JP4500156B2 - 材料特性評価装置 - Google Patents
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Description
例えば、電磁力による試験力負荷方式を利用する硬さ試験機においては、直流磁界が形成された隙間に配設された電磁コイルに電流を供給することにより電磁力を発生する力発生部と、力発生部(電磁コイル)に電流を供給する電流調整部と、力発生部において発生した電磁力により支持部の回動軸を支点に回動するレバーと、このレバーの自由端部に備えられ、レバーの回動に伴い、試料を押圧する圧子等により構成されている。
また、材料特性評価装置の設置場所の傾斜に伴ってレバーが傾いている場合や、装置に外力が付与されレバーが振動している場合、圧子を試料表面に対して垂直方向に正確に押込むことができず、測定精度が低下してしまうという問題点があった。
試料(S)表面に圧子(2)の先端部(例えば、圧子先端部204)を押込んでくぼみを形成させ、当該くぼみに基づいて試料の特性を評価する材料特性評価装置(100)であって、
前記圧子を前記試料表面に対して移動可能に支持する支持部材(例えば、レバー3)と、
前記支持部材を移動させる力を発生する力発生部(例えば、電磁力発生部5)と、
前記支持部材の傾斜を検出する傾斜検出手段(例えば、傾斜計6)と、
前記傾斜検出手段によって検出された傾斜に基づいて、前記先端部が前記試料表面に対して垂直に押し込まれるように、前記力発生部に力を発生させて前記支持部材の姿勢を制御する姿勢制御手段(例えば、姿勢制御部41)と、
を備えることを特徴とする。
試料(S)表面に圧子(2)の先端部(例えば、圧子先端部204)を押込んでくぼみを形成させ、当該くぼみに基づいて試料の特性を評価する材料特性評価装置(100)であって、
前記圧子内に、
前記先端部に付与する静電力を発生させる静電力発生部(例えば、可動極板202、第1の固定極板211、第2の固定極板221)と、
前記静電力発生部によって発生した静電力を検出する静電力検出部(例えば、ピエゾ抵抗素子203)と、を備えるとともに、
前記静電力検出部によって検出された静電力に基づいて、前記静電力発生部によって発生する静電力をフィードバック制御する静電力制御手段(例えば、静電力制御部43)を備えることを特徴とする。
前記圧子を前記試料表面に対して移動可能に支持する支持部材(例えば、レバー3)と、
前記支持部材を移動させる力を発生する力発生部(例えば、電磁力発生部5)と、
前記支持部材の振動を検出する振動検出手段(例えば、加速度センサ7)と、
前記振動検出手段によって検出された振動に基づいて、前記力発生部に力を発生させて前記支持部材を静止させるように制御する静止制御手段(例えば、静止制御部42)と、
を備えることを特徴とする。
前記静電力発生部は、
シリコン基板(20)に形成され、弾性部(201)によって変位自在に支持される可動極板(202)と、
硝子基板(例えば、第1の硝子基板21、第2の硝子基板22)に形成され、前記可動極板と対面する位置に固定される固定極板(例えば、第1の固定極板211、第2の固定極板221)と、
を備え、
前記可動極板と前記固定極板との間に発生する静電力を前記先端部に付与することを特徴とする。
前記可動極板と前記固定極板とによって形成され、前記先端部のくぼみ形成時における変位を検出する変位検出手段(例えば、変位センサa)を備えることを特徴とする。
前記先端部が、前記可動極板に形成されていることを特徴とする。
温度を検出する温度検出部(例えば、温度センサ205)を備えるとともに、
前記温度検出部によって検出された温度を表示する表示部(9)と、
を備えることを特徴とする。
また、静電力発生部が圧子内部に組み込まれているので、別途試験力を発生させる機器等を設ける必要がなくなり、装置のコンパクト化を図ることができる。
図1は、材料特性評価装置の全体構成を示す模式図、図2は、図1の材料特性評価装置の圧子の断面図、図3は、図1の材料特性評価装置の要部構成を示すブロック図、図4は、図2の圧子の製造工程を示す断面図である。
圧子2は、図2に示すように、例えば、厚さ方向の中央に配置されたシリコン基板20と、シリコン基板20を上下両側から挟む硝子基板としての第1の硝子基板21及び第2の硝子基板22とにより構成されている。
なお、図3に示すように、温度センサ205による温度検出信号は、温度検出用電極(図示省略)によって制御装置へ出力されるようになっている。
第1の硝子基板21において、可動極板202と対面する位置には、これと数ミクロンのギャップ(隙間)を確保して、固定極板としての第1の固定極板211が形成されている。この第1の固定極板211は、例えば、蒸着やスパッタリング等の方法によって形成されている。
第1の固定極板211が占める領域は、投影視において弾性部201及び可動極板202が占める領域と一致している。この第1の固定極板211と可動極板202とにより、第1のキャパシタが形成される。
なお、第1のキャパシタの静電容量(静電容量C1とする)は、第1の固定極板211から延出された静電容量検出用電極(図示省略)によって、制御装置4の材料特性評価部44(図3参照)へ出力されるようになっている。この静電容量検出用電極は、例えば、シリコン基板20内に形成され、電気的に分離された島部(図示省略)に延設されている。
また、第2の硝子基板22において、可動極板202と対面する位置には、これと数μmのギャップを確保して、固定極板としての第2の固定極板221が形成されている。この第2の固定極板221も、例えば、蒸着やスパッタリング等の方法によって形成されている。
第2の固定極板221が占める領域は、投影視において弾性部201及び可動極板202が占める領域と一致している。この第2の固定極板221と可動極板202とにより、第2のキャパシタが形成される。また、第2の固定極板221の配置は、投影視において第1の固定極板211の配置と略一致している。
なお、第2のキャパシタの静電容量(静電容量C2とする)は、第2の固定極板221から延出された静電容量検出用電極(図示省略)によって、制御装置4の材料特性評価部44(図3参照)へ出力される。この静電容量検出用電極は、例えば、シリコン基板20内に形成され、電気的に分離された島部(図示省略)に延設されている。
また、このとき発生した静電力は、弾性部201に設けられている静電力検出部としてのピエゾ抵抗素子203によって検出されるようになっている。より具体的には、可動極板202と第1の固定極板211及び第2の固定極板221との間に発生した静電力によって、可動極板202が厚さ方向に変位し、この変位に伴って弾性部201が撓んだときの抵抗値の変化に基づいて、静電力が検出されるようになっている。
そして、図3に示すように、ピエゾ抵抗素子203によって検出された静電力検出信号は、静電力検出用電極(図示省略)によって制御装置4の静電力制御部43(後述)へ出力される。
ここで、圧子先端部204のくぼみ形成時の押込深さについて説明する。
例えば、試料Sについて試験力1μNで材料特性評価としての硬さ試験を行う場合、圧子先端部204が試料Sに押し込まれる直前には、可動極板202と第1の固定極板211及び第2の固定極板221との間に試験力1μNに対応する静電力が発生し、可動極板202が弾性部201に拘束されながら厚さ方向に変位し、第1のキャパシタの静電容量C1と第2のキャパシタの静電容量C2とが相互に増減し、両者の静電容量差が変動する。
従って、圧子先端部204が試料S表面に押し込まれたときの静電容量差の変動分から、圧子先端部204が試料S表面に押し込まれる前(即ち、試験力1μNのみが圧子先端部204に付与されている状態)の静電容量差の変動分を差し引くと、圧子先端部204の押込深さとみなすことができる。
この圧子2を製造する工程においては、先ず、第1の硝子基板21に第1の固定極板211を形成しておくとともに、第2の硝子基板22の略中央部に貫通穴22aに形成し、第2の第2の固定極板221を形成しておく。なお、貫通穴22aの形成は、例えば、ドライエッチング処理等により行い、各固定極板の形成は、例えば、蒸着やスパッタリング等により行う。
このとき、弾性部201にピエゾ抵抗素子203を、可動極板202に温度センサ205を、ぞれぞれ公知の方法によって形成する。
レバー3は、図1に示すように、例えば、装置本体(図示省略)に回動軸3cによって回動自在に軸支されている。このレバー3には、レバー3の傾斜を検出する傾斜検出手段としての傾斜計6と、レバー3の振動を検出する振動検出手段としての加速度センサ7とが設けられている。
この傾斜計6は、例えば、図示しない振子、変位検出キャパシタ、コイル、モータ等を備えており、レバー3の傾斜によって振子が変位することにより、変位検出キャパシタの静電容量が変動し、この変位を相殺する電磁力を発生させるための電圧がモータのコイルに印加され、このコイルに流された電圧値に基づいて、傾斜角度が検出されるようになっている。なお、この検出された傾斜検出信号は、図3に示すように、制御装置4の姿勢制御部41(後述)へ出力されるようになっている。
なお、この加速度センサ7によって検出された加速度検出信号は、制御装置4の静止制御部42(後述)へ出力されるようになっている。
なお、レバー3は、ユーザによる操作部8の操作によって、圧子2を試料S表面に向かって移動させることができるようになっている。
制御装置4は、図3に示すように、例えば、姿勢制御部41と、静止制御部42と、静電力制御部43と、材料特性評価部44等を備えている。これらの制御部は図示しないCPU、ROM、RAM、増幅器、AD変換器等から構成され、各種プログラム、各種データ等が記憶されており、各種演算処理がなされるようになっている。また、この制御装置4には、操作部8及び表示部9とが接続されている。
また、この静電力制御部43は、静電力制御手段として機能し、例えば、ピエゾ抵抗素子203によって検出される静電力に基づいて、可動電極に所定の電圧を印加させるフィードバック制御を行う。より具体的には、例えば、1μNの試験力を圧子先端部204に付与する場合には、予め設定されている1μNの試験力に対応する静電力と、ピエゾ抵抗素子203によって検出される静電力との差が0になるように、電圧を印加させる。
また、この材料特性評価部44には、温度センサ205が接続されており、温度センサ205から出力される温度検出信号を材料特性とともに表示部9に表示させるようになっている。
表示部9は、例えば、液晶モニタ等から構成されており、圧子先端部204の押込深さや、圧子先端部204に付与される試験力や、試料Sの硬さ等が表示されるようになっている。
電磁力発生部5は、図1に示すように、例えば、レバー3の他端部3bに設けられており、磁界が形成された隙間に配設されたコイル(図示省略)等を備えて構成されている。そして、コイルに電源(図示省略)から電圧が印加されることによって、電磁力が発生しレバー3を移動させるようになっている。
また、電磁力発生部5は、制御装置4の静止制御部42からの静止制御信号の入力に基づいて、レバー3の外乱振動を相殺するための電磁力を発生させて、レバー3を静止させるようになっている。
先ず、材料特性評価装置100を基台(図示省略)上に設置し、試料台1に試料Sを載置する。このとき、基台が傾斜している場合、材料特性評価装置100のレバー3も傾斜することになり、レバー3の傾斜角度が傾斜計6によって検出される。
次いで、傾斜計6から制御装置4の姿勢制御部41へ傾斜検出信号が出力される。姿勢制御部41は、傾斜検出信号の入力に基づいて、試料S表面に対してレバー3を水平にさせる(即ち、圧子2が試料S表面に対して垂直になるように位置させる)ための姿勢制御信号を電磁力発生部5へ出力する。電磁力発生部5は、姿勢制御信号の入力に基づいて、電磁力を発生させて、当該電磁力によりレバー3を移動させて、レバー3を試料S表面に対して水平とする。
次いで、加速度センサ7から制御装置4の静止制御部42へ加速度検出信号が出力される。静止制御部42は、加速度検出信号の入力に基づいて、レバー3の加速度が0になるような静止制御信号を電磁力発生部5へ出力する。電磁力発生部5は、静止制御信号の入力に基づいて、レバー3の加速度を0にするための電磁力を発生させ、レバー3を移動させて、静止させる。
また、第1のキャパシタの静電容量C1と第2のキャパシタの静電容量C2は常時材料特性評価部44に出力されその容量差が算出されているが、1μNの試験力が圧子先端部204に付与されると、その容量差が変動する。
また、静電力検出信号は、材料特性評価部44へ出力される。
そして、材料特性評価部44において、圧子先端部204のくぼみ形成時における第1のキャパシタの静電容量C1と第2のキャパシタの静電容量C2との容量差の変動分から、押込前における容量差の変動分が差し引かれ、圧子先端部204の押込深さが算出され、硬さ算出に用いられる。
また、この算出結果に対応付けて、圧子2の温度センサによって検出された温度を表示部9に表示させる。
また、圧子先端部204に付与する試験力(静電力)を圧子2内で発生させるとともに、発生した静電力に基づいて試験力をフィードバック制御する。従って、従来のように試験力をレバー3を介して圧子2に伝達する必要がないので、微小な試験力(例えば、100μNより小さい試験力)の精度を維持することができることとなって、試験精度をより向上させることができる。
また、ピエゾ抵抗素子203の形成位置は、弾性部201であればその如何を問わない。
また、温度センサ205の形成位置も、可動極板202に限定されるものではなく、例えば、第1の硝子基板21に形成してもよい。
また、上記実施の形態においては、可動極板202と、第1の固定極板211及び第2の固定極板221との間に静電力が発生する構成を示したが、例えば、可動極板202と第1の固定極板211との間のみに静電力が発生する構成、或いは、可動極板202と第2の固定極板221との間のみに静電力が発生する構成としてもよい。
また、上記実施の形態においては、材料特性評価としての硬さ試験を示したが、硬さ以外の試料Sの材料特性のうち、弾性特性、密着力表面物性、対磨耗特性等を圧子先端部204の押込深さに基づいて評価してもよい。
3 レバー(支持部材)
5 電磁力発生部(力発生部)
6 傾斜計(傾斜検出手段)
7 加速度センサ(振動検出手段)
9 表示部
20 シリコン基板
21 第1の硝子基板(硝子基板)
22 第2の硝子基板(硝子基板)
41 姿勢制御部(姿勢制御手段)
42 静止制御部(静止制御手段)
43 静電力制御部(静電力制御手段)
100 材料特性評価装置
201 弾性部
202 可動極板(静電力発生部)
203 ピエゾ抵抗素子(静電力検出部)
204 圧子先端部(先端部)
205 温度センサ(温度検出部)
211 第1の固定極板(固定極板、静電力発生部)
221 第2の固定極板(固定極板、静電力発生部)
a 変位センサ(変位検出手段)
S 試料
Claims (7)
- 試料表面に圧子の先端部を押込んでくぼみを形成させ、当該くぼみに基づいて試料の特性を評価する材料特性評価装置であって、
前記圧子を前記試料表面に対して移動可能に支持する支持部材と、
前記支持部材を移動させる力を発生する力発生部と、
前記支持部材の傾斜を検出する傾斜検出手段と、
前記傾斜検出手段によって検出された傾斜に基づいて、前記先端部が前記試料表面に対して垂直に押し込まれるように、前記力発生部に力を発生させて前記支持部材の姿勢を制御する姿勢制御手段と、
を備えることを特徴とする材料特性評価装置。 - 試料表面に圧子の先端部を押込んでくぼみを形成させ、当該くぼみに基づいて試料の特性を評価する材料特性評価装置であって、
前記圧子内に、
前記先端部に付与する静電力を発生させる静電力発生部と、
前記静電力発生部によって発生した静電力を検出する静電力検出部と、を備えるとともに、
前記静電力検出部によって検出された静電力に基づいて、前記静電力発生部によって発生する静電力をフィードバック制御する静電力制御手段を備えることを特徴とする材料特性評価装置。 - 前記圧子を前記試料表面に対して移動可能に支持する支持部材と、
前記支持部材を移動させる力を発生する力発生部と、
前記支持部材の振動を検出する振動検出手段と、
前記振動検出手段によって検出された振動に基づいて、前記力発生部に力を発生させて前記支持部材を静止させるように制御する静止制御手段と、
を備えることを特徴とする請求項2記載の材料特性評価装置。 - 前記静電力発生部は、
シリコン基板に形成され、弾性部によって変位自在に支持される可動極板と、
硝子基板に形成され、前記可動極板と対面する位置に固定される固定極板と、
を備え、
前記可動極板と前記固定極板との間に発生する静電力を前記先端部に付与することを特徴とする請求項2又は3記載の材料特性評価装置。 - 前記可動極板と前記固定極板とによって形成され、前記先端部のくぼみ形成時における変位を検出する変位検出手段を備えることを特徴とする請求項4記載の材料特性評価装置。
- 前記先端部が、前記可動極板に形成されていることを特徴とする請求項4又は5記載の材料特性評価装置。
- 前記圧子内に、
温度を検出する温度検出部を備えるとともに、
前記温度検出部によって検出された温度を表示する表示部と、
を備えることを特徴とする請求項2〜6の何れか一項に記載の材料特性評価装置。
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