JP4517805B2 - 電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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また、前記第1洗浄工程の前に、前記第2大型基板の切断用溝が形成された面に洗浄液を供給して洗浄液膜を生成する洗浄液膜生成工程を有する。
Claims (8)
- 第1基板と第2基板とが少なくとも貼り合わされてなる電気光学装置の製造方法において、
前記第1基板を複数切り出すことができる第1大型基板の該第1基板となる領域に対向するように複数のチップ状の前記第2基板をそれぞれ貼り合わせる工程と、
前記第1大型基板の前記複数のチップ状の第2基板が貼り合わされた面と反対側の面にチップ状の第3基板に複数切り出すことができる第2大型基板を貼り合わせる工程とを備え、
前記第2大型基板を前記第1大型基板に貼り合わせる前に、
隣り合う前記チップ状の第2基板間において、前記第1大型基板の前記複数のチップ状の第2基板との貼り合せ面及び前記第2大型基板の前記第1大型基板との貼り合せ面にそれぞれ切断用溝を形成する工程と、
前記第2大型基板の切断用溝が形成された面をスクラブ洗浄する第1洗浄工程と、
前記第2大型基板を前記第1大型基板に貼り合わせた後に、
前記第2大型基板の貼り合せ面と反対側の面に前記切断用溝に沿って圧力を印加し、前記第1及び第3基板をそれぞれ切り出す切り出し工程とを有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記第1洗浄工程の前に、前記第2大型基板の切断用溝が形成された面に洗浄液を供給して洗浄液膜を生成する洗浄液膜生成工程を有することを特徴とする請求項1記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記第1洗浄工程が終了した後、前記第2大型基板の切断用溝が形成された面に別の洗浄液を供給して前記第1洗浄工程にて前記第2大型基板の切断用溝が形成された面から前記洗浄液膜に取り込まれた異物及び前記洗浄液膜を除去する第2洗浄工程を備える
ことを特徴とする請求項2記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記第2洗浄工程が終了した後、前記第2大型基板の切断用溝が形成された面に、前記第2洗浄工程で除去しれ切れなかった前記洗浄液を除去するためのリンス液を供給して、リンス液膜を生成するリンス液膜生成工程を備える
ことを特徴とする請求項3記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記リンス液膜生成工程が終了した後、前記第2大型基板の切断用溝が形成された面を乾燥させて前記リンス液を除去する乾燥工程を備える
ことを特徴とする請求項4記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記第1洗浄工程では洗浄ブラシを用いてスクラブ洗浄を行うと共に該洗浄ブラシのブラシ部に対して洗浄液を供給する
ことを特徴とする請求項1或いは2記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記洗浄ブラシは、前記第2大型基板の切断用溝が形成されている面に対設する平盤状に形成され、その底面に前記ブラシ部が設けられており、該ブラシ部が回転すると共に前記第2大型基板の切断用溝が形成されている面に沿って相対移動自在にされている
ことを特徴とする請求項6記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記洗浄ブラシは、前記第2大型基板の切断用溝が形成されている面と略平行に延出するロール状に形成され、その外周に前記ブラシ部が設けられており、該ブラシ部が回転すると共に前記第2大型基板の切断用溝が形成されている面に沿って相対移動自在にされていることを特徴とする請求項6記載の電気光学装置の製造方法。
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