JP4511543B2 - 蓄積法による漏れ検出装置および方法 - Google Patents
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Description
第2局面として、本発明は漏れ検出方法を提供する。本方法は、密封可能室、前記室と気体流通可能なトレースガス透過性部材、および前記透過性部材と気体連通可能なトレースガスセンサを設けることと、前記室にある間トレースガスを収容しているテストピースを前記室に配置することと、前記トレースガスを、前記室から前記透過性部材を介して通過させることと、前記トレースガスを前記トレースガスセンサで検出することを含む。
本発明の実施形態に係る漏れ検出装置の概略ブロック図を図1に示している。密封可能室10はテストピース12を保持している。テストピース12の内容積は、ヘリウムのようなトレースガスで加圧されてもよいし、漏れ検出装置の室10内部へ挿入される前に高いヘリウム濃度に曝されてもよいし、またはテストピース12が室10内部にある間、ヘリウム源に接続されてもよい。いずれの場合も、テストピース12は室10内部にある間、ヘリウムのようなトレースガスを収容している。
トレースガス透過性部材30は室10とイオンポンプ24との間に位置している。透過性部材30は、特定の条件下で、漏れ検出装置において使用されるトレースガス、通常ヘリウム、を透過する材料である。透過性部材30はトレースガスを実質的に通過または透過させるが、他のガス、液体および粒子を実質的にブロックする。かくして、透過性部材30は、トレースガスの通過は許容し、他のガス、液体および粒子をブロックするという意味で、トレースガス窓として作用する。透過性部材30は例えばディスク形状であってもよい。
ヘリウムだけが透過性部材30を通過すると共に、イオンポンプ24内の圧力を増加させる。ヘリウム圧力の増加は、ヘリウム圧力の増加と漏れ流量とに比例するイオンポンプ電流の増加をもたらす。透過性部材30を通過するヘリウムを除いて、ヘリウム検出アセンブリ20は室10において、ポンプ速度が実質的にゼロであるとともに、従来技術の装置の場合のように室10からガスを除去することは無い。ヘリウム検出器20はヘリウムの漏れを検出するが、ヘリウムを排気することは無いので、漏れは、従来技術の方法と比較して、より正確に、より高い信頼度で、かつ、よりすぐれた感度で検出される。
Claims (18)
- テストピースを受け入れて包囲するよう構成された密封可能室であって、前記テストピースが前記室内にある間トレースガスを収容するものである密封可能室と、
前記室に気体流通可能に装着されたトレースガス透過性部材と、
イオンポンプを備えたトレースガスセンサであって、前記透過性部材と気体流通可能でありかつ、前記室から当該トレースガスセンサへと前記透過性部材を通過した前記トレースガスを検出するよう構成されたトレースガスセンサと
を含み、
前記密封可能室は、前記イオンポンプによる漏れ検出の間、前記透過性部材を介したトレースガスの通過を除いて、密封されていることを特徴とする漏れ検出装置。 - 前記透過性部材が石英部材を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記透過性部材が石英部材を含み、
前記装置は更に、前記石英部材と熱接触する加熱部材と、前記加熱部材を制御するよう構成されたヒータ制御部とを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記透過性部材がポリマー部材を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記透過性部材のトレースガス透過度が制御可能であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記透過性部材がヘリウムを透過可能であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記トレースガスセンサは、前記トレースガスを収容する前記テストピースが前記室内に配置された後、指定した時に前記トレースガスを検出する手段を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記透過性部材および前記トレースガスセンサを包囲するハウジングと、
前記ハウジングを前記室へ取り付けるための真空フランジとを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - テストピースを受け入れて包囲するように構成された密封可能室、前記室と気体流通可能なトレースガス透過性部材、および、イオンポンプを備えたトレースガスセンサであって、前記透過性部材と気体流通可能なトレースガスセンサを設けることと、
前記室にある間トレースガスを収容しているテストピースを、前記室に配置することと、
前記トレースガスを、前記室から前記トレースガスセンサへと前記透過性部材を介して通過させることと、
前記透過性部材を介して通過された前記トレースガスを、前記トレースガスセンサで検出することと
を含み、
前記密封可能室は、前記イオンポンプによる漏れ検出の間、前記透過性部材を介したトレースガスの通過を除いて、密封されていることを特徴とする漏れ検出方法。 - 前記透過性部材が石英部材を含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記透過性部材が石英部材を含み、
前記方法は、前記石英部材を加熱することを更に含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。 - 前記透過性部材がポリマー部材を含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記透過性部材がヘリウムを透過可能であることを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記トレースガスを前記透過性部材を介して通過させることが、前記透過性部材のトレースガス透過度を制御することを含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記透過性部材のトレースガス透過度を制御することは、漏れ検出感度を制御することを含むことを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記透過性部材のトレースガス透過度を制御することは、前記透過性部材の温度を制御することを含むことを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記トレースガスを検出することは、ヘリウムを検出することを含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記トレースガスを検出することは、トレースガスを収容する前記テストピースが前記室内に配置された後、指定した時に前記トレースガスを検出することを含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。
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