JP4439959B2 - 金属蒸着膜とこの金属蒸着膜を備えた金属蒸着体およびその製造方法 - Google Patents
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に蒸着する金属と反応しない不活性ガスを供給することで可能となる。これは、通常、担持体に蒸発源から蒸発した金属を付着堆積させて金属蒸着膜を形成していく時、蒸発金属はかなりのエネルギーを持った状態で担持体に付着すると考えられ、担持体上で大きく動きながら付着堆積していくといわれている。この担持体上での動きが大きい場合は、図3,図4に示すように大きな柱状体3で構成され、表面から見た形状も少しクラック4が形成されたものとなる。
(実施例1)
厚さ16μmのPETフィルムの片面に、シリコン系離型剤からなる厚さ0.3μm、剥離強度が500grの離型層を形成した離型層付きPETフィルムを担持体とし、ニッケル蒸着膜の成膜時にアルゴンガスをニッケル蒸着膜が成膜される部分に向けて供給した。このとき真空槽内の真空度は8×10−2Paであった。
(実施例2)
厚さ16μmのPETフィルムの片面にシリコン系離型剤からなる離型層厚さ0.3μm、剥離強度が5grの離型層を成膜した離型層付きPETフィルムを担持体とし、ニッケル蒸着膜の成膜時にアルゴンガスをニッケル蒸着膜が成膜される部分に向けて供給した。このとき真空槽内の真空度は8×10−2Paの真空度であった。
(比較例)
比較のために従来例1として、厚さ16μmのPETフィルムの片面にシリコン系離型剤からなる離型層厚さ0.3μm、剥離強度が500grの離型層を形成した離型層付きPETフィルムを担持体として、真空度が1×10−22Pa、担持体の送り速度を20m/minとして離型層上に供給ガスなしの条件で膜厚0.5μmのニッケル蒸着膜を成膜した。
2 クラック
5 担持体
6 金属蒸着膜
7 高分子フィルム
8 離型層
9 担持体
10 接着剤
Claims (1)
- 担持体上に柱状体の集合によって形成され、表面から見た形状がクラックによって微小面積に分割された形状の金属蒸着膜を設けた金属蒸着体であって、前記担持体が表面に離型層を形成した高分子フィルムからなる転写フィルムで、前記離型層の表面に前記金属蒸着膜を設けたことを特徴とする金属蒸着体。
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