JP4457000B2 - 光増幅装置 - Google Patents
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Description
このようなネットワークにおいて用いられる光増幅器には、多重される波長の数の変動や入力される光の強度の変動に対して、高速な利得制御が可能で、常に一定の光出力が得られる機能(レベル制御機能)が求められている。
上述の従来提案されている光増幅器(図8参照)では、アーム内のSOAに偏波無依存型のSOAを用いることで、信号光に対して偏波無依存な増幅特性を実現することができる。
しかしながら、上述の従来提案されている光増幅器(図8参照)では、偏波無依存な増幅特性を持つ制御用SOAを用い、発振を利用して利得が一定値になるようにしているため、制御用SOAに対する注入電流(制御電流)を変化させることによって利得制御を行なう際に、発振状態の制御光(発振光)にモードホッピングが生じ、さらに、このモードホッピングに起因してキンクが発生することになる。このように、利得制御時にキンクが発生すると、光増幅器の利得(光利得)が制御電流に対して滑らかに変化しないことになり、連続的な利得制御が難しくなる。また、制御回路も複雑になる。
本実施形態にかかる光増幅装置(光増幅素子)は、対称マッハツェンダ干渉器のアーム内に偏波無依存な特性を有する光増幅器を設ける一方、干渉器外部に偏波間利得差又は偏波間損失差を持つ制御光用光源を設けるようにすることで、制御光の偏波間モードホッピングが生じないようにし、ひいては、偏波間モードホッピングに起因したキンクの発生を防止するものである。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態にかかる光増幅装置について、図1(a)〜(d)を参照しながら説明する。
ここで、対称マッハツェンダ干渉器1は、図1(a)に示すように、2つの3dBカプラ9,10と、これらの3dBカプラ9,10に接続され、同一光路長を有する一対のアーム11,12とから構成され、対称構造になっている。なお、2つの3dBカプラのうち、信号光の入力側に設けられる方を入力側3dBカプラ(入力側カプラ)9といい、信号光の出力側に設けられる方を出力側3dBカプラ(出力側カプラ)10という。
また、対称マッハツェンダ干渉器1には、図1(a)に示すように、信号光を入力する入力導波路13及び信号光を出力する出力導波路14がそれぞれ接続されている。つまり、対称マッハツェンダ干渉器1の入力側3dBカプラ9には、入力導波路13が接続されており、対称マッハツェンダ干渉器1の出力側3dBカプラ10には、出力導波路14が接続されている。そして、対称マッハツェンダ干渉器1では、両アーム11,12で位相条件が合っているため(機能的に対称)、入力導波路13から入力された信号光は、対称な位置に設けられている出力導波路14から出力されるようになっている。
DFBレーザ4が発する制御光は、アーム11,12内のSOA2,3に入射すると、信号光との間で相互利得変調効果が生じる。これを利用することでSOA2,3による信号光の利得を抑圧することができる。
ところで、本実施形態では、図1(b),(c)に示すように、SOA2,3を、歪バルク構造の歪バルク活性層25(InGaAs層;例えば歪量−0.24%;例えば厚さ50nm)を持つものとして構成している。つまり、SOA2,3を、偏波無依存な特性を有する偏波無依存型の光増幅器としている。
一方、DFBレーザ4は、歪多重量子井戸(MQW:Multiple Quantum Well)構造の歪MQW活性層28(例えば歪量+0.8%;例えば厚さ50nm)を持つものとして構成している。これは、歪MQW構造の設計によって意図的に大きな偏波間利得差をつけることを可能とするためである。なお、歪MQW活性層28は、例えばInGaAsP系の材料により形成すれば良いが、他の材料を用いても良い。
図2中、点Aは、DFBレーザ4の活性層を歪MQW構造(歪量+0.8%)とした場合の利得差ΔαLを示しており、点Bは、DFBレーザ4の活性層を歪バルク活性層(歪量−0.24%)とした場合の利得差ΔαLを示している。
なお、SOA2,3の活性層(利得媒質)とDFBレーザ4の活性層(利得媒質)とで、その構造を同じにし(例えば双方ともに歪バルク構造とし)、互いに異なる材料を用いる(例えばSOA2,3の活性層にInGaAsを用い、DFBレーザ4の活性層にInGaAsPを用いる)ようにしても、所定の偏波間利得差を得ることができる。
SOA2,3とDFBレーザ4とが、偏波間材料利得差Δα(αTE−αTM;単位cm-1)の共通の活性層を持つ場合、SOA2,3の長さをLSOA(cm)とし、DFBレーザ4の長さをLDFB(cm)とすると、SOA2,3の偏波間利得差ΔG及びDFBレーザ4の規格化された偏波間利得差ΔαLは、それぞれ、次式により表すことができる。
ΔαL=ΔαLDFB
これらの式からわかるように、SOA2,3の偏波間利得差ΔGは、活性層の規格化偏波間利得差ΔαLDFB以外に、SOA2,3の長さLSOAとDFBレーザ4の長さLDFBとの比(LSOA/LDFB)が関係する。
例えば、SOA2,3とDFBレーザ4とで共通の活性層を持つ場合に、一般的な長さとして、LDFB=0.03cm,LSOA=0.15cmとし(この場合、SOA2,3の長さがDFBレーザ4の長さの数倍程度になる)、DFBレーザ4の規格化された偏波間利得差ΔαLが0.15以上(ΔαL≧0.15)になるようにすると、SOA2,3の偏波間利得差ΔGは3.3dBよりも大きく(ΔG>3.3dB)なってしまい、偏波無依存な特性が得られない。もちろん、SOA2,3の長さを極端に短くすれば、SOA2,3の偏波間利得差ΔGを2dBよりも小さく(ΔG<2dB)することができるが、この場合、SOA2,3の光利得がかなり小さくなってしまうため、現実的ではない。
一方、偏波間利得差を持つDFBレーザ4を、規格化された偏波間利得差ΔαLが所定値(例えば0.15)以上のもの(ΔαL≧0.15)と規定している。
次に、本実施形態にかかる光増幅装置の製造方法について、図1(b)〜(d)を適宜参照しながら説明する。
まず、図1(a)〜(c)に示すように、n型InP基板(n−InP基板)20上に、n−InPクラッド層21(例えば厚さ1μm以下)、回折格子層(InGaAsP層;例えば発光波長1.2μm;例えば厚さ60nm)22、n−InPキャップ層(例えば厚さ10nm)23を、例えば有機金属気相成長法(MOVPE法)で成長させて形成する。
そして、除去した領域には、図1(c)に示すように、下側SCH層24(InGaAsP層;光ガイド層;例えば発光波長1.2μm;例えば厚さ100nm)、歪MQW活性層28(例えば発光波長1.58μm;例えば歪量+0.8%;例えば厚さ50nm)、上側SCH層26(InGaAsP層;例えば発光波長1.2μm;例えば厚さ100nm)、p−InPクラッド層27(例えば厚さ300nm)を、例えばMOVPE法でバットジョイント成長させて、DFBレーザ4を構成する活性層を含む積層構造を形成する。
次に、SOA2,3及びDFBレーザ4の領域[図1(a)参照]のみにSiO2マスク(誘電体マスク)を形成し、これらの領域を残して、n−InPキャップ層23に達するまで(即ち、表面側のp−InPクラッド層27から下側SCH層24まで)、例えばウエットエッチングにより除去する。
そして、SiO2マスクを除去した後、図1(b)〜(d)に示すように、上部にp−InPクラッド層32(例えば厚さ3μm)、InGaAsPコンタクト層33(例えば発光波長1.3μm;例えば厚さ100nm)を成長させて、エピタキシャル成長が完了する。
さらに、劈開後、図1(a)に示すように、素子50の両端面50A,50Bに、無反射コーティングが施されて、無反射コート膜7,8が形成される。
したがって、本実施形態にかかる光増幅装置によれば、偏波無依存な信号光増幅特性を実現しながら、連続的で安定な利得制御を実現することができるという利点がある。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態にかかる光増幅装置及びその製造方法について、図4〜図6を参照しながら説明する。
本実施形態では、上述の第1実施形態のもの[図1(b)参照]と同様に、SOA2,3を、歪バルク構造の歪バルク活性層25(InGaAs層;例えば歪量−0.24%;例えば厚さ50nm)を持つものとして構成している。つまり、SOA2,3を、偏波無依存な特性を有する偏波無依存型の光増幅器としている。
一方、DFBレーザ4は、歪バルク構造の歪バルク活性層40(InGaAs層;例えば厚さ150nm)を持つものとして構成している。
ここでは、DFBレーザ4の活性層40の厚さが、SOA2,3の活性層25の厚さよりも厚くなるようにしている。
このように、偏波無依存型のSOA2,3の活性層25の厚さに対して、DFBレーザ4の活性層40の厚さを変えると、偏波モード間で光閉じ込め係数に差が生じ(例えば膜厚が厚くなると、TMモードの光閉じ込め係数が大きくなり、光閉じ込めが強くなる)、これに起因して、両偏波モード間で利得差が生じることになる。
図6中、点Aは、DFBレーザ4の活性層40の厚さを150nmとした場合の利得差ΔαLを示しており、点Bは、DFBレーザ4の活性層40の厚さを50nmとした場合の利得差ΔαLを示している。
このように、本実施形態では、SOA2,3の活性層(利得媒質)とDFBレーザ4の活性層(利得媒質)とで、その構造及び材料は同じにするものの、その厚さを互いに異なるものとしている。なお、選択成長技術を用いた場合、活性層の厚さと歪量には所定の相関関係(例えば、In1-XGaXAsの選択成長では厚さが厚くなると、歪量は圧縮歪み方向に大きくなる)があるため、厚さを互いに異なるものとするというのを、歪量を互いに異なるものとすると規定することもできる。
次に、本実施形態にかかる光増幅装置の製造方法について、図4を適宜参照しながら説明する。なお、図4は、DFBレーザ4の断面構造を示している。
次に、DFBレーザ4の領域[図1(a)参照]の周辺に、例えば図5に示すように、活性層40の領域に約20μmの開口部41Aを有し、この開口部41Aの両側に約80μmの幅を持つ選択成長用マスク(例えばSiO2マスク)41を形成する。
この場合、上述のように、DFBレーザ4の領域の周辺には選択成長用マスク41が形成されているため、DFBレーザ4を構成する各層の厚さが、SOA2,3を構成する各層の厚さよりも厚くなる。特に、DFBレーザ4の歪バルク活性層40(InGaAs層)の厚さは例えば150nm程度となり、50nm程度の厚さを持つSOA2,3の歪バルク活性層25よりも厚くなる。
次に、選択成長用マスク41を除去した後、SOA2,3及びDFBレーザ4の領域[図1(a)参照]のみにSiO2マスク(誘電体マスク)を形成し、これらの領域を残して、n−InPキャップ層23に達するまで(即ち、表面側のp−InPクラッド層27から下側SCH層24まで)、例えばウエットエッチングにより除去する。
したがって、本実施形態にかかる光増幅装置によれば、上述の第1実施形態のものと同様の作用、効果がある。
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態にかかる光増幅装置及びその製造方法について、図7を参照しながら説明する。
本実施形態では、制御用光源としてのDBRレーザ60は、アーム内のSOA2,3と同一の積層構造[図1(b)参照]を有するものとして構成される。このため、DBRレーザ60は、歪バルク構造の歪バルク活性層61(InGaAs層;例えば歪量−0.24%;例えば厚さ50nm)を有するものとして構成される。
ここで、端面ミラー61は、例えばエッチングによって、制御光用導波路5Bを含む領域であって、素子端面50Bから所定間隔をあけた位置に穴部61Aを形成することによって作製されるエッチドミラーとして構成すれば良い。
この場合、端面ミラー61の反射率は、TMモードよりもTEモードの方が大きくなっている(TEモード>TMモード)。つまり、端面ミラー61で制御光が反射する際に受ける光損失は、TEモードよりもTMモードの方が大きくなっている(TEモード<TMモード)。このような端面ミラー61の偏波間損失差を利用して、DBRレーザ60を、所定の偏波間損失差を持つものとして構成している。
なお、その他の構成は、上述の第1実施形態のものと同一である。また、図7中、上述の第1実施形態(図1参照)と同一のものには同一の符号を付している。
まず、上述の第1実施形態と同様に、n−InP基板20上に、n−InPクラッド層21、回折格子層22、n−InPキャップ層23を形成する。
次に、全面にSiO2膜を形成し、その上にレジストを塗布した後、電子ビーム(EB)露光によってDBRレーザ60の領域の内側領域(対称マッハツェンダ干渉器1側の領域;回折格子領域)[図7参照]のみに回折格子パターン(例えば周期236nm)を描画してパターニングし、SiO2マスクを形成する。次いで、例えばRIE法等のドライエッチングによって、例えば深さ60nmの回折格子62を形成する。そして、SiO2マスクを除去した後、形成された回折格子62はn−InPで埋め込まれ、この部分はn−InPキャップ層23の一部となる。これにより、InGaAsP回折格子層22のDBRレーザ60の領域の内側領域[図7参照]のみに回折格子62が形成されることになる。
次いで、上述の第1実施形態と同様に、SOA2,3及びDBRレーザ60の領域[図7参照]のみにSiO2マスク(誘電体マスク)を形成し、これらの領域を残して、n−InPキャップ層23に達するまで(即ち、表面側のp−InPクラッド層27から下側SCH層24まで)、例えばウエットエッチングにより除去する。
その後、本実施形態では、DBRレーザ60の領域の外側領域(素子端面50B側の領域;端面ミラー領域)、即ち、素子端面50Bから所定間隔をあけた位置であって、制御光用導波路5Bの上方領域に開口部を有するSiO2マスク(絶縁体マスク)を形成する。次いで、図7に示すように、例えばICP−RIE法等のドライエッチングによって、例えば深さ5μmの穴部61Aを形成する。このようにして形成された穴部61Aの壁面が制御光用導波路5Bの端面となり、エッチドミラーとしての端面ミラー61が形成される。
したがって、本実施形態にかかる光増幅装置によれば、上述の第1実施形態のものと同様の作用、効果がある。
また、上述の各実施形態では、増幅器の雑音増加を抑制するために、アーム内SOA2,3に対し、信号光と制御光とを互いに逆方向へ向けて伝搬させるようにしているが、これに限られるものではなく、例えば信号光と制御光とを同方向へ向けて伝搬させるようにしても良い。この場合、制御光用光源を制御光用導波路5の入力側部分5Aに設けるようにすれば良い。
(付記1)
入力側カプラと、出力側カプラと、前記入力側カプラと前記出力側カプラとを接続する一対のアームとから構成されるマッハツェンダ干渉器と、
前記一対のアームにそれぞれ設けられ、信号光を増幅する第1及び第2光増幅器と、
制御光を出力する制御光用光源とを備え、
前記第1及び第2光増幅器が、偏波無依存な特性を有するものとして構成され、
前記制御光用光源が、所定の偏波間利得差又は偏波間損失差を持つものとして構成されることを特徴とする、光増幅装置。
前記第1及び第2光増幅器の利得媒質と前記制御光用光源の利得媒質とが、構造又は材料が異なるものとして構成されることを特徴とする、付記1記載の光増幅装置。
(付記3)
前記第1及び第2光増幅器が、歪バルク構造の活性層を有するものとして構成され、
前記制御光用光源が、歪多重量子井戸構造の活性層を有するものとして構成されることを特徴とする、付記2記載の光増幅装置。
前記第1及び第2光増幅器の利得媒質と前記制御光用光源の利得媒質とが、厚さ又は歪量が異なるものとして構成されることを特徴とする、付記1記載の光増幅装置。
(付記5)
前記第1及び第2光増幅器と前記制御光用光源とが、いずれも歪バルク構造の活性層を有するものとして構成されることを特徴とする、付記4記載の光増幅装置。
前記制御光用光源が、レーザ発振を用いるレーザであることを特徴とする、付記1記載の光増幅装置。
(付記7)
前記制御光用光源が、所定の偏波間利得差を有する分布帰還型レーザであることを特徴とする、付記6記載の光増幅装置。
前記制御光用光源が、所定の偏波間損失差を持つ端面ミラーを有する分布反射型レーザであることを特徴とする、付記6記載の光増幅装置。
(付記9)
前記制御光用導波路が、前記出力側カプラに接続される導波路部分を有し、
前記制御光用光源が、前記導波路部分に設けられていることを特徴とする、付記1〜8のいずれか1項に記載の光増幅装置。
前記マッハツェンダ干渉器、前記制御光用導波路、前記第1及び第2光増幅器、前記制御光用光源が、いずれも同一半導体基板上に設けられていることを特徴とする、付記1〜9のいずれか1項に記載の光増幅装置。
(付記11)
入力側カプラと、出力側カプラと、前記入力側カプラと前記出力側カプラとを接続する一対のアームとから構成されるマッハツェンダ干渉器と、
前記一対のアームにそれぞれ設けられ、信号光を増幅する第1及び第2光増幅器と、
制御光を出力する制御光用光源とを備え、
前記第1及び第2光増幅器が、偏波間利得差ΔGが2dBよりも小さくなるように構成され、
前記制御光用光源が、規格化された偏波間利得差ΔαLが0.15以上になるように構成されることを特徴とする、光増幅装置。
2,3 半導体光増幅器(SOA;第1及び第2光増幅器)
4 DFBレーザ(制御光用光源)
5 制御光用導波路
6 半導体基板
7,8 無反射コート膜
9 入力側3dBカプラ(入力側カプラ)
10 出力側3dBカプラ(出力側カプラ)
11,12 アーム
13 入力導波路
14 出力導波路
20 n型InP基板(n−InP基板)
21 n−InPクラッド層
22 InGaAsP回折格子層
23 n−InPキャップ層
24 下側SCH層(InGaAsP層;光ガイド層)
25,40 歪バルク活性層(InGaAs層)
26 上側SCH層24(InGaAsP層;光ガイド層)
27 p−InPクラッド層
28 MQW活性層
29 導波路層(InGaAsP層)
30 p−InP電流ブロック層(第1電流ブロック層)
31 n−InP電流ブロック層(第2電流ブロック層)
32 p−InPクラッド層
33 InGaAsPコンタクト層
41 SiO2マスク
41A 開口部
50 素子
50A,50B 端面(信号光入力側及び信号光出力側の端面)
60 DBRレーザ(制御光用光源)
61 端面ミラー
61A 穴部
62 回折格子
Claims (10)
- 入力側カプラと、出力側カプラと、前記入力側カプラと前記出力側カプラとを接続する一対のアームとから構成されるマッハツェンダ干渉器と、
前記一対のアームにそれぞれ設けられ、信号光を増幅する第1及び第2光増幅器と、
制御光を出力する制御光用光源とを備え、
前記第1及び第2光増幅器が、偏波無依存な特性を有するものとして構成され、
前記制御光用光源が、規格化された偏波間利得差ΔαLが0.15以上になるように構成されることを特徴とする、光増幅装置。 - 入力側カプラと、出力側カプラと、前記入力側カプラと前記出力側カプラとを接続する一対のアームとから構成されるマッハツェンダ干渉器と、
前記一対のアームにそれぞれ設けられ、信号光を増幅する第1及び第2光増幅器と、
制御光を出力する制御光用光源とを備え、
前記第1及び第2光増幅器が、偏波無依存な特性を有するものとして構成され、
前記制御光用光源が、所定の偏波間損失差を持つ端面ミラーを有する分布反射型レーザであることを特徴とする、光増幅装置。 - 前記第1及び第2光増幅器の利得媒質と前記制御光用光源の利得媒質とが、構造又は材料が異なるものとして構成されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の光増幅装置。
- 前記第1及び第2光増幅器が、歪バルク構造の活性層を有するものとして構成され、
前記制御光用光源が、歪多重量子井戸構造の活性層を有するものとして構成されることを特徴とする、請求項3記載の光増幅装置。 - 前記第1及び第2光増幅器の利得媒質と前記制御光用光源の利得媒質とが、厚さ又は歪量が異なるものとして構成されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の光増幅装置。
- 前記第1及び第2光増幅器と前記制御光用光源とが、いずれも歪バルク構造の活性層を有するものとして構成されることを特徴とする、請求項5記載の光増幅装置。
- 前記制御光用光源が、所定の偏波間利得差を有する分布帰還型レーザであることを特徴とする、請求項1記載の光増幅装置。
- 前記制御光用導波路が、前記出力側カプラに接続される導波路部分を有し、
前記制御光用光源が、前記導波路部分に設けられていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の光増幅装置。 - 前記マッハツェンダ干渉器、前記制御光用導波路、前記第1及び第2光増幅器、前記制御光用光源が、いずれも同一半導体基板上に設けられていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の光増幅装置。
- 前記第1及び第2光増幅器が、偏波間利得差ΔGが2dBよりも小さくなるように構成されることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか1項に記載の光増幅装置。
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