JP4432575B2 - パターン画像判定方法 - Google Patents
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Description
判定対象のパターン画像から、パターン輪郭線を抽出する輪郭線抽出工程と、;
前記パターン輪郭線に対応するパターン画像上の輪郭線画素の一つについて、
該輪郭線画素を中心とした領域であり、該輪郭線画素を含むN個(Nは任意個数)画素の領域を近傍領域とし、
該近傍領域内の画素を画素の濃度値に基づいて濃度閾値kで2つのクラスに分離し、
前記濃度閾値kは、該2つのクラスの画素の濃度値の平均値の分散と近傍領域全体の画素の濃度値の平均値の分散との比を最大とするような濃度閾値kであり、
該2つのクラスの分離度ηを求める判別分析工程と、;
他の輪郭線画素について各輪郭線画素ごとにそれぞれ対応する分離度ηを求め、エラー判定とする分離度ηのエラー判定閾値を設定し、各輪郭線画素に対する分離度ηの大きさの分布である分離度η分布を求め、該分離度η分布にあってエラー判定閾値以下の部位が存在するとき、該輪郭線画素を含む部位に計測エラーが含まれる可能性があると判定するエラー判定工程と、;
を備えたことを特徴とするパターン画像判定方法である。
値の最大値をその輪郭線画素でのη値とする。この判別分析処理3を順次に、全ての輪郭線画素で行う。図4では、横軸に9×9近傍の画素を濃度値データによりパターン部・背景部を分離する濃度の閾値と、該閾値による分離度を示すη値の変動の関係を示し、前記閾値を低い場合及び高い場合共にη値は低くなる。
2…輪郭抽出処理
3…判別分析処理
4…統計解析処理
5…画質の定量化判定処理
10…パターン画像
11…パターン
12…背景
13…輪郭線
Claims (1)
- 基板上に形成されたパターンを電子顕微鏡から撮像し、得られたパターン画像を判定するパターン画像判定方法において、;
判定対象のパターン画像から、パターン輪郭線を抽出する輪郭線抽出工程と、;
前記パターン輪郭線に対応するパターン画像上の輪郭線画素の一つについて、
該輪郭線画素を中心とした領域であり、該輪郭線画素を含むN個(Nは任意個数)画素の領域を近傍領域とし、
該近傍領域内の画素を画素の濃度値に基づいて濃度閾値kで2つのクラスに分離し、
前記濃度閾値kは、該2つのクラスの画素の濃度値の平均値の分散と近傍領域全体の画素の濃度値の平均値の分散との比を最大とするような濃度閾値kであり、
該2つのクラスの分離度ηを求める判別分析工程と、;
他の輪郭線画素について各輪郭線画素ごとにそれぞれ対応する分離度ηを求め、エラー判定とする分離度ηのエラー判定閾値を設定し、各輪郭線画素に対する分離度ηの大きさの分布である分離度η分布を求め、該分離度η分布にあってエラー判定閾値以下の部位が存在するとき、該輪郭線画素を含む部位に計測エラーが含まれる可能性があると判定するエラー判定工程と、;
を備えたことを特徴とするパターン画像判定方法。
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