JP4473178B2 - ウエハ収納容器 - Google Patents
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Description
前記ウエハ抑え手段は、内径方向へ向けて凹状となるように、両端部が湾曲されて、上面視で、前記ウエハの外周縁に対して、一部重複する位置まで延設されて、該外周縁の上下主面に、2箇所で弾接される弾接片を有して構成されているウエハ収納容器を特徴としている。
また、前記容器本体の外周縁部に形成されたガスケット収収納凹部に、前記ガスケット部材の余剰長さ部分を湾曲させて収納することにより、該ガスケット部材の廻り止めが行われる。
このため、ガスケット部材が、撓み変形してシール不良を起こす虞を減少させることができる。
しかも、該収納凹部に収納された前記ガスケット部材の余剰長さ部分を伸延すれば、径の異なるウエハを収納するウエハ収納容器にも適用させることができる。
このため、ガスケット部材を共用化して、更に製造コストの増大を抑制することが出来る。
なお、前記従来例と同一乃至均等な部分については同一符号を付して説明する。
4a 外周縁
10 ウエハ収納容器
11 容器本体
11a 広口開口部(開口部)
11b 外周縁部
13 蓋体
13a 外周縁部
14 湾曲弾接片(ウエハ抑え手段)
14b,14b 両端部
15 ガスケット部材
19 ラベル貼設用台座部
20 廻り止め部
21,22 ガスケット収納凹部
Claims (4)
- 上部に開口部を設けた平箱状の容器本体の内部に、ウエハを単数枚収納すると共に、該開口部に回動可能に装着されて該開口部を閉塞する蓋体を設け、該蓋体の裏面側には、前記容器本体内に収納されたウエハの外周縁に弾接して、保持するウエハ抑え手段を設けてなるウエハ収納容器であって、
前記ウエハ抑え手段は、内径方向へ向けて凹状となるように、両端部が湾曲されて、上面視で、前記ウエハの外周縁に対して、一部重複する位置まで延設されて、該外周縁の上下主面に、2箇所で弾接される弾接片を有して構成されていることを特徴とするウエハ収納容器。 - 前記弾接片は、前記容器本体の外周縁部と、前記蓋体の外周縁部との間に設けられるガスケット部材と同一素材で構成されていて、前記容器本体の外周縁部には、前記ガスケット部材の余剰長さ部分を湾曲させて収納することにより、該ガスケット部材の廻り止めを行うガスケット収納凹部が形成されていることを特徴とする請求項1記載のウエハ収納容器。
- 前記蓋体は、前記容器本体に対して着脱可能となるように枢着されていることを特徴とする請求項1又は2記載のウエハ収納容器。
- 前記蓋体には、上面側に台座部が突設形成されると共に、容器本体の下面側には、前記台座部と係合する廻り止め部が凹設形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のうち、何れか一項記載のウエハ収納容器。
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