JP4505551B2 - 電子ビーム測長装置及び測長方法 - Google Patents
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- 電子ビームを用いて、測長対象内の同一直線上に並ぶ直線部分を有する所定の測長部分を測長する電子ビーム測長装置であって、
前記電子ビームを発生する電子銃と、
前記電子ビームを所定の焦点位置に結ぶ電子レンズと、
前記電子ビームを偏向する偏向部と、
前記測長対象を載置可能な測長対象保持部と、
前記電子ビームに起因して飛散する電子を検出する検出器と、
前記測長対象内の所定の部分が存在すべき設計位置に関する設計位置情報を記憶する記憶部と、
前記設計位置情報に基づいて、前記偏向部により前記電子ビームを走査する焦点検出走査制御部と、
前記測長対象の位置と前記電子レンズの焦点位置との相対位置を変化させつつ、前記相対位置のそれぞれにおいて、前記焦点検出走査制御部により前記電子ビームを走査させることにより前記検出器から逐次検出される前記電子の変化状況に基づいて、前記電子レンズの焦点位置を前記測長対象に合わせる合焦制御部と、
前記電子レンズの焦点位置を前記測長対象に合わせた後において、前記設計位置情報に基づいて、前記直線部分に略垂直に電子ビームが2ヶ所以上照射されるように走査するアライメント走査制御部と、
前記アライメント走査制御部により前記電子ビームが走査された際に前記検出器から検出される電子の変化状況に基づいて、前記直線部分に略平行な方向に前記電子ビームが走査されるように前記偏向部を調整するアライメント部と、
前記設計位置情報に基づいて、調整された前記偏向部により前記所定の測長部分が存在すべき前記設計位置に前記電子ビームが照射されるように前記電子ビームを走査する測長走査制御部と、
前記測長走査制御部により前記電子ビームが走査されている際に、前記検出器により逐次検出される電子の変化状況に基づいて、前記測長部分の長さを測定する測長部と
を有することを特徴とする電子ビーム測長装置。 - 前記測長対象保持部は、前記測長対象を移動することができ、
前記合焦制御部は、前記測長対象保持部を前記電子レンズの光軸と平行な方向に移動させることにより前記電子レンズの前記焦点位置を前記測長対象に合わせることを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム測長装置。 - 前記電子レンズは、前記焦点位置を調整可能であり、
前記合焦制御部は、前記電子レンズの前記焦点位置を移動させることにより前記電子レンズの前記焦点位置を前記測長対象に合わせることを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム測長装置。 - 前記合焦制御部は、前記検出器から逐次検出される複数の2次電子量の変化状況の中で、2次電子の変化の立ち上がりが最も鋭い2次電子量の変化状況を検出した場合における測長対象の位置を、前記電子レンズの焦点が合っているとする請求項1から3のいずれかに記載の電子ビーム測長装置。
- 電子ビームを用いて、測長対象内の同一直線上に並ぶ直線部分を有する所定の測長部分を測長する測長方法であって、
前記測長対象の位置と電子レンズの焦点位置との相対位置を変化させつつ、前記相対位置のそれぞれにおいて、前記測長対象内の所定の部分が存在すべき設計位置に関する設計位置情報に基づいて、前記電子ビームを走査する焦点検出走査ステップと、
前記焦点検出走査ステップで前記電子ビームが走査させることにより逐次検出される前記電子の変化状況に基づいて、前記電子レンズの焦点位置を前記測長対象に合わせる合焦ステップと、
前記合焦ステップで、前記電子レンズの焦点位置を前記測長対象に合わせた後において、前記設計位置情報に基づいて、前記直線部分に略垂直に電子ビームが2ヶ所以上照射されるように走査するアライメント走査ステップと、
前記アライメント走査ステップにより前記電子ビームが走査された際に検出される電子の変化状況に基づいて、前記直線部分に略平行な方向に前記電子ビームが走査されるように前記測長対象に対する前記電子ビームの走査状況を調整するアライメントステップと、
前記設計位置情報に基づいて、所定の前記測長部分が存在すべき前記設計位置に前記電子ビームが照射されるように前記電子ビームを走査する測長走査ステップと、
前記測長走査ステップで前記電子ビームが走査されている際に、逐次検出される電子の変化状況に基づいて、前記測長部分の長さを測定する測長ステップと
を有することを特徴とする測長方法。
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