JP4492309B2 - 傾き測定方法及び装置 - Google Patents
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Description
また、別の方法として、半導体チップの上面の少なくとも3箇所の測定ポイントを測定し演算によって傾きを算出しているものがあった(例えば、特許文献1参照)。図8は、前記特許文献1に記載された従来の半導体チップの傾きを測定する方法を示すものである。
図3は、本発明の実施の形態1における傾き測定方法を説明する模式図である。図3において、図1および図2と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
図5は、本発明の実施の形態2における傾き測定方法を説明する模式図である。図5において、図1および図3と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
2 撮像装置
3 レーザ発振器
4 ビームスプリッタ
5 プリズム
6 ミラー
8 モニター
9 演算装置
11 半導体チップ
22 撮像素子(CCD)
31 レーザ発振器から出射されたレーザ光
33 半導体チップ表面で回折した+1次光
34 半導体チップ表面で回折した−1次光
35 半導体チップ表面で反射したレーザ光
331 半導体チップ表面で回折した+1次光によるスポット像
341 半導体チップ表面で回折した−1次光によるスポット像
361 モニター上の2つのスポット像の中点
Claims (8)
- レーザ光を照射し、照射された前記レーザ光の反射光から半導体チップの前に透明体が存在するパッケージ構造になっている前記半導体チップの傾きを測定する傾き測定方法において、前記半導体チップからの±同次の回折光の光路が光学系によって、前記半導体チップと前記±同次の回折光を測定する撮像素子との間で前記半導体チップのレーザ光被照射部と対向する位置に設置された遮蔽板をかわし、かつ、1つの撮像装置に前記±同次の回折光が入射するようにそれぞれ曲げられることにより、前記±同次の回折光を測定し、前記撮像装置からの情報を元に前記半導体チップの傾きを演算することを特徴とする傾き測定方法。
- 前記撮像装置の受光面において、前記±同次の回折光が集光される集光点が重ならないように、前記光学系によって曲げられる前記±同次の回折光間の角度を、少なくとも、前記集光点が分離していることが認識できる程度の角度とする請求項1記載の傾き測定方法。
- 前記光学系は、前記半導体チップと前記撮像装置の間に設置された、プリズムであることを特徴とする請求項1または2記載の傾き測定方法。
- 前記光学系は、前記半導体チップと前記撮像装置の間に設置された、反射鏡であることを特徴とする請求項1または2記載の傾き測定方法。
- レーザ光を照射するレーザ発振器と、被照射対象である半導体チップの前に透明体の付いたパッケージ構造になっている前記半導体チップに照射された前記半導体チップからの±同次の回折光を測定する撮像装置と、前記半導体チップと前記撮像装置との間で前記回折光の光路を曲げる光学系と、前記撮像装置と前記半導体チップの間で、前記半導体チップのレーザ光被照射部と対向する位置に設置された遮蔽板と、前記撮像装置からの情報を元に前記半導体チップの傾きを演算する演算装置とを備え、前記撮像装置は前記半導体チップと対向して配設され、前記光学系は前記光路を曲げられた前記±同次の回折光の成す角が、前記遮蔽板を交わし、かつ、前記撮像素子の有効面内に入るよう配設されたことを特徴とする傾き測定装置。
- 前記成す角を、撮像装置の受光面において、前記±同次の回折光の集光点が分離している角度としたことを特徴とする請求項5記載の傾き測定装置。
- 前記±同次の回折光の光路を曲げるための光学系がプリズムである請求項5又は6記載の傾き測定装置。
- 前記±同次の回折光の光路を曲げるための光学系が反射鏡である請求項5又は6記載の傾き測定装置。
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