JP4489282B2 - 分光計測装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、単一基板上に集積化された複数のストライプ構造を持つ分布帰還可変波長レーザーを応用した分光計測装置に係り、特に、マルチストライプ可変波長レーザーを用いた分光計測装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
可変波長レーザーとは、外部から制御することによりその発振波長を広い範囲にわたって連続的に変化できるレーザーであり、色素レーザー・チタンサファイアレーザー・光パラメトリック発振器等がある。
図7は従来の可変波長レーザー及びそれを用いた分光計測装置の概略構成図である。
【0003】
この図において、101は励起光源、102はレーザー媒質、103,106は鏡、104は同調素子、105はその同調素子104の波長掃引制御装置、107は被測定物質、108は光検知器、109はスペクトル記録装置である。
その構造は、レーザー媒質102と、それを励起する光源101、2枚の鏡103,106よりなる光共振器、及び発振波長を制御する同調素子104よりなっている。このレーザーで物質の分光スペクトルを計測するには、レーザーの波長を時間的に掃引しながら、そのスペクトル応答を光検知器108で測定し、ペンレコーダー等の記録装置109で記録する。
【0004】
一方、集積型DFB(distributed feedback:分布帰還)可変波長レーザーの構造は、図8に示すように、基板201上に厚さ約数ミクロンのレーザー媒質で形成された平板導波路202を形成し、その導波路202に微小な周期的(回折格子)をつけることにより、特定の波長で分布帰還を得るもので、レーザー媒質・光共振器・同調素子を一体化して基板上に集積化できるため、従来より極めてコンパクトに可変波長レーザーを構成できる特徴を持っている。DFB発振波長λは媒質の等価屈折率をn、凹凸の周期をa、次数をmとすると次式で与えられる。なお、203は励起光、204は結合レンズ、205は光ファイバ、206は出力光である。
【0005】
λ=amn
DFBは現在、半導体レーザーの発振スペクトルを狭帯域化し、安定化する技術として広く使われ、また最近では、波長多重光ファイバー通信用の光源として、マルチストライプ型のDFB半導体レーザーが開発されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のレーザー分光計測方式では、掃引域は使用するレーザー媒体の持つ利得バンド幅内に限られ、自由な設定はできなかった。また、掃引は機械的な操作でなされるので、スペクトルの取得には数分の時間を要した。一方、上記の集積型DFB可変波長レーザーでは、作製時に分布帰還を与える凹凸の周期が決まってしまうので、発振波長の制御ができず、そのままでは分光計測の光源としては適していなかった。
【0007】
本発明は、上記状況に鑑みて、このような波長が固定されたDFBレーザーを、さらに多数同一基板上に集積化することによって、レーザー自体の波長掃引を行うことなく、これまでより広い自由度をもたせ、しかもナノ秒以下の極めて短時間の分光スペクトルの計測を可能にする分光計測装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために以下の手段を用いる。
〔1〕分光計測装置において、励起用パルスレーザー(11)と、単一基板上に集積化され、発振波長を独立に設定した複数のストライプ構造をもつマルチストライプDFBレーザー(12)と、アレイ型光検知器(16)とを備え、前記励起用パルスレーザー(11)からのパルスレーザー光で前記マルチストライプDFBレーザー(12)の各ストライプを同時に励起させ、異なった波長で発振したDFBレーザー光を試料物質(14)に通し、それぞれの波長に対する前記試料物質(14)のスペクトル応答を空間的に分離して前記アレイ型光検知器(16)で検知することにより、前記試料物質(14)の吸収スペクトルを計測することを特徴とする。
【0009】
〔2〕分光計測装置において、励起用パルスレーザー(21)と、単一基板上に集積化され、発振波長を独立に設定した複数のストライプ構造をもつマルチストライプDFBレーザー(22)と、光検知器(25)と、オシロスコープ(26)とを備え、光学的に遅延させた前記励起用パルスレーザー(21)からのパルスレーザー光で前記マルチストライプDFBレーザー(22)の各ストライプを励起させ、時間的な波長掃引がかかったDFBレーザー光を試料物質(23)に通してその透過光強度を前記光検知器(25)で検知し、前記試料物質(23)のスペクトル応答の時間変化を前記オシロスコープ(26)で観測することにより、前記試料物質(23)の吸収スペクトルを計測することを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に従って詳細に説明する。
図1は本発明の実施例を示すDFBマルチストライプ集積型可変波長レーザーの模式図である。
この図において、1は基板、2は並列に並べられたDFB可変波長レーザー、3は結合レンズ、4は光ファイバー、5は出力光である。
【0011】
ここで可変波長レーザーとは、色素レーザー、アレキサンドライトレーザー、チタンサファイアレーザー、色中心レーザー、光パラメトリック発振器など、発振する光の波長を数10nm以上連続的に変化できるレーザーを総称している。長さ10〜20mmの基板1上に上記の可変波長レーザー媒質を幅10〜50μm、厚さ数μmのストライプ状に整形して数10〜数100本平行にならべ、それぞれに紫外レーザー光を2方向から照射して干渉による縞模様を作り、光エッチング法で周期的な凹凸(回折格子)を作る。その際、干渉縞の周期は露光用紫外レーザーのビーム入射角で変わるので、それぞれのストライプに違った周期の回折格子を付けることができる。
【0012】
励起光源には、Nd:YAGレーザーや半導体レーザーなどパルスレーザーが使われる。その際、図1に示したストライプ全体をカバーするように励起用レーザービームを照射すると、それぞれのストライプはあらかじめ設定した波長で同時に、かつ独立に発振する。
このようなマルチストライプDFB可変波長レーザーを用い、波長掃引なしに物質の吸収スペクトルを計測する具体例を図2に示す。
【0013】
図2において、11は励起用パルスレーザー、12はマルチストライプDFBレーザー、13,15はレンズ、14は試料物質、16はアレイ型光検出器、17はマイクロコンピュータである。
また、励起レーザー光を同時に照射すると、マルチストライプDFB可変波長レーザー2は上から下に向かって順次異なった波長で発振する。その光を試料物質を通した後、CCDカメラやフォトダイオードアレイのような場所を区別できるように受光し、コンピューターで画像処理すると、吸収スペクトルを計測することができる。
【0014】
この方法では、波長掃引が必要ないために単一レーザーショットでスペクトルの取得が可能である。したがって、励起レーザーにナノ秒オーダーのパルス幅を持つNd:YAGレーザーなどを用いれば、これまでになく非常に速い時間分解能で物質のスペクトル計測が可能となる。
一方、図3はマルチストライプDFBレーザーの励起に時間的な遅延をかける方法により物質の吸収スペクトルを計測する具体例である。
【0015】
この図において、21は励起用パルスレーザー、22はマルチストライプDFBレーザー、23は試料物質、24はレンズ、25は光検出器、26はオシロスコープである。
この場合には、励起レーザーのビームを上から下に向かって光学的に遅延させることで、マルチストライプDFBレーザーに時間的な波長掃引がかかる。したがって、その光を試料物質に通し、透過光強度を光電子倍増管やフォトダイオードのような光検知器で計測し、その強度の時間変化をオシロスコープ等で観測することにより、吸収スペクトルを計測することができる。
【0016】
上記の方法を可能にするためには、色素レーザーや色中心レーザー、セリウムLiSAFレーザーなどを用い、速い緩和時間をもつ可変波長レーザーの場合には、数10psのオーダーまで応答することが確かめられている。
図4はマルチストライプDFBレーザーによる励起パルスの光学的遅延を得る一方法を示す図である。
【0017】
この図において、31は励起用短パルスレーザー(パルス幅10〜100ps)、32は鏡、33はマルチストライプDFBレーザーである。
この図に示すように、遅延時間が100psの場合には、光学遅延をかけるための光路差は30mm程度で済むので、この図に示すように、単に鏡32を傾けるだけで達成できる。
【0018】
【実証実験例】
本発明に基づき試作したマルチストライプDFB可変波長レーザーの特性と、それを用いた分光計測の実施例を述べる。
レーザー媒質には、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)に有機色素ローダミン6Gをドープしたものを使用した。基盤もPMMAで、その上に厚さ3μmの膜をスピンコートしたとき、単一伝搬モードで動作した。導波路の長さは20mmとした。励起源はQスイッチNd:YAGレーザーの第2高調波(波長532nm、パルス幅6ns)である。
【0019】
DFB動作させるための回折格子パターニングは、Nd:YAGレーザーの第4高調波(波長266nm)光を2方向から導波路表面に入射させて露光後、ウエットエッチング法により作製した。凹凸は導波路の表面に付ける場合と、基盤表面に付ける場合とを試みたが、大きな差はなかった。
図5は本発明にかかる側面からNd:YAGレーザー光で励起したときのDFB色素レーザーの発振スペクトルの例である。図5において、横軸に波長(nm)、縦軸に分布帰還出力(相対単位)である。
【0020】
この場合には、レーザーはストライプ状にはなっておらず、励起ビームを20×0.5mmに整形して照射した。すると、図5のように、DFB動作によって、約0.1nmの狭いスペクトルで発振していることが確認された。しきい値エネルギーは40μJ、スロープ効率は36%であった。
次に、電子ビーム加工したフォトマスクを使って、ストライプの形式を試みた。作製したマルチストライプDFB色素レーザーは5種類でそのサイズは、表1に示す通りである。全体のサイズはいずれも20×0.5mmである。
【0021】
【表1】
このレーザーを側面からNd:YAGレーザーで励起すると、各ストライプは同時にDFBレーザーを発振し、そのスペクトルは図5と同様に狭帯域化しているのが確認された。ストライプ幅が狭まると著しく閾値は減少し、幅10mmの場合には0.4μJという極めて低い値になった。
【0022】
図6は本発明にかかるマルチストライプDFBレーザーを用いたナトリウム原子D線の蛍光スペクトルの計測例を示す図である。
図6において、41はNd:YAGレーザー(パルス幅5ns、第2高調波)、42はマルチストライプDFBレーザー、43は定温槽、44はレンズ、45はCCDカメラ、46はマイクロコンピュータである。
【0023】
図6に示した装置により、ナトリウム原子の蛍光スペクトルの取得を試みた。使用したマルチストライプDFB色素レーザーは、25ストライプでナトリウム原子のD線(波長約590nm)を横切るように作られている。励起源はパルスのNd:YAGレーザーで、パルス幅は5nsである。試料は金属ナトリウムを減圧したパイレックス容器に封じきったもので、このセルを70〜100℃に熱することで、108 〜109 /cm3 程度の金属蒸気を生成した。このセルに色素レーザー光を入射すると、ナトリウム原子は励起波長と同じ波長で蛍光(いわゆるレーザー誘起蛍光LIF)を発する。この蛍光を直角方向からCCDカメラで撮り、その画像をコンピューターで空間分解することによって、ナトリウムD線のスペクトルを単一レーザーショット(約5ns)で取得できた。
【0024】
同様の手法は可視・紫外部に吸収帯を有する分子原子のスペクトル観察に利用でき、たとえば、大気中のNOx 、SOx 等の高感度高速モニタリングに応用できる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0025】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
(A)本発明のマルチストライプ可変波長レーザーを用いた分光計測装置によれば、集積化されたマルチストライプDFB可変波長レーザーを用いるようにしたので、分光計測装置の大幅な小型化、低コスト化を図ることができる。
【0026】
(B)本発明によるスペクトル計測方法によれば、波長掃引をすることなく物質の分光スペクトルを計測することができ、パルスレーザーで励起すると、ナノ秒オーダーの短時間でスペクトルを得ることができる。
(C)これまでのスペクトル掃引域は、使用するレーザー媒質の利得バンド幅で制限されていたが、各ストライプに発振波長が大幅に異なる媒質をドープすることにより、例えば、可視部全域を瞬時にカバーできるような、従来にない広帯域スペクトルの取得が可能である。
【0027】
(D)励起時間をずらす方法〔図3及び図4参照〕を用いれば、ピコ秒オーダーでの高速掃引が可能となり、これまで計測できなかった短寿命の反応生成体の分析等にも応用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示すDFBマルチストライプ集積型可変波長レーザーの模式図である。
【図2】 本発明のマルチストライプDFB可変波長レーザーを用い、波長掃引なしに物質の吸収スペクトルを計測する具体例を示す図である。
【図3】 本発明のマルチストライプDFBレーザーの励起に時間的な遅延をかける方法により物質の吸収スペクトルを計測する具体例を示す図である。
【図4】 本発明のマルチストライプDFBレーザーによる励起パルスの光学的遅延を得る一方法を示す図である。
【図5】 本発明にかかる側面からNd:YAGレーザー光で励起したときのDFB色素レーザーの発振スペクトルの例である。
【図6】 本発明にかかるマルチストライプDFBレーザーを用いたナトリウム原子D線の蛍光スペクトルの計測例を示す図である。
【図7】 従来の可変波長レーザー及びそれを用いた分光計測装置の概略構成図である。
【図8】 従来のDFB集積型可変波長レーザーの概略構成図である。
【符号の説明】
1 基板
2 並列に並べられたDFB可変波長レーザー
3 結合レンズ
4 光ファイバー
5 出力光
11,21 励起用パルスレーザー
12,22,33,42 マルチストライプDFBレーザー
13,15,24,44 レンズ
14,23 試料物質
16 アレイ型光検出器
17,46 マイクロコンピュータ
25 光検出器
26 オシロスコープ
31 励起用短パルスレーザー(パルス幅10〜100ps)
32 鏡
41 Nd:YAGレーザー(パルス幅5ns、第2高調波)
43 定温槽
45 CCDカメラ
Claims (2)
- (a)励起用パルスレーザー(11)と、
(b)単一基板上に集積化され、発振波長を独立に設定した複数のストライプ構造をもつマルチストライプDFBレーザー(12)と、
(c)アレイ型光検知器(16)とを備え、
(d)前記励起用パルスレーザー(11)からのパルスレーザー光で前記マルチストライプDFBレーザー(12)の各ストライプを同時に励起させ、異なった波長で発振したDFBレーザー光を試料物質(14)に通し、それぞれの波長に対する前記試料物質(14)のスペクトル応答を空間的に分離して前記アレイ型光検知器(16)で検知することにより、前記試料物質(14)の吸収スペクトルを計測することを特徴とする分光計測装置。 - (a)励起用パルスレーザー(21)と、
(b)単一基板上に集積化され、発振波長を独立に設定した複数のストライプ構造をもつマルチストライプDFBレーザー(22)と、
(c)光検知器(25)と、
(d)オシロスコープ(26)とを備え、
(e)光学的に遅延させた前記励起用パルスレーザー(21)からのパルスレーザー光で前記マルチストライプDFBレーザー(22)の各ストライプを励起させ、時間的な波長掃引がかかったDFBレーザー光を試料物質(23)に通してその透過光強度を前記光検知器(25)で検知し、前記試料物質(23)のスペクトル応答の時間変化を前記オシロスコープ(26)で観測することにより、前記試料物質(23)の吸収スペクトルを計測することを特徴とする分光計測装置。
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