JP4498725B2 - 浮上搬送装置 - Google Patents
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Description
12…供給管
20…搬送部
21…ベース部
22…ノズル部材
22d…ノズル
41…被搬送体供給カセット
42…処理ステージ
43…下段搬送ユニット
44…上段搬送ユニット
45…リフト搬送ユニット
Claims (3)
- 複数配置されたノズル部材に形成されたノズルの各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送するように同一平面内に複数隣接配置された下段搬送ユニットと、複数配置されたノズル部材に形成されたノズルの各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送するように前記下段搬送ユニットよりも上方の同一平面内に複数隣接配置された上段搬送ユニットと、複数配置されたノズル部材に形成されたノズルの各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ昇降し且つ前記下段搬送ユニットと前記上段ユニットとの被搬送体の受け渡しを行うリフト搬送ユニットとを備えていることを特徴とする浮上搬送装置。
- 前記複数の下段搬送ユニットが屈曲若しくは分岐した状態で複数隣接配置され、前記複数の上段搬送ユニットが前記下段搬送ユニットの少なくとも一部の上方に対向配置されていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 前記ノズルの噴射方向が可変制御されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の浮上搬送装置。
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---|---|---|---|---|
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2003
- 2003-11-25 JP JP2003394016A patent/JP4498725B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|---|---|---|
JPS57156918A (en) * | 1981-03-17 | 1982-09-28 | Daifuku Koei Kk | Conveyed article confluence device |
JPS62130925A (ja) * | 1985-11-29 | 1987-06-13 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送装置 |
JP2000072250A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-07 | Watanabe Shoko:Kk | 浮上搬送装置用の気体噴出構造および噴出孔形成方法 |
JP2000272752A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-10-03 | Watanabe Shoko:Kk | 板状基体の収納ユニットおよび収納装置 |
JP2003218187A (ja) * | 2002-01-23 | 2003-07-31 | Nec Kagoshima Ltd | ガラス基板移載装置 |
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