JP4487302B2

JP4487302B2 - Load port

Info

Publication number: JP4487302B2
Application number: JP2003141958A
Authority: JP
Inventors: 真大崎; 光昭萩尾; 浩一山口
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2003-05-20
Filing date: 2003-05-20
Publication date: 2010-06-23
Anticipated expiration: 2023-05-20
Also published as: JP2004349322A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウェハを収納したキャリアと結合して、前記キャリアを開放して、ウェハを搬出入するロードポートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハを一般にキャリアと呼ばれる密閉容器に格納して工程間の搬送あるいは工場間の輸送を行うことが知られている（例えば、特許文献１）。工程間の搬送にはＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）と呼ばれるキャリアが用いられる。工場間の輸送にはＦＯＳＢ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＳｈｉｐｐｉｎｇＢｏｘ）と呼ばれるキャリアが用いられる。ＦＯＵＰもＦＯＳＢは内部空気の清浄度を高く保ってウェハの汚染を防止する機能を有している。
一方、ウェハの加工処理を行う基板処理装置には、フロントエンドモジュールと呼ばれるマニピュレータを内蔵した小区画が取り付けられ、フロントエンドモジュールの前面にはロードポートを介してキャリアが結合され、前記マニピュレータで、キャリア内のウェハを取り出して、基板処理装置に引渡し、また処理済みのウェハを前記マニピュレータが、基板処理装置から取り出し、再び、前記キャリアに収納する。
ロードポートは前記キャリアに格納したウェハを外気に曝すことなく、前記キャリアを前記フロントエンドモジュールに対して開放する開閉装置であり、前記キャリアをロードポートを前面に密着させて外気の侵入を防止する機能と前記キャリアの蓋を前記フロントエンドモジュール内に引き抜いて、前記キャリアを前記フロントエンドモジュールに対して開放する機能を有している（例えば、特許文献２）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−１２４３００号公報
【特許文献２】
特開２００３−６８８２５号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
特定のキャリアについて、専用のロードポートを設計し、専ら、そのキャリアを使う限りは何の問題も生じないのであるが、半導体の製造工程が複雑になるにしたがって、寸法・形式の異なるキャリアが製造ライン内を混流するようになってきた。例えば、図７に示すような８種類のキャリアが混流するような製造ラインが実在する。キャリアの種類によって、開閉動作のシーケンスが異なり、またキャリア内部のスロット配置等が異なるので、異種のキャリアが載置される度に、開閉動作シーケンスとロボットの動作プログラムを切り替える必要があるが、ロードポート自身でキャリアの種類を判別できないので、上位の制御システムからキャリアの種類についての情報を受け取る必要があった。
しかし、上位システムから通知されたキャリアと実際に載置されたキャリアの種類に齟齬があった場合には、キャリアの開放が出来なかった。また、不適切なシーケンスでキャリアを開放しようとするとキャリアの内部に外気が侵入して内部のウェハを汚染するという問題も生じる。
そこで、本発明は、形式の異なる複数種類のキャリアに適合するロードポートであって、載置されたキャリアの種類を判別できるロードポートを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、基板処理装置にウェハを供給するマニピュレータを備えたロボット室に接続され、収容するウェハの寸法は同じである複数種類のキャリアのうちのいずれか１つが載置され、キャリア内のウェハを前記マニピュレータに引き渡すロードポートにおいて、前記キャリアを載置可能な載置台と、前記載置台を前後にスライド可能に支持するハウジングと、前記載置台に載置された前記キャリアの蓋と結合し、前記蓋を前記キャリアから引き抜いて前記キャリアを開放するポッドオープナと、を備え、前記載置台の前端に配置され、前記キャリアの底面前端にあってＳＥＭＩ規格によって位置が定められていない補強リブに押下される複数の接触式センサと、前記ハウジング上に配置された非接触式センサと、からなるキャリア判別センサを備え、前記複数の接触式センサと前記非接触式センサの検出結果から、前記載置台に載置された前記複数種類のキャリアの種類を判別することを特徴とするロードポートとするものである。
また、本発明は、請求項１記載のロードポートにおいて、前記載置台に配置された接触式のアダプタ判別センサと、前記載置台に直接載置できない前記キャリアを載置して前記載置台に載置され、底面に前記アダプタ判別センサと係合するドグを備えたアダプタと、をさらに備えたことを特徴とするロードポートとするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１は本発明の実施例を示すロードポートの斜視図である。図において、１はロードポートであり、２はハウジングである。３はロードポート１に搬送されてきたキャリア（図示せず）を載置する載置台であり、ハウジング２上にあって前後にスライド。４はポッドオープナである。ポッドオープナ４はロードポート１の内外を仕切る扉であるとともに、前記キャリアの蓋と結合して、該蓋を前記キャリアから引き抜いて、前記キャリアを開放する装置でもある。
【０００７】
図２は、図１のＡ部の拡大図であり、ロードポート１のハウジング２付近の拡大図である。図において、１１は載置台の前端に配置された接触式のキャリア判別用センサであり、１２はハウジング２上に配置された非接触式のキャリア判別用センサである。また、１３は載置台の中央に配置された接触式のアダプタ判別用センサである。
【０００８】
図３、図４および図５は本発明の実施例を示すキャリアの外形図であり、それぞれ（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は底面図である。これらの図に示すように、キャリアの底面は種類によって形状がさまざまに異なる。本実施例ではキャリア底面前端の補強リブ等の配置の違いに着目し、前記補強リブ等の有無をキャリア判別センサ１１、１２で検出して、キャリアの種類を判別している。
【０００９】
図６は、本発明の実施例を示すアダプタの斜視図である。アダプタ２１は、ロードポート１の載置部３に直接載置できないキャリアを載置するために、載置部３とキャリアの間に挟む部品である。２２はアダプタセンサ用ドグであり、載置部上のアダプタ判別用センサと係合して、アダプタ２１が載置部３と結合したことをロードポート１に伝える仕掛けである。
【００１０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ロードポートに備えたセンサでキャリアの種類を判別するので、種類の異なるキャリアが混流するラインであっても、搬送ロボットの動作プログラム等を自動的に切り替えられ、動作プログラムとキャリアの種類の不一致に起因する事故を防止する効果がある。
また、キャリアの種類の判別にはキャリアが元々備えている形態的な特徴を利用しているので、キャリアに識別マーク等を付する必要がない。したがって、キャリアを管理する費用が安くなるという効果がある。また、アダプタを備えたので、結合部の形状の異なるキャリアであっても容易にロードポートと結合できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示すロードポートの斜視図である。
【図２】ロードポートのハウジング付近の拡大図である。
【図３】本発明の実施例を示すキャリアの外形図である。
【図４】本発明の実施例を示すキャリアの外形図である。
【図５】本発明の実施例を示すキャリアの外形図である。
【図６】本発明の実施例を示すアダプタの外形図である。
【図７】各種のキャリアの例を示す外形図である。
【符号の説明】
１：ロードポート２：ハウジング３：載置部４：ポッドドア
１１：キャリア判別用センサ１２：キャリア判別用センサ１３：アダプタ判別用センサ２１：アダプタ２２：アダプタセンサ用ドグ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a load port that is coupled to a carrier containing a semiconductor wafer, opens the carrier, and carries the wafer in and out.
[0002]
[Prior art]
It is known that a semiconductor wafer is generally stored in an airtight container called a carrier and transported between processes or transported between factories (for example, Patent Document 1). A carrier called FOUP (Front Opening Unified Pod) is used for conveyance between processes. A carrier called FOSB (Front Opening Shipping Box) is used for transportation between factories. FOUP and FOSB have a function of preventing contamination of the wafer by keeping the internal air clean.
On the other hand, a substrate processing apparatus for processing a wafer is attached with a small section containing a manipulator called a front end module, and a carrier is coupled to the front surface of the front end module via a load port. The wafer in the carrier is taken out and delivered to the substrate processing apparatus, and the processed wafer is taken out from the substrate processing apparatus by the manipulator and stored again in the carrier.
The load port is an opening / closing device that opens the carrier to the front end module without exposing the wafer stored in the carrier to the outside air, and prevents the intrusion of outside air by bringing the load port into close contact with the front surface. It has a function and a function of pulling out the lid of the carrier into the front end module and opening the carrier with respect to the front end module (for example, Patent Document 2).
[0003]
[Patent Document 1]
JP 2000-124300 A [Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-68825
[Problems to be solved by the invention]
Designing a dedicated load port for a specific carrier, and as long as the carrier is used exclusively, there will be no problem, but as the semiconductor manufacturing process becomes more complex, carriers with different dimensions and types will be manufactured. It has come to mix in the line. For example, a manufacturing line in which eight types of carriers as shown in FIG. Depending on the type of carrier, the sequence of opening and closing operations is different, and the slot arrangement inside the carrier is different, so it is necessary to switch between the opening and closing sequence and the robot operation program each time a different type of carrier is placed. Since the port itself cannot determine the carrier type, it is necessary to receive information about the carrier type from the host control system.
However, when there was a discrepancy between the carrier notified from the host system and the type of carrier actually placed, the carrier could not be released. In addition, if an attempt is made to release the carrier in an inappropriate sequence, there is a problem that outside air enters the inside of the carrier and contaminates the internal wafer.
Therefore, an object of the present invention is to provide a load port suitable for a plurality of types of carriers having different formats and capable of discriminating the type of carrier placed.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention is connected to a robot chamber provided with a manipulator for supplying a wafer to a substrate processing apparatus, and any one of a plurality of types of carriers having the same dimensions of the wafer to be accommodated. In the load port for transferring the wafer in the carrier to the manipulator, a mounting table on which the carrier can be mounted, a housing for slidably supporting the mounting table back and forth, and a mounting port mounted on the mounting table A pod opener that is coupled to a lid of the carrier and that pulls the lid out of the carrier to open the carrier, and is disposed at the front end of the mounting table, and is located at the front end of the bottom surface of the carrier and positioned according to SEMI standards. non-contact sensor and a plurality of contact sensor that is pressed determined non reinforcing ribs, disposed on the housing , Comprising a carrier discrimination sensor consisting of, from the detection result of the said plurality of contact sensor non-contact type sensor, and wherein the determining the type of said plurality of carriers mounted on the mounting table loading Port.
According to the present invention, in the load port according to claim 1, the contact-type adapter discrimination sensor disposed on the mounting table and the carrier that cannot be mounted directly on the mounting table are mounted and mounted on the mounting table. The load port further includes an adapter provided on the bottom surface and provided with a dog that engages with the adapter discrimination sensor.
[0006]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view of a load port showing an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a load port and 2 is a housing. Reference numeral 3 denotes a mounting table on which a carrier (not shown) that has been transported to the load port 1 is mounted and slides back and forth on the housing 2. 4 is a pod opener. The pod opener 4 is a door that partitions the inside and the outside of the load port 1 and is also a device that is coupled to the lid of the carrier, pulls the lid from the carrier, and opens the carrier.
[0007]
FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG. 1 and is an enlarged view of the vicinity of the housing 2 of the load port 1. In the figure, reference numeral 11 denotes a contact type carrier discrimination sensor arranged at the front end of the mounting table, and 12 denotes a non-contact type carrier discrimination sensor arranged on the housing 2. Reference numeral 13 denotes a contact-type adapter discrimination sensor arranged at the center of the mounting table.
[0008]
3, 4 and 5 are external views of a carrier showing an embodiment of the present invention, in which (a) is a perspective view and (b) is a bottom view. As shown in these figures, the shape of the bottom surface of the carrier varies depending on the type. In this embodiment, paying attention to the difference in the arrangement of the reinforcing ribs at the front end of the carrier bottom surface, the presence / absence of the reinforcing ribs is detected by carrier discriminating sensors 11 and 12 to discriminate the type of carrier.
[0009]
FIG. 6 is a perspective view of an adapter showing an embodiment of the present invention. The adapter 21 is a component that is sandwiched between the placement part 3 and the carrier in order to place a carrier that cannot be placed directly on the placement part 3 of the load port 1. Reference numeral 22 denotes an adapter sensor dog, which is a mechanism for engaging the adapter discrimination sensor on the placement unit to inform the load port 1 that the adapter 21 is coupled to the placement unit 3.
[0010]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, since the type of carrier is determined by the sensor provided in the load port, the operation program of the transfer robot is automatically executed even in a line where different types of carriers are mixed. This is effective for preventing accidents caused by the discrepancy between the operation program and the carrier type.
Further, since the morphological characteristics originally provided in the carrier are used for discriminating the type of carrier, it is not necessary to attach an identification mark or the like to the carrier. Therefore, there is an effect that the cost for managing the carrier is reduced. Further, since the adapter is provided, there is an effect that even a carrier having a different shape of the coupling portion can be easily coupled to the load port.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a load port showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of the load port housing.
FIG. 3 is an external view of a carrier showing an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an external view of a carrier showing an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is an external view of a carrier showing an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an external view of an adapter showing an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is an external view showing examples of various carriers.
[Explanation of symbols]
1: Load port 2: Housing 3: Placement section 4: Pod door 11: Carrier discrimination sensor 12: Carrier discrimination sensor 13: Adapter discrimination sensor 21: Adapter 22: Adapter sensor dog

Claims

基板処理装置にウェハを供給するマニピュレータを備えたロボット室に接続され、収容するウェハの寸法は同じである複数種類のキャリアのうちのいずれか１つが載置され、キャリア内のウェハを前記マニピュレータに引き渡すロードポートにおいて、
前記キャリアを載置可能な載置台と、前記載置台を前後にスライド可能に支持するハウジングと、前記載置台に載置された前記キャリアの蓋と結合し、前記蓋を前記キャリアから引き抜いて前記キャリアを開放するポッドオープナと、を備え、
前記載置台の前端に配置され、前記キャリアの底面前端にあってＳＥＭＩ規格によって位置が定められていない補強リブに押下される複数の接触式センサと、前記ハウジング上に配置された非接触式センサと、からなるキャリア判別センサを備え、前記複数の接触式センサと前記非接触式センサの検出結果から、前記載置台に載置された前記複数種類のキャリアの種類を判別することを特徴とするロードポート。One of a plurality of types of carriers connected to a robot chamber having a manipulator for supplying a wafer to a substrate processing apparatus and having the same size of the wafer to be accommodated is placed , and the wafer in the carrier is placed on the manipulator In the load port to deliver
A mounting table on which the carrier can be mounted, a housing that supports the mounting table to be slidable back and forth, a lid of the carrier mounted on the mounting table, and pulling the lid out of the carrier With a pod opener that opens up the carrier,
A plurality of contact sensors disposed at the front end of the mounting table and pressed by reinforcing ribs located at the front end of the bottom surface of the carrier and not positioned by SEMI standards; and a non-contact sensor disposed on the housing And a carrier discriminating sensor comprising: discriminating types of the plural types of carriers placed on the mounting table from detection results of the plurality of contact sensors and the non-contact sensor. Load port.

請求項１記載のロードポートにおいて、
前記載置台に配置された接触式のアダプタ判別センサと、
前記載置台に直接載置できない前記キャリアを載置して前記載置台に載置され、底面に前記アダプタ判別センサと係合するドグを備えたアダプタと、をさらに備えたことを特徴とするロードポート。The load port according to claim 1, wherein
A contact-type adapter discrimination sensor arranged on the mounting table;
A load further comprising: an adapter having a dog that is placed on the placement table by placing the carrier that cannot be directly placed on the placement table, and has a dog that engages with the adapter determination sensor on the bottom surface. port.