JP4468996B2 - 隔膜式圧力センサ - Google Patents
隔膜式圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4468996B2 JP4468996B2 JP2008011116A JP2008011116A JP4468996B2 JP 4468996 B2 JP4468996 B2 JP 4468996B2 JP 2008011116 A JP2008011116 A JP 2008011116A JP 2008011116 A JP2008011116 A JP 2008011116A JP 4468996 B2 JP4468996 B2 JP 4468996B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- chamber
- housing
- pressure receiving
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/04—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges in the form of flexible, deformable tubes, e.g. Bourdon gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0046—Fluidic connecting means using isolation membranes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/08—Means for indicating or recording, e.g. for remote indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/022—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges constructional details, e.g. mounting of elastically-deformable gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
この種の隔膜式圧力センサで、硫酸や塩酸、あるいはアンモニア等の腐食性流体の圧力計測を行う場合には、受圧膜等の接液部に耐食性を有するハステロイ(登録商標)Cやタンタル等の特殊な金属を使用し、あるいは、金属イオンの溶出やコンタミを嫌う半導体工業関係等では、受圧膜にテフロン(登録商標)等の樹脂を使用したものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
また、ハウジングを第一室側の第一ハウジングと第二室側の第二ハウジングとに分割して構成した場合には、第一ハウジングおよび第二ハウジングの各合わせ面の間に、シール部材として、例えばOリングを介装しなければならず、従来、これが隔膜式圧力センサの小型化を阻む要因となっていた。
そこで、本発明の目的は、上述した従来の技術が有する課題を解消し、厚さが薄い受圧膜を使用できる構成を備えると共に、応答性能に優れ、計測誤差の少ない隔膜式圧力センサを提供することにある。
また、ハウジングを第一、第二ハウジングに分割して構成した場合に、各ハウジングの合わせ面間にOリング等を介装することなく、合わせ面をシールできる隔膜式圧力センサを提供することにある。
また、第一室の内壁には圧力センサに通じる複数の細孔を有するため、仮に、受圧膜が最大変形して、該受圧膜が第一室の内壁に当接しても、該受圧膜には細孔に対応する部分にのみ圧力が加わる。従って、第一室の内壁に圧力センサに通じる大きな孔をあけたものと比較して、受圧膜に加わる圧力が減少し、該膜圧を0.2mm以下と薄くしても破損せず、強度的に耐え得るものとなる。
また、第一室の内壁には圧力センサに通じる複数の細孔を有するため、仮に、受圧膜が最大変形して、該受圧膜が第一室の内壁に当接しても、該受圧膜には細孔に対応する部分にのみ圧力が加わる。従って、第一室の内壁に圧力センサに通じる大きな孔をあけたものと比較して、受圧膜に加わる圧力が減少し、該膜圧を0.2mm以下と薄くしても破損せず、強度的に耐え得るものとなる。
図1Aにおいて、1はハウジングを示し、このハウジング1は、上部ハウジング(第一ハウジング)3と下部ハウジング5(第二ハウジング)とに分割して構成される。
上部ハウジング3の上部には取り付け孔7が設けられ、取り付け孔7には市販のブルドン管式の圧力センサ9が螺合される。また、上部ハウジング3の両側部には充填孔11およびニードル弁孔13が同一軸線上に設けられ、ニードル弁孔13にはOリングでシールした状態でニードル弁体15が軸方向に進退自在に嵌合し、ニードル弁体15の先端15Aは充填孔11の内端11Aを閉塞自在である。
上部ハウジング3の合わせ面3Aには、図2に示すように、内周側に一段高くなった合わせ面3Bが設けられ、該合わせ面3Bには、断面略楔形状の突起21が環状に形成されている。下部ハウジング5の合わせ面5Aには、上記合わせ面3Bに対応して内周側に一段低くなった合わせ面5Bが設けられ、該合わせ面5Bには、突起21が嵌まり合う断面略楔形状の溝23が環状に形成されている。
下部ハウジング5の下部には接続孔25が設けられ、接続孔25には管(図示せず)が接続され、該管を通じて計測対象流体が供給される。
また、第二室32の内壁32Aには、第二室32と接続孔25とを連通する細孔34(「径d2≦1mm」)が形成される。
ブルドン管式の圧力センサ9は、外部振動や脈動計測に弱く、定期的に交換されることが多い。このような場合、圧力伝達媒体を真空充填し直さなければならないが、従来、充填孔はそのまま開放していたため、充填完了後、プラグを締め付ける際に、圧力伝達媒体の液体中に、空気が再混入し、また、プラグ捻じ込みの際に、内部加圧を生じて、ゼロ点調整の作業がし難かった。
本構成では、ニードル弁体15で、充填孔11の内端11Aを閉塞した後に、充填孔11を閉塞プラグで閉塞するため、閉塞プラグ締結時の空気混入、内部加圧を防止でき、高度な調整を実現できる。
受圧膜30の運動エネルギーEは、その質量をm、速度をVとすると、E=mV2/2で表される。圧力を受ける有効面積をA、受圧膜の厚さをt、受圧膜材質の比重量をγとすると、E=(A・t)γ・V2/2で表される。
作動圧力(≒誤差圧力)を一定とすると、圧力を受ける有効面積Aの小型化は困難である。一方の厚さtについては、市販のテフロン・ゴム(FPM)製ダイアフラムの厚さ「t=0.5mm」を、例えば「t=0.1mm」とすれば、応答性能を、凡そ「0.5/0.1=5」倍向上できる。
受圧膜30を支持するハウジングにおいて、圧力センサ9と受圧膜30との間を連通する流路を、複数個の細孔33としたため、過大圧力が負荷されても、該受圧膜30には細孔33に対応する部分にのみ圧力が加わる。
細孔33の内径を、例えば1μmとした場合、1MPaの過大圧力時に、該細孔33に負荷される力Fは、F≒π・10(kg/cm2)(1/10000)2/4≒7.9×10-2mgと、受圧膜30には微小な力しか作用しない。従って、第一室31の内壁31Aに圧力センサ9に通じる大きな孔をあけたものと比較して、「t≦0.2mm」の薄い受圧膜でも破損せず、安全に計測可能とした。第一室31の内壁31Aの細孔33が、「径d1≦2mm」であるため、「t≦0.2mm」の薄い受圧膜30に、例えば10MPa以上の過大圧力が負荷されても膜が破損しない。
また、テフロンやポリエチレン等の樹脂製受圧膜30は、気体を透過するため、長時間、受圧膜30に圧力を負荷させていると、受圧膜30を介して圧力伝達媒体(充填液体)に、負荷気体が溶出し、負荷圧力がゼロとなっても、溶出気体の圧力により、圧力センサ9のゼロ点が移動する恐れがある。
本構成では、受圧膜30においては、接液側にテフロン系薄膜を使用し、圧力センサ9側には芯材として、例えば金、タンタル、チタン、SUS316等の金属箔を配置し、更には、その上に、テフロン系薄膜を配置してサンドイッチ構造としたため、計測対象流体として例えば気体が、接液側のテフロン系薄膜を浸透しても、芯材により阻止され、それが第一室31に至ることがない。
この構成では、受圧膜30の中央部30Aが、該受圧膜30の最大変形時の形状まで、第二室32側に予め塑性変形し、計測対象流体の圧力が付加された場合には、第一室31側に反転し変位するため、平板状の膜と比較して、受圧膜30の外径を大きくすることなく、大きい容積変化を実現できる。
3 上部ハウジング(第一ハウジング)
5 下部ハウジング(第二ハウジング)
9 圧力センサ
11 充填孔
13 ニードル弁孔
15 ニードル弁体
21 突起
23 溝
30 受圧膜
31 第一室
32 第二室
Claims (2)
- ハウジング内を受圧膜によって第一室と第二室とに仕切り、前記第一室には圧力伝達媒体を充填すると共に、該第一室には圧力伝達媒体の圧力を計測可能に圧力センサを取り付け、前記第二室には計測対象流体の圧力を供給し、前記受圧膜の変位により変化する第一室内の圧力伝達媒体の圧力を前記圧力センサで検出して計測対象流体の圧力を計測可能とした隔膜式圧力センサにおいて、
前記受圧膜が樹脂製であり、その厚さを0.2mm以下とすると共に、
前記ハウジングを第一室側の第一ハウジングと第二室側の第二ハウジングとに分割して形成し、前記第二ハウジングを耐食性に優れる樹脂材料で形成すると共に、前記第一ハウジングを該樹脂材料よりも硬度の高い材料で形成し、前記第一ハウジングにはV字の突起を形成し、前記第二ハウジングには該突起が嵌まるV字の溝を形成し、
溝のV字のなす角度を突起のV字のなす角度よりも大きく設定し、
前記ハウジングの第一室の内壁、および第二室の内壁の形状を、前記受圧膜が最大変形したときのカテナリー曲線形状と略一致させ、
前記圧力センサに通じる前記第一室の内壁には複数の細孔を設け、
前記受圧膜が組み付け時に前記内壁の形状と略同一形状に塑性変形されて、前記第二室側に支持され、前記受圧膜の周縁部が前記突起および前記溝間に挟持されていることを特徴とする隔膜式圧力センサ。 - 前記受圧膜が樹脂薄膜により金属薄膜、樹脂製のシール剤、あるいは耐液性を有したグリースのいずれかをサンドイッチして構成されていることを特徴とする請求項1に記載の隔膜式圧力センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008011116A JP4468996B2 (ja) | 2008-01-22 | 2008-01-22 | 隔膜式圧力センサ |
KR1020080096552A KR101016495B1 (ko) | 2008-01-22 | 2008-10-01 | 격막식 압력 센서 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008011116A JP4468996B2 (ja) | 2008-01-22 | 2008-01-22 | 隔膜式圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009174888A JP2009174888A (ja) | 2009-08-06 |
JP4468996B2 true JP4468996B2 (ja) | 2010-05-26 |
Family
ID=41030148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008011116A Expired - Fee Related JP4468996B2 (ja) | 2008-01-22 | 2008-01-22 | 隔膜式圧力センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4468996B2 (ja) |
KR (1) | KR101016495B1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200476991Y1 (ko) * | 2013-10-16 | 2015-04-22 | 주식회사 협성히스코 | 압력 누설 차단 기능을 가지는 격막식 압력계 |
JP6277067B2 (ja) * | 2014-06-03 | 2018-02-07 | 株式会社日立製作所 | 圧力センサ及びそれを備えた血圧測定システム、又は車載システム |
JP6968121B2 (ja) * | 2019-04-26 | 2021-11-17 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
CN110688721B (zh) * | 2019-10-14 | 2021-03-09 | 重庆大学 | 一种并联结合面的装配误差传递属性分析方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09138177A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-05-27 | Yokogawa Electric Corp | 受圧ダイアフラム |
KR0177910B1 (ko) * | 1996-09-25 | 1999-05-15 | 노관호 | 압력센서 |
KR100899557B1 (ko) * | 2000-03-09 | 2009-05-27 | 마이클 패트릭 딕손 | 자동점화식 엔진 |
US20040077261A1 (en) * | 2002-02-11 | 2004-04-22 | Fitzgerald David J. | Children's toy waterslide |
KR200277528Y1 (ko) | 2002-02-19 | 2002-06-05 | 윤홍태 | 부식방지형 다이야후렘 게이지가아드 |
-
2008
- 2008-01-22 JP JP2008011116A patent/JP4468996B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-10-01 KR KR1020080096552A patent/KR101016495B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20090080884A (ko) | 2009-07-27 |
JP2009174888A (ja) | 2009-08-06 |
KR101016495B1 (ko) | 2011-02-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7624642B2 (en) | Differential pressure sensor isolation in a process fluid pressure transmitter | |
US4192192A (en) | Diaphragm seal assembly | |
JP2777113B2 (ja) | 圧力センサ | |
KR102436790B1 (ko) | 압력 센서 | |
US7866214B2 (en) | Pressure gauge with hydraulic pressure transmission | |
JP4468996B2 (ja) | 隔膜式圧力センサ | |
US20200056954A1 (en) | Overpressure protection system | |
US20060053893A1 (en) | Pressure measuring unit | |
GB2542650A (en) | Sensor body for a flow through pressure sensor | |
JP2000186971A (ja) | 膜圧媒介装置 | |
US10345174B2 (en) | Device for measuring a pressure in a fluid and pump provided with such a device | |
US20180245998A1 (en) | Process pressure transmitter with polymer seal | |
KR102169778B1 (ko) | 측정 챔버 내 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 압력 센서 장치 | |
CN110749775A (zh) | 一种深海电导率传感器 | |
JPH08313379A (ja) | 圧力センサ | |
CN111157166B (zh) | 一种液相色谱泵压力测量装置及泵头 | |
JP4278569B2 (ja) | 圧力測定器 | |
JP2002022589A (ja) | 耐腐食性のダイヤフラム圧力センサ | |
US10030775B2 (en) | Sealing ring and pressure measuring transducer having at least one such sealing ring | |
JP2009085931A (ja) | 圧力センサ | |
RU2525659C1 (ru) | Коррозионно-стойкий малогабаритный датчик давления | |
EP2531828B1 (en) | Media-isolated measurements of pressurized media | |
JPH0648371Y2 (ja) | 圧力計・差圧計 | |
JPH10213504A (ja) | 圧力センサ | |
JP2011226354A (ja) | ダイヤフラムポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090806 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090915 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090917 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4468996 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160305 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |