JP4439360B2 - 電気的接続装置 - Google Patents
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Description
12 配線基板
14 プローブ基板
16 接続装置
18 補強部材
20、36、38、44、46 導電性部
22,48、50 配線
24、34 電子部品
26 コネクタ
28 セラミック基板
30 樹脂基板」
32 接触子
42 筒状部材
52 取付部
52a 板状領域
52b 延長部
54 アーム部
54a、54b 第1及び第2のアーム部
54c、54d 第1及び第2の連結部
56 針先部
56a 台座部
56b 針先
60、64 第1及び第2の支持体
62、66 第1及び第2のシート部材
68 凸部
70 貫通穴
72、76 配線
74 結合溝
78 カムシャフト
80 カムレバー
82 連結具
84 連結部材
86 フレーム
88 カム領域
90 受け溝
92 位置決め部材
94 凹所
100、102、104 ねじ
106 板ばね
Claims (11)
- 第1の面を有すると共に複数の第1の導電性部を前記第1の面に備えるセラミック基板と、前記セラミック基板の側とされた第2の面を有すると共に複数の第2の導電性部を前記第2の面に備える配線基板であって前記セラミック基板の前記第1の面の側に配置された配線基板と、前記セラミック基板及び前記配線基板を着脱可能に結合する結合装置とを含み、
前記結合装置は、前記第1及び第2の面のいずれか一方に配置された第1の支持体であって前記第1及び第2の面のいずれか一方から突出しかつ第1の方向へ伸びる凸部を有する第1の支持体と、少なくとも前記凸部を覆うように少なくとも前記第1の支持体に配置された第1のシート部材であって前記第1の方向と交差する第2の方向へ伸びて前記第1及び第2の導電性部のいずれか一方に電気的に接続された複数の第1の配線を有する第1のシート部材と、前記第1及び第2の面の他方から突出して前記第1の方向へ伸びる状態に前記第1及び第2の面の他方に配置された第2の支持体であって前記凸部が前記第1のシート部材により覆われた状態で嵌合された結合溝を有する第2の支持体と、少なくとも前記第2の支持体をこれの前記結合溝の内面を含む範囲にわたって覆うように少なくとも前記第2の支持体に配置された第2のシート部材であって前記第2の方向へ伸びて前記第1及び第2の導電性部の他方と前記第1の配線とに電気的に接続された複数の第2の配線を有する第2のシート部材と、前記凸部を前記第1の方向に貫通するカムシャフトであって少なくとも前記凸部を貫通している箇所に前記凸部を拡大させるカム領域を有するカムシャフトと、該カムシャフトを、前記凸部が拡大された状態及びこれが解除された状態に角度的に回転させるカムレバーとを備え、
前記凸部は前記カムシャフトが貫通する穴を有し、
前記結合装置は、さらに、前記穴に配置されかつ該穴内を伸びる板ばねであって前記カムシャフトの貫通を許すべくU字状の断面形状を有する板ばねを有する、電気的接続装置。 - 前記複数の第1の導電性部は、前記第2の方向に間隔をおいた複数の第1のグループに分けられていると共に、前記第1のグループ毎に前記第1の方向に間隔をおいており、
前記複数の第2の導電性部は、前記第2の方向に間隔をおいた複数の第2のグループに分けられていると共に、前記第2のグループ毎に前記第1の方向に間隔をおいており、
前記第1の支持体及び前記第1のシート部材は隣り合う第1のグループの対毎に備えられており、
前記第2の支持体及び前記第2のシート部材は、隣り合う第2のグループの対毎に備えられており、
前記凸部、前記結合溝及び前記カムシャフトは、対をなす第1又は第2のグループの間を伸びている、請求項1に記載の電気的接続装置。 - 前記第1及び第2のグループの各々の導電性部は、さらに、前記第2の方向に間隔をおいた複数のサブグループに分けられていると共に、前記サブグループ毎に前記第1の方向に間隔をおいている、請求項2に記載の電気的接続装置。
- 前記カムレバーは、前記カムシャフト毎に2つ備えられており、
前記結合装置は、さらに、前記凸部を介して対向されて前記カムレバーの端部に枢軸的に連結された一対の連結具と、両連結具をそれらの端部において連結する一対の連結部材とを備える、請求項2又は3に記載の電気的接続装置。 - 前記結合装置は、さらに、前記セラミック基板の前記第1の面に取り付けられたフレームであってそれそれが前記カムシャフトの端部を角度的回転可能に受けている複数対の受け溝を有するフレームを備える、請求項2から4のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記結合装置は、さらに、前記凸部に取り付けられた位置決め部材を有し、前記第2の支持体は、さらに、前記位置決め部材が嵌合された第1の凹所であって前記第1及び第2の配線が接触するように前記位置決め部材と共同して前記第1及び第2の支持体を位置決める第1の凹所を有する、請求項1から5のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- さらに、前記セラミック基板の側とされた第3の面及び該第3の面と反対側の第4の面を有すると共に、複数の第3の導電性部及び該第3の導電性部に電気的に接続された複数の第4の導電性部をそれぞれ前記第3及び第4の面に備える電気絶縁性の樹脂基板と、前記第4の面に配置された複数の接触子とを含み、
前記セラミック基板は、前記第1の面と反対側の第5の面を有すると共に、前記第1の導電性部に電気的に接続された複数の第5の導電性部を前記第5の面に有し、
前記樹脂基板は、前記第3の面を前記セラミック基板の第5の面側とされて、前記第3の導電性部を前記第5の導電性部に電気的に接続されており、
各接触子は、被検査体の電極に接触されるように前記第4の導電性部に取り付けられている、請求項1から6のいずれか1項に記載の電気的接続装置。 - 前記樹脂基板は、さらに、多層に配置された複数の配線であって前記第3及び第4の導電性部を電気的に接続する複数の配線を備える、請求項7に記載の電気的接続装置。
- 前記各接触子は、前記第4の導電性部に片持ち梁状に取り付けられている、請求項7及び8のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記各接触子は、前記第4の導電性部から前記セラミック基板の厚さ方向へ伸びる状態に前記第4の導電性部に取り付けられた取付部と、該取付部の一端部から前記厚さ方向と交差する方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端側から前記取付部と反対側の方向へ伸びる針先部とを含む板状の接触子とされている、請求項9に記載の電気的接続装置。
- さらに、前記配線基板の前記第2の面と反対側の第6の面に配置された複数の電子部品であってそれぞれが前記第2の導電性部に電気的に接続された電子部品と、該電子部品の周りに位置する補強部材とを含む、請求項7から10のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
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