JP4464645B2 - 縦型ウェーハボート - Google Patents
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2 板状固定プレート
3 板状固定プレート
4 支持部材
4a 支持溝
4b 支持面
5 支持部材
5a 支持溝
5b 支持面
Claims (2)
- 支持プレートと、この支持プレートに立設され断面の一部に円弧部が形成された板状体からなる4本の支持部材を有し、2本は断面形状が縦長S字状をなして、ウェーハの出し入れ側に設けられ、残りの2本は断面形状が略S字状をなし、これらの支持部材は搭載されるウェーハ出し入れ方向に向いたウェーハの中心線に対して線対称に配置されかつ、各々の支持部材にはウェーハを支持する多数の支持溝が前記円弧部に形成され、前記支持溝の支持面の凸側は搭載されるウェーハの中心方向に向き、前記支持面はウェーハの外周縁部を超えてウェーハの中央よりの部分を支持することを特徴とする縦型ウェーハボート。
- 支持プレートと、この支持プレートに立設され断面の一部に円弧部が形成された板状体からなる3本の支持部材を有し、2本は断面形状が縦長S字状をなして、ウェーハの出し入れ側に設けられ、残りの1本は断面形状が略W字状をなし、これらの支持部材は搭載されるウェーハ出し入れ方向に向いたウェーハの中心線に対して線対称に配置されかつ、各々の支持部材にはウェーハを支持する多数の支持溝が前記円弧部に形成され、前記支持溝の支持面の凸側は搭載されるウェーハの中心方向に向き、前記支持面はウェーハの外周縁部を超えてウェーハの中央よりの部分を支持することを特徴とする縦型ウェーハボート。
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