JP4463286B2 - 半導体ウエハのメッキ治具、治具装着装置、半導体ウエハのメッキ装置 - Google Patents
半導体ウエハのメッキ治具、治具装着装置、半導体ウエハのメッキ装置 Download PDFInfo
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- 第1保持部材と;
第2保持部材と;
固定位置と開放位置に移動可能であり、係止部を有する固定リングと;
を具備する半導体ウエハのメッキ治具であって、
前記第1保持部材と前記第2保持部材との間に半導体ウエハを着脱可能に保持することができ、
前記第1保持部材及び前記第2保持部材の何れかには、前記固定リングの係止部に係脱可能に係止することができる被係止部が設けられ、
前記固定リングが固定位置にある場合には、前記固定リングの係止部と前記被係止部とが係脱可能に係止することにより、前記第1保持部材及び前記第2保持部材が固定され、
前記固定リングが開放位置にある場合には、半導体ウエハを前記第1保持部材と前記第2保持部材との間に置くことができるように、又は、半導体ウエハを前記第1保持部材と前記第2保持部材との間から取り外すことができるように、前記第1保持部材及び前記第2保持部材の固定が開放される半導体ウエハ用メッキ治具。 - 半導体ウエハのメッキ治具と、当該メッキ治具へ前記半導体ウエハを装着させる治具装着装置とを備える半導体ウエハ用メッキ装置であって、
前記治具装着装置は、
前記半導体ウエハを前記メッキ治具に着脱可能に係止するための係止装置と、
前記係止装置を上下動可能に且つ回転可能に軸支する駆動軸と、を具備し、
前記メッキ治具は、
第1保持部材と;
第2保持部材と;
固定位置と開放位置に移動可能であり、係止部を有する固定リングとを具備し、
前記第1保持部材と前記第2保持部材との間に半導体ウエハを着脱可能に保持することができ、
前記第1保持部材及び前記第2保持部材の何れかには、前記固定リングの係止部に係脱可能に係止することができる被係止部が設けられ、
前記固定リングが固定位置にある場合には、前記固定リングの係止部と前記被係止部とが係脱可能に係止することにより、前記第1保持部材及び前記第2保持部材が固定され、
前記固定リングが開放位置にある場合には、半導体ウエハを前記第1保持部材と前記第2保持部材との間に置くことができるように、又は、半導体ウエハを前記第1保持部材と前記第2保持部材との間から取り外すことができるように、前記第1保持部材及び前記第2保持部材の固定が開放される、半導体ウエハ用メッキ装置。 - 半導体ウエハを収納したウエハカセットから前記半導体ウエハを取り出し、メッキ治具に着脱可能に固定することができ、かつ、前記半導体ウエハを着脱可能に固定した前記メッキ治具から前記半導体ウエハを取り出し、前記ウエハカセットに収納することができるロード・アンロードステーションであって、このロード・アンロードステーション内の治具装着台における前記メッキ治具と前記ウエハカセットとの間で前記半導体ウエハを搬送するウエハ搬送装置を備えているロード・アンロードステーションと、
前記半導体ウエハが着脱可能に固定された前記メッキ治具をメッキ槽中のメッキ液に浸漬させ、前記半導体ウエハをメッキすることができるメッキ槽部と、
前記半導体ウエハが着脱可能に固定された前記メッキ治具を前記ロード・アンロードステーションと前記メッキ槽部との間で搬送する治具搬送装置とを備え、
前記メッキ治具は前記半導体ウエハを挟持して保持する第1及び第2保持部材を備え、前記第2保持部材はシールパッキンを具備し、第1保持部材には外部電極に導通する第1通電部材が設けられており、
前記第2保持部材には前記保持される半導体ウエハ面に露出する導電膜に導通すると共に前記第1通電部材に導通する第2通電部材が設けられ、且つ前記シールパッキンでメッキ液から前記第2通電部材がシールされている、半導体ウエハ用メッキ装置。 - 前記ロード・アンロードステーションには前記メッキ治具へ前記半導体ウエハを装着させる治具装着装置が配置され、当該治具装着装置は、半導体ウエハをメッキ治具に着脱可能に係止するための係止装置と、前記係止装置を上下動可能に且つ回転可能に軸支する駆動軸とを具備している、請求項3に記載の半導体ウエハ用メッキ装置。
- メッキした半導体ウエハを取り外した前記メッキ治具を収容できる治具ストッカを更に備える、請求項3又は4に記載の半導体ウエハ用メッキ装置。
- 前記メッキ治具から取り外された後の前記半導体ウエハを洗浄する洗浄手段を更に備える、請求項3〜5の何れか一項に記載の半導体ウエハ用メッキ装置。
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JP2007025540A JP4463286B2 (ja) | 2007-02-05 | 2007-02-05 | 半導体ウエハのメッキ治具、治具装着装置、半導体ウエハのメッキ装置 |
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