JP4509322B2

JP4509322B2 - Bar type static eliminator

Info

Publication number: JP4509322B2
Application number: JP2000218513A
Authority: JP
Inventors: 真高柳
Original assignee: 株式会社Ｔｒｉｎｃ
Priority date: 2000-07-19
Filing date: 2000-07-19
Publication date: 2010-07-21
Anticipated expiration: 2020-07-19
Also published as: JP2002043092A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、バータイプ除電器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
1．ホコリ吸引機構付除電器
従来の交流式棒状除電器の代表例の1つを図１(図１ａは斜視図、図１ｂは断面図)に、また直流式棒状除電器の代表例の1つを図2(図２ａは斜視図、図２ｂは断面図)に示す。
これらは部分的に横方向の開口１０ａを有する中空のまたは中に充填物を詰められた棒状の容器１０に高電圧給電線１２を配し(直流式棒除電器の場合には、反対極性の高電圧線１２ａも設ける)、これに放電電極（針）１４を多数取り付け、空気中にイオン２０を放射している。放電電極（針）１４は絶えず高電圧をかけられているため、周囲のホコリや湿気を吸着し、イオン２０の発生性能を阻害している。このホコリを除去するため、一定期間使用したら外部から人手によりブラシ等で針を払い掃除をするように指示されている。しかし実際には高電圧部分（１２，１４）に（ブラシを使うにせよ）人手でさわることは作業者にとっては恐ろしい事であり、ほとんど実行されていない。従って放電針はホコリの山となり、イオンがほとんど出ない状況になっている。
【０００３】
即ち、従来の除電器では放電針１４の掃除は使用者の自主的な作業に委ねられていて、装置自身が自らの汚れによる機能低下を自己回復できる構造になっていなかった。
【０００４】
２．高電圧供給線の配線方式
従来の直流式除電器の高圧電線の配線例を図12に示す。片側に例えば＋の高圧電線１２を配置し、横にこの逆極性の高圧電線１２ａを配置している。このため発生したイオン２０は横方向にある逆極性の高圧電線１２ａに引かれ、イオンの飛翔方向が偏ると共に飛距離が短くなるという問題があった。
【０００５】
3．イオンチェッカー
従来のイオンチチェッカーは、例えば特開平1１−118861で示されるように、帯電板Ｂに高電圧を帯電させ、これに除電器Ａでイオンを吹きかけ流れる電流を複雑な電子回路にて測定していた。図18にその概略構成図を示し、図19に具体的な回路図を示す。そのため装置が精密で、かつ高価なため、誰もが簡単に使える物ではなかった。
【０００６】
4．PUSH−PULL式除電器
従来の除電器ではイオンの飛距離が短い。特に交流式では＋イオンと一イオンが直ぐに再結合してしまうので、飛距離は非常に短く、したがって送風機でもってイオンを飛ばしている。これに対し、直流除電器は送風機無しでもある程度は飛距離を確保できる。しかし、それでも高々70cmほどしか飛ばない。そのため実際の使用場面では、飛距離が不足し、十分な除電効果が得られず、困っている。
【０００７】
図２７に飛距離が不足し中間部にイオンがなく除電できない領域がある例を示す。図２８に例えば半導体のクリーンルーム内での除電状況を示す。天井２２に取り付けられた除電器１からのイオン２０は天井２２から1m程度しか届かないので肝心な人２４や設備、ワーク２６が除電できない。
【０００８】
図２９にゲート状に除電器を配置した場合を示す。ゲート２８，２８の中央部にイオン２０が届かないので除電不可能領域が存在している。従ってゲート２８，２８の間隔を狭くしなければならないので実用的でない。
【０００９】
5．遮蔽物でイオンバランスを取る方式
直流式の除電器では図３６と図３８に示すように中央のイオンバランスは良いが、両端のイオンバランスが悪いというように位置によりイオンバランスがばらつくという問題点があった。図３６と図３８では、左端の空間が＋の空間、右端の空間が一のイオン空間になっており、本来の中性からイオンバランスが崩れている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
１．ホコリ吸引機構付除電器
放電針は高電圧を使う関係上、どうしても集塵作用があり、ホコリを吸着する。ホコリを吸着するとイオン放出能力が減少し、除電能力が減少するので、絶えずホコリ等の汚れを掃除しなければならない。従来は全て作業者の手に任せられていた放電針の掃除を装置自身が掃除機構を装備することにより容易にする。
【００１１】
したがって、本発明の目的は、放電電極の掃除を容易にする除電器を提供する事にある。
【００１２】
2．高電圧供給線の配線方式
従来の直流式除電器の高圧電線の配線レイアウトは、片側に例えば＋極性の高電圧導体を配置し、その横に−極性の高電圧導体を配置している。それは両方の高電圧導体に、それぞれ＋または−のイオン発生用電極を立てるためである。即ち、各高電圧導体の横に逆極性の高電圧導体があるため、発生したイオンは横方向に引かれ、イオンの飛翔方向が偏ると共に飛距離が短くなるという問題があった。
【００１３】
したがって、本発明の目的は、イオンの飛翔方向が偏らず、針からまっすぐ前方に飛ぶようにすると共に、飛距離が短くならないようにする除電器を提供する事にある。
【００１４】
3．イオンチェッカー
従来のイオンチェッカーは、帯電板に高電圧を帯電させ、これに除電器でイオンを吹きかけ流れる電流を複雑な電子回路にて測定していた。そのため装置が精密で、かつ高価なため、誰もが簡単に使える物ではなかった。
【００１５】
したがって、本発明の目的は、複雑な電子回路を用いず、極めて簡単な横造で、安価で、誰もが簡単に使える放射イオン量測定装置を提供する事にある。
【００１６】
4．PUSH−PULL式除電器
従来の除電器ではイオンの飛距離が不足し、広い範囲にわたって十分な除電効果が得られず、困っている。
【００１７】
したがって、本発明の目的は、イオンの飛距離を延ばし、広い範囲にわたって十分な除電効果が得られる除電器を提供する事にある。
【００１８】
5．遮蔽物でイオンバランスを取る方式
直流式の除電器では、除電領域の中央のイオンバランスは良いが、両端のイオンバランスが悪いという問題点があった。
【００１９】
したがって、本発明の目的は、除電領域の両端においてイオンバランスを改善する除電器を提供する事にある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
１．ホコリ吸引機構付除電器
前述の目的を達成するために、本発明は、棒状の放電電極掃除用ブラシと払った挨を辺りに撒き散らし製品を汚す事のないよう真空吸引掃除装置を採用するものである。
【００２１】
2．高電圧供給線の配線方式
前述の目的を達成するために、本発明は、イオンの飛翔方向が偏らず、針からまっすぐ前方に飛ぶようにすると共に、飛距離が短くならないようにするため、放電電極に給電する高電圧供給線が放電電極の根元で放電電極と直角な線状または放電電極と垂直な面状であり、当該放電電極と反対の極性の高電圧供給線が当該放電電極の背後にある事を特徴とする直流型棒状除電器を採用するものである。
【００２２】
3．イオンチェッカー
前述の目的を達成するために、本発明は、複雑な電子回路を用いず、極めて簡単な構造で、安価で、誰もが簡単に使える放射イオン量測定装置を提供するため、正のイオンを受ける面状電極と、負のイオンを受ける面状電極と、両者を結ぶネオン管と、を有する事を特徴とする放射イオン検出装置を採用するものである。
【００２３】
さらに前記放射イオン検出装置にネオン管と直列に整流用ダイオードを有し、イオンの極性を判別することが出来る事を特徴とする放射イオン検出装置を採用するものである。
【００２４】
またイオンを受ける面状電極と、人間の手に触れる電極と、両者を結ぶネオン管と、を有する事を特徴とする放射イオン検出装置を採用するものである。
【００２５】
また前記放射イオン検出装置のネオン管と直列に整流用ダイオードを有し、イオンの極性を判別することが出来る事を特徴とする放射イオン検出装置を採用するものである。
【００２６】
4．PUSH−PULＬ式除電器
前述の目的を達成するために、本発明は、イオンの飛距離を延ばし、広い範囲にわたって十分な除電効果が得られる除電器を提供するために、互いに内側に向き合った放電電極を持ち、片方がイオンを放射する時、他方はこれと逆の極性のイオンを放射する事を特徴とする直流型除電器を採用するものである。
【００２７】
さらに前記に加え、互いに向き合った放電電極から放射するイオンの極性が、各放電電極において逆極性に切り替わる事を特徴とする除電器を採用するものである。このとき、逆極性の切り替わりは、向き合った放電電極が互いに逆極性になるように同期をとられていることが好ましい。
【００２８】
５．遮蔽物でイオンバランスを取る方式
前述の目的を達成するために、本発明は、イオン放出口を遮蔽物で部分的に遮蔽する事によって放射イオン量を調整する事を特徴とする除電器を採用するものである。
【００２９】
さらに両端のイオン放出口を遮蔽物で部分的に遮蔽する事によって放射イオン量を調整する事を特徴とする除電器を採用するものである。
【００３０】
【実施例】
1．ホコリ吸引機構付除電器
次に、本発明の実施例を説明する。図3は本装置の外観を示す。
放電部３０は棒状になっており、イオン２０の放出口１０ａが多数開けられている．ここにはイオン放出用放電電極（針）１４が多数顔を覗かせている。図４に示すように内部には放電針１４のホコリを払う多くのブラシを装備したブラシバー３２ａが有り、一方の端にあるブラシバー駆動部３２（アクチュエータ）により当該ブラシバー３２ａが駆動され、針１４に着いたホコリの掃除作業をする。その時払われた挨が除電器１から漏れ落ちないようにするため、他方の端から真空吸引をしてホコリを集めることもできる。本実施例では、ブラシバ−が内部にある例を示すが、外部にあることのある（図示せず）。
【００３１】
1つの実施例の断面図を図4に示す。除電器１の棒状放電電極１４を掃除するための掃除用ブラシ３２ｂが多数取り付けられたブラシバー３２ａがあり、このブラシバー３２ａはアクチュエータ３２により駆動され、針１４のホコリを払う．この時払われた挨が外部に漏れ落ちないように真空吸引しながらブラッッシングを行う。
【００３２】
別の実施例を図5に示す。この装置はホコリの吸引路と、イオンを飛ばす圧縮空気の供給路が同じ場合の除電器１を示す。この場合、通風路が共用出来るので1つで済むという特徴がある。
【００３３】
別の実施例を図6ａに示す。ホコリを払うブラシは除電器１の軸の周りに回転させる場合である。ブラシバー３２ａには放電時、イオン２０が通過する孔１０ａが開いている。ブラシングをする時はブラシが除電器の軸の周りに回転するので、放電口は開閉される。図６ｂはブラシバー３２ａが容器１０の外側に配置された例である。
【００３４】
別の実施例を図7ａに示す。ホコリを払うブラシ３２ｂを除電器１の軸と平行に摺動させる場合である。ブラシバー３２ａには放電時、イオンが通過する孔１０ａが開いている。ブラシングをする時はブラシ３２ｂが除電器１の軸と平行に摺動するので、放電口は開閉される。図７ｂは、ブラシバー３２ａが容器１０の外側に配置された例である。
【００３５】
別の実施例を図8と9に示す。ホコリ吸引路と独立した圧縮空気供給路を有する事を特徴とする除電器を示す。この場合、圧縮空気の中に水分や油分が含まれていても電気系統に漏電等の故障を来さないため、信頼性が高くなり寿命が長くなる。ホコリの吸引路が圧縮空気供給路３０と独立しているので、吸引された時、途中で止まっていたホコリが圧縮空気と共に送られて放出される事がなくなる。
【００３６】
2．高電圧供給線の配線方式
図10に高圧電線の配置方法を示す。放電針１４を前面に出し、放電針１４の根元に放電針１４と同極性の高電圧電線を放電針１４と直角に配置し、発生したイオン２０をクーロンの反発力で飛ばす。または放電針１４の根元に放電針１４と同極性の面状電極を放電針１４と垂直に配置し、発生したイオンをクーロンの反発力で飛ばす。
【００３７】
これらの場合、図11に示すように、イオンに対する引力を発生させる逆極性の高電圧電線を放電針１４とその高電圧電線や面状電極１２の背後に配置し、この電気力線による引力がイオンに影響しないようにする。
【００３８】
図13、図14ａ、１４ｂに実際の配線方法を示す。針１４を支える絶縁体の電極棒に放電針１４が植えられており、その電極棒の周りに高電圧電線１２、１２が配線されている。2本の電線１２、１２には逆極性の高電圧がかかっているので、絶えず一定の線間距離を保つように支持されている。図13は電線が絶えず電極棒の片面を這っているのに対し、図14a、図１４bは電線が電極棒に巻き付けられている。
【００３９】
図15は、電線の代わりにプリント基板３２、３２を用いている。原理的には前述の電線方式と同様で、＋極性と−極性の配線にそれぞれ独立した基板３２，３２を用いている。この場合のイオンの飛ぶ方向と放電針、配線パターンの位置関係が図16に示してある。図16ａは＋イオン放電針を、図16ｂは−イオン放電針の配線パターンの位置関係を示す。
【００４０】
図17に、この場合の絶縁距離を示してある。基板３２，３２を分離する事により沿面距離を加えて空間距離が発生するので高電圧に耐える配線が出来る。
【００４１】
3．イオンチェッカー
図20に本案のイオンチェッカーを直流型除電器に使用している状況を示す。図２１に本案実施例の具体例を示す。図2１aに実施例の1つを示す。絶縁性の良い支持部材３８上に、2つの電極４０，４０とこれらの電極を結ぶネオン管４２が装着してある。図2１bには別の実施例を示す。2つの独立した絶縁性の良い支持部材３８，３８上に、それぞれ1つの電極４０を配し、これらの電極４０をネオン管４２で結んである。除電器１のイオン放出電極から出てくる例えば＋イオンの前に片方の電極をかざすと電極が＋に帯電し、一イオンの前に他方の電極をかざすとその電極が−に帯電する。両電極の間に電位差が生じ、ネオン管４２を点灯させる。ネオン管４２の点灯の明るさは電位差の大きさによるので、点灯の明るさで両電極のイオンの放出量が読み取れる。
【００４２】
図22に別の実施例を示す。絶縁性の良い支持部材上に、1つの電極４０がありネオン管４２経由で接地される。除電器１のイオン放出電極１４から出てくるイオン２０の前に電極４０をかざすと電極４０が帯電し、接地４４との開に電位差が生じ、ネオン管４２を点灯させる。ネオン管４２の点灯の明るさは電位差の大きさによるので、点灯の明るさで電極１４のイオンの放出量が読み取れる。
【００４３】
図23aに別の実施例を示す。絶縁性の良い支持部材上に、1つの電極４０がありネオン管４２経由で人４３の手に接続される。除電器１のイオン放出電極１４から出てくるイオン２０の前に電極４０をかざすと電極４０が帯電し、人４３との間に電位差が生じ、ネオン管４２を点灯させる。ネオン管４２の点灯の明るさは電位差の大きさによるので、点灯の明るさで電極１４のイオンの放出量が読み取れる。
【００４４】
図23bにこの場合の等価回路を示す。すなわち、人４３は抵抗４６とコンデンサ４８で表現できるので、基本的には図22と同様であるが、対地間とは抵抗および容量経由で結合される点のみ異なる。
【００４５】
図24は、さらに片方のネオン管４２と直列にダイオード５０が追加され、他方のネオン管４２と直列に逆向きのダイオード５０が追加されている。この場合、放電されているイオンが＋なら電極から流れ出る方向のダイオード(右側)５０が導通するので、こちら側のネオン管４２が点灯する。逆に、放電されているイオンが−なら電極に流れ込む方向のダイオード５０(左側)が導通するので、そちら側のネオン管４２が点灯する。また放電が交流ならば、両方のダイオード５０、５０が交互に導通するので両方とも点灯して見える。このようにして、放出するイオン量のみならず、交流、直流の区別と直流の場合はその極性まで表示できる。
【００４６】
図25に別の実施例を示す。図25aは2つの電極間のイオン放出量を極性付きで表示するものである。図25bは2つの電極４０、４０間のイオン放出量を表示するものである。
【００４７】
図26にさらに別の実施例を示す。ネオン管４２を目視で判断する代わりにフォトセンサ５２で検出し、得られた信号を増幅器５４で増幅し、比較回路５６で比較処理して表示灯５８，６０，６２のいずれかを点灯する。
【００４８】
4．PUSH−PULL式除電器
図3０に実施例を示す。AとBは1対の除電器を示す。Aが例えば＋のイオンを出す時はBは−のイオンを出す。そして次の瞬間にはAは一のイオンを出し、Bは＋のイオンを出すというように、お互いに逆極性のイオンを出しつつ、順次各々の極性を切り替えていく。すると極性の違うイオン同志が引き合うので、AとBから出てきたイオン同志がお互いに引き付け合って相手の領域７０，７０まで飛んでいく。図中、通常のイオン領域は横に広がって距離が出ないのに対し、この方式のイオン領域は縦に距離が伸びてイオンのない領域をなくしている。時間軸上、次の瞬間にA、B両者のイオンの極性が変わるので、この間の領域に存在する除電対象物は＋と−の両極性のイオンをあび、除電される事になる。
【００４９】
図3１はA、B間の領域の時間軸上の空間電位を示す。図3１aは時刻T１におけるA、B間の空間電位を示す。即ち、Aからほぼ中央付近まで＋のイオンが飛んでいき、逆にBからほぼ中央付近まで−のイオンが飛んでくる。中央付近で両極性のイオン同志が再結合し消滅する。図3１bは時刻T2におけるA、B間の空間電位を示す。即ちAからほぼ中央付近まで−のイオンが飛んでいき、逆にBからほぼ中央付近まで＋のイオンが飛んでくる。中央付近で両極性のイオン同志が再結合し消滅する。
【００５０】
図3１cは時刻T１と時刻T2におけるA、B間の空間電荷の積分値を示す。即ち、Aからほぼ中央付近まで＋と−のイオンが飛んでいき、逆にBからほぼ中央付近まで−と＋のイオンが飛んでいる。このようにこの空間は＋、一中性のイオンで満たされていた事と同等であり、除電可能な領域を形成している。
【００５１】
図3２に従来の除電イオンが風に流される状況を示す。両方から放射されるイオンはお互いに引力も働かないので、容易に気流に流されてしまう。これに対し図3３に示すように本案の方式では、お互いのイオン同志が引き合うので、気流に対抗して流されにくくなり気流のある悪環境でも除電領域を確保できる。
【００５２】
図3４に本案のゲート式除電システムを示す。十分に広い除電ゲートを実現できる。図3５に本案による新しいクリーンルーム内の除電システムを示す。即ち、天井と床面からお互いに引き合うイオンを出し合う事で、天井から床まで完全に中性イオン空間を形成でき、除電領域とすることが出来る。
【００５３】
5．遮蔽物でイオンバランスを取る方式
図３７にバータイプの除電器の両端のイオン放射口を遮蔽物で一部遮り、イオンの放射量を抑えている様子を示す。図では左端の多すぎる＋イオンを遮蔽して抑え、イオンバランスを中性にしている。また右端の多すぎる−イオンを遮蔽して抑え、イオンバランスを中性にしている。こうする事により全体のイオンバランスを調整する事が可能である。
【００５４】
図３９に直流式除電器のイオン放射口の両端を遮蔽物８０、８０で一部遮り、イオンの放射量を抑えている様子を示す。図３９では左端の多すぎる＋イオンを遮蔽して抑え、イオンバランスを中性にしている。また右端の多すぎる一イオンを遮蔽して抑え、イオンバランスを中性にしている。こうする事により全体のイオンバランスを調整する事が可能である。
【００５５】
ＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器の補足説明
最初に従来例を説明すると、図４３〜図４５に示すように、交流入力された電圧は昇圧されて電極１４から放電され、ファン７０によって除電すべき物体７４に向けられる。この場合、放電針１４間の距離が比較的短いので、放電電極の電界を強め合う。その結果、放電針からコロナ放電がより発生しやすくなる。
【００５６】
一方、本発明では、図４０から図４２に示すように、好ましくは、パルス状の電圧が向き合った電極１４に印可される。そして、放電電極間の距離は、放電電極付近ではクーロンの反発力で空間に放出され（約２ｍ飛び）、互いに接近したとき、吸引し合ってさらに飛ぶ（さらに約０．５ｍ飛ぶ）距離に選ばれる（例えば、印可電圧の大きさに依存するが、３０ｃｍ以上で、５ｍ以下）。この場合、従来例で用いたファンは必要ない。
【００５７】
【発明の効果】
１．ホコリ吸引機構付除電器
以上説明したように、本発明によれば、高電圧の放電電極に着くホコリを容易に払い、そのホコリを辺りに撒き散らすことなく回収出来るようにする除電器が得られる。
【００５８】
2．高電圧供給線の配線方式
以上説明したように、本発明によれば、イオンの放射方向を歪めることなく、かつイオンを遠方に飛ばし広い除電領域を確保できる除電器が得られる。
【００５９】
3．イオンチェッカー
以上説明したように、本発明によれば、目に見えないイオンの放射を容易にかつ安価に視覚化でき、革新的なイオン測定器が得られる。
【００６０】
4．PUSH−PULL式除電器
以上説明したように、本発明によれば、イオンを遠く飛ばすことが出来るようになり、従来不可能だった広域除電ができる新しい除電器が得られる。
【００６１】
５．遮蔽物でイオンバランスを取る方式
以上説明したように、本発明によれば、従来から欠点とされてきた直流方式除電器の場所によるイオンバランスの崩れを改善し、元々の特徴であるイオンの飛距離と相まって、広域かつイオンバランスの良い新しい除電器が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、従来例の交流式棒状除電器を示す図である。
【図２】図２は、従来例の直流式棒状除電器を示す図である。
【図３】図３は、本発明の棒状除電器を示す図である。
【図４】図４は、棒状除電器の実施例を示す断面図である。
【図５】図５は、棒状除電器の他の実施例を示す断面図である。
【図６】図６は、棒状除電器のさらに他の実施例を示す断面図である。
【図７】図７は、棒状除電器のさらに他の実施例を示す断面図である。
【図８】図８は、棒状除電器のさらに他の実施例を示す断面図である。
【図９】図９は、図８で示す棒状除電器の断面図である。
【図１０】図１０は、高電圧供給線の配線方式を説明するための概略図である。
【図１１】図１１は、高電圧供給線の配線方式を説明するための概略図である。
【図１２】図１２は、従来例の棒状除電器の欠点を説明するための図である。
【図１３】図１３は、高電圧供給線の配線方式の実施例を説明するための図である。
【図１４】図１４は、高電圧供給線の配線方式の実施例を説明するための図である。
【図１５】図１５は、高電圧供給線の配線方式の実施例を説明するための図である。
【図１６】図１６は、高電圧供給線の配線方式の実施例を説明するための図である。
【図１７】図１７は、高電圧供給線の配線方式の実施例を説明するための図である。
【図１８】図１８は、従来例のイオンチェッカー概略回路図である。
【図１９】図１９は、従来例のイオンチェッカー回路図である。
【図２０】図２０は、イオンチェッカーを除電器に適用した実施例を示す図である。
【図２１】図２１は、イオンチェッカーを除電器に適用した他の実施例を示す図である。
【図２２】図２２は、イオンチェッカーを除電器に適用したさらに他の実施例を示す図である。
【図２３】図２３は、イオンチェッカーを除電器に適用したさらに他の実施例を示す図である。
【図２４】図２４は、イオンチェッカーを除電器に適用したさらに他の実施例を示す図である。
【図２５】図２５は、イオンチェッカーを直流式除電器に適用したさらに他の実施例を示す図である。
【図２６】図２６は、イオンチェッカーを除電器に適用したさらに他の実施例を示す図である。
【図２７】図２７は、従来例の除電器を説明するための図である。
【図２８】図２８は、従来例の除電器を説明するための図である。
【図２９】図２９は、従来例の除電器を説明するための図である。
【図３０】図３０は、本発明のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３１】図３１は、本発明のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３２】図３２は、従来例のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３３】図３３は、本発明のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３４】図３４は、本発明のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３５】図３５は、本発明のＰＵＳＨ−ＰＵＬＬ式除電器を説明するための図である。
【図３６】図３６は、従来例の直流除電器のイオンの分布を説明するための図である。
【図３７】図３７は、本発明の直流除電器のイオンの分布を説明するための図である。
【図３８】図３８は、従来例の直流除電器のイオンの分布を説明するための図である。
【図３９】図３９は、本発明の直流除電器のイオンの分布を説明するための図である。
【図４０】図４０は、本発明の除電器の概略構成図である。
【図４１】図４１は、図４０に示す除電器の電極に印可する電圧の波形図である。
【図４２】図４２は、図４０で示す除電器の斜視図である。
【図４３】図４３は、従来例の除電器の概略構成図である。
【図４４】図４４は、図４３に示す除電器の電極に印可する電圧の波形図である。
【図４５】図４５は、図４３で示す除電器の斜視図である。[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to a bar-type static eliminator.
[0002]
[Prior art]
1． Fig. 1 (Fig. 1a is a perspective view, Fig. 1b is a cross-sectional view) and Fig. 1b shows one typical example of a DC rod-type static eliminator. 2 (FIG. 2a is a perspective view and FIG. 2b is a cross-sectional view).
In this case, a high-voltage feeder 12 is arranged in a hollow container 10 having a lateral opening 10a or filled in a hollow container 10 (in the case of a DC bar static eliminator, of opposite polarity). A high voltage line 12a is also provided), and a number of discharge electrodes (needles) 14 are attached to the high voltage line 12a, and ions 20 are emitted into the air. Since the discharge electrode (needle) 14 is constantly applied with a high voltage, it adsorbs surrounding dust and moisture, and inhibits the generation performance of the ions 20. In order to remove this dust, it is instructed to wipe the needle with a brush or the like by hand from the outside after a certain period of use. However, actually touching the high voltage parts (12, 14) manually (whether using a brush) is a horrible thing for the operator and is rarely performed. Therefore, the discharge needle is a dust mountain, so that ions are hardly emitted.
[0003]
That is, in the conventional static eliminator, the cleaning of the discharge needle 14 is left to the user's own work, and the apparatus itself has not been structured to be able to self-recover the functional degradation due to its own dirt.
[0004]
2. Wiring method of high voltage supply line Fig. 12 shows an example of wiring of a high voltage electric wire of a conventional DC static eliminator. For example, a positive high-voltage electric wire 12 is arranged on one side, and a high-voltage electric wire 12a having a reverse polarity is arranged on the side. For this reason, the generated ions 20 are attracted to the high-voltage electric wires 12a having the opposite polarity in the lateral direction, which causes a problem that the flight direction of the ions is biased and the flight distance is shortened.
[0005]
3． Ion Checker A conventional ion checker, for example, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-118861, charges a charging plate B with a high voltage and measures the current flowing by spraying ions on the charging plate A with a complicated electronic circuit. Was. FIG. 18 shows a schematic configuration diagram, and FIG. 19 shows a specific circuit diagram. For this reason, the equipment is precise and expensive, so it was not easy for everyone to use.
[0006]
Four. PUSH-PULL type static eliminator Conventional ionizers have a short ion flight distance. In particular, in the AC type, + ion and one ion are immediately recombined, so the flight distance is very short, and therefore the ions are blown by a blower. On the other hand, the DC static eliminator can secure a flight distance to some extent even without a blower. However, it still flies at most about 70cm. Therefore, in actual use scenes, the flight distance is insufficient, and a sufficient static elimination effect cannot be obtained.
[0007]
FIG. 27 shows an example in which there is a region where the flight distance is insufficient and there is no ion in the middle portion and the charge cannot be removed. FIG. 28 shows, for example, the state of static elimination in a semiconductor clean room. Since the ions 20 from the static eliminator 1 attached to the ceiling 22 reach only about 1 m from the ceiling 22, the important person 24, equipment, and work 26 cannot be neutralized.
[0008]
FIG. 29 shows a case where the static eliminator is arranged in a gate shape. Since the ions 20 do not reach the central portion of the gates 28, 28, there is a region where static electricity cannot be removed. Therefore, since the interval between the gates 28 and 28 must be narrowed, it is not practical.
[0009]
Five. A method of taking ion balance with a shield The DC type static eliminator has a good ion balance at the center as shown in FIGS. 36 and 38, but the ion balance varies depending on the position as the ion balance at both ends is bad. there were. In FIGS. 36 and 38, the space at the left end is a + space and the space at the right end is a single ion space, and the ion balance is lost from the original neutrality.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
1. Since the discharge needle with dust suction mechanism uses a high voltage, it has a dust collecting action and adsorbs dust. When dust is adsorbed, the ion emission capacity is reduced and the charge removal capacity is reduced. Therefore, dirt such as dust must be constantly cleaned. Conventionally, the cleaning of the discharge needle, which has been entirely left to the hands of the operator, is facilitated by the apparatus itself equipped with a cleaning mechanism.
[0011]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a static eliminator that facilitates cleaning of the discharge electrode.
[0012]
2． High Voltage Supply Line Wiring Method The wiring layout of a high voltage electric wire of a conventional DC type static eliminator has, for example, a positive polarity high voltage conductor arranged on one side and a negative polarity high voltage conductor arranged on the side. This is because the positive and negative ion generating electrodes are provided on both high voltage conductors, respectively. That is, since there is a high-voltage conductor having a reverse polarity beside each high-voltage conductor, the generated ions are attracted in the lateral direction, causing a problem that the flight direction of the ions is biased and the flight distance is shortened.
[0013]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a static eliminator that does not bias the flight direction of ions, so that the ions fly straight forward and the flight distance is not shortened.
[0014]
3． Ion Checker Conventional ion checkers charge a charged plate with a high voltage and measure the flowing current by spraying ions with a static eliminator using a complicated electronic circuit. For this reason, the equipment is precise and expensive, so it was not easy for everyone to use.
[0015]
Accordingly, an object of the present invention is to provide an apparatus for measuring the amount of radioactive ions that can be used easily by anyone without using a complicated electronic circuit, having a very simple horizontal construction and being inexpensive.
[0016]
Four. PUSH-PULL-type static eliminators Conventional static eliminators have a shortage of ion flight distances, and are unable to obtain a sufficient static elimination effect over a wide range .
[0017]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a static eliminator that extends the ion flight distance and provides a sufficient static elimination effect over a wide range.
[0018]
Five. The DC type static eliminator that balances ions with a shield has a problem that the ion balance at the center of the static elimination region is good, but the ion balance at both ends is poor.
[0019]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a static eliminator that improves ion balance at both ends of a static elimination region.
[0020]
[Means for Solving the Problems]
1. Static eliminator with dust suction mechanism In order to achieve the above-mentioned object, the present invention employs a vacuum suction cleaning device so as not to disperse the dust and the dust that has been wiped around the rod-shaped discharge electrode cleaning brush. It is.
[0021]
2． High voltage supply line wiring method In order to achieve the above-mentioned object, the present invention is designed so that the flight direction of the ions is not biased, and the air travels straight forward from the needle and the flight distance is not shortened. The high voltage supply line for supplying power to the electrode is a line perpendicular to the discharge electrode or a plane perpendicular to the discharge electrode at the base of the discharge electrode, and a high voltage supply line having a polarity opposite to the discharge electrode is behind the discharge electrode. DC type rod-shaped static eliminator characterized by the above is adopted.
[0022]
3． In order to achieve the above-described object, the present invention provides a radiation ion quantity measuring apparatus that is extremely simple in structure, inexpensive, and easy to use for anyone without using a complicated electronic circuit. The present invention employs a radiation ion detector characterized by having a planar electrode for receiving ions, a planar electrode for receiving negative ions, and a neon tube connecting the two.
[0023]
Furthermore, the radioactive ion detector is provided with a rectifying diode in series with the neon tube and capable of discriminating the polarity of ions.
[0024]
Further, the present invention employs a radiation ion detector characterized by having a planar electrode for receiving ions, an electrode that touches a human hand, and a neon tube that connects the two.
[0025]
In addition, a radiation ion detection apparatus is used, which has a rectifying diode in series with the neon tube of the radiation ion detection apparatus and is capable of discriminating the polarity of ions.
[0026]
Four. PUSH-PULL type static eliminator In order to achieve the above-mentioned object, the present invention aims to extend the flight distance of ions and provide a static eliminator capable of obtaining a sufficient static elimination effect over a wide range. A DC type static eliminator is used, which has an electrode and one of which emits ions when the other emits ions of the opposite polarity.
[0027]
Further, in addition to the above, a static eliminator is employed in which the polarities of ions radiated from the discharge electrodes facing each other are switched to opposite polarities in each discharge electrode. At this time, the reverse polarity switching is preferably synchronized so that the discharge electrodes facing each other have the opposite polarities.
[0028]
5). Method of balancing ions with a shielding object In order to achieve the above-mentioned object, the present invention employs a static eliminator characterized by adjusting the amount of radiated ions by partially shielding the ion emission port with a shielding object. To do.
[0029]
Furthermore, a static eliminator characterized by adjusting the amount of radiated ions by partially shielding the ion emission ports at both ends with a shield.
[0030]
【Example】
1． Next, an embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 shows the external appearance of the device.
The discharge part 30 is rod-shaped, and a large number of discharge openings 10a for ions 20 are opened. Here, a large number of discharge electrodes (needles) 14 for ion emission are looking into the face. As shown in FIG. 4, there is a brush bar 32 a equipped with many brushes for removing dust from the discharge needle 14, and the brush bar 32 a is driven by a brush bar drive unit 32 (actuator) at one end, Clean the dust that arrives. In order to prevent dust discharged at that time from leaking from the static eliminator 1, dust can be collected by vacuum suction from the other end. In this embodiment, an example in which the brush bar is inside is shown, but it may be outside (not shown).
[0031]
A cross-sectional view of one embodiment is shown in FIG. There is a brush bar 32a to which a large number of cleaning brushes 32b for cleaning the rod-shaped discharge electrode 14 of the static eliminator 1 are attached. The brush bar 32a is driven by an actuator 32 to remove dust from the needles 14. Brushing is performed while vacuum suction so that dust discharged at this time does not leak to the outside.
[0032]
Another embodiment is shown in FIG. This device shows the static eliminator 1 when the dust suction path and the compressed air supply path for flying ions are the same. In this case, there is a feature that only one is required because the ventilation path can be shared.
[0033]
Another embodiment is shown in FIG. In this case, the dust brush is rotated around the axis of the static eliminator 1. The brush bar 32a has a hole 10a through which ions 20 pass during discharge. When brushing, the discharge port is opened and closed because the brush rotates around the axis of the static eliminator. FIG. 6 b shows an example in which the brush bar 32 a is disposed outside the container 10.
[0034]
Another embodiment is shown in FIG. This is a case where the brush 32b for removing dust is slid parallel to the axis of the static eliminator 1. The brush bar 32a has a hole 10a through which ions pass during discharge. When brushing, the brush 32b slides parallel to the axis of the static eliminator 1, so the discharge port is opened and closed. FIG. 7 b shows an example in which the brush bar 32 a is disposed outside the container 10.
[0035]
Another embodiment is shown in FIGS. 1 shows a static eliminator having a compressed air supply path independent of a dust suction path. In this case, even if moisture or oil is contained in the compressed air, a failure such as electric leakage does not occur in the electric system, so the reliability is increased and the life is extended. Since the dust suction path is independent of the compressed air supply path 30, when sucked, dust that has stopped in the middle is not sent with the compressed air and released.
[0036]
2． Wiring method of high voltage supply line Fig. 10 shows the arrangement method of high voltage electric wires. The discharge needle 14 is put out to the front, a high voltage electric wire having the same polarity as the discharge needle 14 is arranged at a right angle to the discharge needle 14 at the base of the discharge needle 14, and the generated ions 20 are blown by the repulsive force of Coulomb. Alternatively, a planar electrode having the same polarity as the discharge needle 14 is arranged at the root of the discharge needle 14 perpendicularly to the discharge needle 14, and the generated ions are blown by the repulsive force of Coulomb.
[0037]
In these cases, as shown in FIG. 11, a high-voltage electric wire having a reverse polarity that generates an attractive force against ions is disposed behind the discharge needle 14 and the high-voltage electric wire or the planar electrode 12, and the attractive force due to the electric force line is reduced. Do not affect ions.
[0038]
FIGS. 13, 14a and 14b show the actual wiring method. A discharge needle 14 is planted on an insulating electrode rod that supports the needle 14, and high-voltage electric wires 12 and 12 are wired around the electrode rod. Since the two electric wires 12 and 12 are applied with a high voltage of opposite polarity, they are supported so as to keep a constant line-to-line distance. In FIG. 13, the electric wire constantly crawls on one side of the electrode rod, whereas in FIGS. 14 a and 14 b, the electric wire is wound around the electrode rod.
[0039]
In FIG. 15, printed circuit boards 32 and 32 are used instead of electric wires. In principle, it is the same as the above-described electric wire system, and independent substrates 32 and 32 are used for + polarity and -polarity wiring, respectively. FIG. 16 shows the positional relationship between the ion flight direction, the discharge needle, and the wiring pattern in this case. 16a shows the positional relationship of the + ion discharge needle, and FIG. 16b shows the positional relationship of the − ion discharge needle.
[0040]
FIG. 17 shows the insulation distance in this case. By separating the substrates 32 and 32, a creeping distance is added and a spatial distance is generated, so that a wiring capable of withstanding a high voltage can be formed.
[0041]
3． Ion checker Fig. 20 shows a situation where the ion checker of this proposal is used for a DC type static eliminator. FIG. 21 shows a specific example of the present embodiment. FIG. 21a shows one embodiment. Two electrodes 40 and 40 and a neon tube 42 connecting these electrodes are mounted on a support member 38 with good insulation. FIG. 21b shows another embodiment. One electrode 40 is arranged on each of two independent supporting members 38 and 38 having good insulating properties, and these electrodes 40 are connected by a neon tube 42. For example, when one electrode is held in front of + ions coming out from the ion emission electrode of the static eliminator 1, the electrode is charged to +, and when the other electrode is held in front of one ion, the electrode is charged to-. A potential difference is generated between the two electrodes, and the neon tube 42 is turned on. Since the lighting brightness of the neon tube 42 depends on the magnitude of the potential difference, the amount of ions emitted from both electrodes can be read with the lighting brightness.
[0042]
FIG. 22 shows another embodiment. One electrode 40 is provided on a support member with good insulation and is grounded via a neon tube 42. When the electrode 40 is held in front of the ions 20 coming out from the ion emission electrode 14 of the static eliminator 1, the electrode 40 is charged, a potential difference is generated between the electrode 40 and the ground 44, and the neon tube 42 is lit. Since the lighting brightness of the neon tube 42 depends on the magnitude of the potential difference, the ion emission amount of the electrode 14 can be read by the lighting brightness.
[0043]
FIG. 23a shows another embodiment. There is one electrode 40 on a support member with good insulation, and it is connected to the hand of a person 43 via a neon tube 42. When the electrode 40 is held in front of the ions 20 coming out from the ion emission electrode 14 of the static eliminator 1, the electrode 40 is charged and a potential difference is generated between the person 43 and the neon tube 42 is lit. Since the lighting brightness of the neon tube 42 depends on the magnitude of the potential difference, the ion emission amount of the electrode 14 can be read by the lighting brightness.
[0044]
FIG. 23b shows an equivalent circuit in this case. That is, since the person 43 can be expressed by the resistor 46 and the capacitor 48, it is basically the same as in FIG. 22, but is different from the ground only in that it is coupled via a resistor and a capacitor.
[0045]
In FIG. 24, a diode 50 is further added in series with one neon tube 42, and a reverse diode 50 is added in series with the other neon tube 42. In this case, if the discharged ion is +, the diode (right side) 50 in the direction of flowing out from the electrode becomes conductive, and the neon tube 42 on this side lights up. On the other hand, if the discharged ion is-, the diode 50 (left side) in the direction of flowing into the electrode becomes conductive, and the neon tube 42 on that side lights up. If the discharge is alternating current, both diodes 50 and 50 are alternately turned on, so both appear to be lit. In this way, not only the amount of ions to be emitted, but also the polarity of alternating current and direct current and the polarity in the case of direct current can be displayed.
[0046]
FIG. 25 shows another embodiment. FIG. 25a shows the amount of ion emission between two electrodes with polarity. FIG. 25b displays the amount of ion emission between the two electrodes 40,40.
[0047]
FIG. 26 shows still another embodiment. Instead of judging the neon tube 42 visually, the photo sensor 52 detects the signal, and the obtained signal is amplified by the amplifier 54, and the comparison circuit 56 performs comparison processing to turn on one of the indicator lamps 58, 60, 62.
[0048]
Four. PUSH-PULL type static eliminator FIG. 30 shows an embodiment. A and B indicate a pair of static eliminators. For example, when A emits a positive ion, B emits a negative ion. Then, at the next moment, A emits one ion, B emits + ion, and so on. Then, ions with different polarities attract each other, so the ions coming out from A and B attract each other and fly to the partner areas 70 and 70. In the figure, the normal ion region spreads laterally and does not produce a distance, whereas the ion region of this system extends the length vertically and eliminates the region without ions. Since the polarities of both the ions A and B change at the next moment on the time axis, the static elimination object existing in the region between them has positive and negative ions and is neutralized.
[0049]
FIG. 31 shows the space potential on the time axis in the region between A and B. FIG. 31a shows the space potential between A and B at time T1. That is, + ions fly from A to almost the center, and-ions from B to around the center. Near the center, bipolar ions recombine and disappear. FIG. 31b shows the space potential between A and B at time T2. That is, − ions fly from A to almost the center, and conversely, + ions fly from B to almost the center. Near the center, bipolar ions recombine and disappear.
[0050]
FIG. 31c shows the integrated value of the space charge between A and B at time T1 and time T2. That is, + and − ions fly from A to almost the center, and conversely − and + ions fly from B to almost the center. In this way, this space is equivalent to being filled with + and one neutral ion, and forms an area capable of charge removal.
[0051]
Fig. 32 shows the situation in which conventional ionization ions are swept into the wind. Ions radiated from both do not attract each other, so they are easily carried by the air current. On the other hand, as shown in FIG. 33, since the ions of the present scheme attract each other, it is difficult for the ions to flow against the air flow, and it is possible to secure a static elimination region even in a bad environment with air flow.
[0052]
Fig. 34 shows the gate type static elimination system of this proposal. A sufficiently wide static elimination gate can be realized. Fig. 35 shows the new static elimination system in the clean room according to this plan. That is, by emitting ions attracting each other from the ceiling and the floor, a neutral ion space can be completely formed from the ceiling to the floor, and a neutralization region can be formed.
[0053]
Five. Method of obtaining ion balance with a shielding object FIG. 37 shows a state in which the ion radiation openings at both ends of a bar-type static eliminator are partially shielded with a shielding object to suppress the radiation amount of ions. In the figure, too many + ions at the left end are shielded and suppressed to neutralize the ion balance. Moreover, there is too much right end—the ions are shielded and suppressed, and the ion balance is neutral. By doing this, it is possible to adjust the overall ion balance.
[0054]
FIG. 39 shows a state in which both ends of the ion radiating port of the DC type static eliminator are partially blocked by the shields 80 and 80 to suppress the ion radiation amount. In FIG. 39, too many + ions at the left end are shielded and suppressed to neutralize the ion balance. In addition, the ion balance at the right end is blocked and suppressed to neutralize the ion balance. By doing this, it is possible to adjust the overall ion balance.
[0055]
Supplementary Explanation of PUSH-PULL Type Charger First, a conventional example will be described. As shown in FIGS. 43 to 45, an AC input voltage is boosted and discharged from the electrode 14, and an object 74 to be discharged by a fan 70. Directed to. In this case, since the distance between the discharge needles 14 is relatively short, the electric fields of the discharge electrodes are strengthened. As a result, corona discharge is more likely to occur from the discharge needle.
[0056]
On the other hand, in the present invention, as shown in FIGS. 40 to 42, preferably, a pulsed voltage is applied to the electrodes 14 facing each other. The distance between the discharge electrodes is selected as the distance near the discharge electrodes that is released into the space by Coulomb's repulsive force (approx. 2 m), and when they approach each other, they attract each other and fly further (approx. 0.5 m). (For example, depending on the magnitude of the applied voltage, it is 30 cm or more and 5 m or less). In this case, the fan used in the conventional example is not necessary.
[0057]
【The invention's effect】
1. As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a static eliminator that easily removes dust from a high-voltage discharge electrode and allows the dust to be collected without being scattered around. .
[0058]
2． As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a static eliminator that can secure a wide static elimination region by displacing ions far away without distorting the radiation direction of ions.
[0059]
3． As described above, according to the present invention, according to the present invention, invisible ion radiation can be visualized easily and inexpensively, and an innovative ion measuring instrument can be obtained.
[0060]
Four. PUSH-PULL type static eliminator As described above, according to the present invention, ions can be skipped far away, and a new static eliminator capable of performing wide-area static elimination that has been impossible in the past can be obtained.
[0061]
5). As described above, according to the present invention, the ion balance collapse caused by the location of the DC type static eliminator, which has been regarded as a drawback, has been improved, and the ion flight, which is the original characteristic, is improved. Coupled with distance, a new static eliminator with a wide area and good ion balance can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a view showing a conventional AC bar-shaped static eliminator.
FIG. 2 is a diagram showing a conventional DC bar-type static eliminator.
FIG. 3 is a view showing a rod-shaped static eliminator of the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing an embodiment of a rod-shaped static eliminator.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing another embodiment of the rod-shaped static eliminator.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing still another embodiment of the bar-shaped static eliminator.
FIG. 7 is a cross-sectional view showing still another embodiment of the rod-shaped static eliminator.
FIG. 8 is a cross-sectional view showing still another embodiment of the rod-shaped static eliminator.
FIG. 9 is a cross-sectional view of the rod-shaped static eliminator shown in FIG.
FIG. 10 is a schematic diagram for explaining a wiring method of a high voltage supply line;
FIG. 11 is a schematic diagram for explaining a wiring method of a high voltage supply line;
FIG. 12 is a diagram for explaining a defect of a conventional bar-shaped static eliminator.
FIG. 13 is a diagram for explaining an embodiment of a wiring system of a high voltage supply line.
FIG. 14 is a diagram for explaining an embodiment of a wiring system of a high voltage supply line.
FIG. 15 is a diagram for explaining an embodiment of a wiring system of a high voltage supply line.
FIG. 16 is a diagram for explaining an embodiment of a wiring system of a high voltage supply line.
FIG. 17 is a diagram for explaining an embodiment of a wiring system of a high voltage supply line.
FIG. 18 is a schematic circuit diagram of an ion checker of a conventional example.
FIG. 19 is a conventional ion checker circuit diagram.
FIG. 20 is a diagram illustrating an example in which an ion checker is applied to a static eliminator.
FIG. 21 is a diagram showing another embodiment in which an ion checker is applied to a static eliminator.
FIG. 22 is a diagram showing still another embodiment in which an ion checker is applied to a static eliminator.
FIG. 23 is a diagram showing still another embodiment in which an ion checker is applied to a static eliminator.
FIG. 24 is a diagram showing still another embodiment in which an ion checker is applied to a static eliminator.
FIG. 25 is a diagram showing still another embodiment in which an ion checker is applied to a DC static eliminator.
FIG. 26 is a diagram showing still another embodiment in which an ion checker is applied to a static eliminator.
FIG. 27 is a diagram for explaining a conventional static eliminator.
FIG. 28 is a diagram for explaining a conventional static eliminator.
FIG. 29 is a diagram for explaining a conventional static eliminator.
FIG. 30 is a diagram for explaining a PUSH-PULL static eliminator of the present invention.
FIG. 31 is a diagram for explaining a PUSH-PULL static eliminator of the present invention.
FIG. 32 is a diagram for explaining a PUSH-PULL type static eliminator of a conventional example.
FIG. 33 is a diagram for explaining a PUSH-PULL static eliminator of the present invention.
FIG. 34 is a diagram for explaining a PUSH-PULL static eliminator of the present invention.
FIG. 35 is a diagram for explaining a PUSH-PULL static eliminator of the present invention.
FIG. 36 is a diagram for explaining the ion distribution of the conventional DC static eliminator.
FIG. 37 is a diagram for explaining the distribution of ions in the DC static eliminator of the present invention.
FIG. 38 is a diagram for explaining the distribution of ions in a conventional DC static eliminator.
FIG. 39 is a diagram for explaining the distribution of ions in the DC static eliminator of the present invention.
FIG. 40 is a schematic configuration diagram of a static eliminator of the present invention.
41 is a waveform diagram of a voltage applied to the electrode of the static eliminator shown in FIG. 40. FIG.
42 is a perspective view of the static eliminator shown in FIG. 40. FIG.
FIG. 43 is a schematic configuration diagram of a conventional static eliminator.
44 is a waveform diagram of a voltage applied to the electrode of the static eliminator shown in FIG. 43. FIG.
45 is a perspective view of the static eliminator shown in FIG. 43. FIG.

Claims

間隔を開けてイオン放出口として機能する複数の開口を直線上に設けた棒状の中空容器と、
前記イオン放出口を通してイオンを放出するようにイオン放出口に対向して前記中空容器の内部に配置された複数の放電電極と、
前記中空容器に対して摺動可能にまたは回転可能に取付けられて、前記中空容器に対して摺動または回転されることにより前記放電電極の各々を掃除する各々のブラシが設けられており、かつイオン放出時の前記開口を塞がない開放位置と、ブラシ掃除時の前記開口を塞ぐ閉鎖位置をとるブラシバーと、
前記中空容器の端部に設けられており、前記ブラシバーがアクチュエータにより駆動されるときに、前記ブラシで掃除したときのホコリを吸引するホコリ吸引機と、
を有することを特徴とする除電器。A rod-like hollow container provided with a plurality of openings on a straight line at intervals to function as ion emission ports;
A plurality of discharge electrodes disposed inside the hollow container so as to face the ion emission port so as to emit ions through the ion emission port;
Each brush attached to the hollow container so as to be slidable or rotatable, and each brush for cleaning each of the discharge electrodes by being slid or rotated with respect to the hollow container; and An open position that does not block the opening during ion release, and a brush bar that takes a closed position to close the opening during brush cleaning;
A dust suction device that is provided at an end of the hollow container and sucks dust when cleaned with the brush when the brush bar is driven by an actuator ;
A static eliminator characterized by comprising:

請求項１記載の除電器において、前記中空容器が中空の長方体または中空の円筒体であることを特徴とする除電器。 The static eliminator according to claim 1, wherein the hollow container is a hollow rectangular body or a hollow cylindrical body.

請求項１記載の除電器において、前記ブラシバーの駆動部は前記ホコリ吸引機が設けられた端部とは反対側の端部に設けられていることを特徴とする除電器。 The static eliminator according to claim 1, wherein the brush bar driving portion is provided at an end opposite to the end provided with the dust suction device.

請求項１記載の除電器において、前記ブラシバーがイオン放出時の前記開口を塞がない開放位置にあるとき、前記ホコリ吸引機を、圧縮空気をイオン放出口を通して放出するのに使用することを特徴とする除電器。 2. The static eliminator according to claim 1, wherein the dust suction device is used to discharge compressed air through an ion discharge port when the brush bar is in an open position that does not block the opening during ion discharge. A static eliminator.