JP4520678B2 - 弾性表面波用トランスジューサ - Google Patents
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Description
技術分野
本発明は、電子技術/エレクトロニクスの分野に関する。適用することができしかも有利である物体は、例えば広帯域のバンドパスフィルタおよび遅延線路のような弾性表面波に基づいている素子である。
【0002】
従来技術
圧電基板に配置されているフォーク歯群から構成されて成る、弾性表面波トランスジューサが公知である。フォーク歯(電極指)群はそれぞれ少なくとも2つのフォーク歯(電極指)から成っている。またここに記載のトランスジューサでは、少なくとも数個のフォーク歯群が形成されていて、これらのフォーク歯群はその他のフォーク歯群とは励振する波の振幅に関して相異している。
【0003】
特別な形態(WO97/10646)〔1〕では、先細になった構造を持った交差配置形トランスジューサが3つのフォーク歯から成るフォーク歯群から組み合わされて成っている。フォーク歯のうち2つは無反射のフォーク歯対を形成しており、一方それぞれ第3のフォーク歯はリフレクタフォーク歯である。普通、リフレクタフォーク歯の中心線とこのリフレクタフォーク歯に隣接している、フォーク歯対のフォーク歯との間の間隔は3pzg/8である。その際pzgは、集電極に対して平行に集電極の1つから前以て決められている間隔をおいて延在している直線に沿ったフォーク歯群の長さである。従って各フォーク歯群は生成される波の振幅に関して優勢な方向を有している。それ故に、この形式のトランスジューサストラクチャは単相の一方向トランスジューサである(Single Phase Unidirectinal Transducer=SPUDT)。リフレクタフォーク歯の幅がpzg/4ないし3pzg/8であるならば、フォーク歯群はEWCセルないしDARTセルと称される。単相の一方向トランスジューサが先細になっている構造として実現されていない場合には、これらは、約1%の帯域幅までの低い挿入損失を有するフィルタに対して適している。しかし〔1〕の場合にそうであるように、単相の一方向トランスジューサが先細になっている構造の原理で組み合わされるのであれば、フィルタは少なくとも50%の帯域幅までの低い挿入損失で実現可能である。
【0004】
説明してきたフィルタの伝送特性を所望のように調整設定することができるようにするために、個々のフォーク歯群によって生成される波の振幅の重み付け(波源の伝搬方向密度を変えること)が必要である。トランスバーサルフィルタから公知であるオーバラップを重み付けする方法をここで適用しても相当の欠点が生じる可能性がある。というのは、関連のトランスジューサのアパーチャ(開口長)全体にわたって振幅は実質的に一定でなければならないからである。本発明に最も近い別の固有の形態では、この問題は間引き重み付け(ギャップの密度を重み付ける)によって解決している(H. Yatsuda, IEEE Transaction on Ultrasonics, Ferroelectronics and Frequency Control vol. 41, March 1997, p. 453−458)〔2〕。
【0005】
フォーク歯群によって生成される波の振幅を、関連のトランスジューサのアパーチャ全体にわたって実質的に一定であるように重み付ける別の形式はDD208512〔3〕に記載されている。そこでは単相の一方向トランスジューサではなく、オーバラップが重み付けされたトランスジューサと一緒にトランスバーサルフィルタを形成し、その重み付け故に一様なトランスジューサが使用される場合に比べて阻止域選択を改善しているトランスジューサである。この形式のトランスジューサのフォーク歯群は相互に平行であり、それ故に先細になっている構造を成していない。それぞれのフォーク歯群は2つの同じ幅のフォーク歯から組み合わされて成っている。アパーチャ全体にわたって実質的に一様だが、にも拘わらず重み付けられた振幅は、いくつかのフォーク歯群が同じアパーチャを有する2つのサブトランスジューサに分割されておりかつこれらサブトランスジューサが電気的に直列に接続されていることによって保証される。このように変形されたこれらのフォーク歯群は構造化フォーク歯群と称される。〔3〕に記載されているフォーク歯群の重み付け係数(重み付けられた密度係数)は変形されていないフォーク歯群に比べて1/2である。それは、フォーク歯群の2つの同一のサブトランスジューサの直列接続の結果であり、これにより構造化されたフォーク歯群に加えられる電圧はトランスジューサ電圧の1/2である。
【0006】
通例、フィルタ仕様に基づいて適当な方法によって連続的な重み付け関数(密度関数)を突き止めかつこれらを引き続いてギャップ重み付け(ギャップ密度)に変換している。解決策〔2〕は、数多くの例において、0または±1に等しい重み付け係数(重み付けられた密度係数)しか認めないギャップ重み付けは大まかすぎて、連続する重み付け関数(密度関数)を十分な精度でシミュレートすることができないという欠点を有している。結果的に、このようにしてインプリメントされたフィルタは、ここでは理論的な意味しか持っていない連続的な重み付け関数の適用が要求の充足を保証しているにしても、フィルタ仕様の要求とは著しく相異してくる可能性がある。
【0007】
発明の開示
本発明の課題は、公知の形式の弾性表面波に対するトランスジューサを、実質的に均質な振幅プロフィールにも拘わらず、0または±1とは異なった重み付け係数も実現可能であるように改良することである。
【0008】
その際公知の形式のトランスジューサとして次のようなトランスジューサが考察される、すなわち、圧電基板の上に配置されていて、それぞれ少なくとも2つのフォーク歯から成っているフォーク歯群と、集電極とから組み合わされて成っており、その際フォーク歯装置全体は集電極の一方の方向に先細になっている構造を形成している。
【0009】
この課題は、請求項1に記載の、弾性表面波フィルタ用トランスジューサによって解決される。従属請求項は本発明の実施の形態を表している。
【0010】
この課題を解決するために、構造化されたフォーク歯群と称される数個のフォーク歯群はフォーク歯方向において複数のサブトランスジューサに分割されておりかつ電気的に直列に接続されており、これにより該サブトランスジューサは、該サブトランスジューサによって励振される波の振幅に関してその他のサブトランスジューサとは相異している。
【0011】
この解決法により、先細になっていくトランスジューサ構造の利点を、ギャップ重み付けより細かく段階付けられた重み付け係数を可能にする不連続的な重み付け方法の使用と組み合わせることが可能になる。構造化されたフォーク歯群がN個の同一の、電気的に直列に接続されているサブトランスジューサに分割されているとき、これらのフォーク歯群の重み付け係数は±1/Nに等しい。従ってギャップ重み付けに対して特徴的な重み付け係数0および±1の他に、別の重み付け係数、例えば±1/2および±1/3を調整設定可能である。
【0012】
トランスジューサフォーク歯の先細になっている配列と組み合わされている既述の重み付け方法はフォーク歯配列が先細になっていないトランスジューサに対してはあまり意味を持っていない。というのは、後者の場合、普通にも使用されるオーバラップ重み付けを使用できるようになっているからである。これに対して、フォーク歯の配列が先細になっているフォーク歯の場合にはオーバラップ重み付けは効果的ではない。というのは、オーバラップ重み付けはかえってこの構造の持つ利点を台無しにするかもしれないからである。それ故にフォーク歯にかかる電圧を変えるというような重み付け方法だけか適用可能である。上述した重み付け方法は、それを行うことができるのである。フォーク歯配列が先細になっていないトランスジューサに対しては僅かな意味しか有していないにも拘わらず、本発明が提供する特徴の組み合わせにより、驚くべき方法でフォーク歯の配列が先細になっているトランスジューサにおける重み付け問題の改善された解決策が得られる。
【0013】
本発明は次のように有利に実施することができる。
【0014】
第1の有利な形態によれば、すべてのサブトランスジューサは同じアパーチャを有している。
【0015】
更に、すべてのフォーク歯群が2つまたは3つのフォーク歯を含んでいるようにすれば効果的である。
【0016】
構造化されたフォーク歯群のそれぞれ2つのフォーク歯がフォーク歯対を形成し、ここでフォーク歯対のフォーク歯は同じ幅でありかつ異なった集電極に接続されており並びにフォーク歯対が全体として無反射でありかつそれぞれ第3のフォーク歯がリフレクタフォーク歯であるように相互配置されているようにすれば、特別効果的である。その内の特別な形態は、フォーク歯群がEWCセルまたはDARTセルとして実現されていることである。
【0017】
フォーク歯群が2つのフォーク歯から成っているとき、構造化されたフォーク歯群において、サブトランスジューサのフォーク歯は次のサブトランスジューサのそれぞれ別のフォーク歯または次のサブトランスジューサの同じフォーク歯に導電接続されているようにすることができる。
【0018】
フォーク歯群が1つのフォーク歯対とリフレクタフォーク歯とから成っているとき、構造化されたフォーク歯群のそれぞれのサブトランスジューサにおいて、リフレクタフォーク歯およびフォーク歯対の1つのフォーク歯が導電接続されて1つのフォーク歯サブ群を形成するようにしてもよい。
【0019】
更に、それぞれのフォーク歯サブ群が、同じフォーク歯群の次のサブトランスジューサの、該フォーク歯サブ群には属していないフォーク歯に導電接続されているようにすれば、効果的である。しかし少なくとも1つのフォーク歯サブ群が同じフォーク歯群の次のサブトランスジューサのフォーク歯サブ群に導電接続されているようにすることもできる。
【0020】
次のようにすれば重み付けを振幅ないし反射係数を重み付けるための連続関数に近づけるのが容易になる、すなわちそれぞれのフォーク歯対に属しているフォーク歯の幅ないしリフレクタフォーク歯の幅が、少なくとも1つのフォーク歯群においてその他のフォーク歯群におけるフォーク歯の幅とは相異している。
【0021】
目的に応じて、それぞれ同じアパーチャを有する異なった数のサブトランスジューサを備えている構造化されたフォーク歯群が存在していてもよい。他方において、構造化されたフォーク歯群が、それぞれ同じアパーチャを有する同じ数のサブトランスジューサに分割されていているようにすることもできる。
【0022】
しかし上述のトランスジューサは少なくとも2つの隣接するフォーク歯群を含んでいてもよく、この場合フォーク歯群の、同じアパーチャを有するサブトランスジューサの数は等しい。この場合、目的に合わせて、隣接するフォーク歯群のフォーク歯サブ群は相互に導電接続されているようにする。
【0023】
更に本発明のトランスジューサが弾性表面波フィルタの入力トランスジューサおよび/または出力トランスジューサであれば効果的である。
【0024】
次に本発明を実施例および添付図面に基づいて詳細に説明する。
【0025】
図面の簡単な説明
図面には、圧電基板上に弾性表面波に対する2つのトランスジューサが配置されている弾性表面波フィルタが示されている。
【0026】
本発明を実施するための最良の方策
図示の弾性表面波フィルタでは、圧電基板1の上に、弾性表面波に対する2つのトランスジューサ2および3が配置されている。トランスジューサ2は、フォーク歯群21,22,23並びに集電極24および25から組み合わされて成っている。フォーク歯のすべてのエッジは相互に傾けられていて、全体のフォーク歯配置は集電極25の方に向かって先細になっている構造を形成している。フォーク歯群21,22,23はDARTセルである。フォーク歯群21および23は、フォーク歯の傾きが異なっている点を除けば同一に構成されているので、フォーク歯群23についてだけ詳細に説明する。これは同じアパーチャ231および232を有するサブトランスジューサに分割されている。サブトランスジューサ231ないし232は、フォーク歯対を形成している2311および2312ないし2321および2322並びにリフレクタフォーク歯2313ないし2323から成っている。DARTセルの構造に相応して、それぞれフォーク歯対を形成している2311および2312ないし2321および2322はpzg/8幅でありかつこれらの中心線間間隔はpzg/4である。その際pzgは、集電極24および25に対して平行にこれら集電極の一方から前以て決められている間隔をおいて延在している直線に沿ったフォーク歯群22の長さである。リフレクタフォーク歯2313ないし2323は3pzg/8の幅を有している。フォーク歯2312ないし2322の中心線の、それぞれのリフレクタフォーク歯2313ないし2323の中心線からの間隔は3pzg/8である。サブトランスジューサ231においてリフレクタフォーク歯2313およびフォーク歯2311は導電性の連結部233を介して1つのフォーク歯サブ群に連結されており、その際連結部233は同時に、サブトランスジューサ231の集電極である。サブトランスジューサ232のフォーク歯2321および2323の導電接続は集電極25によって形成されている。従って、フォーク歯2311および2313から成っている、サブトランスジューサ231のフォーク歯サブ群は同じフォーク歯群23の次のサブトランスジューサ232の、フォーク歯2321および2323から成るフォーク歯サブ群には属していないフォーク歯2322と導電接続されている。従ってサブトランスジューサ231および232は電気的に直列に接続されている。結果的に、フォーク歯2312とフォーク歯2311および2313から成るフォーク歯サブ群との間並びにフォーク歯2322とフォーク歯2321および2323から成るフォーク歯サブ群との間に、集電極24および25間の電圧の半分の大きさの電圧が加わり、このためにフォーク歯群21および23によって生成される波の振幅は、フォーク歯群22によって生成される振幅の半分の大きさということになる。
【0027】
トランスジューサ3はフォーク歯群31,32,33並びに集電極34および35から組み合わされて成っている。フォーク歯のすべてのエッジは相互に傾けられていて、全体のフォーク歯配置は集電極35の方に向かって先細になっている構造を形成している。フォーク歯群31および33は、フォーク歯の傾きが異なっている点を除けば同一に構成されているので、フォーク歯群33についてだけ詳細に説明する。これは同じアパーチャ331および332を有するサブトランスジューサに分割されている。サブトランスジューサ331ないし332は、3311,3312および3313ないし3321,3322および3323から成っている。これらフォーク歯のすべて並びにこれらの間のすべてのギャップはpzg/6幅である。その際pzgは、集電極34および35に対して平行にこれら集電極の一方から前以て決められている間隔をおいて延在している直線に沿ったフォーク歯群32の長さである。サブトランスジューサ331においてフォーク歯3313および3311は導電性の連結部333を介して1つのフォーク歯サブ群に連結されており、その際連結部333は同時に、サブトランスジューサ331の集電極である。サブトランスジューサ332のフォーク歯3321および3323の導電接続は集電極35によって形成されている。従って、フォーク歯3311および3313から成っている、サブトランスジューサ331のフォーク歯サブ群は同じフォーク歯群23の次のサブトランスジューサ332の、フォーク歯3321および3323から成るフォーク歯サブ群には属していないフォーク歯3322と導電接続されている。従ってサブトランスジューサ331および332は電気的に直列に接続されている。結果的に、フォーク歯3312とフォーク歯3311および3313から成るフォーク歯サブ群との間並びにフォーク歯3322とフォーク歯3321および3323から成るフォーク歯サブ群との間に、集電極34および35間の電圧の半分の大きさの電圧が加わり、このためにフォーク歯群31および33によって生成される波の振幅は、フォーク歯群32によって生成される振幅の半分の大きさということになる。
【0028】
トランスジューサ2は、弾性表面波フィルタの入力トランスジューサとして作動され、トランスジューサ3は出力トランスジューサとして作動される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の弾性表面波フィルタの構造を平面的に示す略図である。
Claims (13)
- 圧電基板(1)に配置されていて、それぞれ少なくとも2つのフォーク歯から成っているフォーク歯群(21〜23;31〜33)と、集電極(24;25;34;35)とから組み合わされて成っており、ここでフォーク歯装置全体は集電極の一方の方向に先細になっている構造を形成している、弾性表面波に対するトランスジューサにおいて、
前記のフォーク歯群は、第1フォーク歯群と第2フォーク歯群とに分けられており、
前記の第1フォーク歯群(22;32)には、一方の集電極に接続された少なくとも1つのフォーク歯と、他方の集電極に接続されたフォーク歯群とが含まれており、
前記の第2フォーク歯群(21;23;31;33)は、複数のサブトランスジューサ(231;232;331;332)に分割され、2つの集電極の間でフォーク歯の方向に電気的に直列接続されていることによって当該のフォーク歯群は、当該フォーク歯群によって励振される波の振幅がその他のフォーク歯群とは異なっており、
前記の第2フォーク歯群の各サブトランスジューサ(231;232;331;332)には3つのフォーク歯が含まれており、
当該のサブトランスジューサの2つずつのフォーク歯は、フォーク歯対(2311+2312;2321+2322;3312+3313;3322+3323)を形成し、フォーク歯対のフォーク歯は幅が同じであり、かつ異なる集電極に接続されており、また当該のフォーク歯対が無反射でありかつサブトランスジューサ(231;232;331;332)の3つの目のフォーク歯(2313;2323;3311;3321)がリフレクタフォーク歯であるように互いに配置されていることを特徴とする、
弾性表面波に対するトランスジューサ。 - すべてのサブトランスジューサ(231;232;331;332)は同じアパーチャを有している、
請求項1記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - それぞれのフォーク歯群(21〜23;31〜33)はDARTセルである、
請求項1または2記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - それぞれのフォーク歯群(21〜23;31〜33)はEWCセルである、
請求項1または2記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - 前記の第2フォーク歯群のそれぞれのサブトランスジューサ(231;232;331;332)において、リフレクタフォーク歯(2313;2323;3311;3321)およびフォーク歯対の1つのフォーク歯(2311;2321;3313;3323)が導電接続されて1つのフォーク歯サブ群を形成している、
請求項1から4までのいずれか1項記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - それぞれのフォーク歯サブ群(2311+2313;3311+3313)は、同じフォーク歯群(23;33)の電気的に直列接続されたサブトランスジューサ(232;332)の、該フォーク歯サブ群には属していないフォーク歯(2322;3322)に導電接続されている、
請求項5記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - 少なくとも1つのフォーク歯サブ群は、同じフォーク歯群の電気的に直列接続されたサブトランスジューサのフォーク歯サブ群に導電接続されている、
請求項5記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - それぞれのフォーク歯対に属しているフォーク歯(2311;2312;2321;2322;3312;3313;3322;3323)の幅は、少なくとも1つのフォーク歯群(21〜23;31;33)においてその他のフォーク歯群におけるフォーク歯の幅とは相異している、
請求項1から7までのいずれか1項記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - リフレクタフォーク歯(2313;2323;3311;3321)の幅は、少なくとも1つのフォーク歯群(21〜23;31;33)においてその他のフォーク歯群におけるフォーク歯の幅とは相異している、
請求項1から8までのいずれか1項記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - それぞれ同じアパーチャを有する異なった数のサブトランスジューサ(231;232;331;332)を備えている第2フォーク歯群(21;23;31;33)が存在している、
請求項2記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - それぞれ同じアパーチャを有する同じ数のサブトランスジューサ(231;232;331;332)を備えている第2フォーク歯群(21;23;31;33)が存在している、
請求項2記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - 当該トランスジューサは少なくとも2つの隣接するフォーク歯群を含んでおり、該フォーク歯群の、同じアパーチャを有するサブトランスジューサの数は等しい、
請求項2記載の弾性表面波用トランスジューサ。 - 隣接するフォーク歯群のフォーク歯サブ群は相互に導電接続されている、
請求項5および12記載の弾性表面波用トランスジューサ。
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JPS5245477B2 (ja) * | 1972-05-16 | 1977-11-16 | ||
DE2524649C3 (de) * | 1975-06-03 | 1980-11-06 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Fernseh-ZF-Filter nach dem Oberflächenwellenprinzip |
SU726648A1 (ru) * | 1977-07-22 | 1980-04-05 | Ордена Трудового Красного Знамени Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср | Устройство на поверхностных акустических волнах |
US4166257A (en) * | 1977-10-19 | 1979-08-28 | Motorola, Inc. | Capacitively weighted surface acoustic wave device |
US4250474A (en) * | 1979-09-26 | 1981-02-10 | Hughes Aircraft Company | Continuous beam steering acoustic wave transducer |
SU805918A1 (ru) * | 1979-09-28 | 1982-03-30 | Ордена Трудового Красного Знамени Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср | Преобразователь поверхностных акустических волн |
DD208512A1 (de) * | 1980-12-09 | 1984-05-02 | Akad Wissenschaften Ddr | Akustisches oberflaechenwellenfilter |
GB2160379A (en) * | 1984-06-15 | 1985-12-18 | Philips Electronic Associated | Surface-propagating acoustic wave device |
GB2162396A (en) * | 1984-07-25 | 1986-01-29 | Philips Electronic Associated | Surface-propagating acoustic wave device |
US4600905A (en) * | 1985-09-03 | 1986-07-15 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Flat passband etched groove saw filter |
US4635008A (en) * | 1985-11-19 | 1987-01-06 | Sperry Corporation | Dispersive SAW filter with tapered transducers |
JPH07118625B2 (ja) * | 1986-07-30 | 1995-12-18 | 日本無線株式会社 | 斜め電極指弾性表面波フイルタ |
US4746882A (en) * | 1987-06-24 | 1988-05-24 | Unisys Corporation | Saw multiplexer using tapered transducers |
US4908542A (en) * | 1987-06-24 | 1990-03-13 | Unisys | Saw tapered transducers |
JPH03132208A (ja) * | 1989-10-18 | 1991-06-05 | Toshiba Corp | 弾性表面波素子 |
JP3363937B2 (ja) * | 1992-03-26 | 2003-01-08 | 日本碍子株式会社 | 弾性表面波フィルタ装置 |
US5446330A (en) * | 1993-03-15 | 1995-08-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device having a lamination structure |
JPH0750548A (ja) * | 1993-05-31 | 1995-02-21 | Canon Inc | 弾性表面波素子 |
US5831492A (en) * | 1995-09-15 | 1998-11-03 | Sawtek Inc. | Weighted tapered spudt saw device |
US5831494A (en) * | 1996-12-12 | 1998-11-03 | Sawtek Inc. | Dual track low-loss reflective saw filter |
DE19724259C2 (de) * | 1997-06-09 | 2002-11-14 | Epcos Ag | Dualmode-Oberflächenwellenfilter |
US5959388A (en) * | 1997-10-27 | 1999-09-28 | Lucent Technologies Inc. | Magnetically tunable surface acoustic wave devices |
DE19856455A1 (de) * | 1998-12-03 | 2000-06-08 | Asea Brown Boveri | Generatorkühlung mit Kühlernachlaufmischung |
JP3725360B2 (ja) * | 1999-03-18 | 2005-12-07 | 富士通株式会社 | 弾性表面波素子の製造方法 |
US6023122A (en) * | 1999-04-15 | 2000-02-08 | Nortel Networks Corporation | Surface wave devices with tapered transducers |
US6426583B1 (en) * | 1999-06-14 | 2002-07-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave element, method for producing the same and surface acoustic wave device using the same |
-
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