JP4482891B2 - 結像光学系、露光装置、および露光方法 - Google Patents
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Description
前記結像光学系の光路中の雰囲気の屈折率を1とするとき、前記結像光学系と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記結像光学系中の最も第2面側には、第1光学材料により形成されて前記液体と接する第1光学部材と第2光学材料により形成された第2光学部材との接合からなる接合光学部材が配置され、
前記第1光学部材の厚さをTAとし、前記第2面における最大像高をIHとするとき、
0.1<TA/IH<1.1
の条件を満足することを特徴とする結像光学系を提供する。
前記結像光学系の光路中の雰囲気の屈折率を1とするとき、前記結像光学系と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記結像光学系中の最も第2面側には、第1光学材料により形成されて前記液体と接する第1光学部材と、第2光学材料により形成された第2光学部材との接合からなる接合光学部材が配置されていることを特徴とする結像光学系を提供する。
0.1<TA/IH<1.1 (1)
Lb1 第1光学部材
Lb2 第2光学部材
Lm 液体(純水:浸液)
41 オーバーコーティング
51 鏡筒
52 撥水コーティング
53 Oリング
100 レーザ光源
IL 照明光学系
R レチクル
RS レチクルステージ
PL 投影光学系
W ウェハ
WS ウェハステージ
Claims (24)
- 第1面と第2面とを光学的に共役にする結像光学系であって、前記結像光学系の光路中の雰囲気の屈折率を1とするとき、前記結像光学系と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされる結像光学系において、
前記結像光学系中の最も第2面側には、第1光学材料により形成されて前記液体と接する第1光学部材と第2光学材料により形成された第2光学部材との接合からなる接合光学部材が配置され、
前記第1光学部材の厚さをTAとし、前記第2面における最大像高をIHとするとき、
0.1<TA/IH<1.1
の条件を満足することを特徴とする結像光学系。 - 前記第1光学部材と前記第2光学部材とは、オプティカルコンタクトにより接合されていることを特徴とする請求項1に記載の結像光学系。
- 前記第2光学部材の前記第1面側の光学面は、前記第1面側に凸面を向けていることを特徴とする請求項1または2に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材と前記第2光学部材との接合面は平面状であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 使用光の波長は300nm以下であり、
前記第2光学材料はフッ化物であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記第1光学材料は合成石英であり、
前記第2光学材料は蛍石であり、
前記液体は純水であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記第1光学部材および前記第2光学部材の側面に設けられて、前記第1光学部材と前記第2光学部材との接合面への前記液体の浸入を防止するための液体浸入防止手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 前記接合光学部材は、前記第2光学部材を介して鏡筒に保持されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材の側面と前記鏡筒の内側面とが近接して配置され、互いに対向する前記側面および前記内側面には撥水性処理が施されていることを特徴とする請求項8に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材の側面と対向する前記鏡筒の内側面との間には、前記液体の浸入を防止するための防水素子が設けられていることを特徴とする請求項8に記載の結像光学系。
- 第1面と第2面とを光学的に共役にする結像光学系であって、前記結像光学系の光路中の雰囲気の屈折率を1とするとき、前記結像光学系と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされる結像光学系において、
前記結像光学系中の最も第2面側には、第1光学材料により形成されて前記液体と接する第1光学部材と、第2光学材料により形成された第2光学部材との接合からなる接合光学部材が配置され、
前記接合光学部材は、前記第2光学部材を介して鏡筒に保持され、
前記第1光学部材の側面と前記鏡筒の内側面とが近接して配置され、互いに対向する前記側面および前記内側面には撥水性処理が施されていることを特徴とする結像光学系。 - 第1面と第2面とを光学的に共役にする結像光学系であって、前記結像光学系の光路中の雰囲気の屈折率を1とするとき、前記結像光学系と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされる結像光学系において、
前記結像光学系中の最も第2面側には、第1光学材料により形成されて前記液体と接する第1光学部材と、第2光学材料により形成された第2光学部材との接合からなる接合光学部材が配置され、
前記接合光学部材は、前記第2光学部材を介して鏡筒に保持され、
前記第1光学部材の側面と対向する前記鏡筒の内側面との間には、前記液体の浸入を防止するための防水素子が設けられていることを特徴とする結像光学系。 - 前記第2光学部材は、前記液体に接しないことを特徴とする請求項11または12に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材および前記第2光学部材の側面に設けられて、前記第1光学部材と前記第2光学部材との接合面への前記液体の浸入を防止するための液体浸入防止手段を備えていることを特徴とする請求項13に記載の結像光学系。
- 前記第2光学材料は、前記第1光学材料とは異なる種類の材料であることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材と前記第2光学部材とは、オプティカルコンタクトにより接合されていることを特徴とする請求項11乃至15のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 前記第2光学部材の前記第1面側の光学面は、前記第1面側に凸面を向けていることを特徴とする請求項11乃至16のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材と前記第2光学部材との接合面は平面状であることを特徴とする請求項11乃至17のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 前記第1光学部材の厚さをTAとし、前記第2面における最大像高をIHとするとき、
0.1<TA/IH<1.1
の条件を満足することを特徴とする請求項11乃至18のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記光学系は、前記第1面の像を第2面上に形成する投影光学系であることを特徴とする請求項1乃至19のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 前記第1面に設定されたパターンの像を前記第2面に設定された感光性基板上に形成するための請求項1乃至20のいずれか1項に記載の結像光学系を備えていることを特徴とする露光装置。
- 前記第1面に設定されたマスクを照明するための照明系をさらに備えていることを特徴とする請求項21に記載の露光装置。
- 前記第1面に設定されたマスクを照明する照明工程と、請求項1乃至20のいずれか1項に記載の結像光学系を介して前記マスクに形成されたパターンの像を前記第2面に設定された感光性基板上に投影露光する露光工程とを含むことを特徴とする露光方法。
- 所定のパターンを供給する工程と、請求項1乃至20のいずれか1項に記載の結像光学系を介して前記パターンの像を前記第2面に設定された感光性基板上に投影露光する露光工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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