JP4527964B2 - Tension pulley and rotation transmission mechanism - Google Patents

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Description

本発明は、入力側プーリーと出力側プーリーとの間にスチールベルトを張設し、入力側プーリーの回転に追随して出力側プーリーを回転させる回転伝達機構に関し、特に前記ベルトのテンション調整を行うテンションプーリーの改良に関する。   The present invention relates to a rotation transmission mechanism in which a steel belt is stretched between an input side pulley and an output side pulley and the output side pulley is rotated following the rotation of the input side pulley, and in particular, the tension of the belt is adjusted. It relates to the improvement of the tension pulley.

従来使用されているテンションプーリーを備えた回転伝達機構を図４、図５を用いて説明する。図５（ａ）は、回転伝達機構を平面で見た概念図で、図５（ｂ）は、正面から見た概念図である。また、図４（ａ）、（ｂ）は、テンションプーリーの軸心を含む面で断面にしてテンションプーリーにスチールベルトが接触する状態を説明するものである。   A conventional rotation transmission mechanism including a tension pulley will be described with reference to FIGS. FIG. 5A is a conceptual diagram of the rotation transmission mechanism as viewed from above, and FIG. 5B is a conceptual diagram as viewed from the front. 4 (a) and 4 (b) illustrate a state in which the steel belt is in contact with the tension pulley in a cross-section in a plane including the axis of the tension pulley.

従来の回転伝達機構５０では、ベース１に固定された動力源２の出力軸２ａに入力側プーリー３が取り付けられ、さらにベース１に出力側プーリー４が取り付けられて、この出力側プーリー４に、ワークを把持する等して最終的に駆動すべき負荷５が取り付けられている。   In the conventional rotation transmission mechanism 50, the input side pulley 3 is attached to the output shaft 2 a of the power source 2 fixed to the base 1, and the output side pulley 4 is further attached to the base 1. A load 5 to be finally driven by gripping the workpiece is attached.

入力側プーリー３と出力側プーリー４との間には、そのプーリー比に相当した回転出力を得ることができるようにスチールベルト６が張設されている。   A steel belt 6 is stretched between the input pulley 3 and the output pulley 4 so as to obtain a rotational output corresponding to the pulley ratio.

また、スチールベルト６のテンションを調整するテンションプーリー７を備えている。   A tension pulley 7 for adjusting the tension of the steel belt 6 is also provided.

このように構成される回転伝達機構５０の動作を説明すると、動力源２の出力軸２ａが回転することにより、出力軸２ａの回転数と同一の回転数で入力側プーリー３が回転し、スチールベルト６を介して（入力側プーリー３）／（出力側プーリー４）の回転比で出力側プーリー４が回転する。これにより、出力側プーリー４に取り付けられた最終負荷となる負荷５も出力側プーリー４と同一の回転数で回転する。   The operation of the rotation transmission mechanism 50 configured as described above will be described. When the output shaft 2a of the power source 2 rotates, the input pulley 3 rotates at the same rotational speed as the output shaft 2a. The output pulley 4 rotates at a rotation ratio of (input pulley 3) / (output pulley 4) via the belt 6. As a result, the load 5 that is the final load attached to the output pulley 4 also rotates at the same rotational speed as the output pulley 4.

ここで、テンションプーリー７は、スチールベルト６の張り具合を調節して緩みを防止し、回転効率の向上を図る役割を有するが、従来のテンションプーリー７は、図４図示のように通常、内部に円筒コロ型軸受を装着している。   Here, the tension pulley 7 has the role of adjusting the tension of the steel belt 6 to prevent loosening and improving the rotation efficiency. However, the conventional tension pulley 7 is normally used as shown in FIG. Is equipped with a cylindrical roller bearing.

この従来のテンションプーリー７の構造を図４について詳述する。   The structure of this conventional tension pulley 7 will be described in detail with reference to FIG.

従来の方式のテンションプーリー７は、入力側プーリー３と出力側プーリー４との間で駆動されているスチールベルト６にその外周面で接触して回転する外輪８と、外輪８の円滑な回転運動を実現し、対ラジアル荷重を重視した円筒コロ１０と、円筒コロ１０のガイドとなるコロ受け１２と、プーリーの固定軸となる内軸１１と、内軸１１に装着され外周面が円筒コロ１０の接触面となる内輪９とで構成されている。   The tension pulley 7 of the conventional system includes an outer ring 8 that rotates on an outer peripheral surface of the steel belt 6 that is driven between the input-side pulley 3 and the output-side pulley 4, and a smooth rotational movement of the outer ring 8. And a cylindrical roller 10 that places importance on the radial load, a roller receiver 12 that serves as a guide for the cylindrical roller 10, an inner shaft 11 that serves as a fixed shaft for the pulley, and an outer peripheral surface that is mounted on the inner shaft 11 and has a cylindrical roller 10 And an inner ring 9 serving as a contact surface.

テンションプーリー７は、外輪８がスチールベルト６に適度に接触する位置に調節され、スチールベルト６が駆動された場合のスチールベルト６の緩みを抑え駆動効率を向上させ、スチールベルト６へ与える摩擦を最小限にする構造となっている。
実開平５−７１５５１号公報 The tension pulley 7 is adjusted to a position where the outer ring 8 is appropriately in contact with the steel belt 6 to suppress the loosening of the steel belt 6 when the steel belt 6 is driven, to improve the driving efficiency and to give the friction to the steel belt 6. The structure is minimized.
Japanese Utility Model Publication No. 5-71551

テンションプーリー７では、その組立寸法公差のため、図４（ｂ）図示のように外輪８の接触面と、スチールベルト６の接触面とが異なる角度で接触することがある。このようにスチールベルト６の偏当たりが生じた場合、スチールベルト６は局部的に過大な応力を受けることになるが、従来の回転伝達機構５０では、テンションプーリー７に用いられる円筒コロ型軸受がステンレス等の硬質材料で形成されているため、外輪８より強度の劣るスチールベルトの方が損傷を受けやすかった。 In the tension pulley 7, the contact surface of the outer ring 8 and the contact surface of the steel belt 6 may come into contact with each other at different angles as shown in FIG. In this way, when the steel belt 6 is unevenly contacted, the steel belt 6 is subjected to excessive stress locally. However, in the conventional rotation transmission mechanism 50, a cylindrical roller bearing used for the tension pulley 7 is provided. Since it is made of a hard material such as stainless steel, the steel belt having a lower strength than the outer ring 8 is more susceptible to damage.

また、負荷側から入力される突発的なテンション変動が生じた場合にも、そのテンション変動は最も強度の弱いスチールベルトがその衝撃を吸収する構造となっている。   Further, even when a sudden tension fluctuation input from the load side occurs, the tension fluctuation has a structure in which the steel belt having the weakest strength absorbs the impact.

これらの結果、スチールベルトが過剰な応力を受け、損傷、破断しやすく、スチールベルトの寿命を大幅に短縮する要因となっていた。このスチールベルト６の短い寿命は、回転伝達機構全体の信頼性の低下や、メンテナンスサイクルの短縮化につながっていた。出願人が行った実験のデータによれば、図４図示のような円筒コロ型軸受がステンレス等の硬質材料で形成されている従来の回転伝達機構の場合、３万回の動作に満たないレベルでスチールベルト６に何らかの変調、損傷が生じる場合があった。   As a result, the steel belt is excessively stressed, easily damaged and broken, and the life of the steel belt is greatly shortened. The short life of the steel belt 6 has led to a decrease in the reliability of the entire rotation transmission mechanism and a shortened maintenance cycle. According to the data of the experiment conducted by the applicant, in the case of the conventional rotation transmission mechanism in which the cylindrical roller bearing as shown in FIG. 4 is formed of a hard material such as stainless steel, the level is less than 30,000 operations. In some cases, the steel belt 6 may be modulated or damaged.

本発明は、Ｏリング等、衝撃を緩衝できる緩衝部材をテンションプーリーの内軸とこれに回転可能に装着される外輪との間に介装し、スチールベルトの偏当たりや、負荷側から発生する突発的なテンション変動が生じた際に、前記緩衝部材が変形することにより、従来のテンションプーリーならば、スチールベルトの偏当たりが生じるような場合にスチールベルトの接触面に当接する外輪外周面の内軸に対する傾斜角度を自動調整し、また、突発的なテンション変動が生じた場合に、内軸に対する外輪の位置が変位できるようにして前記問題点を解決したのである。 In the present invention, a shock-absorbing member such as an O-ring is provided between an inner shaft of a tension pulley and an outer ring rotatably mounted on the tension pulley, and is generated from the uneven contact of the steel belt or the load side. When a sudden tension change occurs, the buffer member is deformed, so that in the case of a conventional tension pulley, if the steel belt is unevenly contacted, the outer ring outer peripheral surface that comes into contact with the contact surface of the steel belt The problem is solved by automatically adjusting the inclination angle with respect to the inner shaft and allowing the position of the outer ring to be displaced with respect to the inner shaft when sudden tension fluctuations occur.

すなわち、この発明の提案するテンションプーリーは、入力側プーリーの回転に追従して出力側プーリーを回転させる回転伝達機構の前記入力側プーリーと前記出力側プーリーとの間に張設される無端ベルトのテンション調整を行うテンションプーリーであって、
内軸と、円筒体からなり、前記内軸に装着されるカラー部と、円筒体からなり、無端ベルトに外周面が接触する外輪と、カラー部と前記外輪との間に介装されたベアリングと、内軸と前記カラー部との間に介装されたＯリングとを備え、カラー部は、ベアリングが配置される介装部と、介装部の軸心方向の両縁よりも外側にそれぞれ延出され、Ｏリングが配置される収容部とを有し、カラー部の径方向の位置関係において、収容部の内壁面が介装部の内壁面よりも外側であることを特徴とするものである。 That is, the tension pulley proposed in this invention, the endless belt is stretched between the input pulley and the output pulley of the rotation transmission mechanism for rotating the output-side pulley in accordance with the rotation of the input side pulley A tension pulley that adjusts the tension ,
An inner shaft, a cylindrical body, a collar portion mounted on the inner shaft, a cylindrical body, an outer ring whose outer peripheral surface is in contact with an endless belt, and a bearing interposed between the collar portion and the outer ring. And an O-ring interposed between the inner shaft and the collar portion, and the collar portion is located on the outer side than both edges in the axial direction of the interposed portion where the bearing is disposed, and the interposed portion. Each having an accommodating portion in which an O-ring is disposed, and the inner wall surface of the accommodating portion is outside the inner wall surface of the interposition portion in the radial positional relationship of the collar portion. Is.

前記内軸は、テンションプーリーの回転の中心となる固定軸であり、回転伝達機構、例えば、基板搬送ロボットのアームに取り付けられる。   The inner shaft is a fixed shaft that becomes the center of rotation of the tension pulley, and is attached to a rotation transmission mechanism, for example, an arm of a substrate transport robot.

なお、無端ベルトとは、ベルトの移動（回転）方向に端部を有さない環状とされたベルトであり、スチール製のものやゴム製のものなどがあるが、本明細書では特にスチール製のスチールベルトについて説明することとする。   The endless belt is an annular belt that does not have an end in the moving (rotating) direction of the belt, and there are steel and rubber ones. This steel belt will be explained.

前記緩衝部材は内軸と外輪との間の、前記スチールベルトの対向する両側縁に対応する側、すなわち内軸の先端側と基端側とにそれぞれ介装することができる。スチールベルトの偏当たりは、外輪の外周面とスチールベルトの接触面との角度にずれが生じることによって起こる場合が多い。そこで、緩衝部材を前記内軸の先端側と基端側とにそれぞれ介装しておけば、外輪の外周面への入力に応じて先端側と基端側の緩衝部材がそれぞれ変形し、外輪の外周面とスチールベルトの接触面との角度のずれに対応できる。緩衝部材をこのように介装させれば、内軸と外輪との間で緩衝部材が変形するので、スチールベルトの接触面に当接する外輪外周面の内軸に対する傾斜角度をスチールベルトの接触面の角度に応じて自動調整可能となる。また、外部からの入力に応じて外輪の内軸に対する離接移動が可能となる。これにより、無端のスチールベルトの偏当たりを防止することができ、また、突発的なテンション変動にも対応できる。 The buffer member can be interposed between the inner shaft and the outer ring on the sides corresponding to the opposite side edges of the steel belt, that is, on the distal end side and the proximal end side of the inner shaft. The uneven contact of the steel belt is often caused by a shift in the angle between the outer peripheral surface of the outer ring and the contact surface of the steel belt. Therefore, if the buffer members are respectively provided at the distal end side and the proximal end side of the inner shaft, the buffer members on the distal end side and the proximal end side are deformed according to the input to the outer peripheral surface of the outer ring , and the outer ring It is possible to cope with an angle shift between the outer peripheral surface of the steel plate and the contact surface of the steel belt. If the buffer member is interposed in this way, the buffer member is deformed between the inner shaft and the outer ring. Therefore, the inclination angle of the outer peripheral surface of the outer ring that contacts the contact surface of the steel belt with respect to the inner shaft is set to the contact surface of the steel belt. It becomes possible to automatically adjust according to the angle. Further, the outer ring can be moved away from the inner shaft in response to an input from the outside. Thereby, it is possible to prevent the endless steel belt from being unevenly contacted, and to cope with sudden tension fluctuations.

すなわち、スチールベルトの偏当たりや、負荷側から発生する突発的なテンション変動が発生した際には、緩衝部材がその変動に追随した形で変形してスチールベルトへの負荷を軽減することができる。   That is, when the steel belt is unevenly contacted or sudden tension fluctuation occurs from the load side, the buffer member can be deformed following the fluctuation to reduce the load on the steel belt. .

緩衝部材は、組立公差から生じるスチールベルトの偏当たりが生じた際に、スチール
ベルト接触面の角度に応じて外輪が内軸対して傾斜でき、また、負荷側から発生する突発
的なテンション変動が生じた際にこれに応じた外輪の内軸に対する変位に追随して変形で
きるものであれば材質、形状は問わず採用することができる。例えばゴム材製や、メタル
中空のＯリング等を採用することができる。 When the steel belt comes into contact with the shock absorber due to assembly tolerances , the shock absorber can tilt the outer ring with respect to the inner shaft according to the angle of the steel belt contact surface, and sudden tension fluctuations generated from the load side can occur. Any material and shape can be adopted as long as they can be deformed following the displacement of the outer ring corresponding to the inner shaft when it occurs. For example, a rubber material or a metal hollow O-ring can be employed.

なお、以上説明したテンションプーリーは、従来より広く使用されている回転伝達機構であって、入力側プーリーと出力側プーリーとの間に無端ベルトを張設して回転力を伝達する形式のものであれば、いかなるものであっても、装着して使用ができる。   The tension pulley described above is a rotation transmission mechanism that has been widely used in the past, and is a type in which an endless belt is stretched between an input pulley and an output pulley to transmit rotational force. Anything can be worn and used.

以上説明した通り、本発明によれば、テンションプーリーの外軸と内軸との間に、例えば内軸の先端側と基端側とにＯリング等の緩衝部材を介装したので、テンションプーリーへのスチールベルトの偏当たりを防止することができる。また、突発的な入力に対応することができる。これにより、スチールベルトの偏当たりや負荷側から発生する突発的なテンション変動に対応でき、スチールベルトの長寿命化を達成することができる。   As described above, according to the present invention, a buffer member such as an O-ring is interposed between the outer shaft and the inner shaft of the tension pulley, for example, on the distal end side and the proximal end side of the inner shaft. It is possible to prevent the uneven contact of the steel belt with the belt. In addition, it is possible to cope with sudden input. As a result, it is possible to cope with uneven contact of the steel belt and sudden tension fluctuations generated from the load side, and it is possible to achieve a long life of the steel belt.

また、このテンションプーリーを用いることにより回転伝達機構自体の信頼性を向上することができる。   Moreover, the reliability of the rotation transmission mechanism itself can be improved by using this tension pulley.

さらに、スチールベルトのテンション調整マージンが増加することによりテンション調整に要する時間を短縮することができる。   Furthermore, the time required for tension adjustment can be shortened by increasing the tension adjustment margin of the steel belt.

以下、本願発明の実施の形態について説明する。図１（ａ）、（ｂ）は、従来例を説明する図４（ａ）、（ｂ）と同様に、テンションプーリーの軸心を含む面で断面にしてテンションプーリーにスチールベルトが接触する状態を説明するものである。   Embodiments of the present invention will be described below. 1 (a) and 1 (b) show a state in which the steel belt is in contact with the tension pulley in a cross-section along the plane including the axis of the tension pulley, as in FIGS. 4 (a) and 4 (b) illustrating the conventional example. Is described.

本願発明のテンションプーリー１６は、内軸１１に、外輪１８が回転可能に装着されて
いるものである。この内軸１１への外輪１８の回転可能な装着は、図示の例では、内軸１
１に、円筒体からなるカラー部１４が装着され、その外周にベアリング１５を介装して外
軸１７が装着される構成となっている。カラー部１４は、Ｏリング１３ａ、１３ｂを保持
する役割を果たすものであり、このカラー部１４と外輪１８との間にベアリング１９が介
装されて回転構造になっている。 The tension pulley 16 of the present invention is one in which an outer ring 18 is rotatably attached to the inner shaft 11. In the illustrated example, the rotatable attachment of the outer ring 18 to the inner shaft 11 is the inner shaft 1.
1, a collar portion 14 made of a cylindrical body is attached, and an outer shaft 17 is attached to the outer periphery of the collar portion 14 via a bearing 15. The collar portion 14 plays a role of holding the O-rings 13a and 13b, and a bearing 19 is interposed between the collar portion 14 and the outer ring 18 to form a rotating structure.

カラー部１４の、上縁部と下縁部にはそれぞれＯリング１３ａ、１３ｂの収容部１４ａが形成されている。Ｏリング１３ａは内軸１１の先端側に位置する収容部１４ａに装着され、Ｏリング１３ｂは内軸１１の基端側に位置する収容部１４ａに装着されている。   On the upper and lower edge portions of the collar portion 14, housing portions 14a for O-rings 13a and 13b are formed, respectively. The O-ring 13 a is attached to the accommodating portion 14 a located on the distal end side of the inner shaft 11, and the O-ring 13 b is attached to the accommodating portion 14 a located on the proximal end side of the inner shaft 11.

尚、外輪１８の外周面が出力側プーリーと入力側プーリーとの間に張設されるスチールベルト６に接触することとなる。 In addition, the outer peripheral surface of the outer ring 18 comes into contact with the steel belt 6 stretched between the output side pulley and the input side pulley.

テンションプーリー１６は、スチールベルト６が回転方向に回転した場合に、スチールベルト６へ与える摩擦力が最小限となる状態で動作するように、従来の方式と同様に、スチールベルト６の緩み止め及び回転効率の向上のために常にスチールベルト６へ荷重がかけられるように調整される。   Similar to the conventional method, the tension pulley 16 prevents the steel belt 6 from loosening and operates so that the frictional force applied to the steel belt 6 is minimized when the steel belt 6 rotates in the rotational direction. Adjustment is made so that a load is always applied to the steel belt 6 in order to improve the rotation efficiency.

このように構成されたテンションプーリー１６は、図３図示のような回転伝達機構１９に取り付けられて使用される。   The tension pulley 16 configured in this manner is used by being attached to a rotation transmission mechanism 19 as shown in FIG.

この回転伝達機構１９の構成につき、図３に基づいて説明する。以下の説明において、図５を用いて前述した従来のテンションプーリーを用いた回転伝達機構５０と同一の構成要素については、同一の符号を付して説明する。   The configuration of the rotation transmission mechanism 19 will be described with reference to FIG. In the following description, the same components as those of the rotation transmission mechanism 50 using the conventional tension pulley described above with reference to FIG.

回転伝達機構１９は、ベース１（図５参照）に固定された動力源２（図５参照）の出力軸２ａ（図５参照）に第一の入力側プーリー２０が取り付けられ、さらにベース１（図５参照）に第一の出力側プーリー２１が取り付けられ、第一の入力側プーリー２０と第一の出力側プーリー２１との間にスチールベルト６が張設されている。また、図３図示の例では、図５図示の回転伝達機構５０と異なり、第一の出力側プーリー２１と一体となった第二の入力側プーリー２２が設けられており、第二の出力側プーリー２３との間でも同様にスチールベルト６が張設されている。第二の出力側プーリー２３にはワークを把持する等して最終的に駆動すべき負荷５が取り付けられている。この場合、回転伝達機構１９は、動力源２の出力軸２ａが回転することにより、出力軸２ａの回転数と同一の回転数で第一の入力側プーリー２０が回転し、スチールベルト６を介して（入力側プーリー２０）／（出力側プーリー２１）の回転比で第一の出力側プーリー２１が回転する。この第一の出力側プーリー２１の回転数は、そのまま、第二の出力側プーリー２２の回転数となり、スチールベルト６を介して（入力側プーリー２２）／（出力側プーリー２３）の回転比で第二の出力側プーリー２３が回転する。これにより、第二の出力側プーリー２３に取り付けられた最終負荷となる負荷５も第二の出力側プーリー２３と同一の回転数で回転する。   The rotation transmission mechanism 19 includes a first input-side pulley 20 attached to an output shaft 2a (see FIG. 5) of a power source 2 (see FIG. 5) fixed to the base 1 (see FIG. 5). The first output side pulley 21 is attached to the first output side pulley 21 and the steel belt 6 is stretched between the first input side pulley 20 and the first output side pulley 21 (see FIG. 5). In the example shown in FIG. 3, unlike the rotation transmission mechanism 50 shown in FIG. 5, a second input side pulley 22 integrated with the first output side pulley 21 is provided. A steel belt 6 is similarly stretched between the pulley 23 and the pulley 23. The second output side pulley 23 is attached with a load 5 to be finally driven by gripping a workpiece or the like. In this case, in the rotation transmission mechanism 19, when the output shaft 2a of the power source 2 rotates, the first input-side pulley 20 rotates at the same rotational speed as the output shaft 2a. The first output pulley 21 rotates at a rotation ratio of (input pulley 20) / (output pulley 21). The rotation speed of the first output pulley 21 is the rotation speed of the second output pulley 22 as it is, and the rotation ratio of (input pulley 22) / (output pulley 23) via the steel belt 6 is as follows. The second output side pulley 23 rotates. As a result, the load 5 serving as the final load attached to the second output-side pulley 23 also rotates at the same rotational speed as the second output-side pulley 23.

テンションプーリー１６は図３図示のように環状を成すスチールベルト６に対して環状の外側から環状の内側に向かってスチールベルト６を押さえつけるように２カ所に配置されている。   As shown in FIG. 3, the tension pulley 16 is arranged at two locations so as to press the steel belt 6 from the outer side of the ring toward the inner side of the ring.

以上のように回転伝達機構１９に取り付けられたテンションプーリー１６の動作を図１、図２とに基づいて説明する。   The operation of the tension pulley 16 attached to the rotation transmission mechanism 19 as described above will be described with reference to FIGS.

図１は、図４（ｂ）図示のように、組立寸法公差により偏当たりが発生するようになった場合の本発明のテンションプーリー１６における外輪１８とスチールベルト６との接触の状態を表す説明図である。 FIG. 1 is an explanatory diagram showing a state of contact between the outer ring 18 and the steel belt 6 in the tension pulley 16 of the present invention in the case where uneven contact occurs due to assembly dimension tolerance as shown in FIG. 4B. FIG.

テンションプーリーでは、組立寸法公差により、回転伝達機構の運転中に例えば図４（ｂ）、（ｃ）図示のようにテンションプーリーの接触面とスチールベルトの接触面との角度にずれが生じ、スチールベルト６の符号６ａの近辺で偏当たりが生じる場合がある。   In the tension pulley, due to assembly dimensional tolerance, during the operation of the rotation transmission mechanism, the angle between the contact surface of the tension pulley and the contact surface of the steel belt is displaced as shown in FIGS. 4B and 4C, for example. There is a case where uneven contact occurs in the vicinity of the reference numeral 6 a of the belt 6.

しかし、この発明のテンションプーリー１６は、スチールベルト６から受ける応力に応じて、Ｏリング１３ａ、１３ｂが変形し、外輪８の外周面と内軸１１の軸心との角度を自動調整することができる。例えば、従来のテンションプーリー７では、図４（ｂ）、（ｃ）図示のように外輪８の上側部にだけスチールベルト６が接触し、偏当たりするような駆動状態になるときであっても本発明のテンションプーリー１６では、Ｏリング１３ａ、１３ｂが変形するので、外輪１８の外周面の内軸１１の軸心に対する角度と、スチールベルト６の内側面の内軸１１の軸心に対する角度が同一角度に補正、調整され、偏当たりを防止することができる。   However, in the tension pulley 16 of the present invention, the O-rings 13a and 13b are deformed in accordance with the stress received from the steel belt 6, and the angle between the outer peripheral surface of the outer ring 8 and the axis of the inner shaft 11 can be automatically adjusted. it can. For example, in the conventional tension pulley 7, even when the steel belt 6 is in contact with only the upper part of the outer ring 8 and is in a driving state where it strikes unevenly as shown in FIGS. 4 (b) and 4 (c). In the tension pulley 16 of the present invention, since the O-rings 13a and 13b are deformed, the angle of the outer peripheral surface of the outer ring 18 with respect to the axis of the inner shaft 11 and the angle of the inner surface of the steel belt 6 with respect to the axis of the inner shaft 11 are different. It is corrected and adjusted to the same angle, so that uneven contact can be prevented.

すなわち、図４（ｂ）図示のように、従来のテンションプーリーでは、外輪８の上端側に大きな力が生じるような接触の仕方になってしまう場合であっても、本発明のテンションプーリー１６では、図１（ｂ）図示のようにＯリング１３ａ、１３ｂの符号１３ａ１、１３ｂ２で示す対角線上に位置する部分が矢示２０の入力に応じて変形するので、外輪１８の外周面の内軸１１に対する角度が自動調整され、スチールベルト６と外輪１８の外周面とが常時面接触する。図１（ｃ）は、図１（ｂ）中矢示２０の方向（スチールベルト６の外側面側）からみた図であるが、スチールベルト６は偏当たりすることがないので、皺も生じていない。これにより、スチールベルト６は局部的な応力を受けることが無くなり、寿命が延びる。 That is, as shown in FIG. 4 (b), the tension pulley 16 of the present invention can be used in the conventional tension pulley, even when the contact is such that a large force is generated on the upper end side of the outer ring 8. As shown in FIG. 1B, the portions of the O-rings 13a and 13b located on the diagonal lines indicated by reference numerals 13a1 and 13b2 are deformed according to the input of the arrow 20, so that the inner shaft 11 on the outer peripheral surface of the outer ring 18 is deformed. The steel belt 6 and the outer peripheral surface of the outer ring 18 are always in surface contact with each other. FIG.1 (c) is the figure seen from the direction of the arrow 20 in FIG.1 (b) (the outer surface side of the steel belt 6), However, since the steel belt 6 does not strike unevenly, the wrinkle has not arisen. . As a result, the steel belt 6 is not subjected to local stress, and the life is extended.

次に、図２は、負荷側から発生する突発的なテンション変動が生じた場合のスチールベルト６と外輪１８との接触の状態を表す説明図である。   Next, FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state of contact between the steel belt 6 and the outer ring 18 when sudden tension fluctuations generated from the load side occur.

従来のテンションプーリー７は、突発的な入力はスチールベルト６自体が吸収していた。   In the conventional tension pulley 7, sudden input is absorbed by the steel belt 6 itself.

しかし、この発明のテンションプーリー１６は、外輪１８がスチールベルト６から受ける応力に応じて、Ｏリング１３ａ、１３ｂが変形するので、突発的なテンション変動が生じた場合の衝撃をＯリング１３ａ、１３ｂが吸収できる。 However, in the tension pulley 16 of the present invention, the O-rings 13a and 13b are deformed according to the stress that the outer ring 18 receives from the steel belt 6. Therefore, when the tension change suddenly occurs, the O-rings 13a and 13b Can be absorbed.

すなわち、図２中、スチールベルト６側から力を受けたテンションプーリー１６は、外軸１８が矢示２４の方向に移動しようとするので、Ｏリング１３ａ、１３ｂの、図２中符号１３ａ１、１３ｂ１で示す部分が入力に応じて変形し、突発的なテンション変動が生じた場合の衝撃をＯリング１３ａ、１３ｂで吸収することとなる。 That is, in FIG. 2, the tension pulley 16 receiving the force from the steel belt 6 side moves the outer shaft 18 in the direction of the arrow 24, so that the O-rings 13 a and 13 b of the reference numerals 13 a 1 and 13 b in FIG. The portion indicated by 13b 1 is deformed in response to the input, and the impact when sudden tension fluctuation occurs is absorbed by the O-rings 13a and 13b.

この発明のテンションプーリー１６に用いられるＯリング１３の硬度、つぶれ代（断面の形状及び寸法）は、スチールベルトのテンション値に合わせて適宜選択することになる。   The hardness and crushing allowance (cross-sectional shape and dimensions) of the O-ring 13 used in the tension pulley 16 of the present invention are appropriately selected according to the tension value of the steel belt.

出願人が行った実験データによれば、円筒コロ型軸受がステンレス等の硬質材料で形成されている従来の回転伝達機構の場合、３万回の動作に満たないレベルでスチールベルト６に何らかの変調、損傷が生じる場合があったところ、この発明のテンションプーリー１６を組み込んだ回転伝達機構では、４０万回以上の動作を行っても、スチールベルト６に何らの変調も見られていない。この動作確認は継続評価中であり、さらに長寿命化を達成できることが確実視される。   According to the experimental data conducted by the applicant, in the case of the conventional rotation transmission mechanism in which the cylindrical roller bearing is made of a hard material such as stainless steel, some modulation is applied to the steel belt 6 at a level that is less than 30,000 operations. In some cases, damage occurred. In the rotation transmission mechanism incorporating the tension pulley 16 of the present invention, no modulation was observed in the steel belt 6 even when the operation was performed 400,000 times or more. This operation check is under continuous evaluation, and it is certain that a longer life can be achieved.

以上、本発明の好ましい実施の形態を添付図面を参照して説明したが、本発明はかかる実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載から把握される技術的範囲において種々の形態に変更可能である。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described with reference to the accompanying drawing, this invention is not limited to this embodiment, In the technical range grasped | ascertained from description of a claim, various It is possible to change to the form.

この実施の形態では、Ｏリング１３ａは内軸１１の先端側に位置する収容部１４ａに装着され、Ｏリング１３ｂは内軸１１の基端側に位置する収容部１４ａに装着された構成としたが、緩衝部材として、例えば、内軸１１の先端側から基端側に亘って、複数本のＯリングを装着する構成とすることもできるし、内軸１１の先端側から基端側に亘って被覆する弾性円筒体を装着する構成とすることもできる。   In this embodiment, the O-ring 13a is attached to the accommodating portion 14a located on the distal end side of the inner shaft 11, and the O-ring 13b is attached to the accommodating portion 14a located on the proximal end side of the inner shaft 11. However, as the buffer member, for example, a plurality of O-rings may be mounted from the distal end side to the proximal end side of the inner shaft 11, or from the distal end side to the proximal end side of the inner shaft 11. It is also possible to adopt a configuration in which an elastic cylindrical body to be covered is attached.

（ａ）は、この発明のテンションプーリーにスチールベルトが接触する状態を説明する図であって、テンションプーリー及びスチールベルトを内軸の軸心を含む面で断面とした説明図。（ｂ）は、図１（ａ）図示のテンションプーリーの外輪が内軸に対して傾斜し、Ｏリングを圧潰した状態を示す説明図。（ｃ）は、図１（ｂ）図示の状態を図１（ｂ）中、矢示２０の方向から見た説明図。(A) is a figure explaining the state which a steel belt contacts the tension pulley of this invention, Comprising: The explanatory drawing which made the tension pulley and the steel belt the cross section in the surface containing the axial center of an inner shaft. (B) is explanatory drawing which shows the state which the outer ring | wheel of the tension pulley shown in FIG. 1 (a) inclines with respect to the inner shaft, and the O-ring was crushed. (C) is explanatory drawing which looked at the state of FIG.1 (b) illustration from the direction of the arrow 20 in FIG.1 (b). （ａ）は、図１（ａ）と同様の状態を示した説明図。（ｂ）は、図２（ａ）図示のテンションプーリーの外輪がスチールベルトからの入力を受けて内軸との平衡を保って内軸側に移動し、Ｏリングを圧潰した状態を示す説明図。(A) is explanatory drawing which showed the state similar to Fig.1 (a). FIG. 2B is an explanatory view showing a state in which the outer ring of the tension pulley shown in FIG. 2A receives the input from the steel belt, moves to the inner shaft side while maintaining equilibrium with the inner shaft, and crushes the O-ring. . この発明のテンションプーリーを取り付けた回転伝達機構の平面図。The top view of the rotation transmission mechanism which attached the tension pulley of this invention. （ａ）は、従来のテンションプーリーにスチールベルトが接触する状態を説明する図であって、テンションプーリー及びスチールベルトを内軸の軸心を含む面で断面とした説明図。（ｂ）は、図４（ａ）図示のテンションプーリーの外輪にスチールベルトが偏当たりした状態を示す説明図。（ｃ）は、図４（ｂ）図示の状態を図４（ｂ）中、矢示２０の方向から見た説明図。(A) is a figure explaining the state which a steel belt contacts the conventional tension pulley, Comprising: The explanatory drawing which made the tension pulley and the steel belt the cross section in the surface containing the axial center of an inner shaft. (B) is explanatory drawing which shows the state in which the steel belt contacted the outer ring | wheel of the tension pulley shown to Fig.4 (a). (C) is explanatory drawing which looked at the state of FIG.4 (b) illustration from the direction of the arrow 20 in FIG.4 (b). （ａ）は、従来のテンションプーリーを取り付けた回転伝達機構の平面図。（ｂ）は、同じく正面図。(A) is a top view of the rotation transmission mechanism which attached the conventional tension pulley. (B) is also a front view.

符号の説明Explanation of symbols

１ ベース
２ 動力源
３、２０、２２ 入力側プーリー
４、２１、２３ 出力側プーリー
５ 負荷
６ スチールベルト
７、１６ テンションプーリー
８、１８ 外輪
９ 内輪
１０ 円筒コロ
１１ 内軸
１２ コロ受け
１３ａ、１３ｂ Ｏリング
１４ カラー
１５ ベアリング
１７ 外軸
１９、５０ 回転伝達機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2 Power source 3, 20, 22 Input side pulley 4, 21, 23 Output side pulley 5 Load 6 Steel belt 7, 16 Tension pulley 8, 18 Outer ring 9 Inner ring 10 Cylindrical roller 11 Inner shaft 12 Roller receiver 13a, 13b O Ring 14 Collar 15 Bearing 17 Outer shaft 19, 50 Rotation transmission mechanism

Claims (2)

入力側プーリーの回転に追従して出力側プーリーを回転させる回転伝達機構の前記入力側プーリーと前記出力側プーリーとの間に張設される無端ベルトのテンション調整を行うテンションプーリーであって、
内軸と、
円筒体からなり、前記内軸に装着されるカラー部と、
円筒体からなり、前記無端ベルトに外周面が接触する外輪と、
前記カラー部と前記外輪との間に介装されたベアリングと、
前記内軸と前記カラー部との間に配置されたＯリングとを備え、
前記カラー部は、前記ベアリングが配置される介装部と、前記介装部の軸心方向の両縁よりもそれぞれ外側に延出され、前記Ｏリングが配置される収容部とを有し、
前記カラー部の径方向の位置関係において、前記収容部の内壁面が前記介装部の内壁面よりも外側であることを特徴とするテンションプーリー。 A tension pulley that adjusts the tension of an endless belt that is stretched between the input-side pulley and the output-side pulley of a rotation transmission mechanism that rotates the output-side pulley following the rotation of the input-side pulley ,
An inner shaft,
A collar portion made of a cylindrical body and attached to the inner shaft;
An outer ring made of a cylindrical body and having an outer peripheral surface in contact with the endless belt;
A bearing interposed between the collar portion and the outer ring;
An O-ring disposed between the inner shaft and the collar portion;
The collar portion includes an interposed portion in which the bearing is disposed, and an accommodating portion that extends outward from both edges in the axial direction of the interposed portion and in which the O-ring is disposed,
The tension pulley according to the present invention , wherein the inner wall surface of the housing part is located outside the inner wall surface of the interposition part in the radial positional relationship of the collar part . 基板搬送ロボットに用いられる回転伝達機構であって、
入力側プーリーと、
前記入力側プーリーの回転に追随して回転される出力側プーリーと、
前記入力側プーリーと前記出力側プーリーとの間に張設される無端ベルトと、
前記無端ベルトのテンション調整を行うテンションプーリーと、を備え、
前記無端ベルトはスチールベルトであり、
前記テンションプーリーは、請求項１に記載のテンションプーリーであることを特徴とする回転伝達機構。 A rotation transmission mechanism used in a substrate transfer robot,
An input pulley ,
An output pulley that is rotated following the rotation of the input pulley ;
An endless belt stretched between the input pulley and the output pulley ;
A tension pulley for adjusting the tension of the endless belt,
The endless belt is a steel belt;
The rotation transmission mechanism according to claim 1 , wherein the tension pulley is the tension pulley according to claim 1 .
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