JP4432567B2 - インクジェットヘッド - Google Patents

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェット記録装置に使用するインクジェットヘッドに関する。

インクジェットヘッドは、インクタンクからマニホールドに供給されたインクが複数の圧力室に分配されて、これら複数の圧力室に選択的にパルス状の圧力を与えることにより圧力室に連通したノズルからインクを吐出するように構成されている。このように、複数の圧力室に選択的に圧力を与える手段として、例えば、複数の圧力室にわたって配設されたセラミック製の圧電シートを備えたインクジェットヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

このインクジェットヘッドにおいては、平面上に配置された複数の圧力室にわたって複数枚の圧電シートが積層状に配設されている。それら積層された複数枚の圧電シートのうち、最上層の圧電シートには、一方向に細長い形状に形成され且つ複数の圧力室に夫々対応する複数の表面電極がマトリクス状に設けられ、一方、複数の圧電シートの間には、前記表面電極にスルーホールを介して接続された内部電極と、複数の圧力室に共通して設けられグランド電位に保持された共通電極とが設けられている。複数の表面電極の一端部には夫々複数の接点部が設けられており、これら複数の表面電極の接点部が全て同一の方向に向くように配置されている。そして、最上層の圧電シートの上面には、前記駆動信号を接点部に供給する信号線を含むフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）が配設され、このＦＰＣは複数の接点部にハンダ付けにより接続されている。

そして、ＦＰＣの複数の信号線を介して表面電極の接点部に駆動信号が供給されると、表面電極及び内部電極と共通電極との間に電圧が印加され、圧電シートに歪みが生じて圧力室の容積が変化して、圧力室に連通したノズルからインクが吐出されることになる。

特開２００３−１６５２１５号公報（第５頁、図５）

ところで、近年、印刷画質の向上及びインクジェットヘッドの小型化の両方の要求を満足させるために、複数の圧力室をより高密度に配置する試みがなされている。この場合には、複数の圧力室に夫々対応する表面電極及び接点部も、圧電シート上に高密度に配置されることになる。しかし、このように、圧電シート上に接点部が高密度に配置される場合には、それら複数の接点部に夫々駆動信号を供給する複数の信号線を配線したＦＰＣが必要となるが、１枚のＦＰＣにこれら複数の信号線を高密度に配線するには限度がある。そこで、比較的粗い密度で信号線が配線された複数枚のＦＰＣを圧電シート上に部分的に重ねて配設することが考えられる。

しかし、前記特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいて、このように複数枚のＦＰＣを部分的に重ねた状態で圧電シート上に配設した場合に、ＦＰＣが重なった部分と重なっていない部分との境界部近傍においては、上側のＦＰＣが剥がれやすくなっている。特に、前述のように接点部が高密度に配置されているために、前記境界部に近接した接点部の境界部からの離間距離が短いと、上側のＦＰＣを引きはがす方向の外力が作用したときに、接点部とＦＰＣとの間の電気的接続が切断されてしまう虞がある。

本発明の目的は、複数枚のＦＰＣが圧電シート上に配設される場合に、ＦＰＣが重なった部分と重なっていない部分との境界部に近接した位置においても接点部とＦＰＣとの間の電気的接続の信頼性を向上させたインクジェットヘッドを提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

第１の発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルに連通する複数の圧力室が平面に沿って隣接して配置された流路ユニットと、この流路ユニットの表面に配設され前記ノズルからインクを吐出させるために前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットとを備え、前記アクチュエータユニットは、前記複数の圧力室にわたって配設された圧電シートと、前記複数の圧力室に夫々対応して前記圧電シート上に設けられ且つ接点部を有する複数の個別電極と、これら個別電極の接点部に接続されて前記複数の圧力室の容積を変更させる為の駆動信号を供給する複数の信号線を備えた複数枚のフレキシブルプリント配線板とを有し、前記複数枚のフレキシブルプリント配線板は、圧電シート上に部分的に重なり合って配設され、少なくとも、それら複数枚のフレキシブルプリント配線板が重なっている部分と重なっていない部分の境界部に近接する個別電極において、前記接点部が個別電極のうちの前記境界部から離れる側の端部に設けられたことを特徴とするものである。

このインクジェットヘッドは、アクチュエータユニットにより圧力室内の容積を変化させることで圧力室内の圧力を上昇させて、圧力室に連通するノズルからインクを吐出する。ここで、アクチュエータユニットにおいて、圧力室の容積を変化させる為の駆動信号が、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）の信号線から個別電極の接点部に選択的に供給されると、個別電極に電圧が印加されて圧電シートに歪みが生じ、その圧電シートの歪みにより圧力室の容積が変化することになる。

ところで、圧電シート上には複数枚のＦＰＣが部分的に重なり合って配設されている。そのため、これら複数枚のＦＰＣが重なっている部分と重なっていない部分の境界部近傍においては、上側のＦＰＣが剥がれやすくなっている。そのため、境界部に近接した接点部の境界部からの離間距離が短いと、接点部と上側のＦＰＣとの電気的接続が切断されやすくなり、その電気的接続の信頼性が低くなる。そこで、前記境界部に近接する個別電極において、接点部が個別電極のうちの境界部から離れる側の端部に設けることで、境界部に近接する接点部の、境界部からの離間距離を長くすることができる。そして、上側のＦＰＣが剥がれやすい境界部から、可能な限り離れた位置で上側のＦＰＣと接点部とを接続することができるようになり、その接点部における電気的接続の信頼性を向上させることができる。

第２の発明のインクジェットヘッドは、前記第１の発明において、前記圧電シート上に設けられた全ての個別電極において、前記接点部が個別電極のうちの前記境界部から離れる側の端部に設けられたことを特徴とするものである。このように構成することで、境界部を境として分けられた領域において個別電極の接点部のパターンが同一となり、局所的に接点部間の距離が短い箇所がなくなるため、接点部のパターン形成が容易になるし、接点部間の短絡を極力防止できる。

第３の発明のインクジェットヘッドは、前記第１又は第２の発明において、前記圧電シート上において、複数の個別電極の間には、圧電シート上に配設されたフレキシブルプリント配線板を支持する複数のダミー接点部が設けられ、前記ダミー接点部は、前記境界部以外の箇所に比べ前記境界部近傍に密集して設けられていることを特徴とするものである。前記第１又は第２の発明の構成によれば、境界部を挟む２つの接点部の間の距離が大きくなるため、ＦＰＣの自重やＦＰＣに作用する外力等により接点部間にＦＰＣが落ち込んで、ＦＰＣが圧電シート上に密着することにより、インク吐出時の圧電シートの変形を阻害してしまう虞がある。そこで、ＦＰＣを支持するダミー接点部を境界部近傍に密集して設けることにより接点部間でＦＰＣが落ち込むのを確実に防止する。

第４の発明のインクジェットヘッドは、前記第１〜第３の何れかの発明において、前記個別電極は、前記境界部に沿った配列方向と交差する方向に細長い形状に形成されたことを特徴とするものである。従って、境界部に近接する個別電極において、接点部を境界部から離れる側の端部に設けたときに、境界部に近接する接点部の、境界部からの離間距離がさらに長くなり、境界部からより離れた位置でＦＰＣと接点部とを接続することができるようになる。

本発明の実施の形態について説明する。図１、図２に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド１は、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上方に配置され且つヘッド本体７０に供給されるインクの流路である２つのインク溜まり３が形成されたベースブロック７１とを備えている。

図１、図２に示すように、ヘッド本体７０は、インク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面に接着された複数のアクチュエータユニット２１とを含んでいる。これら流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は共に、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成である。また、アクチュエータユニット２１は、柔軟性を有するフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０ を備えており、ＦＰＣ５０はアクチュエータユニット２１から図２の紙面上左右に引き出されている。ここで、各ＦＰＣ５０は、後述するように、２枚のＦＰＣ（図８及び図１５（ａ），（ｂ）参照）が部分的に重なり合った状態で左右に引き出されている。ベースブロック７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック７１内のインク溜まり３は、ベースブロック７１の長手方向（主走査方向）に沿って形成された略直方体の中空領域である。

ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの近傍において周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック７１は、下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａにおいてのみ流路ユニット４と接触している。そのため、ベースブロック７１の下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａ以外の領域は、ヘッド本体７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット２１が配されている。

ベースブロック７１は、ホルダ７２の把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。ホルダ７２は、把持部７２ａと、把持部７２ａの上面からこれと直交する方向に所定間隔をなして延出された平板状の一対の突出部７２ｂとを含んでいる。各ＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材８３を介してホルダ７２の突出部７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。そして、ホルダ７２の突出部７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ５０上にドライバＩＣ８０が設置されている。後述するように、ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をアクチュエータユニット２１の電極３４，３５（図９（ａ），（ｂ）参照）に伝達するように、両者とハンダ付けによって電気的に接合されている。

ドライバＩＣ８０の外側表面には略直方体形状のヒートシンク８２が密着配置されているため、ドライバＩＣ８０で発生した熱を効率的に散逸させることができる。ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方であって、ＦＰＣ５０の外側には、基板８１が配置されている。ヒートシンク８２の上面と基板８１との間、および、ヒートシンク８２の下面とＦＰＣ５０との間は、それぞれシール部材８４で接着されている。

図３は、図１に示したヘッド本体７０の平面図である。図３において、ベースブロック７１内に形成されたインク溜まり３が仮想的に破線で描かれている。２つのインク溜まり３は、ヘッド本体７０の長手方向（主走査方向）に沿って、互いに所定間隔をなして平行に延在している。２つのインク溜まり３は、それぞれ一端に開口３ａを有し、この開口３ａを介してインクタンク（図示せず）に連通することによって、常にインクで満たされている。また、開口３ｂは、ヘッド本体７０の長手方向に沿って各インク溜まり３に多数設けられていて、上述したように各インク溜まり３と流路ユニット４とを結んでいる。多数の開口３ｂは、対となる２つずつがヘッド本体７０の長手方向に沿って近接配置されている。一方のインク溜まり３に連通した開口３ｂの対と、他方のインク溜まり３に連通した開口３ｂの対とは、千鳥状に配置されている。

開口３ｂが配置されていない領域には、開口３ｂの対とは逆のパターンで、台形の平面形状を有する複数のアクチュエータユニット２１（以下の流路ユニット４の説明においては、主に、ＦＰＣ５０を除いた部分を指す）が千鳥状に配置されている。各アクチュエータユニット２１の平行対向辺（上辺及び下辺）は、ヘッド本体７０の長手方向と平行である。また、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺の一部同士がヘッド本体７０の幅方向にオーバーラップしている。

図４は、図３内の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４に示すように、各インク溜まり３に設けられた開口３ｂは共通インク室であるマニホールド５に連通し、さらに各マニホールド５の先端部は２つに分岐して副マニホールド５ａを形成している。また、平面視において、アクチュエータユニット２１における２つの斜辺側それぞれから、隣接する開口３ｂから分岐した２つの副マニホールド５ａが延出している。つまり、アクチュエータユニット２１の下方には、アクチュエータユニット２１の平行対向辺に沿って互いに離隔した計４つの副マニホールド５ａが延在している。

アクチュエータユニット２１と対向した流路ユニット４の下面は、インク吐出領域となっている。インク吐出領域の表面には、後述するように、多数のノズル８がマトリクス状に配列されている。ノズル８は、図面を簡単にするために図４では幾つかだけを描いているが、実際にはインク吐出領域全体にわたって配列されている。

図５は、図４に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４及び図５は、流路ユニット４における多数の圧力室１０がマトリクス状に配置された平面を、インク吐出面に対して垂直な方向から見た状態を示している。各圧力室１０は、角部にアールが施された略菱形の平面形状を有しており、その長い方の対角線は流路ユニット４の幅方向に平行である。各圧力室１０の一端はノズル８に連通しており、他端はアパーチャ１２（図６参照）を介して共通インク流路としての副マニホールド５ａに連通している。平面視において各圧力室１０と重なり合う位置には、圧力室１０と相似でこれよりも一回り小さい平面形状を有する個別電極３５が、アクチュエータユニット２１上に形成されている。図５には、図面を簡略にするために、多数の個別電極３５のうちの幾つかだけを描いている。なお、図４及び図５において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１内又は流路ユニット４内にあって破線で描くべき圧力室１０及びアパーチャ１２等を実線で描いている。

図５において、圧力室１０（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）がそれぞれ収容された仮想的な複数の菱形領域１０ｘは、互いに重なり合うことなく各辺を共有するように、配列方向Ａ（第１の方向）及び配列方向Ｂ（第２の方向）の２方向にマトリクス状に隣接配置されている。配列方向Ａは、インクジェットヘッド１の長手方向（主走査方向）、すなわち副マニホールド５ａの延在方向であって、菱形領域１０ｘの短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす菱形領域１０ｘの一斜辺方向である。圧力室１０は、対応する菱形領域１０ｘと中心位置が共通であって、両者の輪郭線は平面視において互いに離隔している。

配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置された圧力室１０は、配列方向Ａに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔している。また、圧力室１０は、１つのインク吐出領域内において、配列方向Ｂに１６個並べられている。配列方向Ｂの両端にある圧力室はダミーであって、インク吐出に寄与しない。

マトリクス状に配置された複数の圧力室１０は、図５に示す配列方向Ａに沿って、複数の圧力室列を形成している。圧力室列は、図５の紙面に対して垂直な方向（第３の方向）から見て、副マニホールド５ａとの相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の上辺から下辺に向けて、１１ｃ→１１ｄ→１１ａ→１１ｂ→１１ｃ→１１ｄ→…→１１ｂという順番で周期的に４列ずつ配置されている。

第１の圧力室列１１ａを構成する圧力室１０ａ及び第２の圧力室列１１ｂを構成する圧力室１０ｂにおいては、第３の方向から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に関して、ノズル８が図５の紙面下側に偏在している。そして、ノズル８が、それぞれ対応する菱形領域１０ｘの下端部に位置している。一方、第３の圧力室列１１ｃを構成する圧力室１０ｃ及び第４の圧力室列１１ｄを構成する圧力室１０ｄにおいては、第４の方向に関して、ノズル８が図５の紙面上側に偏在している。そして、ノズル８が、それぞれ対応する菱形領域１０ｘの上端部に位置している。第１及び第４の圧力室列１１ａ、１１ｄにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ａ、１０ｄの半分以上の領域が、副マニホールド５ａと重なっている。第２及び第３の圧力室列１１ｂ、１１ｃにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ｂ、１０ｃの全領域が、副マニホールド５ａと重なっていない。そのため、いずれの圧力室列に属する圧力室１０についてもこれに連通するノズル８が副マニホールド５ａと重ならないようにしつつ、副マニホールド５ａの幅が可能な限り広く形成されており、各圧力室１０にインクを円滑に供給することが可能となっている。

次に、ヘッド本体７０の断面構造について、図６、図７を参照してさらに説明する。図６に示すように、各ノズル８は、圧力室１０（１０ａ、１０ｂ）及びアパーチャ１２を介して副マニホールド５ａと連通している。このようにして、ヘッド本体７０には、副マニホールド５ａの出口からアパーチャ１２、圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路３２が圧力室１０ごとに形成されている。尚、この個別インク流路３２（以下、チャンネルと表現する場合もある）が１つの記録素子に相当する。

図６に示すように、複数の薄板の積層方向において、圧力室１０とアパーチャ１２とは異なる深さに設けられている。これにより、図５に示すように、アクチュエータユニット２１の下方にあるインク吐出領域に対応した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１２を、当該圧力室に隣接する圧力室１０と平面視で同じ位置に重ねて配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。

図７に示すように、ヘッド本体７０は、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０の合計１０枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた９枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。

アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、５枚の圧電シート４１〜４５（図９（ａ）参照）が積層され且つ電極が配されることによってそのうちの３層が電圧印加時に活性層となる部分を有する層（以下、単に、活性層を有する層というように記す）とされ、残り２層が非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０に対応する略菱形の開口が多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、２つの孔とその間を結ぶハーフエッチング領域で形成されたアパーチャ１２のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２と副マニホールド５ａとの連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６、２７、２８は、副マニホールド５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート２９は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。

これら１０枚のシート２１〜３０は、図７に示すような個別インク流路３２が形成されるように、互いに位置合わせして積層される。この個別インク流路３２は、副マニホールド５ａからまず上方へ向かい、アパーチャ１２において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１２から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。

次に、アクチュエータユニット２１及びこのアクチュエータユニット２１に電気的に接続されたドライバＩＣ８０について、図８〜図１６を参照して説明する。
アクチュエータユニット２１は、複数の圧力室１０にわたって積層状に配設された５枚の圧電シート４１〜４５と、複数の圧力室１０に夫々対応して最上層の圧電シート４１上に設けられ且つ接点部９１を有する複数の個別電極３５を有し、これら複数の個別電極３５の接点部９１に、複数の圧力室１０の容積を変更させる為の駆動信号を供給する複数の信号線を備えた２枚のＦＰＣ５０（５０ａ，５０ｂ）が接続されている。このアクチュエータユニット２１は、ドライバＩＣ８０（図２参照）からの駆動信号をＦＰＣ５０を介して圧電シート４１上の複数の接点部９１に選択的に供給することにより、圧電シート４１〜４５を変形させて、駆動信号が供給された接点部９１に対応する圧力室１０の容積を変化させる。

図８、図９（ａ），（ｂ）に示すように、５枚の圧電シート４１、４２、４３、４４、４５は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成されている。これら圧電シート４１〜４５は、インクジェットヘッド１内の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０にわたって積層して配置され、連続した層状の平板（連続平板層）となっている。

そして、図８に示すように、最上層の圧電シート４１の上面には、平面形状が略菱形の個別電極３５がマトリクス状に規則的に配列されている。さらに、図９（ａ）に示すように、２枚の圧電シート４２，４３の間において、各個別電極３５と上下に重なる位置には、個別電極３５と同形状の個別電極３６が配置されている。ここで、前述のように、圧電シート４１〜４５が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されているために、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより、個別電極３５、３６を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５、３６に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。

本実施の形態において、圧電シート４１〜４５は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。なお、図９（ａ）では、ＦＰＣ５０と圧電シート４１とが互いの全面において接着されているように描かれているが、実際には、両者は各個別電極３５の主電極部９０では接着されていない。これは、主電極部９０に貼り付けられたＦＰＣ５０が圧電シート４１〜４５の変形を阻害するのを防止するためである。

図８、図９（ａ）及び図１０に示すように、個別電極３５は、厚み１μｍ程度のものであり、圧電シート４１の上面であって圧力室１０に対応する位置に形成されている。この個別電極３５は、その平面形状が圧力室１０と略相似な形状を有する（図５参照）。

さらに、個別電極３５は、平面形状が略菱形形状の主電極部９０と、この主電極部９０の一端の鋭角部から突出状に形成された接点部９１（ランド部）とを有している。この接点部９１には、後述のＦＰＣ５０に配線された信号線を介して駆動信号が供給されるようになっている。図５、図９（ａ）に示すように、主電極部９０は、圧電シート４１の表面と垂直な前記第３の方向から見て圧力室１０に重なっており、一方、接点部９１の大部分は、第３の方向から見て圧力室１０に重なっていない。尚、図８において、圧電シート４１上の個別電極３５のうち、最も外周側に位置する個別電極３５は、接点部９１が設けられていないダミーの電極である。

ところで、圧電シート４１の図８における上半分に配置された複数（８列３６４個）の個別電極３５においては、接点部９１は、個別電極３５のうちの図８における上側の端部に設けられ、圧電シート４１の図８における下半分に配置された複数（８列３００個）の個別電極３５においては、接点部９１は、個別電極３５のうちの図８における下側の端部に設けられている。この理由については、後ほど説明する。

図９（ａ）に示すように、圧電シート４２と圧電シート４３との間には、個別電極３５と同様の形状を有する厚み２μｍ程度の個別電極３６が介在している。一方、圧電シート４３の下方に隣接した圧電シート４４とその下方に隣接した圧電シート４５との間、及び、圧電シート４５の下方には、電極が配置されていない。

図９（ａ）に示すように、圧電シート４１、４２において、個別電極３５と個別電極３６の間には、個別電極３５の主電極部９０の一端部（接点部９１と反対側の端部）から下方へ延びるスルーホール４１ａ、４２ａが形成されている。これらスルーホール４１ａ、４２ａには、図９（ｃ）に示すように導電材料（銀パラジウムなど）４８が充填されており、この導電材料４８を介して、個別電極３５と個別電極３６とが各圧力室１０ごとに接続されている。

図８に示すように、本実施の形態では、圧電シート４１の上面四隅付近には、接地用電極３８が形成されている。そして、圧電シート４１上面のうちの個別電極３５が形成された領域は、４つの接地用電極３８で区画された仮想領域によって包囲されていることになる。

図９（ｂ）に示すように、接地用電極３８の下方において、アクチュエータユニット２１の最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、厚み２μｍ程度の共通電極３３が介在している。共通電極３３は、圧電シート４１〜４５のほぼ全域にわたって延在した１枚の導電シートからなる。同様に、上から３番目に位置する圧電シート４３とその下側の圧電シート４４との間にも、共通電極３３と同様の形状を有する厚み２μｍ程度の共通電極３４が介在している。

図９（ｂ）に示すように、接地用電極３８の下方には、圧電シート４１、４２、４３を貫通するスルーホール４１ｂ、４２ｂ、４３ｂが形成されている。スルーホール４１ｂ、４２ｂ、４３ｂには、図９（ｄ）に示すように導電材料（銀パラジウムなど）４９が充填されており、この導電材料４９を介して、接地用電極３８が共通電極３３及び共通電極３４に接続されている。
尚、以上説明した個別電極３５，３６及び共通電極３３，３４は、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなるものである。

ここで、共通電極３３、３４は、積層方向への射影領域が圧力室領域を含むように圧力室１０よりも大きいものが圧力室１０ごとに多数形成されてもよいし、あるいは、射影領域が圧力室領域に含まれるように圧力室１０よりもやや小さいものが圧力室１０ごとに多数形成されてもよく、必ずしも圧電シートの全面に延在する１枚の導電シートである必要はない。但し、このとき、圧力室１０に対向する部分がすべて同一電位となるように共通電極同士が電気的に接続されていることが必要である。

尚、図８、図１０に示すように、最上層の圧電シート４１上には、個別電極３５及び接地用電極３８の他に、多数のダミー接点部３９が設けられている。これらダミー接点部３９は、マトリクス状に配列された個別電極３５の間に設けられており、圧電シート４１上に配設されるＦＰＣ５０を支持して、個別電極３５の接点部９１間でＦＰＣ５０が落ち込むことによりインク吐出時の圧電シート４１の変形が阻害されるのを防止する。

次に、ドライバＩＣ８０及びＦＰＣ５０（５０ａ，５０ｂ）について説明する。
ドライバＩＣ８０（駆動装置）は、基板８１（信号供給装置）及び複数の個別電極３５と、ＦＰＣ５０を介して電気的に接続されており、基板８１から供給されたドライバＩＣ８０を駆動する為の信号に基づいて複数の個別電極３５に対して選択的に電圧を印加する（駆動信号を供給する）ことにより、電圧が印加された個別電極３５に対応する圧力室１０の容積を変化させて、その圧力室１０に連通するノズル８からインクを吐出させる。

図１５に示すように、ＦＰＣ５０（５０ａ，５０ｂ）は、基板８１とドライバＩＣ８０とを電気的に接続するとともに、ドライバＩＣ８０と個別電極３５、３６及び共通電極３３、３４とを電気的に接続するものであり、図９（ａ）および図９（ｂ）に示すように、最上層の圧電シート４１の上面に配置された個別電極３５及び接地用電極３８と夫々ハンダ付けにより電気的に接合される接続パッド５５、６０を有する。ＦＰＣ５０上には夫々ドライバＩＣ８０（８０ａ，８０ｂ）が搭載されており、個別電極３５と接続される端部とは反対側の端部に設けられた接続部１００（１００ａ，１００ｂ）が基板８１のコネクタ部（図示省略）に差し込まれて、ＦＰＣ５０を介してドライバＩＣ８０と基板８１とが電気的に接続されるようになっている。

ところで、この本実施形態のインクジェットヘッド１においては、複数の圧力室１０が高密度でマトリクス状に配置されるため（図５参照）、複数の圧力室１０に夫々対応する個別電極３５の接点部９１も圧電シート４１上に高密度に配置される。しかし、幅の限られた１枚のＦＰＣ内に、高密度に配置された複数の個別電極３５に夫々駆動信号を供給する、複数の信号線（本実施形態では６６４個の個別電極３５に夫々対応する６６４本の信号線）を配線するには限度がある。

そこで、本実施形態のインクジェットヘッド１においては、複数の個別電極３５が、互いに異なる数の個別電極で構成された２つの個別電極の組１０１，１０２（具体的には、図８における上側８列の３６４個の個別電極の組１０１と、下側８列の３００個の個別電極の組１０２）に分けられており、これら２つの個別電極の組１０１，１０２は、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂにより２つのドライバＩＣ８０ａ，８０ｂに夫々電気的に接続されている。そして、図８、図１０及び図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂが圧電シート４１上に部分的に重なり合うように配設されており、これら２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂにより、ドライバＩＣ８０ａ，８０ｂから複数の個別電極３５の接点部９１までの配線を行うように構成されている。

ここで、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂに接続された２つのドライバＩＣ８０ａ，８０ｂは、互いに異なる数の個別電極３５で構成された個別電極の組１０１，１０２に夫々駆動信号を供給するものであるにもかかわらず、同一の構造及び同一の回路構成を有する。この同一仕様のドライバＩＣ８０（８０ａ，８０ｂ）の構成について、以下詳細に説明する。

図１１に示すように、ドライバＩＣ８０には、基板８１から複数種類の波形信号（FIRE）が入力され、これら複数種類の波形信号に基づいて各個別電極３５に駆動信号を出力するように構成されている。波形信号の一例として、図１２に８種類の波形信号FIRE(0)〜FIRE(7)を示す。ここで、FIRE(0)はノズル８からインクを吐出しない非吐出の信号である。また、FIRE(1)〜FIRE(3)の３種類の波形信号は、Ｈｉとなる回数が相互に異なるパルス列信号であり、Ｈｉとなる回数に対応してノズル８からのインク吐出回数を異ならせて階調制御を行うための波形信号であり、FIRE(1)〜FIRE(3)は、夫々小滴、中滴及び大滴のインク玉を吐出する為の波形信号である。即ち、印字周期内に、FIRE(1)の場合は１回、FIRE(2)の場合は２回、そして、FIRE(3)の場合は３回、インク滴が吐出される。また、FIRE(4)〜FIRE(6)は、温度等の外的変動時に小滴、中滴及び大滴のインク玉を吐出する際に選択される波形信号である。尚、FIRE(1)〜FIRE(6)の波形信号において、最後に付加されている比較的幅の狭いパルスは、インク液滴の噴射後に圧力室１０に残留するインクの振動を抑制する為のストップパルスである。さらに、FIRE(7)は、ノズル８のフラッシングを行う際に選択される波形信号である。そして、ドライバＩＣ８０は、各チャンネルに対して８種類の波形信号FIRE(0)〜FIRE(7)のうちから何れか１つの波形信号を選択し、選択された波形信号に基づいて生成された駆動信号を個別電極３５に供給して、ノズル８からインクを吐出させる。

さらに、図１１に示すように、ドライバＩＣ８０には、各ノズル８（各チャンネル）に対して、前述の８種類の波形信号FIRE(0)〜FIRE(7)から何れか１つを選択する為の３ビットの選択データSIN(x)（xは０，１又は２）がシリアル入力される。そして、図１３に示すように、各チャンネルに対して入力された３ビットの選択データSIN(x)により、そのチャンネルに対して８種類の波形信号FIRE(0)〜FIRE(7)のうちから何れか１つの波形信号が選択されるようになっている。

また、ドライバＩＣ８０は、シリアル入力された３ビットの選択データSIN(x)をパラレル変換するシリアル−パラレル変換器としてのシフトレジスタ１１０〜１１７と、ラッチ回路としてのＤ−フリップフロップ１２０〜１２７と、複数のチャンネルに夫々対応する選択データSIN(x)に基づいて、前述の８種類の波形信号FIRE(0)〜FIRE(7)から何れか１つを選択するマルチプレクサ１３０〜１３７と、マルチプレクサ１３０〜１３７から出力された波形信号を所定電圧の駆動信号として複数の個別電極３５へ出力するドライブバッファ１４０〜１４７とを備えている。

ここで、図１１に示すように、１つのドライバＩＣ８０は、図８に示す個別電極の組１０１，１０２を構成する８列の個別電極３５の列に夫々対応する、最大４９個（０系）〜４２個（７系）の出力端子を夫々有する８つのブロック（０系〜７系）に分割されている。そして、１つのドライバＩＣ８０（８０ａ）は３６４個の出力端子（０系から７系の出力端子の総数）を有し、図８の上半分の個別電極の組１０１を構成する、３６４個の個別電極３５に対して夫々駆動信号を出力することができるようになっているが、いくつかの出力端子を個別電極３５に結線されない未結線の状態にし、３６４個よりも少ない数の個別電極３５で構成された個別電極の組（具体的には、図８の下半分の３００個の個別電極３５で構成された個別電極の組１０１や、その他にも、３０４個の個別電極３５で構成された個別電極の組）に対しても、同一の構成を有するドライバＩＣ８０により駆動信号を出力することもできるようになっている。以下、８つのブロックのうちの、最大４９個の個別電極３５に対して駆動信号を出力できるブロック（０系）を用いてドライバＩＣ８０の内部構成をさらに詳細に説明する。

図１４に示すように、ドライバＩＣ８０の０系のシフトレジスタ１１０には、CLKの立ち上がりに従って３ビットの選択データSIN(x)が基板８１からシリアル入力され、さらに、ドライバＩＣ８０の出力端子に結線される個別電極３５の数が３６４個、３０４個、あるいは３００個の何れであるかを識別するための２つのモード識別データmode(0),mode(1)が入力される。そして、これらモード識別データmode(0),mode(1)によってmode364、mode304及びmode300が決定される。

図１４に示すように、モード識別データmode(0),mode(1)が共にＬｏｗの場合には、mode364がＨｉ、mode304及びmode300がＬｏｗとなり、３６４個の個別電極３５に結線された状態に対応するモードとなる。このとき、選択データSIN(x)は図１４におけるａ→ｄ→ｅ→ｆのパスを通り、全てのシフトレジスタにセットされる。

モード識別データmode(0)がＬｏｗ、mode(1)がＨｉの場合には、mode304がＨｉ、mode364及びmode300がＬｏｗとなり、３０４個の個別電極３５に結線された状態に対応するモードとなる。このとき、選択データSIN(x)は図１４におけるｂ→ｄ→ｅ→ｇのパスを通ってシフトレジスタにセットされたデータだけが有効となる。つまり、パスａ，ｆを通ってセットされたデータは無効なものとなるため、その出力に対応するOUT001〜005及びOUT044〜049は未結線となる。

さらに、モード識別データmode(0)がＨｉ、mode(1)がＬｏｗの場合には、mode300がＨｉ、mode364及びmode304がＬｏｗとなり、３００個の個別電極３５に結線された状態に対応するモードとなる。このとき、選択データSIN(x)は図１４におけるｃ→ｅ→ｆのパスを通ってシフトレジスタにセットされたデータだけが有効となる。つまり、パスａ，ｄを通ってセットされたデータは無効なものとなるため、その出力に対応するOUT001〜008は未結線となる。

このように、mode364、mode304及びmode300により、ドライバＩＣ８０と結線される個別電極３５の数が３６４個、３０４個、あるいは３００個の何れであるかが識別され、ドライバＩＣ８０にシリアル入力された選択データSIN(x)のうち、結線されている個別電極３５に対する選択データSIN(x)のみが有効となる。そして、他の７つのブロック（１系〜７系）においてもシフトレジスタ１２１〜１２７を０系のシフトレジスタ１２０と同様に構成することにより、結線されている個別電極３５の数が異なっていても、同一の仕様のドライバＩＣ８０で駆動信号を個別電極３５に対して出力できるようになる。また、このようにシフトレジスタ１２０〜１２７を構成することにより、未結線の出力端子に対してダミーの選択データをわざわざドライバＩＣ８０にシリアル入力する必要もなく、ダミーデータを転送するために転送時間が長くなってしまうのを防止できる。

尚、本実施形態では、図８の上半分の３６４個の個別電極の組１０１にドライバＩＣ８０が接続される場合にはmode364がＨｉになり、下半分の３００個の個別電極の組１０２にドライバＩＣ８０が接続される場合にはmode300がＨｉになる。その他、上半分の個別電極の組１０１、又は、下半分の個別電極の組１０２が３０４個の個別電極３５で構成されており、その個別電極３５の組にドライバＩＣ８０が接続される場合にも対応でき、その場合には、mode304をＨｉにすればよい。

そして、図１１、図１４に示すように、シリアル入力された３ビットの選択データSIN(x)は、シフトレジスタ１１０〜１１７によりパラレル変換されてＤ−フリップフロップ１２０〜１２７に出力される。Ｄ−フリップフロップ１２０〜１２７は、基板８１（図２参照）から転送されてくるストローブ制御信号STRBの立ち上がりに従って、パラレルの選択データをマルチプレクサ１３０〜１３７に出力する。

マルチプレクサ１３０〜１３７には、複数の個別電極３５に夫々対応する選択データと、８種類の波形信号FIRE0〜FIRE7が入力される。そして、８種類の波形信号FIRE0〜FIRE7の中から、選択データに基づいて対応する１つの波形信号を選択し（図１３参照）、その波形信号Bxをドライブバッファ１４０〜１４７に出力する。
ドライブバッファ１４０〜１４７は、マルチプレクサ１３０〜１３７から出力された波形信号に基づいて所定電圧の駆動信号OUTn（nは001〜364の整数）を生成し、駆動信号OUTnを個別電極３５に供給する。

このように、互いに異なる数（３６４個と３００個）の個別電極３５で構成された２つの個別電極の組１０１，１０２に夫々接続される２つのドライバＩＣ８０（８０ａ，８０ｂ）の仕様を全く同一にすることができるため、２つの個別電極の組１０１，１０２に対して個々に仕様が異なるドライバＩＣを設ける場合に比べて、コスト面で有利となる。また、２つの個別電極の組１０１，１０２の各々と個別電極の組１０１，１０２に対応する２つのドライバＩＣの各々とが、１枚のＦＰＣ５０ａ（５０ｂ）により電気的に接続されているため、個別電極の組１０１，１０２とドライバＩＣ８０との接続関係が簡単になり、ＦＰＣ５０（５０ａ，５０ｂ）へのドライバＩＣ８０の接続作業も容易になる。

次に、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂについて詳細に説明する。
図９（ａ），（ｂ）に示すように、各ＦＰＣ５０は、ベースフィルム５１と、ベースフィルム５１の下面に設けられる導体部５３、５４と、ベースフィルム５１の略全面に対して導体部５３、５４を覆うように設けられるカバーフィルム５２とを有している。そして、ＦＰＣ５０は、最上層の圧電シート４１の上面にカバーフィルム５２が当接するように配置されている。尚、ベースフィルム５１およびカバーフィルム５２は、いずれも絶縁性を有するシート状の部材である。

また、図１５（ａ），（ｂ）に示すように、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂの、個別電極３５と接続される端部と反対側（図１５における右側）の端部には、夫々基板８１と接続される接続部１００（１００ａ，１００ｂ）が設けられている。ここで、ＦＰＣ５０ａの接続部の接続幅ＷａとＦＰＣ５０ｂの接続部の接続幅Ｗｂは同一幅となっており、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂと基板８１との接続を同じように行うことができるため、接続作業を迅速に行うことができる。

ここで、図９（ａ）に示すように、ベースフィルム５１の下面において、個別電極３５の一端に対応する位置には、導電性を有する接続パッド５５が設けられている。つまり、接続パッド５５は、個別電極３５の接点部９１に対応する位置に設けられている。従って、１つの個別電極３５に対して、それぞれ１つの接続パッド５５が設けられていることになる。また、図９（ｂ）に示すように、ベースフィルム５１の下面において、アクチュエータユニット２１の上面外縁部近傍に形成された接地用電極３８に対応する位置には、導電性を有する接続パッド６０が設けられている。

そして、カバーフィルム５２のうちの、接続パッド５５及び接続パッド６０に対応する部分には、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、接続パッド５５及び接続パッド６０の径よりも若干大きい径を有する貫通孔５２ａ、５２ｂが形成されている。従って、ベースフィルム５１の下面において、貫通孔５２ａ、５２ｂに対応する位置にある接続パッド５５及び接続パッド６０を除くほとんどの部分は、カバーフィルム５２によって覆われている。

また、ベースフィルム５１とカバーフィルム５２との間に配置される導体部５３、５４は、銅箔により形成されている。この導体部５３により、複数の接続パッド５５とドライバＩＣ８０とを夫々接続する複数の信号線が配線されている。一方、導体部５４は、接続パッド６０を接地するために設けられる。従って、導体部５３、５４は、ベースフィルム５１の下面において所定のパターンを形成するように設けられている。尚、図１５（ａ）、（ｂ）においては、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂに、圧電シート４１と重なる部分にしか複数の信号線が描かれていないが、実際には、複数の個別電極３５に夫々接続される複数の接続パッド５５からドライバＩＣ８０まで複数の信号線がパラレルに延びている。

このように、個別電極３５および接地用電極３８が形成された圧電シート４１の上面に、接続パッド５５、６０を有するＦＰＣ５０が配置されると、接続パッド５５と個別電極３５とが電気的に接続されると共に、接続パッド６０と接地用電極３８とが電気的に接続される。従って、個別電極３５が、接続パッド５５および導体部５３を介してドライバＩＣ８０に電気的に接続されるとともに、接地用電極３８が、接続パッド６０および導体部５４を介して図示しない領域において接地される。

複数の個別電極３５は、それぞれ独立した個別の導体部５３を介してドライバＩＣ８０に接続されている。また、個別電極３５，３６は、各圧力室１０ごとに、圧電シート４１，４２に形成されたスルーホール４１ａ，４２ａ内に設けられた導電材料４８を介して接続されている。従って、個別電極３５，３６の電位を各圧力室１０ごとに独立して制御することができる。

接地用電極３８は、いずれも圧電シート４１に形成されたスルーホール４１ｂ内に設けられた導電材料４９を介して共通電極３３に接続されている。また、共通電極３３、３４は、圧電シート４２、４３に形成されたスルーホール４２ｂ、４３ｂ内に設けられた導電材料４９を介して接続されている。従って、接続パッド６０および導体部５４を介して接地された接地用電極３８に接続された共通電極３３、３４は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。

ところで、図８、図１５（ａ），（ｂ）に示すように、このインクジェットヘッド１においては、最上層の圧電シート４１上に、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂが部分的に重なり合うように配設されている。そして、２枚のＦＰＣ５０のうち、下側に位置するＦＰＣ５０ａの複数の接続パッド５５が、圧電シート４１のうちの図８における上側に配置された複数の個別電極３５の接点部９１に夫々接続され、一方、上側に位置するＦＰＣ５０ｂの複数の接続パッド５５が、圧電シート４１のうちの図８における下側に配置された複数の個別電極３５の接点部９１に夫々接続される。

しかし、このように、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂを圧電シート４１上で重ね合わせた場合には、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂが重なっている部分と重なっていない部分の境界部９２において、この境界部９２を横切る短い距離で、上側のＦＰＣ５０ｂは、下側のＦＰＣ５０ａを避けるため、下側のＦＰＣ５０ａの厚さ以上の変形を強いられており、個別電極３５の接点部９１とこれに対応するＦＰＣ５０ｂの接続パッド５５との接続は、外力の印加に弱い状態になっている。そのため、上側のＦＰＣ５０ｂを上方へ引き剥がす方向の外力が作用したときなどに、その接点部９１から上側のＦＰＣ５０ｂの接続パッド５５が離れて接続不良が生じやすい。

そこで、図８、図１０に示すように、圧電シート４１上において、全ての個別電極３５の接点部９１が、個別電極３５のうちの境界部９２から離れる側の端部に設けられている。即ち、圧電シート４１の図８における上半分に配置された個別電極の組１０１においては、接点部９１が、個別電極３５のうちの図８における上側の端部に設けられており、一方、圧電シート４１の図８における下半分に配置された個別電極の組１０２においては、接点部９１が、個別電極３５のうちの図８における下側の端部に設けられている。このように構成することで、図１６示すように、境界部９２に近接する接点部９１の、境界部９２からの離間距離Ｌが大きくなるため、上側のＦＰＣ５０ｂが剥がれやすい境界部９２から可能な限り離れた位置において、ＦＰＣ５０ｂと接点部９１とを接続することができるようになり、その電気的接続の信頼性を向上させることができる。

また、圧電シート４１上の全ての個別電極３５において、接点部９１が個別電極３５のうちの境界部９２から離れる側の端部に設けられている。従って、境界部９２を境として図８における上下方向に分けられた２つの領域において、個別電極３５の接点部９１の向きが同じになる。そのため、局所的に接点部９１間の距離が短くなる箇所がなく、接点部９１のパターン形成が容易になるし、接点部９１間の短絡を極力防止することもできる。

尚、図８、図１０に示すように、前述のダミー接点部３９は、境界部９２以外の箇所に比べ前記境界部９２の近傍に密集して設けられている。そのため、接点部９１間の距離が離れている境界部９２の近傍において、密集して設けられたダミー接点部９１により、ＦＰＣ５０が落ち込むのを防止できる。

本実施の形態によるインクジェットヘッド１において、圧電シート４１〜４３はその厚み方向に分極されている。従って、個別電極３５，３６を共通電極３３，３４と異なる電位にして圧電シート４１〜４３中に対してその分極方向に電圧を印加すると、その電圧が印加された部分が活性層として働き、その厚み方向すなわち積層方向に伸長又は収縮し、その結果として、圧電横効果のために積層方向と垂直な方向すなわち面方向に収縮又は伸長しようとする。一方、残り２枚の圧電シート４４、４５は、個別電極３５，３６と共通電極３３，３４とに挟まれた領域をもたない非活性層であるので、自発的に変形することができない。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）３枚の圧電シート４１〜４３を活性層が形成される層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）２枚の圧電シート４４，４５を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。

そのため、電界と分極とが同方向となるようにドライバＩＣ８０を制御して個別電極３５，３６を正又は負の所定電位とすると、圧電シート４１〜４３の個別電極３５，３６と共通電極３３，３４とで挟まれた活性層が面方向に収縮し、その一方で圧電シート４４，４５は自発的には収縮しない。このとき、図９（ａ）で示したように、圧電シート４１〜４５の下面はキャビティプレート２２に形成された圧力室１０を区画する隔壁の上面に固着されているので、圧電横効果に基づき、結果的に圧電シート４１〜４５は圧力室１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。すると、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５，３６の電位が元に戻れば、圧電シート４１〜４５は元の平板形状となり、圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド５側から吸い込む。

なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５，３６を共通電極３３，３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５，３６を共通電極３３，３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５，３６を共通電極３３，３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５，３６と共通電極３３，３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４５が元の形状に戻り、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクがマニホールド５側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５，３６を共通電極３３，３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４５が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。

圧電シート４１〜４３に印加される電界方向とその分極方向とが逆であれば、圧電横効果により、個別電極３５，３６と共通電極３３，３４とで挟まれた圧電シート４１〜４３中の活性層が分極方向と直角方向に伸長しようとする。従って、圧電シート４１〜４５は、圧電横効果に基づき、圧力室１０側に凹となるように変形する。このため、圧力室１０の容積が増加して、インクをマニホールド５側から吸い込む。その後、個別電極３５，３６の電位が元に戻れば、圧電シート４１〜４５は元の平板形状となり、圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、ノズル８からインクを吐出する。

以上説明したインクジェットヘッド１によれば、次のような効果が得られる。
互いに異なる数の個別電極３５で構成された２つの個別電極の組１０１，１０２に夫々接続される２つのドライバＩＣ８０を同一の仕様にすることができるため、２つの個別電極の組１０１，１０２に対して個々に仕様が異なるドライバＩＣを設ける場合に比べて、コスト面で有利となる。

２つの個別電極の組１０１，１０２とこれら２つの個別電極の組１０１，１０２に対応する２つのドライバＩＣ８０とを夫々電気的に接続する配線部材が柔軟性を有するＦＰＣ５０で構成されているため、２枚のＦＰＣ５０ａ，５０ｂをアクチュエータユニット２１上に部分的に重ねて配設することができ、ＦＰＣ５０やドライバＩＣ８０の配置の自由度が広がる。

圧電シート４１上に配置された全ての個別電極３５の接点部９１が、個別電極３５のうちの境界部９２から離れる側の端部に設けられているため、境界部９２に近接する接点部９１の、境界部９２からの離間距離が大きくなる。従って、上側のＦＰＣ５０ｂが剥がれやすい境界部９２から、可能な限り離れた位置においてＦＰＣ５０ｂと接点部９１とを接続することができるようになり、その電気的接続の信頼性を向上させることができる。また、境界部９２を境として図８の上下方向に分けられた２つの領域において個別電極３５の接点部９１の向きが同じであるため、局所的に接点部９１間の距離が短くなる箇所がなり、接点部９１のパターン形成が容易になるし、接点部９１間の短絡を極力防止することもできる。

個別電極３５は、境界部９２に沿った配列方向（第１の方向）と交差する方向に細長い形状に形成されているため、境界部９２に近接する個別電極３５において、接点部９１を境界部９２から離れる側の端部に設けたときに、境界部９２からの離間距離がさらに長くなるため、境界部９２からさらに離れた位置でＦＰＣ５０と接点部９１とを接続することができるようになる。

ダミー接点部３９が、境界部９２以外の箇所に比べ前記境界部９２の近傍に密集して設けられているため、接点部９１間の距離が離れている境界部９２の近傍において、密集して設けられたダミー接点部３９によりＦＰＣ５０が落ち込んで圧電シート４１〜４５の変形を阻害してしまうのを確実に防止することができる。

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。
１］１つのアクチュエータユニット２１の複数の個別電極３５とドライバＩＣ８０との接続の仕方は、前記実施形態のものに限られるものではなく、例えば、複数の個別電極３５が３組以上の複数の個別電極の組に分けられて、これら３組以上の複数の組に対応した３つ以上の同一のドライバＩＣ８０が設けられていてもよい。そして、３枚以上の複数枚のＦＰＣ５０が圧電シート４１上に重ねて配設されてもよい。また、１枚のＦＰＣ５０により、複数の同一のドライバＩＣ８０が複数の個別電極３５に接続されてもよいし、逆に、複数のＦＰＣ５０により、１つのドライバＩＣ８０が複数の個別電極３５に接続されてもよい。

２］複数枚のＦＰＣ５０が重なっている部分と重なっていない部分の境界部９２に近接する個別電極３５に関してのみ、接点部９１を個別電極３５のうちの境界部９２から離れる側の端部に設けるように構成してもよい。

３］前記実施の形態では、共通電極３３、３４が接地されているが、必ずしも共通電極は接地されている必要はなく、アクチュエータユニットについて本実施の形態と同様の動作が可能である範囲において、共通電極に対して、個別電極に供給される駆動信号とは異なる駆動信号が供給されてもよい。

４］圧電シートや電極の材料は、上述したものに限らず、その他の公知の材料に変更してもよい。また、圧力室及び電極の平面形状や断面形状、配置形態などは、適宜変更してよい。また、活性層を含む圧電シートの数及び活性層を含まない圧電シートの数は、適宜変更することができる。また、活性層を含む圧電シート及び活性層を含まない圧電シートのそれぞれの層厚は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。また、非活性層として、圧電シート以外の絶縁シートを用いてもよい。

本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。 図１のII-II線断面図である。 ヘッド本体の平面図である。 図３の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図４の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図５のVI-VI線断面図である。 ヘッド本体の部分分解斜視図である。 アクチュエータユニットの平面図である。 アクチュエータユニットの個別電極周辺の断面図である。 アクチュエータユニットの接地用電極周辺の断面図である。 図９（ａ）の丸枠内拡大図である。 図９（ｂ）の丸枠内拡大図である。 図８の境界部近傍の部分拡大図である。 ドライバＩＣのブロック図である。 ８種類の波形信号を示す図である。 選択データと波形信号との対応関係を示す図である。 ドライバＩＣの一部（０系）のブロック図である。 フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示す図であり、（ａ）は下側のＦＰＣの平面図、（ｂ）は上側のＦＰＣの平面図である。 図１０のＡ−Ａ線断面図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
４ 流路ユニット
１０ 圧力室
２１ アクチュエータユニット
３５ 個別電極
３９ ダミー接点部
４１〜４５ 圧電シート
５０ ＦＰＣ
９１ 接点部
９２ 境界部

Claims (4)

1. インクを吐出するノズルに連通する複数の圧力室が平面に沿って隣接して配置された流路ユニットと、この流路ユニットの表面に配設され前記ノズルからインクを吐出させるために前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットとを備え、
   前記アクチュエータユニットは、前記複数の圧力室にわたって配設された圧電シートと、前記複数の圧力室に夫々対応して前記圧電シート上に設けられ且つ接点部を有する複数の個別電極と、これら個別電極の接点部に接続されて前記複数の圧力室の容積を変更させる為の駆動信号を供給する複数の信号線を備えた複数枚のフレキシブルプリント配線板とを有し、
   前記複数枚のフレキシブルプリント配線板は、圧電シート上に部分的に重なり合って配設され、少なくとも、それら複数枚のフレキシブルプリント配線板が重なっている部分と重なっていない部分の境界部に近接する個別電極において、前記接点部が個別電極のうちの前記境界部から離れる側の端部に設けられたことを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記圧電シート上に設けられた全ての個別電極において、前記接点部が個別電極のうちの前記境界部から離れる側の端部に設けられたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記圧電シート上において、複数の個別電極の間には、圧電シート上に配設されたフレキシブルプリント配線板を支持する複数のダミー接点部が設けられ、前記ダミー接点部は、前記境界部以外の箇所に比べ前記境界部近傍に密集して設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記個別電極は、前記境界部に沿った配列方向と交差する方向に細長い形状に形成されたことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のインクジェットヘッド。

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