JP4502684B2

JP4502684B2 - Leveling jack and leveling device having the same

Info

Publication number: JP4502684B2
Application number: JP2004102366A
Authority: JP
Inventors: 正一酒井
Original assignee: 株式会社ナベヤ
Priority date: 2004-03-31
Filing date: 2004-03-31
Publication date: 2010-07-14
Anticipated expiration: 2024-03-31
Also published as: JP2005280985A

Description

本発明は、レベリング・ジャッキ及びそれを備えたレベリング装置に係り、特に、特別なツールを用いることなく、受けている荷重の程度を視認により判断することの出来るレベリング・ジャッキと、そのようなレベリング・ジャッキの複数を用いて、架台を水平に支持するためのレベリング装置に関するものである。 The present invention relates to a leveling jack and a leveling device including the leveling jack, and more particularly to a leveling jack that can visually determine the level of a load received without using a special tool, and such leveling. -It relates to a leveling device for horizontally supporting a gantry using a plurality of jacks.

従来から、所定の重量物の荷重が加わる架台を、床面等の所定の支持面上に水平に支持すべく、各種のジャッキ装置、所謂レベリング・ジャッキが用いられてきている。特に、近年においては、除振や制振を必要とする装置、例えばコンプレッサ、発電機、振動計測試験機等の、床に振動を伝えてはいけない環境で利用するが、装置が振動を発生するものや、超精密組立装置、加工機、液晶製造装置、半導体製造装置等の、床やその他の振動源からの振動の影響を嫌う装置等が広く用いられており、そのような装置を架台にて支持せしめる場合にあっては、その除振や制振を有効に行う上においても、架台の水平性を保持して、装置荷重を均等に受けることが、強く要請されている。 Conventionally, various jack apparatuses, so-called leveling jacks, have been used to horizontally support a platform to which a load of a predetermined heavy object is applied on a predetermined support surface such as a floor surface. In particular, in recent years, it is used in an environment where vibrations should not be transmitted to the floor, such as devices that require vibration isolation or vibration suppression, such as compressors, generators, vibration measurement testers, etc., but the devices generate vibration. Equipment, ultra-precision assembly equipment, processing machines, liquid crystal manufacturing equipment, semiconductor manufacturing equipment, etc. that dislike the effects of vibration from the floor and other vibration sources are widely used. In the case of supporting, there is a strong demand for maintaining the level of the gantry and receiving the device load evenly for effective vibration isolation and vibration control.

具体的には、そのような装置にあっては、除振や制振を目的としたユニット（除振デバイス）を装置に直接に組み込むか、または架台と装置の間に除振デバイスを設置する等の構成が、採用されている。そして、そのような除振デバイスは、装置の支持面である床若しくは装置自身から発生する振動の大きさ、周端数に対する振幅、共振周波数等と、支持する荷重とによって、その特性が設計されて、設置されるようになっているのである。 Specifically, in such a device, a unit (vibration isolation device) for the purpose of vibration isolation or vibration suppression is directly incorporated into the device, or a vibration isolation device is installed between the gantry and the device. Such a configuration is adopted. Such a vibration isolation device has its characteristics designed according to the magnitude of vibration generated from the floor as a support surface of the apparatus or the apparatus itself, the amplitude with respect to the peripheral edge, the resonance frequency, and the load to be supported. It is designed to be installed.

ところで、かかる除振デバイスにおいて、その設計荷重と、それへの入力荷重とが異なるようになると、所定の除振性能を発揮することが出来なくなるところ、載置される装置や除振デバイス、架台を工場等に設置する場合には、床面は平面であっても、必ずある数値を持ったうねり等を有しており、そのために、架台をそのまま設置することが出来ず、架台と床面との間の隙間（高さ）を調整して、複数個の除振デバイスが均等な荷重を支持することが出来るような機能が必要とされることとなる。また、除振デバイスの配置される各ポイントごとで、その支持荷重が異なるようになると、架台がねじれたり、曲ったりして、装置の性能を発揮することが出来なくなる恐れも生じる。 By the way, in such a vibration isolation device, when the design load and the input load to it become different, the predetermined vibration isolation performance cannot be exhibited. Is installed in a factory, etc., even if the floor surface is flat, it always has undulations with a certain numerical value. Therefore, the frame cannot be installed as it is. A function is required in which a plurality of vibration isolation devices can support a uniform load by adjusting the gap (height) between the two. Further, if the supporting load is different at each point where the vibration isolation device is arranged, the gantry may be twisted or bent, and the performance of the apparatus may not be exhibited.

このため、従来にあっては、所定の重量物である装置の荷重による圧力を均等に受けるための仕組み乃至は手法として、そのような装置が載置される架台を、複数の油圧ジャッキにて支持せしめ、それら油圧ジャッキに対して油圧ポンプからの均等な油圧が作用するようにした構造が考えられ、例えば、特開平１１−１７１４８１号公報（特許文献１）や特開２００１−１５１４７９号公報（特許文献２）等には、その一例が、明らかにされている。しかしながら、この油圧ジャッキを用いる方式にあっては、油圧ジャッキ自体高価であることに加えて、油圧ポンプも必要となり、全体としてのコストアップは避けられないという問題を内在し、また、油圧ポンプから各油圧ジャッキへの油圧配管の問題もあり、更には、室内環境の点から、クリーンルーム内での油圧の採用は困難である等の問題も内在しているのである。 For this reason, in the past, as a mechanism or technique for evenly receiving pressure due to the load of a device that is a predetermined heavy object, a gantry on which such a device is placed is connected to a plurality of hydraulic jacks. A structure in which an equal hydraulic pressure from a hydraulic pump acts on these hydraulic jacks is conceivable. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-171482 (Patent Document 1) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-151479 ( An example is disclosed in Patent Document 2) and the like. However, in the method using this hydraulic jack, in addition to the hydraulic jack itself being expensive, a hydraulic pump is also necessary, and there is an inherent problem that an increase in cost is inevitable. There is also a problem of hydraulic piping to each hydraulic jack, and further, there are problems such as difficulty in adopting hydraulic pressure in a clean room from the viewpoint of indoor environment.

また、特開２０００−１１０３６９号公報（特許文献３）に明らかにされている如き、ネジ螺合による昇降方式等を採用した機械的なジャッキ装置も考えられてはいるが、そのような機械的なジャッキ装置にあっては、均等な荷重を受けているか、どうかを知るために、架台に対して設けられたジャッキ装置のそれぞれの支持ポイントに、荷重センサを設置して、それぞれ、荷重を計測しながら、架台のレベルの調整を行なう必要があり、そのために、専用の装置や計測器が必要となるのであって、これによって、コストアップを招来する等の問題を内在している。 Further, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-110369 (Patent Document 3), a mechanical jack device adopting a lifting method by screwing or the like is also considered, but such a mechanical device is considered. In order to know whether or not a uniform jack device is receiving a uniform load, load sensors are installed at each support point of the jack device provided for the gantry and the load is measured. However, it is necessary to adjust the level of the gantry, and for that purpose, a dedicated device and a measuring instrument are required, which causes problems such as an increase in cost.

特開平１１−１７１４８１号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-171481 特開２００１−１５１４７９号公報JP 2001-151479 A 特開２０００−１１０３６９号公報JP 2000-110369 A

ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為されたものであって、その解決すべき課題とするところは、特別な計測器等を何等用いることなく、適正な荷重を受けているか、どうかを容易に確認することが出来る構造のレベリング・ジャッキを提供することにあり、また、他の課題とするところは、何等、特別なツールを用いることなく、複数のジャッキにて均等な荷重を容易に受けることが出来るような構造のレベリング装置を提供することにある。 Here, the present invention has been made in the background of such circumstances, the place to be solved is to receive an appropriate load without using any special measuring instrument, etc. It is to provide a leveling jack with a structure that can be easily checked, and another issue is that evenly load is applied to multiple jacks without using any special tools. It is an object of the present invention to provide a leveling device having a structure that can be easily received.

そして、本発明にあっては、かくの如き課題の解決のために、（a）所定の重量物の荷重が加わる架台に螺合し、回動によって、該架台を昇降移動せしめる回動可能なスピンドルと、（ｂ）該スピンドルを自由回動可能に支持し、該スピンドルを通じて伝達される前記架台からの荷重を受ける支持部材と、（ｃ）該支持部材の下方に位置して、該支持部材との間の隙間が視認され得るように、所定の支持面上に載置されるベースと、（ｄ）該支持部材と該ベースとの間に配置されて、該支持部材を弾性的に支持し、該支持部材から加わる荷重によって、前記隙間の大きさを変化せしめるバネ部材とを、含んで構成されていることを特徴とするレベリング・ジャッキを、その要旨とするものである。 In the present invention, in order to solve the problems as described above, (a) it is possible to turn the base to be moved up and down by screwing into a base to which a load of a predetermined heavy object is applied and turning. A spindle, (b) a support member that supports the spindle so as to freely rotate, and receives a load from the gantry transmitted through the spindle; and (c) a support member positioned below the support member. And a base placed on a predetermined support surface so that a gap between the support member and the base can be visually recognized, and (d) the support member is disposed between the base and the support member to elastically support the support member. The gist of the present invention is a leveling jack characterized by including a spring member that changes the size of the gap by a load applied from the support member.

しかも、このような本発明に従うレベリング・ジャッキによれば、前記バネ部材が、前記スピンドルの周りで、同一円周上において等間隔に、複数配設されることとなる。
Moreover, according to the leveling jack key according to the present invention, the spring member, around the spindle, at regular intervals on the same circumference, and it is more disposed.

また、本発明に従うレベリング・ジャッキによれば、前記支持部材と前記ベースとの間に、前記バネ部材とは別個に、複数の制振材が、前記スピンドルの周りで、同一円周上において等間隔で配設されることとなる。
Further, according to the leveling jack key according to the present invention, between the base and the support member separately from the said spring member, a plurality of damping material is, around the spindle, on the same circumference It will be arrange | positioned at equal intervals.

なお、本発明に従うレベリング・ジャッキの望ましい態様の一つによれば、前記スピンドルは、その上部に設けられたネジ部において前記架台に螺合せしめられるようになっている一方、その下部において前記支持部材に自由回動可能に支持されるように構成され、更に、その中間部に、該スピンドルを回動せしめるために外部から操作される昇降操作部が設けられている構成が、有利に採用されるのである。
Note that according to one one preferred embodiment of the leveling jacks according to the present invention, the spindle, while being adapted to be brought into threaded engagement with the frame in a threaded portion provided thereon, said support at its lower portion A configuration is advantageously employed in which the member is supported by the member so as to be freely rotatable, and in addition, an elevating operation unit that is operated from the outside in order to rotate the spindle is provided at an intermediate portion thereof. It is.

そして、本発明にあっては、また、かくの如きレベリング・ジャッキを備えたレベリング装置をも、その要旨とするものであって、そこでは、上述の如きレベリング・ジャッキの複数を用い、所定の重量物が直接に又は間接に載置される架台を、かかる複数のレベリング・ジャッキにて所定の支持面状に支持せしめる一方、各レベリング・ジャッキにおける前記支持部材と前記ベースとの間の隙間の視認に基づいて、各レベリング・ジャッキにおける該隙間が同一となるように、前記スピンドルを回動させて、前記架台を昇降させることにより、各レベリング・ジャッキに均等な荷重が加わるように構成したことを特徴としているのである。 In the present invention, a leveling device provided with such a leveling jack is also the gist of the present invention, in which a plurality of leveling jacks as described above are used, and a predetermined leveling device is used. While a platform on which a heavy object is placed directly or indirectly is supported by a plurality of leveling jacks in a predetermined support surface shape, a gap between the support member and the base in each leveling jack is supported. Based on visual recognition, the leveling jacks are configured so that the same gap is applied to each leveling jack by rotating the spindle and raising and lowering the mount so that the gaps in each leveling jack are the same. It is characterized by.

なお、そのような本発明に従うレベリング装置の特に好ましい態様によれば、前記重量物が、複数の除振デバイスを介して、前記架台上に載置される構成が、有利に採用されることとなる。 According to such a particularly preferred aspect of the leveling apparatus according to the present invention, the configuration in which the heavy object is placed on the gantry via a plurality of vibration isolation devices is advantageously employed. Become.

このように、本発明に従うレベリング・ジャッキにあっては、架台に螺合せしめたスピンドルの回動によって、かかる架台を昇降させ得るようになっているのであるが、そのようなスピンドルを通じて受ける架台からの荷重は、支持部材に伝達されることとなるところ、その荷重の大きさは、かかる支持部材とベースとの間に配置されたバネ部材のバネ特性にて規定される支持部材とベースとの間の隙間の大きさを視認することによって、把握することが出来ることとなり、以て、そのような隙間の視認のみによって、特別な計測器等を用いることなく、レベリング・ジャッキが適正な荷重を受けているか、どうかを容易に確認することが出来るのである。 Thus, in the leveling jack according to the present invention, the platform can be moved up and down by the rotation of the spindle screwed to the platform. The load is transmitted to the support member, and the magnitude of the load is determined between the support member and the base defined by the spring characteristics of the spring member disposed between the support member and the base. By visually recognizing the size of the gap between them, the leveling jack can apply an appropriate load only by visually recognizing such a gap without using a special measuring instrument. You can easily check whether you are receiving it.

しかも、そのような本発明に従うレベリング・ジャッキにあっては、油圧を用いるものではないところから、室内環境の点から、油圧の採用が好ましくないクリーンルーム内においても、有利に用いられ得ることに加えて、高価な装置や計測器を必要とするものではないところから、安価なレベリング・ジャッキを有利に実現することが出来るという利点も有しているのである。 In addition, since the leveling jack according to the present invention does not use hydraulic pressure, it can be advantageously used even in a clean room where hydraulic pressure is not preferable from the viewpoint of the indoor environment. In addition, since it does not require an expensive device or measuring instrument, it has an advantage that an inexpensive leveling jack can be advantageously realized.

なお、かかる本発明において、複数のバネ部材を、スピンドルの周りにおいて、同一円周上に等間隔に配設せしめることによって、スピンドルを通じて伝達される架台からの荷重を分散して、均等に、効率よくベース側に伝えることが出来る利点を享受することが出来る。 In the present invention, by arranging a plurality of spring members at equal intervals around the spindle on the same circumference, the load from the pedestal transmitted through the spindle is dispersed and the efficiency is evenly distributed. You can enjoy the benefits that can be well communicated to the base side.

さらに、本発明の望ましい態様に従って、スピンドルの中間部に、外部から操作され得る昇降操作部を設けて、この昇降操作部の操作によって、スピンドルを回動せしめるようにすれば、その操作が容易となる大きな特徴を発揮することとなる。 Further, according to a preferred aspect of the present invention, if an elevating operation unit that can be operated from the outside is provided in the middle part of the spindle, and the spindle is rotated by operation of the elevating operation unit, the operation is facilitated. It will be a great feature.

また、本発明に従うレベリング装置によれば、所定の重量物が直接に又は間接に載置される架台を、本発明に従うレベリング・ジャッキの複数にて、所定の支持面上に支持させるようにすることによって、各レベリングジャッキにおける支持部材とベースとの隙間の大きさを一致させることが出来るように、各レベリング・ジャッキにおけるスピンドルを回動させて、架台を昇降せしめるようにすれば、各レベリング・ジャッキに均等な荷重が加わることとなるのであり、以て、架台のレベリングも有利に確保され得るのである。 Moreover, according to the leveling device according to the present invention, the platform on which the predetermined heavy object is directly or indirectly mounted is supported on the predetermined support surface by the plurality of leveling jacks according to the present invention. By rotating the spindle in each leveling jack so that the level of the gap between the support member and the base in each leveling jack can be matched, the leveling Since an equal load is applied to the jack, leveling of the gantry can be advantageously ensured.

そして、そのような本発明に従うレベリング装置において、重量物が、複数の除振デバイスを介して、架台上に載置されるようにすることによって、かかる除振デバイスの設計荷重との間の誤差をなくして、所望の除振性能を有利に発揮せしめ得るのである。 In such a leveling apparatus according to the present invention, an error between the weight and the design load of the vibration isolation device is ensured by placing a heavy object on the gantry via the plurality of vibration isolation devices. Thus, the desired vibration isolation performance can be advantageously exhibited.

以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明することとする。 Hereinafter, in order to clarify the present invention more specifically, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

先ず、図１には、本発明に従うレベリング・ジャッキの一例が、平面説明図として示され、また、図２には、図１におけるＡ−Ａ断面説明図として示されている。そして、それらの図から明らかな如く、本発明に従うレベリング・ジャッキ１０は、その中心部において、上下方向に垂直に支持されるスピンドル１２と、このスピンドル１２を支持する支持部材１４と、この支持部材１４の下方に配置されたベース１６と、それら支持部材１４とベース１６との間に配置されたバネ部材１８とを含んで、構成されている。 First, FIG. 1 shows an example of a leveling jack according to the present invention as an explanatory plan view, and FIG. 2 shows an AA cross-sectional explanatory view in FIG. As is apparent from these drawings, the leveling jack 10 according to the present invention includes a spindle 12 that is vertically supported at the center, a support member 14 that supports the spindle 12, and a support member. 14 and a base member 16 disposed below the base member 14 and a spring member 18 disposed between the support member 14 and the base member 16.

より詳細には、図２に示される如く、スピンドル１２は、その上部に、ネジ部１２ａが設けられており、このネジ部１２ａが架台２０に設けられたネジ孔に螺合せしめられることによって、架台２０に連結されるようになっている一方、かかるスピンドル１２の下部は、細径の支持部１２ｂとされ、この細径支持部１２ｂに外挿されたスラスト球軸受２２によって、支持部材１４に支持され得るようになっている。なお、スピンドル１２の下部の細径支持部１２ｂは、支持部材１４の中心部に設けられた段付きの孔１４ａと、それに対応して設けられたベース１６の貫通孔１６ａとを貫通し、その先端部に取り付けられた抜け止めワッシャー２４にて、それら支持部材１４やベース１６から、スピンドル１２が抜け出さないようになっている。そして、かかるスピンドル１２の中間部に、昇降操作部としての六角ナット部１２ｃが一体的に形成されており、この六角ナット部１２ｃを外部から回動操作することにより、スピンドル１２の全体が軸周りに回動せしめられ、以て、その上部のネジ部１２ａに螺合する架台２０が上下方向に昇降移動せしめられるようになっている。 More specifically, as shown in FIG. 2, the spindle 12 is provided with a screw portion 12 a at the upper portion thereof, and the screw portion 12 a is screwed into a screw hole provided in the gantry 20. The lower part of the spindle 12 is connected to the gantry 20, and the lower part of the spindle 12 is a small-diameter support part 12 b. The thrust ball bearing 22 extrapolated to the small-diameter support part 12 b causes It can be supported. The small-diameter support portion 12b below the spindle 12 passes through a stepped hole 14a provided in the center of the support member 14 and a through-hole 16a of the base 16 provided corresponding thereto, The spindle 12 is prevented from coming out of the support member 14 and the base 16 by a retaining washer 24 attached to the tip. A hexagonal nut portion 12c as an elevating operation portion is integrally formed at an intermediate portion of the spindle 12, and the entire spindle 12 is rotated around the axis by rotating the hexagonal nut portion 12c from the outside. Thus, the gantry 20 that is screwed into the upper screw portion 12a is moved up and down in the vertical direction.

また、支持部材１４は、厚肉の円盤形状を呈し、その中心部を貫通するように、段付きの孔１４ａが形成されていると共に、有底の大穴１４ｂと、同じく有底の***１４ｃのそれぞれ三つが、図１に示される如く、貫通孔１４ａの周りに、換言すれば、スピンドル１２の周りにおいて、かかるスピンドル１２の中心（支持部材１４の中心）を中心とする同一円周上に、交互に配列されて、支持部材１４の下面に、開口せしめられている。要するに、それら三つの大穴１４ｂと***１４ｃは、それぞれ１２０度の位相差を以て、スピンドル１２の周りに配置されているのである。 Further, the support member 14 has a thick disk shape, and is provided with a stepped hole 14a so as to penetrate the center portion thereof, and also has a bottomed large hole 14b and a bottomed small hole 14c. As shown in FIG. 1, each of the three is around the through hole 14a, in other words, around the spindle 12, on the same circumference around the center of the spindle 12 (center of the support member 14). The openings are alternately arranged and opened on the lower surface of the support member 14. In short, the three large holes 14b and the small holes 14c are arranged around the spindle 12 with a phase difference of 120 degrees.

そして、かかる支持部材１４の三つの大穴１４ｂ内には、それぞれ、コイルスプリングからなるバネ部材１８が、ベース１６に螺着された押えピン２６によって、押えリング２８を介してベース１６に押し付けられることにより、図２において上方に向う方向の付勢力をもって収容され、そのようなバネ部材１８の付勢力は、押えリング２８を介して、支持部材１４から加わる荷重に対抗し得るようになっている。また、三つの***１４ｃ内には、前記三つのバネ部材１８に加えて、支持部材１４の補助的な支持を行なう、円柱状のゴムブロックからなる制振材３０が、それぞれ収容、配置されており、この制振材３０によっても、支持部材１４の荷重を弾性的に受け得るようになっている。 In each of the three large holes 14 b of the support member 14, the spring member 18 made of a coil spring is pressed against the base 16 via the presser ring 28 by a presser pin 26 screwed to the base 16. 2 is accommodated with an urging force in the upward direction in FIG. 2, and the urging force of the spring member 18 can counter the load applied from the support member 14 via the presser ring 28. Further, in the three small holes 14c, in addition to the three spring members 18, a damping material 30 made of a cylindrical rubber block for supporting the support member 14 in an auxiliary manner is housed and arranged. The damping material 30 can also elastically receive the load of the support member 14.

そして、そのような支持部材１４内に配設された三つのバネ部材１８や制振材３０によって、支持部材１４の下端面とベース１６の上端面との間には、所定の隙間：αが、形成されるようになっているのであり、また、スピンドル１２を通じて伝達される架台２０からの荷重の大きさによって、かかる隙間：αの大きさが変化させられ得るようになっているのである。 A predetermined gap: α is formed between the lower end surface of the support member 14 and the upper end surface of the base 16 by the three spring members 18 and the damping material 30 disposed in the support member 14. In addition, the size of the gap: α can be changed according to the magnitude of the load from the gantry 20 transmitted through the spindle 12.

なお、ベース１６は、バネ部材１８や制振材３０を通じて伝達される荷重を受けるべく、円柱形状を呈し、支持面である床面３２上に、ゴムシートの如き滑り止めシート３４を介して載置され、水平方向に自由に移動し得ないようになっている。 The base 16 has a cylindrical shape so as to receive a load transmitted through the spring member 18 and the damping material 30 and is mounted on a floor surface 32 as a support surface via a non-slip sheet 34 such as a rubber sheet. It cannot be moved freely in the horizontal direction.

したがって、このような構造のレベリング・ジャッキ１０にあっては、所定の重量物の荷重が架台２０に加わると、それは、スピンドル１２を通じて支持部材１４に伝達され、そして、その荷重の大きさに応じて、バネ部材１８と制振材３０の変形量乃至は撓み量が変化し、以て、支持部材１４の下端面とベース１６の上端面との間の隙間：αの大きさも変化することとなるところから、そのような隙間：αの大きさを、外部から視認して、知ることによって、レベリング・ジャッキ１０に作用している荷重の大きさを理解することが出来、そして、それに基づいて、スピンドル１２を、その昇降操作部である六角ナット部１２ｃを回動操作して、架台２０を昇降させることにより、架台２０のレベリングを行ない、架台２０の水平保持を有利に実現し得るのである。 Therefore, in the leveling jack 10 having such a structure, when a predetermined heavy load is applied to the gantry 20, it is transmitted to the support member 14 through the spindle 12, and according to the magnitude of the load. Thus, the amount of deformation or the amount of deflection of the spring member 18 and the damping material 30 changes, so that the size of the gap α between the lower end surface of the support member 14 and the upper end surface of the base 16 also changes. From that point of view, the magnitude of the load acting on the leveling jack 10 can be understood by visually recognizing the magnitude of the gap: α from the outside, and based on it. The spindle 12 is turned by operating the hex nut portion 12c, which is the raising / lowering operation portion thereof, to raise and lower the gantry 20, thereby leveling the gantry 20 and advantageously holding the gantry 20 horizontally. Can be realized.

すなわち、そこでは、レベリング・ジャッキ１０が架台２０から設定された大きさの荷重を受けた場合における支持部材１４とベース１６との隙間：αの大きさを設定し、そのような隙間：αの大きさとなるように、外部から視認しつつ、スピンドル１２を操作して、設定された隙間の大きさとなるようにすればよいのであり、これによって、架台２０は容易に水平保持されることとなるのである。 That is, in this case, when the leveling jack 10 receives a load of a set size from the gantry 20, the size of the gap: α between the support member 14 and the base 16 is set, and such a gap: α It is only necessary to operate the spindle 12 so that the size becomes the size of the set gap while visually recognizing from the outside so that the gantry 20 can be easily held horizontally. It is.

なお、ここに例示の実施形態においては、支持部材１４とベース１６との間には、三つのバネ部材１８と共に、三つの制振材３０も配置され、それらバネ部材１８と制振材３０の両方にて、荷重を分担して受けるようになっているが、これは、バネ部材だけで受けたときに、共振点で悪影響が出ることがあるところから、共振周波数の影響を軽減することにある。そして、そこでは、また、それらバネ部材１８と制振材３０とが、交互にスピンドル１２の周りにおいて、同心円上に位置するように、等間隔に配置されていることによって、支持部材１４の受ける荷重をより均等に分担し得るようになっている。 In the illustrated embodiment, the three damping members 30 are also disposed between the support member 14 and the base 16 together with the three spring members 18. In both cases, the load is shared and received, but this can reduce the influence of the resonance frequency because it can adversely affect the resonance point when it is received only by the spring member. is there. In this case, the spring members 18 and the damping members 30 are alternately arranged around the spindle 12 at equal intervals so as to be received by the support member 14. The load can be shared more evenly.

また、バネ部材１８の荷重支持バネの大きさは、架台２０に作用する荷重の大きさや、レベリング・ジャッキ１０の配置位置毎に受ける荷重によって、設定することが出来、更に、バネ部材１８のバネ特性や制振材３０の弾性特性、更には、押えピン２６によるバネ部材１８の圧縮の程度等によって、確認用隙間：αの初期値や、所定荷重時の設定を行なうことも可能である。 Further, the size of the load supporting spring of the spring member 18 can be set according to the size of the load acting on the gantry 20 and the load received for each arrangement position of the leveling jack 10. Depending on the characteristics, the elastic characteristics of the damping material 30, and the degree of compression of the spring member 18 by the presser pin 26, it is possible to set the initial value of the clearance for confirmation: α or a predetermined load.

ところで、かかる例示のレベリング・ジャッキ１０においては、支持部材１４とベース１６の間に形成される隙間：αを、それらの端部間の隙間として目視（確認）することにより、その大きさを判断しているが、また、図３に例示されるように、そのような隙間：αに近接して、それと大きさが比較できる段差部３６を設けておけば、そのような隙間：αの大きさは、更に正確に把握され得ることとなる。なお、図３においては、ベース１６の上部角部に段差部３６が形成されており、この段差部３６の高さ：ｈが、隙間：αと対比されて、その大きさが判断されるようになっている。また、そのような段差部３６の高さ：ｈは、一般に、レベリング・ジャッキ１０に設定された荷重が加わった時に形成される隙間：αの大きさと同一となるようにされている。 By the way, in such an exemplary leveling jack 10, the size is determined by visually (confirming) the gap formed between the support member 14 and the base 16 as a gap between the end portions thereof. However, as illustrated in FIG. 3, if a step portion 36 that is close to such a gap: α and can be compared in size is provided, the size of such a gap: α. This can be grasped more accurately. In FIG. 3, a stepped portion 36 is formed at the upper corner portion of the base 16, and the height: h of the stepped portion 36 is compared with the gap: α so that the size of the stepped portion 36 is determined. It has become. Further, the height h of the stepped portion 36 is generally set to be equal to the size of the gap α formed when a load set on the leveling jack 10 is applied.

そして、本発明にあっては、上述せる如きレベリング・ジャッキ１０の複数を用いて、所定の重量物が直接に又は間接に載置される架台を、それら複数のレベリング・ジャッキ１０にて、支持面である床面３２上に支持せしめるようにしたレベリング装置をも、その対象としており、図４には、その一例が示されている。 In the present invention, a plurality of leveling jacks 10 as described above are used to support a platform on which a predetermined heavy object is placed directly or indirectly by the plurality of leveling jacks 10. The leveling device supported on the floor surface 32, which is a surface, is also the object, and FIG. 4 shows an example thereof.

かかる図４においては、除振や制振を必要とする装置４０が、複数の除振デバイス４２を介して、架台２０上に載置されている一方、架台２０が、複数のレベリング・ジャッキ１０を用いて、床面３２上に支持されるようになっている。ここで、除振デバイス４２は、装置４０から均等な荷重を支持し得るように、一般に３個以上、好ましくは４個、或いはそれ以上の個数において配設されて、所定の設計荷重によって、目的とする除振性能が発揮され得るようになっているのであり、また、レベリング・ジャッキ１０にあっても、架台２０を均等に支持すべく、一般に３個以上、好ましくは４個、或いはそれ以上の個数において、床面３２の凹凸の変化を吸収して、架台２０を水平方向に支持し得るようになっているのである。 In FIG. 4, an apparatus 40 that requires vibration isolation or vibration suppression is placed on the gantry 20 via a plurality of vibration isolation devices 42, while the gantry 20 includes a plurality of leveling jacks 10. Is used to be supported on the floor surface 32. Here, the vibration isolation devices 42 are generally arranged in a number of 3 or more, preferably 4 or more so that an equal load can be supported from the apparatus 40, and according to a predetermined design load, In order to support the gantry 20 evenly even in the leveling jack 10, generally three or more, preferably four or more are provided. Therefore, the gantry 20 can be supported in the horizontal direction by absorbing the unevenness of the floor 32.

すなわち、各レベリング・ジャッキ１０にあっては、それぞれの支持部材１４とベース１６との間に形成される隙間：αの大きさを視認して、それが、所定の大きさとなるように、それぞれのスピンドル１２を回動操作して、架台２０を昇降せしめることにより、レベリング・ジャッキ１０の配置された架台２０部分における水平出しを容易に行なうことが出来、以て、架台２０全体としてのレベリングが効果的に行われ得ることとなるのであり、以て、均等な荷重が複数の除振デバイス４２にも加わるようになるところから、それぞれの除振デバイス４２の所定の除振性能を、有利に発揮せしめることが出来ることとなるのである。 That is, in each leveling jack 10, the gap formed between each support member 14 and the base 16 is visually checked for the size of α, so that it becomes a predetermined size. By rotating the spindle 12 to raise and lower the gantry 20, the leveling of the gantry 20 where the leveling jack 10 is arranged can be easily leveled. Therefore, since a uniform load is also applied to the plurality of vibration isolation devices 42, the predetermined vibration isolation performance of each vibration isolation device 42 is advantageously improved. It will be able to be demonstrated.

以上、本発明の代表的な実施形態について詳述してきたが、それは、あくまでも例示であって、本発明は、そのような実施形態における具体的な記述によって、何等限定的に解釈されるものでないことが、理解されるべきである。 As mentioned above, although typical embodiment of this invention was explained in full detail, it is an illustration to the last, Comprising: This invention is not interpreted at all by the concrete description in such embodiment. It should be understood.

例えば、前述した図４に示される実施形態においては、除振や制振を必要とする装置４０が、除振デバイス４２を介して、間接的に架台２０上に載置されているが、また、そのような装置４０を、架台２０上に直接に載置せしめるようにすることも可能であり、更には、装置４０と架台２０とが一体となって、装置４０の一部にて架台２０が構成されるような場合においても、本発明に従うレベリング・ジャッキ１０は、同様に適用され得るものである。 For example, in the embodiment shown in FIG. 4 described above, the device 40 that requires vibration isolation or vibration suppression is indirectly placed on the gantry 20 via the vibration isolation device 42. Such a device 40 can be mounted directly on the gantry 20. Furthermore, the device 40 and the gantry 20 are integrated, and the gantry 20 is part of the device 40. The leveling jack 10 according to the present invention can be similarly applied even in the case where is configured.

また、バネ部材１８としては、例示の如きコイルスプリングの他、皿バネ等の形態のものも、使用可能であり、そしてその配設形態や配設構造にあっても、当業者の知識に基づいて、公知の構造から、適宜に決定され、例示のもののみに限定されることはなく、例えば、バネ部材１８を４点配置せしめる等の構造も採用可能である。 In addition to the coil spring as illustrated, the spring member 18 may be in the form of a disc spring or the like, and the arrangement and arrangement of the spring member 18 are based on the knowledge of those skilled in the art. Thus, the structure is appropriately determined from known structures, and is not limited to the illustrated one. For example, a structure in which four spring members 18 are arranged can be employed.

さらに、レベリング・ジャッキ１０における支持部材１４とベース１６との間の隙間：αの大きさをより正確に判断するために、単なる目視だけではなく、厚みゲージ等の適当なメジャーを用いて、その大きさを計測するようにすることも可能である。 Further, in order to more accurately determine the size of the gap between the support member 14 and the base 16 in the leveling jack 10: α, not only by visual observation, but by using an appropriate measure such as a thickness gauge, It is also possible to measure the size.

その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて、種々なる変更、修正、改良等を加えた態様において、実施され得るものであり、そして、そのような実施の態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、何れも、本発明の範疇に属するものであることは、言うまでもないところである。 In addition, although not listed one by one, the present invention can be carried out in a mode to which various changes, modifications, improvements, and the like are added based on the knowledge of those skilled in the art. Needless to say, all of these are within the scope of the present invention without departing from the spirit of the present invention.

本発明に従うレベリング・ジャッキの一例を示す平面説明図である。It is plane explanatory drawing which shows an example of the leveling jack according to this invention. 図１におけるＡ−Ａ断面説明図である。It is AA cross-section explanatory drawing in FIG. 支持部材とベースとの間に形成される隙間：αの大きさを、より一層容易に判断し得る構造の一例を示す、図２と同様な断面における部分拡大説明図である。FIG. 3 is a partially enlarged explanatory view in a cross section similar to FIG. 2, showing an example of a structure that can more easily determine the size of the gap formed between the support member and the base: α. 本発明に従うレベリング・ジャッキを備えたレベリング装置の一例を示す正面説明図である。It is front explanatory drawing which shows an example of the leveling apparatus provided with the leveling jack according to this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０レベリング・ジャッキ１２スピンドル
１２ａネジ部１２ｂ細径支持部
１２ｃ六角ナット部１４支持部材
１４ａ段付き孔１４ｂ大穴
１４ｃ *** １６ベース
１６ａ貫通孔１８バネ部材
２０架台２２スラスト球軸受
２４抜け止めワッシャー２６押えピン
２８押えリング３０制振材
３２床面３４滑り止めシート
３６段差部４０装置
４２除振デバイス

DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Leveling jack 12 Spindle 12a Thread part 12b Thin diameter support part 12c Hexagon nut part 14 Support member 14a Stepped hole 14b Large hole 14c Small hole 16 Base 16a Through-hole 18 Spring member 20 Stand 22 Thrust ball bearing 24 Retaining washer 26 Pressing pin 28 Presser ring 30 Damping material 32 Floor surface 34 Non-slip sheet 36 Stepped portion 40 Device 42 Vibration isolation device

Claims

所定の重量物の荷重が加わる架台に螺合し、回動によって、該架台を昇降移動せしめる回動可能なスピンドルと、
該スピンドルを自由回動可能に支持し、該スピンドルを通じて伝達される前記架台からの荷重を受ける支持部材と、
該支持部材の下方に位置して、該支持部材との間の隙間が視認され得るように、所定の支持面上に載置されるベースと、
該支持部材と該ベースとの間に配置されると共に、前記スピンドルの周りで、同一円周上において等間隔に、複数配設されて、該支持部材を弾性的に支持し、該支持部材から加わる荷重によって、前記隙間の大きさを変化せしめるバネ部材と、
前記支持部材と前記ベースとの間で、前記バネ部材とは別個に、且つ該バネ部材の隣接するもの同士の間に位置するように、前記スピンドルの周りで、同一円周上において等間隔で複数配設されて、該バネ部材と共に前記支持部材を弾性的に支持する制振材とを、
含んで構成されていることを特徴とするレベリング・ジャッキ。 A pivotable spindle that is screwed onto a platform to which a load of a predetermined heavy object is applied and pivots to move the platform up and down;
A support member that supports the spindle so as to freely rotate, and receives a load from the gantry transmitted through the spindle;
A base that is positioned below the support member and placed on a predetermined support surface so that a gap between the support member and the support member can be visually recognized;
The support member and Rutotomoni disposed between the base, around the spindle, at regular intervals on the same circumference, with a plurality disposed to support the supporting member elastically, from the support member A spring member that changes the size of the gap according to the applied load ;
Between the support member and the base, separately from the spring member and at an equal interval around the spindle on the same circumference so as to be positioned between adjacent ones of the spring member A plurality of vibration damping materials that elastically support the support member together with the spring member,
A leveling jack characterized by comprising.

前記スピンドルが、それに外挿されたスラスト球軸受を介して、前記支持部材に支持されている請求項１に記載のレベリング・ジャッキ。 The leveling jack according to claim 1, wherein the spindle is supported by the support member via a thrust ball bearing that is externally inserted therein .

前記バネ部材がコイルスプリングからなり、且つ前記制振材が円柱状のゴムブロックからなる請求項１又は請求項２に記載のレベリング・ジャッキ。 The leveling jack according to claim 1 or 2, wherein the spring member is formed of a coil spring, and the damping material is formed of a cylindrical rubber block .

前記スピンドルが、その上部に設けられたネジ部において前記架台に螺合せしめられるようになっている一方、その下部において前記支持部材に自由回動可能に支持されるように構成され、更に、その中間部に、該スピンドルを回動せしめるために外部から操作される昇降操作部が設けられている請求項１乃至請求項３の何れかに記載のレベリング・ジャッキ。 The spindle is configured to be screwed to the gantry at a screw portion provided at an upper portion thereof, and is configured to be supported by the support member at a lower portion thereof so as to be freely rotatable. The leveling jack according to any one of claims 1 to 3, wherein an elevating operation portion operated from the outside for rotating the spindle is provided in an intermediate portion.

前記ベースの上部角部に段差部が設けられており、該段差部の高さと、前記ベースと前記支持部材との間に生じる前記隙間とを比較し得るように構成されている請求項１乃至請求項４の何れかに記載のレベリング・ジャッキ。A step portion is provided at an upper corner portion of the base, and the height of the step portion can be compared with the gap generated between the base and the support member. The leveling jack according to claim 4.

請求項１乃至請求項５の何れかに記載のレベリング・ジャッキの複数を用い、所定の重量物が直接に又は間接に載置される架台を、かかる複数のレベリング・ジャッキにて所定の支持面上に支持せしめる一方、各レベリング・ジャッキにおける前記支持部材と前記ベースとの間の隙間の視認に基づいて、各レベリング・ジャッキにおける該隙間が同一となるように、前記スピンドルを回動させて、前記架台を昇降させることにより、各レベリング・ジャッキに均等な荷重が加わるように構成したことを特徴とするレベリング装置。 A plurality of leveling jacks according to any one of claims 1 to 5 , wherein a predetermined weight is placed on a platform on which a predetermined heavy object is placed directly or indirectly. On the other hand, based on the visual recognition of the gap between the support member and the base in each leveling jack, the spindle is rotated so that the gap in each leveling jack is the same, A leveling device characterized in that an equal load is applied to each leveling jack by raising and lowering the platform.

前記重量物が、複数の除振デバイスを介して、前記架台上に載置される請求項６に記載のレベリング装置。 The leveling apparatus according to claim 6 , wherein the heavy object is placed on the gantry via a plurality of vibration isolation devices.