction (scanning direction) between the mask M and the substrate P in the plane perpendicular to the Z-axis direction is the X-axis direction, A direction (non-scanning direction) perpendicular to the Z-axis direction and the Y-axis direction is defined as a Y-axis direction. Further, the directions around the X axis, the Y axis, and the Z axis are defined as θX, θY, and θZ directions, respectively. Here, the “substrate” includes a semiconductor wafer coated with a resist, and the “mask” includes a reticle on which a device pattern to be reduced and projected on the substrate is formed.

照明光学系ＩＬは、マスクステージＭＳＴに支持されているマスクＭを露光光ＥＬで照明するものであり、露光用光源、露光用光源から射出された光束の照度を均一化するオプティカルインテグレータ、オプティカルインテグレータからの露光光ＥＬを集光するコンデンサレンズ、リレーレンズ系、露光光ＥＬによるマスクＭ上の照明領域をスリット状に設定する可変視野絞り等を有している。マスクＭ上の所定の照明領域は照明光学系ＩＬにより均一な照度分布の露光光ＥＬで照明される。照明光学系ＩＬから射出される露光光ＥＬとしては、例えば水銀ランプから射出される紫外域の輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）及びＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）等の遠紫外光（ＤＵＶ光）や、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）及びＦ２レーザ光（波長１５７ｎｍ）等の真空紫外光（ＶＵＶ光）などが用いられる。本実施形態ではＡｒＦエキシマレーザ光を用いている。 The illumination optical system IL illuminates the mask M supported by the mask stage MST with the exposure light EL, and the exposure light source, and an optical integrator and an optical integrator for uniformizing the illuminance of the light beam emitted from the exposure light source A condenser lens that collects the exposure light EL from the light source, a relay lens system, a variable field stop that sets the illumination area on the mask M by the exposure light EL in a slit shape, and the like. A predetermined illumination area on the mask M is illuminated with the exposure light EL having a uniform illuminance distribution by the illumination optical system IL. As the exposure light EL emitted from the illumination optical system IL, for example, far ultraviolet light (g-line, h-line, i-line) and KrF excimer laser light (wavelength 248 nm) emitted from a mercury lamp (e.g. DUV light), vacuum ultraviolet light (VUV light) such as ArF excimer laser light (wavelength 193 nm) and F 2 laser light (wavelength 157 nm), or the like is used. In this embodiment, ArF excimer laser light is used.

マスクステージＭＳＴは、マスクＭを支持するものであって、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸに垂直な平面内、すなわちＸＹ平面内で２次元移動可能及びθＺ方向に微小回転可能である。マスクステージＭＳＴはリニアモータ等のマスクステージ駆動装置ＭＳＴＤにより駆動される。マスクステージ駆動装置ＭＳＴＤは制御装置ＣＯＮＴにより制御される。マスクステージＭＳＴ上のマスクＭの２次元方向の位置、及び回転角はレーザ干渉計によりリアルタイムで計測され、計測結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。制御装置ＣＯＮＴはレーザ干渉計の計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置ＭＳＴＤを駆動することでマスクステージＭＳＴに支持されているマスクＭの位置決めを行う。   The mask stage MST supports the mask M, and can move two-dimensionally in a plane perpendicular to the optical axis AX of the projection optical system PL, that is, in the XY plane, and can be slightly rotated in the θZ direction. The mask stage MST is driven by a mask stage driving device MSTD such as a linear motor. The mask stage driving device MSTD is controlled by the control device CONT. The two-dimensional position and rotation angle of the mask M on the mask stage MST are measured in real time by the laser interferometer, and the measurement result is output to the control device CONT. The control device CONT drives the mask stage driving device MSTD based on the measurement result of the laser interferometer, thereby positioning the mask M supported on the mask stage MST.

投影光学系ＰＬは、マスクＭのパターンを所定の投影倍率βで基板Ｐに投影露光するものであって、複数の光学素子（レンズ）で構成されており、これら光学素子は金属部材としての鏡筒ＰＫで支持されている。本実施形態において、投影光学系ＰＬは、投影倍率βが例えば１／４あるいは１／５の縮小系である。なお、投影光学系ＰＬは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。また、本実施形態の投影光学系ＰＬの先端側（基板Ｐ側）には、光学素子（レンズ）６０が鏡筒ＰＫより露出している。この光学素子６０は鏡筒ＰＫに対して着脱（交換）可能に設けられている。   The projection optical system PL projects and exposes the pattern of the mask M onto the substrate P at a predetermined projection magnification β, and is composed of a plurality of optical elements (lenses). These optical elements are mirrors as metal members. It is supported by the cylinder PK. In the present embodiment, the projection optical system PL is a reduction system having a projection magnification β of, for example, 1/4 or 1/5. Note that the projection optical system PL may be either an equal magnification system or an enlargement system. Further, the optical element (lens) 60 is exposed from the lens barrel PK on the front end side (substrate P side) of the projection optical system PL of the present embodiment. This optical element 60 is detachably (replaceable) with respect to the lens barrel PK.

基板ステージＰＳＴは、基板Ｐを支持するものであって、基板Ｐを基板ホルダを介して保持するＺステージ５１と、Ｚステージ５１を支持するＸＹステージ５２と、ＸＹステージ５２を支持するベース５３とを備えている。基板ステージＰＳＴはリニアモータ等の基板ステージ駆動装置ＰＳＴＤにより駆動される。基板ステージ駆動装置ＰＳＴＤは制御装置ＣＯＮＴにより制御される。Ｚステージ５１を駆動することにより、Ｚステージ５１に保持されている基板ＰのＺ軸方向における位置（フォーカス位置）、及びθＸ、θＹ方向における位置が制御される。また、ＸＹステージ５２を駆動することにより、基板ＰのＸＹ方向における位置（投影光学系ＰＬの像面と実質的に平行な方向の位置）が制御される。すなわち、Ｚステージ５１は、基板Ｐのフォーカス位置及び傾斜角を制御して基板Ｐの表面をオートフォーカス方式、及びオートレベリング方式で投影光学系ＰＬの像面に合わせ込み、ＸＹステージ５２は基板ＰのＸ軸方向及びＹ軸方向における位置決めを行う。なお、ＺステージとＸＹステージとを一体的に設けてよいことは言うまでもない。   The substrate stage PST supports the substrate P, and includes a Z stage 51 that holds the substrate P via a substrate holder, an XY stage 52 that supports the Z stage 51, and a base 53 that supports the XY stage 52. It has. The substrate stage PST is driven by a substrate stage driving device PSTD such as a linear motor. The substrate stage driving device PSTD is controlled by the control device CONT. By driving the Z stage 51, the position (focus position) of the substrate P held by the Z stage 51 in the Z-axis direction and the positions in the θX and θY directions are controlled. Further, by driving the XY stage 52, the position of the substrate P in the XY direction (position in a direction substantially parallel to the image plane of the projection optical system PL) is controlled. That is, the Z stage 51 controls the focus position and the tilt angle of the substrate P to adjust the surface of the substrate P to the image plane of the projection optical system PL by the autofocus method and the auto leveling method. Is positioned in the X-axis direction and the Y-axis direction. Needless to say, the Z stage and the XY stage may be provided integrally.

基板ステージＰＳＴ（Ｚステージ５１）上には、基板ステージＰＳＴとともに投影光学系ＰＬに対して移動する移動鏡５４が設けられている。また、移動鏡５４に対向する位置にはレーザ干渉計５５が設けられている。基板ステージＰＳＴ上の基板Ｐの２次元方向の位置、及び回転角はレーザ干渉計５５によりリアルタイムで計測され、計測結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。制御装置ＣＯＮＴはレーザ干渉計５５の計測結果に基づいて基板ステージ駆動装置ＰＳＴＤを駆動することで基板ステージＰＳＴに支持されている基板Ｐの位置決めを行う。   On the substrate stage PST (Z stage 51), a movable mirror 54 that moves with respect to the projection optical system PL together with the substrate stage PST is provided. A laser interferometer 55 is provided at a position facing the movable mirror 54. The two-dimensional position and rotation angle of the substrate P on the substrate stage PST are measured in real time by the laser interferometer 55, and the measurement result is output to the control device CONT. The control device CONT drives the substrate stage driving device PSTD based on the measurement result of the laser interferometer 55 to position the substrate P supported by the substrate stage PST.

本実施形態では、露光波長を実質的に短くして解像度を向上するとともに、焦点深度を実質的に広くするために、液浸法を適用する。そのため、少なくともマスクＭのパターンの像を基板Ｐ上に転写している間は、基板Ｐの表面と投影光学系ＰＬの基板Ｐ側の光学素子（レンズ）６０の先端面（下面）７との間に所定の液体５０が満たされる。上述したように、投影光学系ＰＬの先端側にはレンズ６０が露出しており、液体５０はレンズ６０のみに接触するように供給されている。これにより、金属からなる鏡筒ＰＫの腐蝕等が防止されている。また、レンズ６０の先端面７は投影光学系ＰＬの鏡筒ＰＫ及び基板Ｐより十分小さく、且つ上述したように液体５０はレンズ６０のみに接触するように構成されているため、液体５０は投影光学系ＰＬの像面側に局所的に満たされている構成となっている。すなわち、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間の液浸部分は基板Ｐより十分に小さい。本実施形態において、液体５０には純水が用いられる。純水は、ＡｒＦエキシマレーザ光のみならず、露光光ＥＬを例えば水銀ランプから射出される紫外域の輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）及びＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）等の遠紫外光（ＤＵＶ光）とした場合でも、これらの露光光ＥＬを透過可能である。   In the present embodiment, the immersion method is applied to improve the resolution by substantially shortening the exposure wavelength and to substantially increase the depth of focus. Therefore, at least during the transfer of the pattern image of the mask M onto the substrate P, the surface of the substrate P and the tip surface (lower surface) 7 of the optical element (lens) 60 on the substrate P side of the projection optical system PL. In the meantime, a predetermined liquid 50 is filled. As described above, the lens 60 is exposed at the front end side of the projection optical system PL, and the liquid 50 is supplied so as to contact only the lens 60. Thereby, corrosion etc. of the lens barrel PK made of metal are prevented. Further, since the tip surface 7 of the lens 60 is sufficiently smaller than the lens barrel PK and the substrate P of the projection optical system PL, and the liquid 50 is configured to contact only the lens 60 as described above, the liquid 50 is projected. The optical system PL is locally filled on the image plane side. That is, the liquid immersion part between the projection optical system PL and the substrate P is sufficiently smaller than the substrate P. In the present embodiment, pure water is used for the liquid 50. Pure water is not only ArF excimer laser light but also far ultraviolet light such as ultraviolet emission lines (g-line, h-line, i-line) and KrF excimer laser light (wavelength 248 nm) emitted from the mercury lamp as exposure light EL. Even in the case of light (DUV light), the exposure light EL can be transmitted.

露光装置ＥＸは、投影光学系ＰＬの先端面（レンズ６０の先端面）７と基板Ｐとの間の空間５６に所定の液体５０を供給する液体供給装置１と、空間５６の液体５０、すなわち基板Ｐ上の液体５０を回収する第２回収装置としての液体回収装置２とを備えている。液体供給装置１は、投影光学系ＰＬの像面側を局所的に液体５０で満たすためのものであって、液体５０を収容するタンク、加圧ポンプ、及び空間５６に供給する液体５０の温度を調整する温度調整装置などを備えている。液体供給装置１には供給管３の一端部が接続され、供給管３の他端部には供給ノズル４が接続されている。液体供給装置１は供給管３及び供給ノズル４を介して空間５６に液体５０を供給する。   The exposure apparatus EX includes a liquid supply device 1 that supplies a predetermined liquid 50 to the space 56 between the front end surface 7 (the front end surface of the lens 60) of the projection optical system PL and the substrate P, and the liquid 50 in the space 56, that is, And a liquid recovery apparatus 2 as a second recovery apparatus for recovering the liquid 50 on the substrate P. The liquid supply apparatus 1 is for locally filling the image plane side of the projection optical system PL with the liquid 50, and the temperature of the liquid 50 supplied to the tank for storing the liquid 50, the pressurizing pump, and the space 56. It is equipped with a temperature control device that adjusts the temperature. One end of a supply pipe 3 is connected to the liquid supply apparatus 1, and a supply nozzle 4 is connected to the other end of the supply pipe 3. The liquid supply apparatus 1 supplies the liquid 50 to the space 56 via the supply pipe 3 and the supply nozzle 4.

液体回収装置２は、吸引ポンプ、回収した液体５０を収容するタンクなどを備えている。液体回収装置２には回収管６の一端部が接続され、回収管６の他端部には回収ノズル５が接続されている。液体回収装置２は回収ノズル５及び回収管６を介して空間５６の液体５０を回収する。空間５６に液体５０を満たす際、制御装置ＣＯＮＴは液体供給装置１を駆動し、供給管３及び供給ノズル４を介して空間５６に対して単位時間当たり所定量の液体５０を供給するとともに、液体回収装置２を駆動し、回収ノズル５及び回収管６を介して単位時間当たり所定量の液体５０を空間５６より回収する。これにより投影光学系ＰＬの先端面７と基板Ｐとの間の空間５６に液体５０が保持され、液浸部分が形成される。ここで、制御装置ＣＯＮＴは、液体供給装置１を制御することで空間５６に対する単位時間当たりの液体供給量を任意に設定可能であるとともに、液体回収装置２を制御することで基板Ｐ上からの単位時間当たりの液体回収量を任意に設定可能である。   The liquid recovery apparatus 2 includes a suction pump, a tank for storing the recovered liquid 50, and the like. One end of a recovery pipe 6 is connected to the liquid recovery apparatus 2, and a recovery nozzle 5 is connected to the other end of the recovery pipe 6. The liquid recovery apparatus 2 recovers the liquid 50 in the space 56 via the recovery nozzle 5 and the recovery pipe 6. When filling the space 50 with the liquid 50, the control device CONT drives the liquid supply device 1 to supply a predetermined amount of the liquid 50 per unit time to the space 56 via the supply pipe 3 and the supply nozzle 4. The recovery device 2 is driven, and a predetermined amount of liquid 50 per unit time is recovered from the space 56 via the recovery nozzle 5 and the recovery pipe 6. Thereby, the liquid 50 is held in the space 56 between the front end surface 7 of the projection optical system PL and the substrate P, and a liquid immersion portion is formed. Here, the control device CONT can arbitrarily set the liquid supply amount per unit time to the space 56 by controlling the liquid supply device 1 and can control the liquid recovery device 2 from above the substrate P. The amount of liquid recovered per unit time can be set arbitrarily.

図２は、露光装置ＥＸの投影光学系ＰＬの下部、液体供給装置１、及び液体回収装置２等を示す図１の部分拡大図である。図２において、投影光学系ＰＬの最下端のレンズ６０は、先端部６０Ａが走査方向に必要な部分だけを残してＹ軸方向（非走査方向）に細長い矩形状に形成されている。走査露光時には、先端部６０Ａの直下の矩形の投影領域にマスクＭの一部のパターン像が投影され、投影光学系ＰＬに対して、マスクＭが−Ｘ方向（又は＋Ｘ方向）に速度Ｖで移動するのに同期して、ＸＹステージ５２を介して基板Ｐが＋Ｘ方向（又は−Ｘ方向）に速度β・Ｖ（βは投影倍率）で移動する。そして、１つのショット領域への露光終了後に、基板Ｐのステッピングによって次のショット領域が走査開始位置に移動し、以下、ステップ・アンド・スキャン方式で各ショット領域に対する露光処理が順次行われる。本実施形態では、基板Ｐの移動方向に沿って基板Ｐの移動方向と同一方向に液体５０を流すように設定されている。   FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG. 1 showing the lower part of the projection optical system PL of the exposure apparatus EX, the liquid supply apparatus 1, the liquid recovery apparatus 2, and the like. In FIG. 2, the lens 60 at the lowest end of the projection optical system PL is formed in a rectangular shape elongated in the Y-axis direction (non-scanning direction), leaving only the portion where the tip 60A is necessary in the scanning direction. At the time of scanning exposure, a part of the pattern image of the mask M is projected onto the rectangular projection area directly under the tip 60A, and the mask M is at the velocity V in the −X direction (or + X direction) with respect to the projection optical system PL. In synchronization with the movement, the substrate P moves in the + X direction (or -X direction) at the speed β · V (β is the projection magnification) via the XY stage 52. Then, after the exposure of one shot area is completed, the next shot area is moved to the scanning start position by stepping the substrate P, and thereafter, the exposure process for each shot area is sequentially performed by the step-and-scan method. In the present embodiment, the liquid 50 is set to flow in the same direction as the movement direction of the substrate P along the movement direction of the substrate P.

図３は、投影光学系ＰＬのレンズ６０の先端部６０Ａと、液体５０をＸ軸方向に供給する供給ノズル４（４Ａ〜４Ｃ）と、液体５０を回収する回収ノズル５（５Ａ、５Ｂ）との位置関係を示す図である。図３において、レンズ６０の先端部６０Ａの形状はＹ軸方向に細長い矩形状となっており、投影光学系ＰＬのレンズ６０の先端部６０ＡをＸ軸方向に挟むように、＋Ｘ方向側に３つの供給ノズル４Ａ〜４Ｃが配置され、−Ｘ方向側に２つの回収ノズル５Ａ、５Ｂが配置されている。そして、供給ノズル４Ａ〜４Ｃは供給管３を介して液体供給装置１に接続され、回収ノズル５Ａ、５Ｂは回収管４を介して液体回収装置２に接続されている。また、供給ノズル４Ａ〜４Ｃと回収ノズル５Ａ、５Ｂとを先端部６０Ａの中心に対して略１８０°回転した位置に、供給ノズル８Ａ〜８Ｃと、回収ノズル９Ａ、９Ｂとが配置されている。供給ノズル４Ａ〜４Ｃと回収ノズル９Ａ、９ＢとはＹ軸方向に交互に配列され、供給ノズル８Ａ〜８Ｃと回収ノズル５Ａ、５ＢとはＹ軸方向に交互に配列され、供給ノズル８Ａ〜８Ｃは供給管１０を介して液体供給装置１に接続され、回収ノズル９Ａ、９Ｂは回収管１１を介して液体回収装置２に接続されている。   FIG. 3 shows the tip 60A of the lens 60 of the projection optical system PL, the supply nozzle 4 (4A-4C) for supplying the liquid 50 in the X-axis direction, and the recovery nozzle 5 (5A, 5B) for recovering the liquid 50. It is a figure which shows these positional relationships. In FIG. 3, the shape of the tip 60A of the lens 60 is a rectangular shape elongated in the Y-axis direction, and is 3 on the + X direction side so as to sandwich the tip 60A of the lens 60 of the projection optical system PL in the X-axis direction. Two supply nozzles 4A to 4C are arranged, and two recovery nozzles 5A and 5B are arranged on the −X direction side. The supply nozzles 4 </ b> A to 4 </ b> C are connected to the liquid supply apparatus 1 via the supply pipe 3, and the recovery nozzles 5 </ b> A and 5 </ b> B are connected to the liquid recovery apparatus 2 via the recovery pipe 4. Further, the supply nozzles 8A to 8C and the recovery nozzles 9A and 9B are arranged at positions where the supply nozzles 4A to 4C and the recovery nozzles 5A and 5B are rotated by approximately 180 ° with respect to the center of the tip portion 60A. Supply nozzles 4A to 4C and recovery nozzles 9A and 9B are alternately arranged in the Y-axis direction, supply nozzles 8A to 8C and recovery nozzles 5A and 5B are alternately arranged in the Y-axis direction, and supply nozzles 8A to 8C are The recovery nozzles 9 </ b> A and 9 </ b> B are connected to the liquid recovery apparatus 2 via the recovery pipe 11.

図４に示すように、先端部６０Ａを挟んでＹ軸方向両側のそれぞれに供給ノズル１３、１４及び回収ノズル１５、１６を設けることもできる。この供給ノズル及び回収ノズルにより、ステップ移動する際の基板Ｐの非走査方向（Ｙ軸方向）への移動時においても、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に液体５０を安定して供給することができる。   As shown in FIG. 4, supply nozzles 13 and 14 and recovery nozzles 15 and 16 may be provided on both sides in the Y-axis direction with the front end portion 60 </ b> A interposed therebetween. By this supply nozzle and recovery nozzle, the liquid 50 is stably supplied between the projection optical system PL and the substrate P even when the substrate P is moved in the non-scanning direction (Y-axis direction) during the step movement. be able to.

なお、上述したノズルの形状は特に限定されるものでなく、例えば先端部６０Ａの長辺について２対のノズルで液体５０の供給又は回収を行うようにしてもよい。なお、この場合には、＋Ｘ方向、又は−Ｘ方向のどちらの方向からも液体５０の供給及び回収を行うことができるようにするため、供給ノズルと回収ノズルと上下に並べて配置してもよい。   In addition, the shape of the nozzle mentioned above is not specifically limited, For example, you may make it supply or collect | recover the liquid 50 with 2 pairs of nozzles about the long side of 60 A of front-end | tip parts. In this case, the supply nozzle and the recovery nozzle may be arranged side by side so that the liquid 50 can be supplied and recovered from either the + X direction or the −X direction. .

次に、基板Ｐの外側に流出した液体を回収する回収装置２０の一実施形態について図５及び図６を参照しながら説明する。図５はＺステージ５１（基板ステージＰＳＴ）の斜視図であり、図６は要部拡大断面図である。   Next, an embodiment of the recovery apparatus 20 that recovers the liquid that has flowed out of the substrate P will be described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG. 5 is a perspective view of the Z stage 51 (substrate stage PST), and FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of the main part.

図５及び図６において、回収装置２０は、Ｚステージ５１上においてホルダ部５７に保持された基板Ｐの周囲に配置されている液体吸収部材２１を備えている。液体吸収部材２１は所定幅を有する環状部材であって、Ｚステージ５１上に環状に形成された溝部２３に配置されている。また、Ｚステージ５１内部には、溝部２３と連続する流路２２が形成されており、溝部２３に配置されている液体吸収部材２１の底部は流路２２に接続されている。液体吸収部材２１は、例えば多孔質セラミックス等の多孔性材料により構成されている。あるいは液体吸収部材２１の形成材料として多孔性材料であるスポンジを用いても良い。多孔性材料からなる液体吸収部材２１は液体を所定量保持可能である。   5 and 6, the collection apparatus 20 includes a liquid absorbing member 21 disposed around the substrate P held by the holder portion 57 on the Z stage 51. The liquid absorbing member 21 is an annular member having a predetermined width, and is disposed in a groove portion 23 formed in an annular shape on the Z stage 51. In addition, a flow path 22 that is continuous with the groove portion 23 is formed inside the Z stage 51, and the bottom of the liquid absorbing member 21 disposed in the groove portion 23 is connected to the flow path 22. The liquid absorbing member 21 is made of a porous material such as porous ceramics. Alternatively, a sponge that is a porous material may be used as a material for forming the liquid absorbing member 21. The liquid absorbing member 21 made of a porous material can hold a predetermined amount of liquid.

Ｚステージ５１上において、液体吸収部材２１とホルダ部５７に保持されている基板Ｐとの間には、この基板Ｐの外周を所定幅で取り囲む環状の補助プレート部５９が設けられている。補助プレート部５９の表面の高さはＺステージ５１のホルダ部５７に保持されている基板Ｐの表面の高さとほぼ一致するように設定されている。この補助プレート部５９により、基板Ｐの周辺領域（エッジ領域）Ｅが投影光学系ＰＬのレンズ６０の下に位置するような場合でも、投影光学系ＰＬのレンズ６０と基板Ｐとの間に液体５０を保持し続けることができるようになっている。そして、この補助プレート部５９の外周を所定幅で取り囲むように配置されている液体吸収部材２１は、第２回収装置としての液体回収装置２で回収しきれず、補助プレート部５９の外側へ流出した液体５０を吸収（回収）する役割を果たしている。   On the Z stage 51, an annular auxiliary plate portion 59 is provided between the liquid absorbing member 21 and the substrate P held by the holder portion 57 so as to surround the outer periphery of the substrate P with a predetermined width. The height of the surface of the auxiliary plate portion 59 is set to substantially coincide with the height of the surface of the substrate P held by the holder portion 57 of the Z stage 51. Even when the peripheral region (edge region) E of the substrate P is located below the lens 60 of the projection optical system PL, the auxiliary plate portion 59 allows the liquid between the lens 60 of the projection optical system PL and the substrate P to be liquid. 50 can continue to be held. Then, the liquid absorbing member 21 arranged so as to surround the outer periphery of the auxiliary plate portion 59 with a predetermined width cannot be recovered by the liquid recovery device 2 as the second recovery device and flows out of the auxiliary plate portion 59. The liquid 50 is absorbed (recovered).

ホルダ部５７は、Ｚステージ５１上で基板Ｐとほぼ同じ大きさに形成された円形凹部に、基板Ｐの裏面を支持するための複数の突出部５８を設けたものである。これら突出部５８のそれぞれには、基板Ｐを吸着保持するための吸着孔２４が設けられている。そして、吸着孔２４のそれぞれは、Ｚステージ５１内部に形成された流路２５に接続している。また、ホルダ部５７（円形凹部）の最外周付近には複数の液体回収孔４６が設けられている。これら液体回収孔４６は、液体吸収部材２１に接続している流路２２に接続している。なお、液体吸収部材２１（溝部２３）に接続している流路２２とは別の流路を設けて、液体回収孔４６に接続するようにしてもよい。   The holder part 57 is provided with a plurality of protrusions 58 for supporting the back surface of the substrate P in a circular recess formed on the Z stage 51 so as to be approximately the same size as the substrate P. Each of the protrusions 58 is provided with a suction hole 24 for sucking and holding the substrate P. Each of the suction holes 24 is connected to a flow path 25 formed inside the Z stage 51. A plurality of liquid recovery holes 46 are provided near the outermost periphery of the holder portion 57 (circular recess). These liquid recovery holes 46 are connected to the flow path 22 connected to the liquid absorbing member 21. Note that a flow path different from the flow path 22 connected to the liquid absorbing member 21 (groove portion 23) may be provided and connected to the liquid recovery hole 46.

液体吸収部材２１及び液体回収孔４６のそれぞれに接続されている流路２２は、Ｚステージ５１外部に設けられている管路２６の一端部に接続されている。一方、管路２６の他端部は、Ｚステージ５１外部に設けられた第１タンク２７及びバルブ２８を介して吸引装置であるポンプ２９に接続されている。吸着孔２４に接続されている流路２５は、Ｚステージ５１外部に設けられている管路３０の一端部に接続されている。一方、管路３０の他端部は、Ｚステージ５１外部に設けられた第２タンク３１及びバルブ３２を介して吸引装置であるポンプ３３に接続されている。液体吸収部材２１及び液体回収孔４６からは基板Ｐの外側に流出した液体が周囲の気体（空気）とともに一緒に回収される。また、基板Ｐの裏面側に流入した液体が、周囲の気体（空気）とともに吸着孔２４から回収される。これらの液体回収方法についての詳細は、後述する。液体吸収部材２１及び液体回収孔４６並びに吸着孔２４から回収された液体（水）は気体（空気）と分離され、第１タンク２７と第２タンク３１の各々に一時的に蓄積される。この気液分離により真空源としての真空ポンプ２９、３３への液体の流入が防止され、真空ポンプ２９、３３の破損を防止することができる。第１、第２タンク２７、３１のそれぞれには排出流路２７Ａ、３１Ａが設けられており、水位センサなどを使って、液体が所定量溜まったら排出流路２７Ａ、３１Ａより排出されるようになっている。   The flow path 22 connected to each of the liquid absorbing member 21 and the liquid recovery hole 46 is connected to one end of a pipe line 26 provided outside the Z stage 51. On the other hand, the other end of the conduit 26 is connected to a pump 29 which is a suction device via a first tank 27 and a valve 28 provided outside the Z stage 51. The flow path 25 connected to the suction hole 24 is connected to one end of a conduit 30 provided outside the Z stage 51. On the other hand, the other end of the conduit 30 is connected to a pump 33 that is a suction device via a second tank 31 and a valve 32 provided outside the Z stage 51. From the liquid absorbing member 21 and the liquid recovery hole 46, the liquid flowing out of the substrate P is recovered together with the surrounding gas (air). Further, the liquid that has flowed into the back side of the substrate P is collected from the suction holes 24 together with the surrounding gas (air). Details of these liquid recovery methods will be described later. The liquid (water) recovered from the liquid absorbing member 21, the liquid recovery hole 46, and the adsorption hole 24 is separated from gas (air) and temporarily accumulated in each of the first tank 27 and the second tank 31. This gas-liquid separation prevents liquid from flowing into the vacuum pumps 29 and 33 serving as vacuum sources, and can prevent the vacuum pumps 29 and 33 from being damaged. The first and second tanks 27 and 31 are provided with discharge channels 27A and 31A, respectively, so that a predetermined amount of liquid is collected from the discharge channels 27A and 31A using a water level sensor or the like. It has become.

なお、液体吸収部材２１（溝部２３）に接続している流路２２（タンク２７、バルブ２８、真空ポンプ２９）とは別の流路を設けて、液体回収孔４６に接続するようにしてもよい。また、図５において、Ｚステージ５１の＋Ｘ側端部にはＹ軸方向に延在する移動鏡５４Ｘが設けられ、Ｙ側端部にはＸ軸方向に延在する移動鏡５４Ｙが設けられている。レーザ干渉計はこれら移動鏡５４Ｘ、５４Ｙにレーザ光を照射して基板ステージＰＳＴのＸ軸方向及びＹ軸方向における位置を検出する。   It should be noted that a flow path different from the flow path 22 (tank 27, valve 28, vacuum pump 29) connected to the liquid absorbing member 21 (groove portion 23) is provided and connected to the liquid recovery hole 46. Good. In FIG. 5, a movable mirror 54X extending in the Y-axis direction is provided at the + X side end of the Z stage 51, and a movable mirror 54Y extending in the X-axis direction is provided at the Y-side end. Yes. The laser interferometer detects the position of the substrate stage PST in the X-axis direction and the Y-axis direction by irradiating the movable mirrors 54X and 54Y with laser light.

次に、上述した露光装置ＥＸを用いてマスクＭのパターンを基板Ｐに露光する手順について説明する。   Next, a procedure for exposing the pattern of the mask M onto the substrate P using the above-described exposure apparatus EX will be described.

マスクＭがマスクステージＭＳＴにロードされるとともに、基板Ｐが基板ステージＰＳＴにロードされたら、制御装置ＣＯＮＴは液体供給装置１及び液体回収装置２を駆動し、空間５６に液体５０の液浸部分を形成する（図１参照）。そして、制御装置ＣＯＮＴは、照明光学系ＩＬによりマスクＭを露光光ＥＬで照明し、マスクＭのパターンの像を投影光学系ＰＬ及び液体５０を介して基板Ｐに投影する。ここで、基板Ｐの中央付近のショット領域を露光している間は、液体供給装置１から供給された液体５０は液体回収装置２により回収されることで、基板Ｐの外側に流出しない。   When the mask M is loaded on the mask stage MST and the substrate P is loaded on the substrate stage PST, the control device CONT drives the liquid supply device 1 and the liquid recovery device 2 so that the liquid 56 is immersed in the space 56. Form (see FIG. 1). Then, the control device CONT illuminates the mask M with the exposure light EL by the illumination optical system IL, and projects an image of the pattern of the mask M onto the substrate P via the projection optical system PL and the liquid 50. Here, while the shot region near the center of the substrate P is being exposed, the liquid 50 supplied from the liquid supply device 1 is recovered by the liquid recovery device 2 so that it does not flow out of the substrate P.

一方、図６に示すように、基板Ｐのエッジ領域Ｅを露光処理することによって投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間の液浸部分が基板Ｐのエッジ領域Ｅ付近にあるとき、補助プレート部５９により投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に液体５０を保持し続けることができるが、流体５０の一部が補助プレート部５９の外側に流出する場合があり、流出した流体５０は液体吸収部材２１に吸収（回収）される。ここで、制御装置ＣＯＮＴは、上記液体供給装置１及び液体回収装置２の駆動開始とともに、バルブ２８の開放及びポンプ２９の駆動を開始する。したがって、液体吸収部材２１で回収された液体５０は、吸引装置としてのポンプ２９の吸引により、周囲の空気とともに流路２２及び管路２６を介して第１タンク２７に吸い込まれるようにして集められる。   On the other hand, as shown in FIG. 6, when the liquid immersion portion between the projection optical system PL and the substrate P is in the vicinity of the edge region E of the substrate P by exposing the edge region E of the substrate P, the auxiliary plate portion 59, the liquid 50 can continue to be held between the projection optical system PL and the substrate P. However, a part of the fluid 50 may flow out of the auxiliary plate portion 59, and the outflowed fluid 50 absorbs the liquid. It is absorbed (recovered) by the member 21. Here, the control device CONT starts opening the valve 28 and driving the pump 29 together with the start of driving the liquid supply device 1 and the liquid recovery device 2. Therefore, the liquid 50 collected by the liquid absorbing member 21 is collected by being sucked into the first tank 27 through the flow path 22 and the pipe line 26 together with the surrounding air by the suction of the pump 29 as a suction device. .

また、基板Ｐと補助プレート部５９との隙間から流出した液体５０は、基板Ｐの裏面側に設けられた液体回収孔４６を介して周囲の空気とともに流路２２側に吸い込まれ、管路２６を介して第１タンク２７に回収される。   Further, the liquid 50 flowing out from the gap between the substrate P and the auxiliary plate portion 59 is sucked into the flow path 22 side together with the surrounding air through the liquid recovery hole 46 provided on the back surface side of the substrate P, and the conduit 26 Through the first tank 27.

更に、基板Ｐと補助プレート部５９との隙間を介して基板Ｐの裏面側に入り込んだ液体５０が基板Ｐを吸着保持するための吸着孔２４に流入する可能性もある。吸着孔２４は、前述したように、流路２５、管路３０及び第２タンク３１を介して吸引装置としてのポンプ３３に接続されているので、バルブ３２の開放及びポンプ３３の駆動を行うことにより、基板ＰをＺステージ５１上に吸着保持するとともに、吸着孔２４に流入した液体５０を流路２５及び管路３０を介して第２タンク３１に集めることができる。すなわち、吸着孔２４に流入した液体５０を回収する第３回収装置は、流路２５、管路３０、第２タンク３１、バルブ３２、ポンプ３３、及びこれらの駆動制御をする制御装置ＣＯＮＴを備えている。また、このときの吸着孔２４は基板Ｐの裏面側に設けられた液体回収孔（回収装置）としても機能している。   Furthermore, there is a possibility that the liquid 50 that has entered the back surface side of the substrate P through the gap between the substrate P and the auxiliary plate portion 59 flows into the suction hole 24 for sucking and holding the substrate P. As described above, the suction hole 24 is connected to the pump 33 as the suction device via the flow path 25, the pipe line 30, and the second tank 31, so that the valve 32 is opened and the pump 33 is driven. Thus, the substrate P can be adsorbed and held on the Z stage 51, and the liquid 50 that has flowed into the adsorption hole 24 can be collected in the second tank 31 via the flow path 25 and the pipe line 30. In other words, the third recovery device that recovers the liquid 50 that has flowed into the adsorption hole 24 includes the flow path 25, the pipe line 30, the second tank 31, the valve 32, the pump 33, and the control device CONT that controls the drive thereof. ing. Further, the suction hole 24 at this time also functions as a liquid recovery hole (recovery device) provided on the back side of the substrate P.

また吸着孔２４からは、液体回収孔４６と同様に、基板Ｐの裏面に回り込んだ液体と基板Ｐ裏面の気体（空気）とが流入することになるが、第２タンク３１に落下させることによって、液体（水）と気体（空気）とを分離する。第２タンク３１に溜まった液体を定期的に回収することで、真空源としての真空ポンプ３３への液体の流入が防止される。こうして、真空ポンプ３３の破損を防止するようにしている。   Similarly to the liquid recovery hole 46, the liquid that has entered the back surface of the substrate P and the gas (air) on the back surface of the substrate P flow into the suction hole 24, but are dropped into the second tank 31. To separate liquid (water) and gas (air). By periodically collecting the liquid accumulated in the second tank 31, the inflow of liquid into the vacuum pump 33 serving as a vacuum source is prevented. In this way, the vacuum pump 33 is prevented from being damaged.

ところで、基板Ｐのエッジ領域Ｅを露光処理するとき、すなわち投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間の液浸部分が基板Ｐの周縁付近にあるとき、上述したように、液体５０の一部は基板Ｐの外側に流出する可能性がある。本実施形態では、液体５０が基板Ｐの外側に流出しても、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間を十分に液体５０で満たすことができるように、制御装置ＣＯＮＴは、液浸部分が基板Ｐのエッジ領域Ｅにあるときに、液体供給装置１を制御して空間５６への単位時間当たりの液体供給量を増加させることと、液体回収装置（第２回収装置）２を制御して空間５６からの単位時間当たりの液体回収量を低減させることとの少なくとも一方を行う。ここで、上記液体供給量の増加及び液体回収量の低減の制御において、制御装置ＣＯＮＴは、レーザ干渉計の基板Ｐ位置検出結果に基づいて、液体供給装置１及び／または液体回収装置２の制御を行ってもよく、あるいは、第１、第２タンク２７、３２、あるいは管路２６、３０等に、回収（流出）した液体量を検出する検出装置を設け、この検出装置の検出結果に基づいて、液体供給装置１及び／または液体回収装置２の制御を行ってもよい。   By the way, when the edge region E of the substrate P is exposed, that is, when the liquid immersion part between the projection optical system PL and the substrate P is near the periphery of the substrate P, as described above, a part of the liquid 50 is There is a possibility of flowing out of the substrate P. In the present embodiment, the controller CONT has a liquid immersion portion so that the space between the projection optical system PL and the substrate P can be sufficiently filled with the liquid 50 even if the liquid 50 flows out of the substrate P. When in the edge region E of the substrate P, the liquid supply device 1 is controlled to increase the amount of liquid supply per unit time to the space 56 and the liquid recovery device (second recovery device) 2 is controlled. At least one of reducing the amount of liquid recovered from the space 56 per unit time is performed. Here, in the control of the increase in the liquid supply amount and the reduction in the liquid recovery amount, the control device CONT controls the liquid supply device 1 and / or the liquid recovery device 2 based on the substrate P position detection result of the laser interferometer. Alternatively, the first and second tanks 27 and 32 or the pipelines 26 and 30 may be provided with a detection device that detects the amount of recovered (outflowed) liquid, and based on the detection result of the detection device. Thus, the liquid supply device 1 and / or the liquid recovery device 2 may be controlled.

なお、本実施形態の露光装置ＥＸは所謂スキャニングステッパである。したがって、矢印Ｘａ（図３参照）で示す走査方向（−Ｘ方向）に基板Ｐを移動させて走査露光を行う場合には、供給管３、供給ノズル４Ａ〜４Ｃ、回収管４、及び回収ノズル５Ａ、５Ｂを用いて、液体供給装置１及び液体回収装置２により液体５０の供給及び回収が行われる。すなわち、基板Ｐが−Ｘ方向に移動する際には、供給管３及び供給ノズル４（４Ａ〜４Ｃ）を介して液体供給装置１から液体５０が投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に供給されるとともに、回収ノズル５（５Ａ、５Ｂ）、及び回収管６を介して液体５０が液体回収装置２に回収され、レンズ６０と基板Ｐとの間を満たすように−Ｘ方向に液体５０が流れる。一方、矢印Ｘｂで示す走査方向（＋Ｘ方向）に基板Ｐを移動させて走査露光を行う場合には、供給管１０、供給ノズル８Ａ〜８Ｃ、回収管１１、及び回収ノズル９Ａ、９Ｂを用いて、液体供給装置１及び液体回収装置２により液体５０の供給及び回収が行われる。すなわち、基板Ｐが＋Ｘ方向に移動する際には、供給管１０及び供給ノズル８（８Ａ〜８Ｃ）を介して液体供給装置１から液体５０が投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に供給されるとともに、回収ノズル９（９Ａ、９Ｂ）、及び回収管１１を介して液体５０が液体回収装置２に回収され、レンズ６０と基板Ｐとの間を満たすように＋Ｘ方向に液体５０が流れる。このように、制御装置ＣＯＮＴは、液体供給装置１及び液体回収装置２を用いて、基板Ｐの移動方向に沿って液体５０を流す。この場合、例えば液体供給装置１から供給ノズル４を介して供給される液体５０は基板Ｐの−Ｘ方向への移動に伴って空間５６に引き込まれるようにして流れるので、液体供給装置１の供給エネルギーが小さくでも液体５０を空間５６に容易に供給できる。そして、走査方向に応じて液体５０を流す方向を切り替えることにより、＋Ｘ方向、又は−Ｘ方向のどちらの方向に基板Ｐを走査する場合にも、レンズ６０の先端面７と基板Ｐとの間を液体５０で満たすことができ、高い解像度及び広い焦点深度を得ることができる。   Note that the exposure apparatus EX of the present embodiment is a so-called scanning stepper. Therefore, when scanning exposure is performed by moving the substrate P in the scanning direction (-X direction) indicated by the arrow Xa (see FIG. 3), the supply pipe 3, the supply nozzles 4A to 4C, the recovery pipe 4, and the recovery nozzle The liquid 50 is supplied and recovered by the liquid supply device 1 and the liquid recovery device 2 using 5A and 5B. That is, when the substrate P moves in the −X direction, the liquid 50 is supplied between the projection optical system PL and the substrate P from the liquid supply device 1 via the supply pipe 3 and the supply nozzles 4 (4A to 4C). At the same time, the liquid 50 is recovered by the liquid recovery device 2 via the recovery nozzles 5 (5A, 5B) and the recovery pipe 6, and the liquid 50 is applied in the −X direction so as to fill between the lens 60 and the substrate P. Flowing. On the other hand, when scanning exposure is performed by moving the substrate P in the scanning direction (+ X direction) indicated by the arrow Xb, the supply pipe 10, the supply nozzles 8A to 8C, the recovery pipe 11, and the recovery nozzles 9A and 9B are used. The liquid supply device 1 and the liquid recovery device 2 supply and recover the liquid 50. That is, when the substrate P moves in the + X direction, the liquid 50 is supplied from the liquid supply device 1 between the projection optical system PL and the substrate P via the supply pipe 10 and the supply nozzles 8 (8A to 8C). At the same time, the liquid 50 is recovered by the liquid recovery apparatus 2 via the recovery nozzle 9 (9A, 9B) and the recovery pipe 11, and the liquid 50 flows in the + X direction so as to fill the space between the lens 60 and the substrate P. Thus, the control device CONT uses the liquid supply device 1 and the liquid recovery device 2 to flow the liquid 50 along the moving direction of the substrate P. In this case, for example, the liquid 50 supplied from the liquid supply apparatus 1 via the supply nozzle 4 flows so as to be drawn into the space 56 as the substrate P moves in the −X direction. Even if the energy is small, the liquid 50 can be easily supplied to the space 56. Then, by switching the flow direction of the liquid 50 according to the scanning direction, the substrate P is scanned between the front end surface 7 of the lens 60 and the substrate P in either the + X direction or the −X direction. Can be filled with the liquid 50, and high resolution and a wide depth of focus can be obtained.

以上説明したように、基板Ｐの外側に液体５０が流出しても、この流出した液体５０は放置されずに回収装置２０で回収される。したがって、基板Ｐのおかれている環境の変動が抑制されるとともに、基板Ｐを支持する基板ステージＰＳＴ周辺の機械部品に錆びなどが発生するといった不都合の発生も抑えられるので、基板Ｐに対して精度良くパターン転写でき、高いパターン精度を有するデバイスを製造することができる。   As described above, even if the liquid 50 flows out to the outside of the substrate P, the liquid 50 that has flowed out is not left unattended and is recovered by the recovery device 20. Accordingly, fluctuations in the environment where the substrate P is placed are suppressed, and inconveniences such as rusting in the mechanical parts around the substrate stage PST supporting the substrate P can be suppressed. A pattern can be transferred with high accuracy, and a device having high pattern accuracy can be manufactured.

また、回収装置２０として基板ステージＰＳＴ上に液体吸収部材２１を設けたことにより、液体５０を広い範囲で確実に保持（回収）することができる。また、液体吸収部材２１に流路を介して吸引装置としてのポンプ２９を接続したことにより、液体吸収部材２１に吸収された液体５０は常時基板ステージＰＳＴ外部に排出される。したがって、基板Ｐのおかれている環境の変動をより一層確実に抑制できるとともに、基板ステージＰＳＴの液体５０による重量変動を抑えることができる。また、基板の露光中はポンプ２９を停止させて、基板Ｐの外側に流出した液体５０は液体吸収部材２１などに保持しておき、基板の露光完了後に、ポンプ２９を動作させて、液体を排出するようにしてもよい。一方、ポンプ２９を設けずに、液体吸収部材２１で回収した液体５０を自重によりタンク２７側に垂れ流す構成であってもよい。更に、ポンプ２９、タンク２７、及び流路を設けずに、基板ステージＰＳＴ上に液体吸収部材２１のみを配置しておき、液体５０を吸収した液体吸収部材２１を定期的に（例えば１ロット毎に）交換する構成としてもよい。この場合、基板ステージＰＳＴは液体５０により重量変動するが、液体吸収部材２１で回収した液体５０の重量に応じてステージ制御パラメータを変更することで、ステージ位置決め精度を維持できる。   Further, by providing the liquid absorbing member 21 on the substrate stage PST as the recovery device 20, the liquid 50 can be reliably held (recovered) in a wide range. In addition, by connecting a pump 29 as a suction device to the liquid absorbing member 21 via a flow path, the liquid 50 absorbed by the liquid absorbing member 21 is always discharged outside the substrate stage PST. Therefore, the fluctuation of the environment where the substrate P is placed can be more reliably suppressed, and the weight fluctuation due to the liquid 50 of the substrate stage PST can be suppressed. Further, the pump 29 is stopped during the exposure of the substrate, and the liquid 50 that has flowed out of the substrate P is held in the liquid absorbing member 21 or the like. After the exposure of the substrate is completed, the pump 29 is operated to supply the liquid. You may make it discharge | emit. On the other hand, the configuration may be such that the liquid 50 collected by the liquid absorbing member 21 drips to the tank 27 side by its own weight without providing the pump 29. Furthermore, without providing the pump 29, the tank 27, and the flow path, only the liquid absorbing member 21 is disposed on the substrate stage PST, and the liquid absorbing member 21 that has absorbed the liquid 50 is periodically (eg, for each lot). It is good also as a structure exchanged. In this case, the weight of the substrate stage PST varies depending on the liquid 50, but the stage positioning accuracy can be maintained by changing the stage control parameter according to the weight of the liquid 50 collected by the liquid absorbing member 21.

また、真空ポンプ２９、３３の手前に液体（水）と気体（空気）とを分離するためのタンク２７、３１を設けて、液体が真空ポンプ２９、３３に浸入するのを防止しているので、真空ポンプ２９、３３の故障や破損を防止できる。   In addition, tanks 27 and 31 for separating liquid (water) and gas (air) are provided in front of the vacuum pumps 29 and 33 to prevent the liquid from entering the vacuum pumps 29 and 33. The failure and breakage of the vacuum pumps 29 and 33 can be prevented.

なお、上述の実施形態における真空ポンプ２９、３３は、露光装置ＥＸ内に配置してもよいし、露光装置ＥＸが設置される工場に設置されているものでもよい。また、上述の実施形態においては、液体（水）と気体（空気）とを分離するためのタンクを基板Ｐの外側に流出した液体を回収する回収装置２０の真空系（真空ポンプの手前）、及び基板Ｐを吸着保持するための真空系に設けたが、液体（水）と気体（空気）とを分離するための機構（液体回収用のタンクなど）の設置はこれに限らず、液体が浸入してしまうおそれのある他の吸気口に接続された吸気系（真空系）に設けてもよい。例えば、気体軸受の気体回収系（吸気系）、基板搬送アームに基板Ｐを吸着保持するための吸気系、あるいは、基板保持部材を基板ステージに脱着可能に吸着保持するための吸気系に配置するようにしてもよい。気体軸受の気体回収系（吸気系）については、例えば特開平１１−１６６９９０号公報に、基板搬送アームに基板Ｐを吸着保持するための吸気系については、例えば特開平６−１８１１５７号公報に、また基板保持部材を基板ステージに脱着可能に吸着保持するための吸気系については、例えば特開平１０−１１６７６０号公報にそれぞれ開示されており、本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、これらの米国特許の記載内容を援用して本文の記載の一部とする。また、本実施形態においては、液体（水）と気体（空気）とを分離するタンクなどの機構を、基板Ｐ上の一部の領域に液浸領域を形成しながら基板Ｐの露光を行う露光装置に適用しているが、基板ステージを液槽の中で移動させる露光装置や、基板ステージ上に液体槽を形成してその中に基板を保持する露光装置に適用してもよい。基板ステージを液槽の中で移動させる露光装置の構造及び露光動作については、例えば特開平６−１２４８７３号公報に、基板ステージ上に液体槽を形成してその中に基板を保持する露光装置については、例えば特開平１０−３０３１１４号公報（米国特許５，８２５，０４３）に開示されており、本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、これらの文献の記載内容を援用して本文の記載の一部とする。   Note that the vacuum pumps 29 and 33 in the above-described embodiment may be disposed in the exposure apparatus EX, or may be installed in a factory where the exposure apparatus EX is installed. In the above-described embodiment, a vacuum system (before the vacuum pump) of the recovery device 20 that recovers the liquid that has flowed out of the substrate P through a tank for separating liquid (water) and gas (air); And a vacuum system for adsorbing and holding the substrate P, but the installation of a mechanism (such as a liquid recovery tank) for separating the liquid (water) and gas (air) is not limited to this, You may provide in the intake system (vacuum system) connected to the other inlet which may enter. For example, it is disposed in a gas recovery system (intake system) of a gas bearing, an intake system for adsorbing and holding the substrate P on the substrate transfer arm, or an intake system for adsorbing and holding the substrate holding member so as to be detachable from the substrate stage. You may do it. Regarding the gas recovery system (intake system) of the gas bearing, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-166990, and for the intake system for adsorbing and holding the substrate P on the substrate transfer arm, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-181157, Further, an air intake system for adsorbing and holding the substrate holding member to the substrate stage is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-116760, and allowed by the laws of the country designated or selected in this international application. As far as possible, the contents of these US patents are incorporated herein by reference. In the present embodiment, a mechanism such as a tank that separates liquid (water) and gas (air) is used to perform exposure of the substrate P while forming an immersion region in a partial region on the substrate P. Although applied to an apparatus, the present invention may be applied to an exposure apparatus that moves a substrate stage in a liquid tank, or an exposure apparatus that forms a liquid tank on a substrate stage and holds a substrate therein. Regarding the structure and exposure operation of an exposure apparatus that moves a substrate stage in a liquid tank, for example, in JP-A-6-124873, an exposure apparatus that forms a liquid tank on a substrate stage and holds a substrate therein. Is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-303114 (US Pat. No. 5,825,043), and as long as it is permitted by the laws and regulations of the country designated or selected in this international application, the contents of these documents are described. Is incorporated into the text.

なお、上記実施形態において、液体吸収部材２１は基板Ｐの周囲全体を取り囲むように連続する環状に形成されているが、基板Ｐの周囲の一部に配置されていてもよいし、不連続に所定間隔で配置されていてもよい。また、本実施形態における液体吸収部材２１は環状に形成されているが、例えば矩形状等、その形状は任意に設定可能である。
また液体供給装置１と液体回収装置２の構成やノズルの配置は上記の実施形態に限られない。また基板Ｐの露光中に、必ずしも液体供給装置１と液体回収装置２とが並行して動作している必要はなく、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間の露光光光路が液体５０で満たされていれば、どちらか一方を停止させていてもよいし、両方を止めておいてもよい。 In the above embodiment, the liquid absorbing member 21 is formed in a continuous annular shape so as to surround the entire periphery of the substrate P. However, the liquid absorbing member 21 may be disposed in a part of the periphery of the substrate P or discontinuously. It may be arranged at a predetermined interval. Moreover, although the liquid absorption member 21 in this embodiment is formed in cyclic | annular form, the shape can be set arbitrarily, for example, rectangular shape etc.
Further, the configurations of the liquid supply device 1 and the liquid recovery device 2 and the arrangement of the nozzles are not limited to the above embodiment. Further, during exposure of the substrate P, the liquid supply device 1 and the liquid recovery device 2 do not necessarily have to operate in parallel, and the exposure light optical path between the projection optical system PL and the substrate P is filled with the liquid 50. If so, either one may be stopped, or both may be stopped.

上述したように、本実施形態における液体５０は純水を用いた。純水は、半導体製造工場等で容易に大量に入手できるとともに、基板Ｐ上のフォトレジストや光学素子（レンズ）等に対する悪影響がない利点がある。また、純水は環境に対する悪影響がないとともに、不純物の含有量が極めて低いため、基板Ｐの表面、及び投影光学系ＰＬの先端面に設けられている光学素子の表面を洗浄する作用も期待できる。   As described above, pure water is used as the liquid 50 in the present embodiment. Pure water has an advantage that it can be easily obtained in large quantities at a semiconductor manufacturing factory or the like and has no adverse effect on the photoresist, optical element (lens), etc. on the substrate P. In addition, pure water has no adverse effects on the environment, and since the impurity content is extremely low, it can be expected to clean the surface of the substrate P and the surface of the optical element provided on the front end surface of the projection optical system PL. .

そして、波長が１９３ｎｍ程度の露光光ＥＬに対する純水（水）の屈折率ｎはほぼ１．４４であるため、露光光ＥＬの光源としてＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）を用いた場合、基板Ｐ上では１／ｎ、すなわち約１３４ｎｍに短波長化されて高い解像度が得られる。更に、焦点深度は空気中に比べて約ｎ倍、すなわち約１．４４倍に拡大されるため、空気中で使用する場合と同程度の焦点深度が確保できればよい場合には、投影光学系ＰＬの開口数をより増加させることができ、この点でも解像度が向上する。   Since the refractive index n of pure water (water) with respect to the exposure light EL having a wavelength of about 193 nm is approximately 1.44, when ArF excimer laser light (wavelength 193 nm) is used as the light source of the exposure light EL, the substrate P In the above, the wavelength is shortened to 1 / n, that is, about 134 nm, and a high resolution is obtained. Furthermore, since the depth of focus is enlarged by about n times, that is, about 1.44 times compared with that in the air, the projection optical system PL can be used when it is sufficient to ensure the same depth of focus as that in the air. The numerical aperture can be further increased, and the resolution is improved in this respect as well.

本実施形態では、投影光学系ＰＬの先端にレンズ６０が取り付けられているが、投影光学系ＰＬの先端に取り付ける光学素子としては、投影光学系ＰＬの光学特性、例えば収差（球面収差、コマ収差等）の調整に用いる光学プレートであってもよい。あるいは露光光ＥＬを透過可能な平行平面板であってもよい。液体５０と接触する光学素子を、レンズより安価な平行平面板とすることにより、露光装置ＥＸの運搬、組立、調整時等において投影光学系ＰＬの透過率、基板Ｐ上での露光光ＥＬの照度、及び照度分布の均一性を低下させる物質（例えばシリコン系有機物等）がその平行平面板に付着しても、液体５０を供給する直前にその平行平面板を交換するだけでよく、液体５０と接触する光学素子をレンズとする場合に比べてその交換コストが低くなるという利点がある。すなわち、露光光ＥＬの照射によりレジストから発生する飛散粒子、または液体５０中の不純物の付着などに起因して液体５０に接触する光学素子の表面が汚れるため、その光学素子を定期的に交換する必要があるが、この光学素子を安価な平行平面板とすることにより、レンズに比べて交換部品のコストが低く、且つ交換に要する時間を短くすることができ、メンテナンスコスト（ランニングコスト）の上昇やスループットの低下を抑えることができる。   In the present embodiment, the lens 60 is attached to the tip of the projection optical system PL. However, as an optical element attached to the tip of the projection optical system PL, optical characteristics of the projection optical system PL, such as aberration (spherical aberration, coma aberration) Etc.) may be used. Alternatively, it may be a plane parallel plate that can transmit the exposure light EL. By making the optical element in contact with the liquid 50 into a plane parallel plate that is cheaper than the lens, the transmittance of the projection optical system PL and the exposure light EL on the substrate P during transportation, assembly, adjustment, etc. of the exposure apparatus EX. Even if a substance that reduces the illuminance and the uniformity of the illuminance distribution (for example, silicon-based organic matter) adheres to the plane-parallel plate, the plane-parallel plate may be replaced just before the liquid 50 is supplied. There is an advantage that the replacement cost is lower than in the case where the optical element in contact with the lens is a lens. That is, the surface of the optical element that comes into contact with the liquid 50 is contaminated due to scattering particles generated from the resist by exposure to the exposure light EL, or adhesion of impurities in the liquid 50, and the optical element is periodically replaced. Although it is necessary, by making this optical element an inexpensive parallel flat plate, the cost of replacement parts is lower than that of lenses and the time required for replacement can be shortened, resulting in an increase in maintenance costs (running costs). And a decrease in throughput.

また液体５０の流れによって生じる投影光学系の先端の光学素子と基板Ｐとの間の圧力が大きい場合には、その光学素子を交換可能とするのではなく、その圧力によって光学素子が動かないように堅固に固定してもよい。   Further, when the pressure between the optical element at the tip of the projection optical system and the substrate P generated by the flow of the liquid 50 is large, the optical element is not exchangeable but the optical element is not moved by the pressure. It may be firmly fixed to.

なお、本実施形態の液体５０は水であるが、水以外の液体であってもよい、例えば、露光光ＥＬの光源がＦ２レーザである場合、このＦ２レーザ光は水を透過しないので、この場合、液体５０としてはＦ２レーザ光を透過可能な例えばフッ素系オイルやフッ化ポリエーテル（ＰＦＰＥ）などのフッ素系液体を用いればよい。また、液体５０としては、その他にも、露光光ＥＬに対する透過性があってできるだけ屈折率が高く、投影光学系ＰＬや基板Ｐ表面に塗布されているフォトレジストに対して安定なもの（例えばセダー油）を用いることも可能である。 The liquid 50 of the present embodiment is water, but may be a liquid other than water. For example, when the light source of the exposure light EL is an F 2 laser, the F 2 laser light does not transmit water. In this case, the liquid 50 may be a fluorinated liquid such as fluorinated oil or fluorinated polyether (PFPE) that can transmit F 2 laser light. In addition, as the liquid 50, the liquid 50 is transmissive to the exposure light EL, has a refractive index as high as possible, and is stable with respect to the photoresist applied to the projection optical system PL and the surface of the substrate P (for example, Cedar). Oil) can also be used.

第２実施形態
次に、本発明の露光装置ＥＸの他の実施形態について、図７を参照しながら説明する。ここで、以下の説明において、上述した実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。本実施形態に係る特徴的な部分は、回収装置として液体吸収部材２１に代えて基板Ｐの周囲に液体回収溝３５を設けた点と、基板ステージＰＳＴと管路２６とが接続・分離自在となっている点である。 Second Embodiment Next, another embodiment of the exposure apparatus EX of the present invention will be described with reference to FIG. Here, in the following description, the same or equivalent components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted. A characteristic part according to the present embodiment is that a liquid recovery groove 35 is provided around the substrate P instead of the liquid absorbing member 21 as a recovery device, and that the substrate stage PST and the pipe line 26 can be connected and separated. It is a point.

図７において、回収装置２０は、Ｚステージ５１上において補助プレート部５９の周囲に所定幅に形成された液体回収溝３５を備えている。また、流路２２の端部には接続弁３６が設けられている。一方、管路２６の端部には接続弁３６に対して接続・分離可能な接続弁３７が設けられている。接続弁３６、３７が分離されている状態では、流路２２の端部は閉塞され、流体５０がステージ外部に流出しないようになっている。一方、接続弁３６、３７が接続されることにより、流路２２の端部は開放され、流路２２の液体５０が管路２６に流通可能となる。   In FIG. 7, the recovery device 20 includes a liquid recovery groove 35 formed on the Z stage 51 around the auxiliary plate portion 59 with a predetermined width. A connection valve 36 is provided at the end of the flow path 22. On the other hand, a connection valve 37 that can be connected to and disconnected from the connection valve 36 is provided at the end of the pipe line 26. In the state where the connection valves 36 and 37 are separated, the end of the flow path 22 is closed, so that the fluid 50 does not flow out of the stage. On the other hand, when the connection valves 36 and 37 are connected, the end of the flow path 22 is opened, and the liquid 50 in the flow path 22 can flow through the pipe line 26.

露光処理中においては、接続弁３６と接続弁３７とは分離される。したがって、露光処理中において基板ステージＰＳＴは管路２６と分離している状態なので、走査方向への移動（スキャン移動）、及び非走査方向への移動（ステップ移動）を円滑に行うことができる。露光処理中に基板Ｐの外側に流出した液体５０は、液体回収溝３５や流路２２に溜まる。   During the exposure process, the connection valve 36 and the connection valve 37 are separated. Therefore, since the substrate stage PST is separated from the conduit 26 during the exposure process, the movement in the scanning direction (scanning movement) and the movement in the non-scanning direction (step movement) can be performed smoothly. The liquid 50 that has flowed out of the substrate P during the exposure process accumulates in the liquid recovery groove 35 and the flow path 22.

露光処理が終了したら、基板ステージＰＳＴは基板Ｐの交換位置（ロード・アンロード位置）に移動する。この基板交換位置において、接続弁３６、３７が接続される。接続弁３６、３７が接続されたら、制御装置ＣＯＮＴは、バルブ２８を開放するとともにポンプ２９を駆動する。これにより、回収装置としての液体回収溝３５に回収された液体５０は、基板交換位置においてステージ外部に排出される。   When the exposure process is completed, the substrate stage PST moves to the exchange position (load / unload position) of the substrate P. At the board replacement position, the connection valves 36 and 37 are connected. When the connection valves 36 and 37 are connected, the control device CONT opens the valve 28 and drives the pump 29. As a result, the liquid 50 recovered in the liquid recovery groove 35 as the recovery device is discharged outside the stage at the substrate replacement position.

なお、本実施形態において液体回収溝３５に回収された液体５０は定期的（例えば１ロット毎）にステージ外部に排出される構成であるため、液体回収溝３５の大きさ（容積）は、例えば１ロット分で流出される量に相当する液体を保持可能な程度の大きさに設定されている。この場合、所定露光処理基板枚数（すなわち１ロット分）と流出する液体量との関係を予め求めておき、この求めた関係に基づいて、液体回収溝３５の大きさが設定される。あるいは、前記求めた関係に基づいて、接続弁３６、３７を接続する時間間隔（すなわちステージ外部に液体排出動作を行うタイミング）が設定される。   In the present embodiment, since the liquid 50 recovered in the liquid recovery groove 35 is regularly discharged (for example, every lot) to the outside of the stage, the size (volume) of the liquid recovery groove 35 is, for example, The size is set so as to be able to hold the liquid corresponding to the amount that flows out in one lot. In this case, the relationship between the predetermined number of exposure processing substrates (that is, one lot) and the amount of liquid flowing out is obtained in advance, and the size of the liquid recovery groove 35 is set based on the obtained relationship. Alternatively, the time interval for connecting the connection valves 36 and 37 (that is, the timing for performing the liquid discharge operation outside the stage) is set based on the obtained relationship.

なお、上記実施形態において、液体回収溝３５は基板Ｐの周囲全体を取り囲むように連続する環状に形成されているが、基板Ｐの周囲の一部に配置されていてもよいし、不連続に所定間隔で配置されていてもよい。また、本実施形態における液体回収溝３５は環状に形成されているが例えば矩形状などその形状は任意に設定可能である。また、液体回収溝３５内に液体吸収部材を配置しておいてもよい。   In the above embodiment, the liquid recovery groove 35 is formed in a continuous annular shape so as to surround the entire periphery of the substrate P. However, the liquid recovery groove 35 may be disposed in a part of the periphery of the substrate P or discontinuously. It may be arranged at a predetermined interval. In addition, the liquid recovery groove 35 in the present embodiment is formed in an annular shape, but the shape thereof can be arbitrarily set such as a rectangular shape. Further, a liquid absorbing member may be disposed in the liquid recovery groove 35.

また、上記各実施形態において、基板Ｐの外側に補助プレート部５９が設けられているが、この補助プレート部５９を設けることなく、基板Ｐの外周近傍に液体吸収部材２１や液体回収溝３５を設けるようにしてもよい。   In each of the above embodiments, the auxiliary plate portion 59 is provided outside the substrate P. However, the liquid absorbing member 21 and the liquid recovery groove 35 are provided near the outer periphery of the substrate P without providing the auxiliary plate portion 59. You may make it provide.

また、上述の実施形態においては、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間に局所的に液体を満たす露光装置を採用しているが、図６や図７に開示されているような基板Ｐを吸着保持するための吸着孔に流入した液体を回収する回収機構は、露光対象の基板を保持したステージを液槽の中で移動させる液浸露光装置や、ステージ上に所定深さの液体槽を形成しその中に基板を保持する液浸露光装置にも本発明を適用可能である。前述の通り、露光対象の基板を保持したステージを液槽の中で移動させる液浸露光装置の構造及び露光動作については、例えば特開平６−１２４８７３号に、ステージ上に所定深さの液体槽を形成しその中に基板を保持する液浸露光装置の構造及び露光動作については、例えば特開平１０−３０３１１４号（米国特許５，８２５，０４３）にそれぞれ開示されている。   In the above-described embodiment, an exposure apparatus that locally fills the liquid between the projection optical system PL and the substrate P is adopted. However, the substrate P as disclosed in FIGS. 6 and 7 is used. The recovery mechanism for recovering the liquid that has flowed into the suction hole for holding by suction includes an immersion exposure apparatus that moves the stage holding the substrate to be exposed in the liquid tank, and a liquid tank of a predetermined depth on the stage. The present invention can also be applied to an immersion exposure apparatus that is formed and holds a substrate therein. As described above, for the structure and exposure operation of an immersion exposure apparatus for moving a stage holding a substrate to be exposed in a liquid tank, see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-124873, a liquid tank having a predetermined depth on a stage. The structure and exposure operation of an immersion exposure apparatus that forms a substrate and holds a substrate therein are disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 10-303114 (US Pat. No. 5,825,043).

第３実施形態
以下、図８〜図１０を参照しながら、回収装置の他の実施形態について説明する。 Third Embodiment Hereinafter, another embodiment of the recovery apparatus will be described with reference to FIGS.

図８に示すように、Ｚステージ５１の上面は傾斜しており、基板Ｐを保持するホルダ部５７の上面は水平となっている。そして、ホルダ部５７の周囲を取り囲むように、液体回収溝３５が形成されている。このとき、液体回収溝３５は平面視において環状であるが、側面視において傾斜している。すなわち、液体回収溝３５はＺステージ５１の上面の傾斜に沿って形成されている。これにより、基板Ｐの外側に流出した液体５０は、液体回収溝３５の傾斜下部３５Ａに自然に溜まる。液体５０を回収する際にはこの傾斜下部３５Ａに溜まった液体５０を回収するだけでいいので、回収動作を容易に行うことができる。   As shown in FIG. 8, the upper surface of the Z stage 51 is inclined, and the upper surface of the holder portion 57 that holds the substrate P is horizontal. A liquid recovery groove 35 is formed so as to surround the periphery of the holder portion 57. At this time, the liquid recovery groove 35 is annular in a plan view, but is inclined in a side view. That is, the liquid recovery groove 35 is formed along the inclination of the upper surface of the Z stage 51. As a result, the liquid 50 that has flowed out of the substrate P naturally accumulates in the inclined lower portion 35 </ b> A of the liquid recovery groove 35. When the liquid 50 is recovered, it is only necessary to recover the liquid 50 accumulated in the inclined lower portion 35A, so that the recovery operation can be easily performed.

図９（ａ）に示すように、Ｚステージ５１の上面一部に液体回収溝３５が設けられている。露光処理することで、液体回収溝３５に液体５０が溜まる。そして、図９（ｂ）に示すように、この液体回収溝３５に溜まった液体５０は、基板Ｐを基板ステージＰＳＴに対してロード・アンロードする搬送装置Ｈに取り付けられているチューブ３８を介して回収される。吸引装置の一部を構成するチューブ３７は、露光処理が終了した基板Ｐを基板ステージＰＳＴからアンロードするために搬送装置Ｈが基板ステージＰＳＴに対してアクセスするときに、液体回収溝３５に溜まっている液体５０を吸引する。   As shown in FIG. 9A, a liquid recovery groove 35 is provided on a part of the upper surface of the Z stage 51. By performing the exposure process, the liquid 50 accumulates in the liquid recovery groove 35. Then, as shown in FIG. 9B, the liquid 50 accumulated in the liquid recovery groove 35 passes through a tube 38 attached to a transfer device H that loads and unloads the substrate P with respect to the substrate stage PST. Collected. The tube 37 constituting a part of the suction device accumulates in the liquid recovery groove 35 when the transport device H accesses the substrate stage PST in order to unload the substrate P after the exposure processing from the substrate stage PST. The liquid 50 is sucked.

第４実施形態
また、回収装置の更に別の実施形態について、以下に説明する。図１０（ａ）に示すように、Ｚステージ５１の上面に液体回収溝３５が設けられている。液体回収溝３５はＺステージ５１の下面側に貫通する流路３９に接続している。流路３９にはバルブ３９Ａが設けられている。また、Ｚステージ５１の流路３９に対応して、ＸＹステージ５２及びベース５３のそれぞれには貫通孔である流路４０、４１が形成されている。露光処理中において、バルブ３９Ａは閉じられており、図１０（ａ）に示すように、液体５０が液体回収溝３５に溜まる。そして、露光処理が終了したら、制御装置ＣＯＮＴは、基板ステージＰＳＴを基板交換位置に移動し、バルブ３９Ａを開放する。これにより、図１０（ｂ）に示すように、液体回収溝３５の液体５０は基板交換位置において、流路３９、４０、及び４１を介して自重によりステージ外部に排出される。なお、液体回収溝３５の液体５０の回収は基板交換位置において行うのが好ましいが、基板交換位置とは別の位置で排出作業を行うようにしてもよい。 4th Embodiment Moreover, another embodiment of a collection | recovery apparatus is described below. As shown in FIG. 10A, a liquid recovery groove 35 is provided on the upper surface of the Z stage 51. The liquid recovery groove 35 is connected to a flow path 39 that penetrates the lower surface side of the Z stage 51. The flow path 39 is provided with a valve 39A. Corresponding to the flow path 39 of the Z stage 51, flow paths 40 and 41, which are through holes, are formed in the XY stage 52 and the base 53, respectively. During the exposure process, the valve 39A is closed, and the liquid 50 accumulates in the liquid recovery groove 35 as shown in FIG. When the exposure process is completed, the control device CONT moves the substrate stage PST to the substrate exchange position and opens the valve 39A. As a result, as shown in FIG. 10B, the liquid 50 in the liquid recovery groove 35 is discharged out of the stage by its own weight through the flow paths 39, 40, and 41 at the substrate replacement position. The recovery of the liquid 50 in the liquid recovery groove 35 is preferably performed at the substrate replacement position, but the discharge operation may be performed at a position different from the substrate replacement position.

第５実施形態
ところで、上述した各実施形態においては、液体供給装置１が供給ノズル４を介して基板Ｐの上方から基板Ｐ上に液体５０を供給するとともに、第２回収装置としての液体回収装置２が回収ノズル５を介して基板Ｐの上方から基板Ｐ上の液体５０を回収することで、基板Ｐ上の一部に液浸領域を形成しているが、図１１に示すように、基板Ｐの上方に液体回収装置２（回収ノズル５）を設けずに、基板Ｐ上に供給されたほぼ全ての液体５０を、基板ステージＰＳＴに設けられた回収装置２０で回収するようにしてもよい。図１１には、投影光学系ＰＬの投影領域（光学素子６０）を挟んだ走査方向（Ｘ軸方向）両側のそれぞれに設けられた供給ノズル４、８が図示されている。基板Ｐを走査露光するときに液体５０を供給する際には、基板Ｐの移動方向に応じて供給ノズル４、８のうちのいずれか一方の供給ノズルから液体５０を供給するようにしてよいし、あるいは両方の供給ノズル４、８から同時に液体５０を供給するようにしてもよい。液体供給装置１より供給された液体５０は、基板Ｐ上において大きく拡がり、大きな液浸領域を形成することができる。そして、図１２の斜視図に示すように、基板Ｐ上に供給された液体５０はやがて基板Ｐの外側に流出するが、基板Ｐの周りに回収口として設けられた溝部２３（液体吸収部材２１）を有する回収装置２０によりほぼ全てを回収される。ここで、基板Ｐに対する露光処理中、液体供給装置１は基板Ｐ上に対して液体５０の供給を継続することにより基板Ｐ上に良好に液浸領域を形成できるとともに、供給した液体５０により基板Ｐ上の液体５０に流れを生じさせることができるため、新鮮（清浄）な液体５０を基板Ｐ上に常時供給するとともに基板Ｐ上の液体５０を溝部２３まで流すことができる。 By the way, in each embodiment mentioned above, while the liquid supply apparatus 1 supplies the liquid 50 on the board | substrate P from the upper direction of the board | substrate P via the supply nozzle 4, it is a liquid collection | recovery apparatus as a 2nd collection | recovery apparatus. 2 recovers the liquid 50 on the substrate P from above the substrate P via the recovery nozzle 5 to form a liquid immersion region on a part of the substrate P. As shown in FIG. Instead of providing the liquid recovery device 2 (recovery nozzle 5) above P, almost all the liquid 50 supplied onto the substrate P may be recovered by the recovery device 20 provided on the substrate stage PST. . FIG. 11 shows supply nozzles 4 and 8 provided on both sides of the scanning direction (X-axis direction) across the projection area (optical element 60) of the projection optical system PL. When the liquid 50 is supplied when the substrate P is scanned and exposed, the liquid 50 may be supplied from one of the supply nozzles 4 and 8 according to the moving direction of the substrate P. Alternatively, the liquid 50 may be supplied from both supply nozzles 4 and 8 simultaneously. The liquid 50 supplied from the liquid supply apparatus 1 spreads greatly on the substrate P, and a large liquid immersion area can be formed. Then, as shown in the perspective view of FIG. 12, the liquid 50 supplied onto the substrate P eventually flows out of the substrate P, but the groove portion 23 (liquid absorbing member 21) provided as a recovery port around the substrate P. Almost all are recovered by the recovery device 20 having the above. Here, during the exposure process on the substrate P, the liquid supply apparatus 1 can form a liquid immersion region on the substrate P by continuing to supply the liquid 50 onto the substrate P, and the supplied liquid 50 allows the substrate to be formed. Since a flow can be generated in the liquid 50 on the P, the fresh (clean) liquid 50 can be constantly supplied onto the substrate P and the liquid 50 on the substrate P can be flowed to the groove 23.

上記第２液体回収装置としての液体回収装置２は、基板Ｐ上の液体５０を回収ノズル５を介して基板Ｐの上方から真空系を使って吸引回収する構成であって、液体（水）と気体（空気）とを一緒に回収することで、その液体が回収管６内壁などにあたって音や振動を生じる場合がある。この場合、図１１及び図１２に示す実施形態のように、基板Ｐの上方からの液体５０の吸引回収を行わずに基板ステージＰＳＴに設けられた回収装置２０のみを用いて液体５０の回収を行うことにより、基板Ｐの露光中の音や振動の発生を防止することができる。   The liquid recovery apparatus 2 as the second liquid recovery apparatus is configured to suck and recover the liquid 50 on the substrate P from above the substrate P through the recovery nozzle 5 using a vacuum system. By collecting the gas (air) together, there is a case where the liquid hits the inner wall of the collection tube 6 and generates sound or vibration. In this case, as in the embodiment shown in FIGS. 11 and 12, the liquid 50 is recovered using only the recovery device 20 provided on the substrate stage PST without performing the suction recovery of the liquid 50 from above the substrate P. By doing so, it is possible to prevent the generation of sound and vibration during exposure of the substrate P.

なお、基板Ｐの上方から液体の回収を行わない本実施形態の場合には、回収装置２０として第２実施形態において図７に示した構成を用いてもよい。図７の場合には、真空ポンプ２９が基板Ｐの露光中に液体回収溝３５で回収された液体を吸引していないので、その液体の吸引に伴う音や振動の発生も抑えることができ、更に効果的である。
また先に説明した実施形態のように、基板Ｐの上方から回収ノズル５を介して液体の回収を行う液体回収装置２を配置しておき、基板Ｐの露光中は液体回収装置２を動作させずに回収装置２０のみで液体の回収を行い、基板Ｐの露光完了後に、液体回収装置２と回収装置２０とを併用して液体５０の回収を行うようにしてもよい。この場合も、基板Ｐの露光中の液体の吸引（回収）に伴う音や振動の影響を抑えることができる。 In the case of this embodiment in which liquid is not recovered from above the substrate P, the configuration shown in FIG. 7 in the second embodiment may be used as the recovery device 20. In the case of FIG. 7, since the vacuum pump 29 does not suck the liquid collected in the liquid collection groove 35 during the exposure of the substrate P, it is possible to suppress the generation of sound and vibration accompanying the suction of the liquid, It is more effective.
Further, as in the embodiment described above, the liquid recovery apparatus 2 that recovers the liquid from above the substrate P via the recovery nozzle 5 is disposed, and the liquid recovery apparatus 2 is operated during the exposure of the substrate P. Instead, the liquid may be recovered only by the recovery device 20, and after the exposure of the substrate P is completed, the liquid recovery device 2 and the recovery device 20 may be used together to recover the liquid 50. Also in this case, it is possible to suppress the influence of sound and vibration accompanying the suction (collection) of the liquid during the exposure of the substrate P.

なお、上記各実施形態の基板Ｐとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版（合成石英、シリコンウエハ）等が適用される。   The substrate P in each of the above embodiments is not only a semiconductor wafer for manufacturing a semiconductor device, but also a glass substrate for a display device, a ceramic wafer for a thin film magnetic head, or an original mask or reticle used in an exposure apparatus. (Synthetic quartz, silicon wafer) or the like is applied.

露光装置ＥＸとしては、マスクＭと基板Ｐとを同期移動してマスクＭのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置（スキャニングステッパ）の他に、マスクＭと基板Ｐとを静止した状態でマスクＭのパターンを一括露光し、基板Ｐを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパ）にも適用することができる。また、本発明は基板Ｐ上で少なくとも２つのパターンを部分的に重ねて転写するステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。   As the exposure apparatus EX, in addition to the step-and-scan type scanning exposure apparatus (scanning stepper) that scans and exposes the pattern of the mask M by moving the mask M and the substrate P synchronously, the mask M and the substrate P Can be applied to a step-and-repeat type projection exposure apparatus (stepper) in which the pattern of the mask M is collectively exposed while the substrate P is stationary and the substrate P is sequentially moved stepwise. The present invention can also be applied to a step-and-stitch type exposure apparatus that partially transfers at least two patterns on the substrate P.

露光装置ＥＸの種類としては、基板Ｐに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子（ＣＣＤ）あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。   The type of the exposure apparatus EX is not limited to an exposure apparatus for manufacturing a semiconductor element that exposes a semiconductor element pattern on the substrate P, but an exposure apparatus for manufacturing a liquid crystal display element or a display, a thin film magnetic head, an image sensor (CCD). ) Or an exposure apparatus for manufacturing reticles or masks.

また、本発明は、ツインステージ型の露光装置に適用することもできる。ツインステージ型の露光装置の構造及び露光動作については、特開平１０−１６３０９９号公報、特開平１０−２１４７８３号公報、特表２０００−５０５９５８号公報、米国特許６，３４１，００７号、６，４００，４４１号、６，５４９，２６９号及び６，５９０,６３４号等の文献に開示されており、それらを参照することができる。それらの米国特許を、本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、援用して本文の記載の一部とする。   The present invention can also be applied to a twin stage type exposure apparatus. The structure and exposure operation of the twin stage type exposure apparatus are described in JP-A-10-163099, JP-A-10-214783, JP 2000-505958, US Pat. Nos. 6,341,007, 6,400. , 441, 6,549,269, and 6,590,634, and the like can be referred to. These US patents are incorporated herein by reference to the extent permitted by national legislation designated or selected in this international application.

基板ステージＰＳＴやマスクステージＭＳＴにリニアモータを用いる場合は、エアベアリングを用いたエア浮上型およびローレンツ力またはリアクタンス力を用いた磁気浮上型のどちらを用いてもよい。また、各ステージＰＳＴ、ＭＳＴは、ガイドに沿って移動するタイプでもよく、ガイドを設けないガイドレスタイプであってもよい。ステージにリニアモータを用いた例は、米国特許５，６２３，８５３及び５，５２８，１１８に開示されており、それぞれ本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、これらの文献の記載内容を援用して本文の記載の一部とする。   When a linear motor is used for the substrate stage PST and the mask stage MST, either an air levitation type using an air bearing or a magnetic levitation type using a Lorentz force or a reactance force may be used. Each stage PST, MST may be a type that moves along a guide, or may be a guideless type that does not have a guide. Examples using linear motors for the stages are disclosed in US Pat. Nos. 5,623,853 and 5,528,118, respectively, as long as permitted by national legislation designated or selected in this international application. The contents of the document are incorporated into the text.

各ステージＰＳＴ、ＭＳＴの駆動機構としては、二次元に磁石を配置した磁石ユニットと、二次元にコイルを配置した電機子ユニットとを対向させ電磁力により各ステージＰＳＴ、ＭＳＴを駆動する平面モータを用いてもよい。この場合、磁石ユニットと電機子ユニットとのいずれか一方をステージＰＳＴ、ＭＳＴに接続し、磁石ユニットと電機子ユニットとの他方をステージＰＳＴ、ＭＳＴの移動面側に設ければよい。   As a driving mechanism for each stage PST, MST, a planar motor that drives each stage PST, MST by electromagnetic force with a magnet unit having a two-dimensionally arranged magnet and an armature unit having a two-dimensionally arranged coil facing each other is provided. It may be used. In this case, either one of the magnet unit and the armature unit may be connected to the stages PST and MST, and the other of the magnet unit and the armature unit may be provided on the moving surface side of the stages PST and MST.

基板ステージＰＳＴの移動により発生する反力は、投影光学系ＰＬに伝わらないように、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃がしてもよい。この反力の処理方法は、例えば特開平８−１６６４７５号公報（米国特許５，５２８，１１８）に詳細に開示されており、本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、この文献の記載内容を援用して本文の記載の一部とする。   The reaction force generated by the movement of the substrate stage PST may be released mechanically to the floor (ground) using a frame member so as not to be transmitted to the projection optical system PL. This reaction force processing method is disclosed in detail, for example, in JP-A-8-166475 (US Pat. No. 5,528,118), as long as it is permitted by the laws of the country designated or selected in this international application. In this document, the description of this document is used as a part of the description of the text.

マスクステージＭＳＴの移動により発生する反力は、投影光学系ＰＬに伝わらないように、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃がしてもよい。この反力の処理方法は、例えば特開平８−３３０２２４号公報（米国特許５，８７４，８２０）に詳細に開示されており、本国際出願で指定または選択された国の法令で許容される限りにおいて、この文献の記載内容を援用して本文の記載の一部とする。   The reaction force generated by the movement of the mask stage MST may be released mechanically to the floor (ground) using a frame member so as not to be transmitted to the projection optical system PL. This reaction force processing method is disclosed in detail, for example, in JP-A-8-330224 (US Pat. No. 5,874,820), as long as it is permitted by the laws and regulations of the country designated or selected in this international application. In this document, the description of this document is used as a part of the description of the text.

以上のように、本願実施形態の露光装置ＥＸは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。   As described above, the exposure apparatus EX according to the present embodiment maintains various mechanical subsystems including the respective constituent elements recited in the claims of the present application so as to maintain predetermined mechanical accuracy, electrical accuracy, and optical accuracy. Manufactured by assembling. In order to ensure these various accuracies, before and after assembly, various optical systems are adjusted to achieve optical accuracy, various mechanical systems are adjusted to achieve mechanical accuracy, and various electrical systems are Adjustments are made to achieve electrical accuracy. The assembly process from the various subsystems to the exposure apparatus includes mechanical connection, electrical circuit wiring connection, pneumatic circuit piping connection and the like between the various subsystems. Needless to say, there is an assembly process for each subsystem before the assembly process from the various subsystems to the exposure apparatus. When the assembly process of the various subsystems to the exposure apparatus is completed, comprehensive adjustment is performed to ensure various accuracies as the entire exposure apparatus. The exposure apparatus is preferably manufactured in a clean room where the temperature, cleanliness, etc. are controlled.

半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図１３に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ２０２、デバイスの基材である基板を製造するステップ２０３、前述した実施形態の露光装置ＥＸによりマスクのパターンを基板に露光する露光処理ステップ２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製造される。   As shown in FIG. 13, a microdevice such as a semiconductor device includes a step 201 for designing a function / performance of the microdevice, a step 202 for producing a mask (reticle) based on the design step, and a substrate which is a base material of the device. Manufacturing step 203, exposure processing step 204 for exposing the mask pattern onto the substrate by the exposure apparatus EX of the above-described embodiment, device assembly step (including dicing process, bonding process, packaging process) 205, inspection step 206, etc. It is manufactured after.

本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows one Embodiment of the exposure apparatus of this invention. 投影光学系の先端部と液体供給装置及び液体回収装置との位置関係を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship of the front-end | tip part of a projection optical system, a liquid supply apparatus, and a liquid collection | recovery apparatus. 供給ノズル及び回収ノズルの配置例を示す図である。It is a figure which shows the example of arrangement | positioning of a supply nozzle and a collection | recovery nozzle. 供給ノズル及び回収ノズルの配置例を示す図である。It is a figure which shows the example of arrangement | positioning of a supply nozzle and a collection | recovery nozzle. 回収装置の一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Embodiment of a collection | recovery apparatus. 回収装置の一実施形態を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows one Embodiment of a collection | recovery apparatus. 回収装置の他の実施形態を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows other embodiment of a collection | recovery apparatus. 回収装置の他の実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows other embodiment of a collection | recovery apparatus. 回収装置の他の実施形態を示す模式的な断面図である。It is a typical sectional view showing other embodiments of a recovery device. 回収装置の他の実施形態を示す模式的な断面図である。It is a typical sectional view showing other embodiments of a recovery device. 回収装置による液体回収動作の他の実施形態を示す図である。It is a figure which shows other embodiment of the liquid collection | recovery operation | movement by a collection | recovery apparatus. 回収装置による液体回収動作の他の実施形態を示す図である。It is a figure which shows other embodiment of the liquid collection | recovery operation | movement by a collection | recovery apparatus. 半導体デバイスの製造工程の一例を示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows an example of the manufacturing process of a semiconductor device. 従来の課題を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the conventional subject.

符号の説明Explanation of symbols

１…液体供給装置、２…液体回収装置、２０…回収装置、２１…液体吸収部材、
２４…吸着孔、回収孔、２７…第１タンク、２９…ポンプ、３１…第２タンク、
３３…ポンプ、３５…液体回収溝、５０…液体、ＣＯＮＴ…制御装置、
ＥＸ…露光装置、Ｐ…基板、ＰＬ…投影光学系、ＰＳＴ…基板ステージ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid supply apparatus, 2 ... Liquid recovery apparatus, 20 ... Recovery apparatus, 21 ... Liquid absorption member,
24 ... Suction hole, recovery hole, 27 ... first tank, 29 ... pump, 31 ... second tank,
33 ... Pump, 35 ... Liquid recovery groove, 50 ... Liquid, CONT ... Control device,
EX ... Exposure apparatus, P ... Substrate, PL ... Projection optical system, PST ... Substrate stage

Claims (21)

基板上の一部の領域に液浸領域を形成し、パターンの像を液体を介して前記基板上に転写して基板を露光する露光装置であって、
パターンの像を基板に投影する投影光学系と、
前記基板を保持する保持部と前記保持部を取り囲む平坦部とが形成された基板ステージと、
前記基板の外側に流出した液体を回収する回収装置と、を備え、
前記回収装置は、前記保持部と前記平坦部との間に設けられた第１回収部と、前記平坦部の外側に前記平坦部を囲んで設けられた第２回収部とを有することを特徴とする露光装置。 The liquid immersion area formed on a part of the region on the substrate, an image of the pattern An exposure apparatus for exposing a substrate transferred onto the substrate through a liquid,
A projection optical system that projects an image of the pattern onto the substrate;
A substrate stage on which a holding portion for holding the substrate and a flat portion surrounding the holding portion are formed;
And a recovery device for recovering the liquid that flows out to the outside of the substrate,
The collection device includes a first collection unit provided between the holding unit and the flat unit, and a second collection unit provided outside the flat unit and surrounding the flat unit. An exposure apparatus. 前記回収装置の前記第２回収部は、前記基板ステージに配置された液体吸収部材を含むことを特徴とする請求項１記載の露光装置。 Wherein said second recovery unit of the recovery device, an exposure apparatus according to claim 1, characterized in that it comprises a liquid absorbing member disposed on the substrate stage. 前記液体吸収部材は、多孔質部材を含むことを特徴とする請求項２記載の露光装置。 The exposure apparatus according to claim 2 , wherein the liquid absorbing member includes a porous member. 前記回収装置の前記第１回収部及び前記第２回収部の少なくとも一方は、前記基板ステージに配置された液体回収溝を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置。 The recovery of at least one of the first collecting portion and the second collecting part of the apparatus, according to claim 1, characterized in that it comprises a liquid recovery groove which is arranged on the substrate stage Exposure device. 前記回収装置の前記第１回収部及び前記第２回収部の少なくとも一方は、前記基板ステージに設けられた回収孔を含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置。 The recovery of at least one of the first collecting portion and the second collecting part of the apparatus, the exposure according to claim 1, characterized in that it comprises a recovery hole formed in the substrate stage apparatus. 前記回収装置は、前記基板ステージに保持された前記基板の裏面側に回り込んだ液体を回収することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。 The recovery device, an exposure apparatus according to any one of claims 1 to 5, characterized in that recovering the liquid wrapping around to the back side of the substrate held by the substrate stage. 前記回収装置は、前記第１回収部及び前記第２回収部の少なくとも一方で回収された液体を、前記基板ステージが所定位置に来たときに排出することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。 The recovery device, the liquid recovered in at least one of the first collecting portion and the second recovery unit, according to claim 1 to 6, wherein the substrate stage is characterized in that the discharge when it came to the predetermined position The exposure apparatus according to any one of the above. 前記所定位置は、基板交換位置を含む請求項７記載の露光装置。  The exposure apparatus according to claim 7, wherein the predetermined position includes a substrate replacement position. 前記回収装置は、前記第１回収部及び前記第２回収部の少なくとも一方で回収された液体を吸引するための吸引装置と接続されることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の露光装置。 The recovery device, any one of the preceding claims, characterized in that it is connected to a suction device for sucking at least one in the recovered liquid in the first collecting portion and the second recovery unit The exposure apparatus described in 1. 前記第１回収部及び前記第２回収部の少なくとも一方で回収された液体を集めるタンクを備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光装置。 The exposure apparatus according to claim 1 , further comprising a tank that collects the liquid collected at least one of the first collection unit and the second collection unit . 前記投影光学系と前記基板との間に液体を供給する供給装置を備え、前記投影光学系と前記基板との間の液浸部分が前記基板の周縁付近にあるときに、前記供給装置は液体の供給量を増やすことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。 A supply device that supplies liquid between the projection optical system and the substrate, and the supply device is liquid when a liquid immersion portion between the projection optical system and the substrate is near the periphery of the substrate; the exposure apparatus according to any one of claim 1 to 10, characterized in that to increase the supply amount. 前記基板上の液体を回収する第２回収装置を備え、前記投影光学系と前記基板との間の液浸部分が前記基板の周縁付近にあるときに、前記第２回収装置は液体の回収量を減らすことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の露光装置。 A second recovery device for recovering the liquid on the substrate, and when the liquid immersion portion between the projection optical system and the substrate is near the periphery of the substrate, the second recovery device is configured to recover the amount of liquid the exposure apparatus according to any one of claim 1 to 11, wherein the reducing. 前記基板を保持する基板ステージは、前記基板を吸着保持するための吸着孔を有し、前記基板の外側に流出し前記吸着孔に流入した液体を回収する第３回収装置を備えることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光装置。 The substrate stage that holds the substrate has a suction hole for sucking and holding the substrate, and includes a third recovery device that recovers the liquid that flows out of the substrate and flows into the suction hole. The exposure apparatus according to any one of claims 1 to 12 . 前記第３回収装置は、前記吸着孔から流入した気体と液体とを分離する分離器を備えたことを特徴とする請求項１３記載の露光装置。 14. The exposure apparatus according to claim 13, wherein the third recovery device includes a separator that separates the gas and the liquid flowing in from the adsorption hole. 前記回収装置は、回収した液体とその液体とともに回収された気体とを分離する分離器を備えたことを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一項記載の露光装置。 The recovery device, an exposure apparatus according to any one of claims 1-14, characterized in that it comprises a separator for separating the recovered liquid and the gas recovered together with the liquid. さらに、前記基板の上方から前記基板上の液体を回収する第２回収装置を備えたことを特徴とする請求項１〜１５のいずれか一項に記載の露光装置。 Further, the exposure apparatus according to any one of claims 1 to 15, further comprising a second recovery unit which recovers the liquid on the substrate from above the substrate. 前記基板の上方から前記基板上に液体を供給する液体供給装置を備え、前記基板上に供給されたほぼ全ての液体は、前記回収装置で回収されることを特徴とする請求項１〜１０、１５のいずれか一項に記載の露光装置。 Comprising a liquid supply device supplying the liquid onto the substrate from above the substrate, substantially all of the liquid supplied onto the substrate, the claims 1-10, characterized in that is recovered by the recovery device, The exposure apparatus according to any one of 15 . 前記基板ステージに設けられた干渉計ミラーをさらに備え、
前記回収装置の前記第２回収部は、前記干渉計ミラーの近くに配置されている請求項１〜１７のいずれか一項記載の露光装置。 Further comprising an interferometer mirror provided on the substrate stage,
Wherein said second recovery unit of the recovery device, an exposure apparatus according to any one of claims 1 to 17, which is located near the interferometer mirror. 請求項１〜１８のいずれか一項に記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイス製造方法。 A device manufacturing method using the exposure apparatus according to any one of claims 1 to 18 . 投影光学系により所定パターンの像を基板上に転写することで基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系と前記基板との間に液体を基板の上方から供給することと、
前記供給された液体を、基板の外側に設けられた第１回収部で回収することと、
前記第１回収部から外側に流出した液体を、前記第１回収部より外側に設けられた第２回収部で回収することと、
前記液体の供給及び回収が行われている間に前記基板を露光することとを含む露光方法。 An exposure method for exposing a substrate by transferring an image of a predetermined pattern onto the substrate by a projection optical system,
Supplying a liquid from above the substrate between the projection optical system and the substrate;
Recovering the supplied liquid in a first recovery part provided outside the substrate;
Recovering the liquid that has flowed out of the first recovery unit by a second recovery unit provided outside the first recovery unit;
Exposing the substrate while the liquid is being supplied and recovered. さらに、前記供給された液体を、基板の上方から回収することを含む請求項２０に記載の露光方法。 21. The exposure method according to claim 20 , further comprising recovering the supplied liquid from above the substrate.
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