JP4431117B2 - Manufacturing method of ceramic package - Google Patents

Description

本発明は、セラミックからなり、表面に開口するキャビティとかかるキャビティの側壁を貫通する貫通孔とを有するセラミックパッケージの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic package made of ceramic and having a cavity opened on a surface and a through hole penetrating a side wall of the cavity.

セラミックからなり、表面に開口し且つ底面に半導体素子を搭載するキャビティと、かかるキャビティを囲う一辺の側壁を水平に貫通する貫通孔と、を有するパッケージ本体を含む光通信用パッケージが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
上記光通信用パッケージのパッケージ本体を得るには、セラミックからなる平坦な下層グリーンシートの上に、外形が同じで且つ表・裏面の間を貫通する貫通孔およびかかる貫通孔と外側面との間を連通する連通溝を有する中層グリーンシートと、上記と同じ貫通孔を有する上層グリーンシートと、を積層する。この結果、表面に開口するキャビティと、かかるキャビティを囲う一辺の側壁を水平に貫通する貫通孔と、を有するグリーンシート積層体が形成され、かかる積層体を所定の温度帯で焼成することにより、前記パッケージ本体を得ることができる。 There has been proposed an optical communication package including a package body made of ceramic and having a cavity that opens on the surface and mounts a semiconductor element on the bottom surface, and a through hole that horizontally penetrates a side wall that surrounds the cavity. (For example, refer to Patent Document 1).
In order to obtain the package body of the optical communication package, on a flat lower green sheet made of ceramic, a through-hole having the same outer shape and penetrating between the front and back surfaces and between the through-hole and the outer surface are provided. A middle-layer green sheet having a communication groove communicating with the upper-layer green sheet having the same through hole as above is laminated. As a result, a green sheet laminate having a cavity opened on the surface and a through-hole penetrating horizontally through the side wall surrounding the cavity is formed, and by firing the laminate in a predetermined temperature zone, The package body can be obtained.

特開平１１−９５０７０号公報 （第１〜６頁、図１，２）Japanese Patent Laid-Open No. 11-95070 (pages 1 to 6, FIGS. 1 and 2)

ところで、前記形態のパッケージ本体を、周囲に耳部を有するグリーンシート、または複数の製品部分を有する大判のグリーンシートを用いて多数個取りによって製造する場合、前記グリーンシート積層体において、耳部と隣接するキャビティの側壁に開口する凹みが形成され、あるいは隣接する複数のキャビティ間を隔てる側壁に前記連通孔が形成される。かかる凹みまたは連通孔を有する側壁を、当該グリーンシート積層体の厚み方向に切断すると、かかる切断時のプレードの挿入に伴う圧力によって、上記凹みまたは貫通孔の上辺を形成するキャビティの側壁の上部が垂れ下がってしまう。このため、所要の断面形状および寸法を有する貫通孔が形成されない、という問題点があった。   By the way, in the case where the package body of the above-described form is manufactured by multi-cavity using a green sheet having an ear part around it or a large green sheet having a plurality of product parts, in the green sheet laminate, A recess is formed in a side wall of an adjacent cavity, or the communication hole is formed in a side wall separating a plurality of adjacent cavities. When the side wall having the recess or the communication hole is cut in the thickness direction of the green sheet laminate, the upper side of the side wall of the cavity forming the upper side of the recess or the through hole is caused by the pressure accompanying the insertion of the blade at the time of cutting. It hangs down. For this reason, there was a problem that a through-hole having a required cross-sectional shape and size was not formed.

本発明は、背景技術において説明した問題点を解決し、セラミックからなり、表面に開口するキャビティとかかるキャビティの側壁を貫通する貫通孔とを、所要の断面形状および寸法にして確実に製造できるセラミックパッケージの製造方法を提供する、ことを課題とする。   The present invention solves the problems described in the background art, is made of ceramic, and can reliably produce a cavity opened on the surface and a through-hole penetrating the side wall of the cavity with a required cross-sectional shape and size. It is an object to provide a method for manufacturing a package.

課題を解決するための手段および発明の効果Means for Solving the Problems and Effects of the Invention

本発明は、前記課題を解決するため、キャビティの側壁を貫通する貫通孔が変形しくにい状態で複数のグリーンシートを積層したグリーンシート積層体を切断する、ことに着想して成されたものである。
即ち、本発明による第１のセラミックパッケージの製造方法（請求項１）は、平坦な下層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に貫通孔を有する中層グリーンシートを積層する工程と、かかる中層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に上記貫通孔の開口部よりも小さい開口部の貫通孔を有する上層グリーンシートを、かかる小さい開口部の一部が中層グリーンシートの貫通孔の一部を覆うように積層して、上向きに開口するキャビティと当該キャビティの側面に一端が開口する凹みとを有するグリーンシート積層体を形成する工程と、かかるグリーンシート積層体の凹みに、かかる凹みの断面とほぼ同じ断面の挿入物を挿入した状態で、上記キャビティの側壁および挿入物を上記グリーンシート積層体の厚み方向に沿って切断する工程と、を含む、ことを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problem, the present invention was conceived by cutting a green sheet laminate in which a plurality of green sheets are laminated in a state where a through-hole penetrating the side wall of the cavity is hardly deformed. It is.
That is, a first ceramic package manufacturing method according to the present invention (Claim 1) includes a step of laminating an intermediate green sheet having a through hole between a front surface and a back surface on a flat lower green sheet, and the intermediate layer. On the green sheet, an upper layer green sheet having a through hole having a smaller opening than the opening of the through hole is provided between the front and back surfaces, and a part of the small opening is a part of the through hole of the middle layer green sheet. A step of forming a green sheet laminate having a cavity open upward and a recess having one end opened on a side surface of the cavity, and a cross section of the recess in the recess of the green sheet laminate Cutting the side wall of the cavity and the insert along the thickness direction of the green sheet laminate with the insert having the same cross section as Including that a step, and characterized in that.

これによれば、キャビティを有するパッケージ本体となる製品部分の周囲またはその一辺に耳部を有するグリーンシート積層体を、上記キャビティに一端が開口し且つ製品部分の側壁と耳部とにまたがる前記凹みに、これとほぼ同じ断面の挿入物を挿入した状態で、上記積層体の側壁と挿入物とが切断される。この結果、上記側壁が切断時の圧力で垂れ下がらないため、上記凹みは、前記中層グリーンシートに設けた前記貫通孔の一辺と同じ幅の凹溝またはかかる一辺に開口する凹溝の形状を保ったまま、追ってパッケージ本体となるグリーンシート積層体におけるキャビティと外側面との間を水平に貫通する貫通孔となる。従って、パッケージ本体の表面に開口するキャビティと、かかるキャビティに一端が開口し所要の断面形状および寸法の貫通孔と、を有するセラミックパッケージを確実に製造することが可能となる。   According to this, the green sheet laminate having an ear portion around or on one side of the product portion serving as a package body having a cavity, the recess having one end opened in the cavity and spanning the side wall and the ear portion of the product portion. In addition, the side wall and the insert of the laminate are cut in a state where the insert having the substantially same cross section is inserted. As a result, since the side wall does not hang down due to the pressure at the time of cutting, the recess maintains the shape of a groove having the same width as one side of the through-hole provided in the middle-layer green sheet or a groove that opens to the one side. As it is, it becomes a through hole that penetrates horizontally between the cavity and the outer surface of the green sheet laminate that will be the package body. Therefore, it is possible to reliably manufacture a ceramic package having a cavity opened on the surface of the package body and a through hole having one end opened in the cavity and a required cross-sectional shape and size.

尚、前記セラミックには、アルミナ、ムライト、窒化アルミニウムなどであるほか、低温焼成セラミックの一種であるガラス−セラミックも含まれる。
また、前記中層グリーンシートの貫通孔は、平面視で矩形（長方形または正方形）を呈すると共に、前記上層グリーンシートの貫通孔に比べて、その一辺寄りの部分が大きいか、あるいは同じ矩形であって一辺の一部から外側に延びる凹溝を有している。
更に、前記下層・中層・上層グリーンシートは、セラミックからなる単層のグリーンシートであるほか、平面視で同じ形状を呈する複数層のグリーンシートを積層した形態も含んでいる。
また、第１の製造方法における前記下層・中層・上層グリーンシートは、多数個取り用の大版タイプとし、且つ中層・上層グリーンシートは、前記各貫通孔を複数個で同数ずつ形成した形態であっても良い。
更に、前記挿入物は、前記各グリーンシートと同じか同種の材料からなり、少なくとも前記凹みの高さとほぼ同じ高さを含む断面を有する。
加えて、前記キャビティの底面には、半導体素子、発光素子、圧電素子などの電子部品が搭載される。 The ceramic includes alumina, mullite, aluminum nitride, and the like, and also includes a glass-ceramic which is a kind of low-temperature fired ceramic.
Further, the through hole of the middle layer green sheet has a rectangular shape (rectangle or square) in plan view, and a portion closer to one side thereof is larger than the through hole of the upper layer green sheet or is the same rectangle. It has a concave groove extending outward from a part of one side.
Further, the lower, middle and upper green sheets are not only single-layer green sheets made of ceramic, but also include a form in which a plurality of green sheets having the same shape in plan view are laminated.
In the first manufacturing method, the lower layer, middle layer, and upper layer green sheets are large plate types for taking a large number of pieces, and the middle layer and upper layer green sheets have a plurality of through holes formed in the same number. There may be.
Further, the insert is made of the same or similar material as each of the green sheets, and has a cross section including at least a height substantially equal to the height of the recess.
In addition, electronic components such as a semiconductor element, a light emitting element, and a piezoelectric element are mounted on the bottom surface of the cavity.

また、本発明による第２のセラミックパッケージの製造方法（請求項２）は、平坦な下層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に貫通孔を有する中層グリーンシートを積層する工程と、かかる中層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に上記貫通孔の開口部よりも小さい開口部で且つ複数の貫通孔を有する上層グリーンシートを、かかる複数の貫通孔間の側壁が上記中層グリーンシートの貫通孔の中間を覆うように積層して、上向きに開口する複数のキャビティと複数のキャビティ間を隔てる側壁を貫通する連通孔とを有するグリーンシート積層体を形成する工程と、かかるグリーンシート積層体の連通孔に、かかる連通孔の断面とほぼ同じ断面の挿入物を挿入した状態で、上記複数のキャビティを隔てる側壁および挿入物を上記グリーンシート積層体の厚み方向に沿って切断する工程と、を含む、ことを特徴とする。   A second ceramic package manufacturing method according to the present invention (Claim 2) includes a step of laminating an intermediate green sheet having a through hole between a front surface and a back surface on a flat lower green sheet, and the intermediate layer. On the green sheet, an upper green sheet having an opening smaller than the opening of the through-hole and having a plurality of through-holes between the front surface and the back surface, and a side wall between the plurality of through-holes of the intermediate green sheet A step of forming a green sheet laminate having a plurality of cavities that are opened upward and a communication hole that penetrates a side wall that separates the plurality of cavities, and is laminated so as to cover the middle of the through hole, and the green sheet laminate With the insert having a cross section substantially the same as the cross section of the communication hole inserted into the communication hole, the side wall and the insert separating the plurality of cavities are And a step of cutting along the thickness direction of the green sheet laminate, and wherein the.

これによれば、前記各形態の下層・中層・上層グリーンシートを積層したグリーンシート積層体において、隣接する複数のキャビティを隔てる側壁を貫通する連通孔に、これとほぼ同じ断面の挿入物を挿入した状態で、上記側壁とかかる挿入物とが切断される。この結果、上記側壁が切断時の圧力で垂れ下がらないため、上記連通孔は、前記中層グリーンシートに設けた前記貫通孔の形状を保ったまま、追ってパッケージ本体となるグリーンシート積層体のキャビティと外側面との間を水平に貫通する貫通孔となる。従って、パッケージ本体の表面に開口するキャビティと、かかるキャビティに一端が開口し所要の断面形状および寸法の貫通孔と、を有するセラミックパッケージを確実に製造することが可能となる。
尚、第２の製造方法における複数の貫通孔とは、一対の貫通孔のほか、３以上の奇数または偶数の貫通孔を指す。従って、貫通孔を１個のみ形成する際には、前記中層グリーンシートに形成する複数の貫通孔は、一対または複数対となり、１つのキャビティに２個以上の貫通孔を形成する際には、３個以上となる。
また、第２の製造方法における前記下層・中層・上層グリーンシートも、多数個取り用の大版タイプとし、且つ中層・上層グリーンシートは、前記各貫通孔を複数個で同数ずつ形成した形態であっても良い。
更に、前記挿入物は、前記各グリーンシートと同じか同種の材料からなり、少なくとも前記連通孔の高さとほぼ同じ高さを含む断面を有する。 According to this, in the green sheet laminate obtained by laminating the lower layer, middle layer, and upper layer green sheets of the above-mentioned forms, inserts having substantially the same cross section are inserted into the communication holes penetrating the side walls separating the adjacent cavities. In this state, the side wall and the insert are cut. As a result, since the side wall does not hang down due to the pressure at the time of cutting, the communication hole maintains the shape of the through hole provided in the middle-layer green sheet, and the cavity of the green sheet laminate that will become the package body later. It becomes a through-hole penetrating horizontally between the outer side surfaces. Accordingly, it is possible to reliably manufacture a ceramic package having a cavity opened on the surface of the package body and a through hole having one end opened in the cavity and a required cross-sectional shape and size.
The plurality of through holes in the second manufacturing method refers to a pair of through holes, as well as three or more odd or even through holes. Therefore, when only one through hole is formed, the plurality of through holes formed in the middle-layer green sheet are a pair or a plurality of pairs, and when two or more through holes are formed in one cavity, 3 or more.
Further, the lower, middle and upper green sheets in the second production method are also large plate types for taking a large number, and the middle and upper green sheets have a plurality of through holes formed in the same number. There may be.
Furthermore, the insert is made of the same or the same material as each of the green sheets and has a cross section including at least the height substantially equal to the height of the communication hole.

更に、本発明による第３のセラミックパッケージの製造方法（請求項３）は、平坦な下層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に複数の貫通孔とかかる複数の貫通孔を連通する連通溝を有する中層グリーンシートを積層する工程と、かかる中層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に上記と同じ複数の貫通孔を有する上層グリーンシートを、複数の貫通孔間の側壁が上記連通溝を覆うように積層して、上向きに開口する複数のキャビティとかかる複数のキャビティ間を隔てる側壁を貫通する連通孔とを有するグリーンシート積層体を形成する工程と、かかるグリーンシート積層体の連通孔に、かかる連通孔の断面とほぼ同じ断面の挿入物を挿入した状態で、上記複数のキャビティを隔てる側壁および挿入物を上記積層体の厚み方向に沿って切断する工程と、を含む、ことを特徴とする。   Furthermore, a third ceramic package manufacturing method according to the present invention (Claim 3) includes a communication groove for communicating a plurality of through holes and the plurality of through holes between a front surface and a back surface on a flat lower green sheet. A middle-layer green sheet having a plurality of through-holes between the front surface and the back surface of the middle-layer green sheet, and a side wall between the plurality of through-holes is formed in the communication groove. Forming a green sheet laminate having a plurality of cavities that open upward and a communication hole that penetrates a side wall that separates the plurality of cavities, and a communication hole of the green sheet laminate In addition, in the state where the insert having the same cross section as that of the communication hole is inserted, the side wall and the insert separating the plurality of cavities are set to the thickness of the laminate. And a step of cutting along, characterized in that.

これによっても、前記各形態の下層・中層・上層グリーンシートを積層したグリーンシート積層体において、隣接する複数のキャビティを隔てる側壁を貫通する連通孔に、これとほぼ同じ断面の挿入物を挿入した状態で、上記側壁とかかる挿入物とが切断される。この結果、上記側壁が切断時の圧力で垂れ下がらないため、上記連通孔は、前記中層グリーンシートに設けた前記貫通溝の形状を保ったまま、追ってパッケージ本体となるグリーンシート積層体のキャビティと外側面との間を水平に貫通する貫通孔となる。従って、パッケージ本体の表面に開口するキャビティと、かかるキャビティに一端が開口し所要の断面形状および寸法の貫通孔と、を有するセラミックパッケージを確実に製造することが可能となる。
尚、第３の製造方法における複数の貫通孔も、前記第２の製造方法と同じである。また、第３の製造方法における前記下層・中層・上層グリーンシートも、多数個取り用の大版タイプとし、且つ中層・上層グリーンシートは、前記各貫通孔を複数個で同数ずつ形成した形態であっても良い。
更に、前記挿入物は、前記各グリーンシートと同じか同種の材料からなり、少なくとも前記連通孔の高さとほぼ同じ高さを含む断面を有する。 Even in this manner, in the green sheet laminate in which the lower layer, middle layer, and upper layer green sheets of the above-described forms are laminated, inserts having substantially the same cross-section are inserted into the communication holes penetrating the side walls separating the plurality of adjacent cavities. In the state, the side wall and the insert are cut. As a result, since the side wall does not hang down due to the pressure at the time of cutting, the communication hole maintains the shape of the through groove provided in the middle-layer green sheet, and the cavity of the green sheet laminate that becomes the package body later on It becomes a through-hole penetrating horizontally between the outer side surfaces. Accordingly, it is possible to reliably manufacture a ceramic package having a cavity opened on the surface of the package body and a through hole having one end opened in the cavity and a required cross-sectional shape and size.
The plurality of through holes in the third manufacturing method are the same as in the second manufacturing method. Further, the lower, middle and upper green sheets in the third production method are also large plate types for taking a large number, and the middle and upper green sheets have a plurality of through holes formed in the same number. There may be.
Furthermore, the insert is made of the same or the same material as each of the green sheets and has a cross section including at least the height substantially equal to the height of the communication hole.

付言すれば、本発明には、前記切断工程の後に、切断された前記挿入物を切断後の凹みまたは連通孔から抜き取る工程と、前記キャビティおよびその側壁に貫通孔を有する切断後のグリーンシート積層体を焼成する工程を有すると、を有する、セラミックパッケージの製造方法、も含まれ得る。
これによる場合、セラミックからなり、パッケージ本体の表面に開口するキャビティと、かかるキャビティに一端が開口し所要の断面形状および寸法の貫通孔と、を有するセラミックパッケージを提供することが可能となる。
また、本発明には、前記挿入物の断面は、前記凹みまたは連通孔の断面に対し、前記切断方向に沿った高さが同じで且つ切断方向と直交する方向に沿った幅が小さい、セラミックパッケージの製造方法、も含まれ得る。これによる場合、断面形状および寸法精度に優れた前記貫通孔を有するセラミックパッケージとすることが可能となる。尚、上記断面とは、寸法を指している。 In other words, in the present invention, after the cutting step, the cut insert is extracted from the cut recess or the communication hole, and the cut green sheet laminate having a through-hole in the cavity and its side wall is provided. A method for manufacturing a ceramic package may include a step of firing the body.
In this case, it is possible to provide a ceramic package made of ceramic and having a cavity opened on the surface of the package body and a through hole having one end opened in the cavity and a required cross-sectional shape and size.
Further, according to the present invention, the insert has a cross section in which the height along the cutting direction is the same as the cross section of the recess or the communication hole, and the width along the direction orthogonal to the cutting direction is small. A method for manufacturing a package may also be included. In this case, a ceramic package having the through hole excellent in cross-sectional shape and dimensional accuracy can be obtained. In addition, the said cross section has pointed out the dimension.

以下において、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図１〜図４は、本発明による第３のセラミックパッケージパッケージの製造方法を構成する各工程の概略図であり、図５は、第３の製造方法により得られたセラミックパッケージパッケージＰ１を示す斜視図である。
予め、アルミナ粉末粒子、樹脂バインダ、可塑剤、および溶剤などからなる原料を所要量ずつ混合して、セラミックスラリを製作した。かかるセラミックスラリに対しドクターブレード法を施して、厚みが約０．１２〜０．６２ｍｍの下層・中層・上層グリーンシートｓ１〜ｓ３を形成した。尚、かかる下層・中層・上層グリーンシートｓ１〜ｓ３は、多数個取り用である大版タイプとしても良い。
図１に示すように、下層グリーンシートｓ１は、表面５ａおよび裏面４が平坦な形状である。尚、かかる下層グリーンシートｓ１の表面５ａにおける所定の位置には、ＷまたはＭｏ粉末を含む導電性ペーストを印刷したメタライズ層（図示せず）と、これに接続する上記同様の導電性ペーストからなるメタライズ配線（図示せず）とが形成されていた。 In the following, the best mode for carrying out the present invention will be described.
1 to 4 are schematic views of respective steps constituting a third ceramic package package manufacturing method according to the present invention, and FIG. 5 is a perspective view showing a ceramic package package P1 obtained by the third manufacturing method. FIG.
A ceramic slurry was produced by mixing raw materials composed of alumina powder particles, a resin binder, a plasticizer, a solvent, and the like in advance. The ceramic blade was subjected to a doctor blade method to form lower, middle and upper green sheets s1 to s3 having a thickness of about 0.12 to 0.62 mm. The lower, middle and upper green sheets s1 to s3 may be a large plate type for taking a large number.
As shown in FIG. 1, the lower layer green sheet s1 has a flat shape on the front surface 5a and the back surface 4. In addition, a predetermined position on the surface 5a of the lower green sheet s1 includes a metallized layer (not shown) printed with a conductive paste containing W or Mo powder, and the same conductive paste as above connected to the metallized layer. Metallized wiring (not shown) was formed.

また、中層グリーンシートｓ２には、表面および裏面を貫通する一対（複数）の貫通孔５ｂ，５ｂと、かかる貫通孔５ｂ，５ｂを隔てる側壁（仕切り壁）４ｂの中央部において、これらを連通する連通溝６ａと、を形成した。
上記貫通孔５ｂ，５ｂおよび連通溝６ａは、これら全体の外形と相似形の断面を有するパンチ、および当該断面と同様の断面である受入穴を有するダイを用いて、中層グリーンシートｓ２を打ち抜き加工することで形成した。
更に、図１に示すように、上層グリーンシートｓ３には、表面２および裏面を貫通する一対（複数）の貫通孔５ｃ，５ｃを、上記同様の打ち抜き加工することで形成した。尚、図１の平面視において、一対の貫通孔５ｂと一対の貫通孔５ｃとは、同じ形状および寸法（約２０ｍｍ×約２０ｍｍ）であり、且つ互いに連通可能に形成された。 Further, the middle layer green sheet s2 communicates with a pair (a plurality) of through holes 5b, 5b penetrating the front and back surfaces and a central portion of a side wall (partition wall) 4b separating the through holes 5b, 5b. The communication groove 6a was formed.
The through-holes 5b, 5b and the communication groove 6a are punched from the middle-layer green sheet s2 using a punch having a cross section similar to the overall outer shape and a die having a receiving hole having a cross section similar to the cross section. To form.
Furthermore, as shown in FIG. 1, a pair (a plurality) of through holes 5c and 5c penetrating the front surface 2 and the back surface were formed in the upper green sheet s3 by punching in the same manner as described above. In the plan view of FIG. 1, the pair of through-holes 5b and the pair of through-holes 5c have the same shape and dimensions (about 20 mm × about 20 mm) and are formed to be able to communicate with each other.

次に、図１中の矢印で示すように、下層グリーンシートｓ１の表面５ａ上に、貫通孔５ｂ，５ｂおよび連通溝６ａを有する中層グリーンシートｓ２を積層した。更に、かかる中層グリーンシートｓ２の上に、一対の貫通孔５ｃと一対の貫通孔５ｂとが連通し且つ前者の連通溝６ａを後者の側壁４ｃが覆うように、上層グリーンシートｓ３を積層した（積層体形成工程）。
その結果、図２の斜視図および図３の垂直断面図に示すように、表面２に開口する一対（複数）のキャビティ５と、かかる一対のキャビティ５，５を隔てる側壁４ａの中央部を水平に貫通する連通孔６ｂと、四辺の側壁４と、裏面３とを有するグリーンシート積層体Ｓ１が形成された。かかるグリーンシート積層体Ｓ１は、一対の製品部分を有し且つ全体がほぼ直方体を呈する本体１ａからなる。
次いで、図３中の矢印で示すように、上記連通孔６ｂ内に、かかる連通孔６ｂの断面に対して、高さが殆んど同じで且つ幅が若干小さい断面を有し、前記グリーンシートｓ１〜ｓ３と同様のセラミック材料からなる全体が直方体を呈する挿入物７を挿入した。かかる挿入物７を有するグリーンシート積層体Ｓ１を図示しない定盤の上に載置して拘束した。尚、挿入物７は、その高さおよび幅が上記連通孔６ｂの高さおよび幅に対して、８０〜９９％の範囲になるように形成した。 Next, as shown by the arrow in FIG. 1, the middle layer green sheet s2 having the through holes 5b and 5b and the communication groove 6a was laminated on the surface 5a of the lower layer green sheet s1. Further, on the middle layer green sheet s2, the upper layer green sheet s3 is laminated so that the pair of through holes 5c and the pair of through holes 5b communicate with each other and the former communication groove 6a is covered with the latter side wall 4c ( Laminate forming step).
As a result, as shown in the perspective view of FIG. 2 and the vertical sectional view of FIG. 3, the pair of (a plurality of) cavities 5 that open to the surface 2 and the central portion of the side wall 4 a that separates the pair of cavities 5, 5 are horizontal. Thus, a green sheet laminate S1 having a communication hole 6b penetrating therethrough, four side walls 4 and a back surface 3 was formed. The green sheet laminate S1 includes a main body 1a that has a pair of product portions and has a substantially rectangular parallelepiped shape as a whole.
Next, as shown by the arrows in FIG. 3, the communication sheet 6b has a cross section having a height almost the same as the cross section of the communication hole 6b and having a slightly smaller width than the cross section of the green sheet. An insert 7 having a rectangular parallelepiped as a whole made of a ceramic material similar to s1 to s3 was inserted. The green sheet laminate S1 having the insert 7 was placed on a surface plate (not shown) and restrained. The insert 7 was formed so that its height and width were in the range of 80 to 99% with respect to the height and width of the communication hole 6b.

図４の左右に示すように、連通孔６ｂに挿入物７が挿入された状態で、一対のキャビティ５を隔てる側壁４ａの左右方向における中央、上記挿入物７における長手方向の中央、および下層グリーンシートｓ１における長手方向の中央を横切る切断予定面Ｌに沿って、ブレードｃによりグリーンシート積層体Ｓ１をその厚みに沿って切断した（切断工程）。尚、上記切断予定面Ｌは、後述する異なる形態の製造方法を含めて、全て仮想線である。
かかる切断の後で、２つに切断された挿入物７を、それぞれ切断後の分割された連通孔６ｂから抜き取った。
尚、グリーンシート積層体Ｓ１の周囲に前記下層・中層・上層グリーンシートｓ１〜ｓ３を積層した図示しない耳部がある場合には、かかる耳部を切除するように、前記本体１ａおよび積層体Ｓ１の周囲を囲う切断予定面（Ｌ）に沿って、上記ブレードｃにより切断を行った。また、前記下層・中層・上層グリーンシートｓ１〜ｓ３が多数個取り用である大版タイプのものであり、複数の前記本体１ａおよび積層体Ｓ１を併有している場合には、各本体１ａごとの切断予定面（Ｌ）と、それらの周囲の切断予定面に沿って、上記ブレードｃにより切断を行った。 As shown on the left and right of FIG. 4, with the insert 7 inserted into the communication hole 6b, the center in the left-right direction of the side wall 4a separating the pair of cavities 5, the center in the longitudinal direction of the insert 7, and the lower green The green sheet laminate S1 was cut along its thickness by the blade c along the planned cutting surface L crossing the center in the longitudinal direction of the sheet s1 (cutting step). In addition, all the said cutting plan surfaces L are virtual lines including the manufacturing method of the different form mentioned later.
After such cutting, the insert 7 cut into two pieces was extracted from the divided communication holes 6b after cutting.
In addition, when there is an unillustrated ear portion in which the lower layer / middle layer / upper layer green sheets s1 to s3 are laminated around the green sheet laminate S1, the main body 1a and the laminate S1 are cut out. Was cut by the blade c along the planned cutting surface (L) surrounding the periphery of. Further, when the lower layer / middle layer / upper green sheets s1 to s3 are of a large plate type for taking a large number, and each of the main bodies 1a and the laminated body S1 is included, each main body 1a Cutting was performed by the blade c along the scheduled cutting surfaces (L) for each and along the scheduled cutting surfaces around them.

その結果、図５に例示するように、表面２および裏面３を有し、かかる表面２に開口する平面視が矩形のキャビティ５と、かかるキャビティ５を囲う一つの側壁４を水平に貫通する貫通孔６と、を有する一対（複数）のパッケージ本体１が形成できた。そして、これらのパッケージ本体１を所定の温度帯で加熱・焼成することで、製品のセラミックパッケージＰ１を製造することできた。
尚、キャビティ５の底面５ａには、焼成された前記メタライズ層（図示せず）が位置しており、その表面にＮｉメッキ層およびＡｕメッキ層を被覆することで、当該キャビティ５に追って搭載される電子部品との導通に使用される。また、前記貫通孔６には、上記電子部品と導通する配線などが通される。 As a result, as illustrated in FIG. 5, the front surface 2 and the back surface 3 have a rectangular cavity 5 in plan view that opens to the front surface 2, and a penetration that horizontally penetrates one side wall 4 that surrounds the cavity 5. A pair (a plurality) of package bodies 1 having holes 6 could be formed. And the ceramic package P1 of the product was able to be manufactured by heating and baking these package main bodies 1 in a predetermined temperature range.
Note that the fired metallized layer (not shown) is located on the bottom surface 5a of the cavity 5, and the surface thereof is covered with a Ni plating layer and an Au plating layer so that it is mounted on the cavity 5 later. Used for conduction with electronic components. In addition, the through hole 6 is connected with wiring that is electrically connected to the electronic component.

以上のような第３の製造方法によれば、前記各形態の下層・中層・上層グリーンシートｓ１〜ｓ３を積層したグリーンシート積層体Ｓ１において、隣接する一対（複数）のキャビティ５を隔てる側壁４ａを貫通する連通孔６ｂに、これに対し少なくともほぼ同じ高さの断面である挿入物７を挿入した状態で、上記側壁４ａとかかる挿入物７とが切断された。この結果、上記側壁４ａの中央部が切断時の圧力で垂れ下がらないため、上記連通孔６ｂは、前記中層グリーンシートｓ２に設けた前記連通溝６ａの形状を保ったまま、追ってパッケージ本体１となるグリーンシート積層体Ｓ１のキャビテ５ィと外側面との間を水平に貫通する貫通孔６となった。従って、パッケージ本体１の表面２に開口するキャビティ５と、かかるキャビティ５に一端が開口し所要の断面形状および寸法の貫通孔６と、を有するセラミックパッケージＰ１を確実に製造することができた。   According to the third manufacturing method as described above, in the green sheet laminate S1 in which the lower layer, middle layer, and upper layer green sheets s1 to s3 of the above-described forms are laminated, the side walls 4a that separate the pair of adjacent cavities 5 from each other. The side wall 4a and the insert 7 were cut in a state in which the insert 7 having a cross section at least approximately the same height was inserted into the communication hole 6b penetrating therethrough. As a result, the central portion of the side wall 4a does not hang down due to the pressure at the time of cutting, so that the communication hole 6b keeps the shape of the communication groove 6a provided in the middle-layer green sheet s2 and the package body 1 The green sheet laminate S1 thus formed became a through hole 6 penetrating horizontally between the cavity 5 and the outer surface. Therefore, the ceramic package P1 having the cavity 5 opened on the surface 2 of the package body 1 and the through-hole 6 having one end opened in the cavity 5 and the required cross-sectional shape and size could be reliably manufactured.

図６〜図８は、本発明による第１のセラミックパッケージパッケージの製造方法を構成する各工程の概略図である。
予め、前記同様で且つ平面視のサイズが前記の約半分である下層・中層・上層グリーンシートｓ１〜ｓ３を製作した。
次に、図６に示すように、平坦な下層グリーンシートｓ１の表面５ａ上に、表面および裏面の間に前記貫通孔５ｂと、その一辺に一端が連通し且つ他端が閉塞した凹溝６ｃと、を有する中層グリーンシートｓ２を積層した。かかる中層グリーンシートｓ２の上に、表面２および裏面の間に上記貫通孔５ｂと同じ貫通孔５ｃを有する上層グリーンシートｓ３を、貫通孔５ｂ，５ｃが互いに連通し且つ上記凹溝６ｃを貫通孔５ｃの開口縁が覆うように積層した（積層体形成工程）。
尚、上層グリーンシートｓ３の貫通孔５ｃの開口部は、上記凹溝６ｃを有しない点で、中層グリーンシートｓ２の貫通孔５ｂの開口部よりも小さい。また、凹溝６ｃは、上記貫通孔５ｂの一辺と同じ幅を有する幅広溝の形状としても良い。更に、下層・中層・上層グリーンシートｓ１〜ｓ３を多数個取り用である大版タイプとしても良い。 6 to 8 are schematic views of the respective steps constituting the first ceramic package package manufacturing method according to the present invention.
The lower layer, middle layer, and upper layer green sheets s1 to s3 having the same size as the above and having a size in plan view that is approximately half of the above were manufactured in advance.
Next, as shown in FIG. 6, on the surface 5a of the flat lower layer green sheet s1, the through hole 5b is provided between the front surface and the back surface, and the concave groove 6c having one end communicating with one side and the other end closed. A middle-layer green sheet s2 having On the middle layer green sheet s2, an upper layer green sheet s3 having the same through hole 5c as the through hole 5b between the front surface 2 and the back surface is communicated with the through holes 5b and 5c and through the concave groove 6c. It laminated | stacked so that the opening edge of 5c might cover (laminated body formation process).
In addition, the opening part of the through-hole 5c of the upper layer green sheet s3 is smaller than the opening part of the through-hole 5b of the middle-layer green sheet s2 in that the groove 6c is not provided. Further, the concave groove 6c may have a wide groove shape having the same width as one side of the through hole 5b. Furthermore, it is good also as a large plate type which is for taking many lower layer, middle layer, and upper layer green sheets s1-s3.

その結果、図６，図７に示すように、表面２および裏面３を有し、かかる表面２に開口する平面視が矩形のキャビティ５と、かかるキャビティ５を囲う一つの側壁４ｃの中央部に一端が開口する凹み６ｃと、四辺の側壁４，４ｃと、裏面３と、を有するグリーンシート積層体Ｓ２が形成された。上記凹み６ｃの一端が開口する側壁４ｃの外側には耳部ｍが隣接し、かかる側壁４ｃと耳部ｍとは、上記凹み６ｃと交差する切断予定面Ｌにより区画されている。尚、図７は、図６中のＹ−Ｙ線の矢視に沿った垂直断面を示す。
次いで、図７中の矢印で示すように、上記凹み６ｃ内に、かかる凹み６ｃの断面に対し高さが殆んど同じで且つ幅が若干小さい断面を有し、前記グリーンシートｓ１〜ｓ３と同様のセラミック材料からなる全体が直方体を呈する挿入物８を挿入した。かかる挿入物８を有するグリーンシート積層体Ｓ２を図示しない定盤の上に載置して拘束した。尚、挿入物８は、その高さおよび幅が上記凹み６ｃの高さおよび幅に対して、８０〜９９％の範囲になるように形成した。 As a result, as shown in FIG. 6 and FIG. 7, the front surface 2 and the back surface 3 are provided, and the plan view opening in the front surface 2 is a rectangular cavity 5 and the central portion of one side wall 4 c surrounding the cavity 5. Green sheet laminated body S2 which has the dent 6c which one end opens, the side walls 4 and 4c of four sides, and the back surface 3 was formed. An ear m is adjacent to the outside of the side wall 4c where one end of the recess 6c is open, and the side wall 4c and the ear m are partitioned by a planned cutting surface L that intersects the recess 6c. FIG. 7 shows a vertical cross section taken along the line YY in FIG.
Next, as shown by the arrows in FIG. 7, the recess 6c has a cross section having a height that is almost the same as the cross section of the recess 6c and a slightly smaller width, and the green sheets s1 to s3. An insert 8 made of a similar ceramic material and having a rectangular parallelepiped shape as a whole was inserted. The green sheet laminate S2 having the insert 8 was placed on a surface plate (not shown) and restrained. The insert 8 was formed so that its height and width were in the range of 80 to 99% with respect to the height and width of the recess 6c.

更に、図８に示すように、前記凹み６ｃに挿入物８が挿入された状態で、耳部ｍと側壁４ｃとを隔てる切断予定線Ｌに沿って、かかる側壁４ｃおよび挿入物８を、ブレードｃによりグリーンシート積層体Ｓ２の厚み方向に沿って切断した（切断工程）。かかる切断の後で、２つに切断された挿入物８を、切断により分割された凹み６ｃから抜き取った。
その結果、前記図５に示したパッケージ本体１が得られた。かかるパッケージ本体１を前記同様に加熱・焼成することで、製品のセラミックパッケージＰ１を製造することできた。 Further, as shown in FIG. 8, in a state where the insert 8 is inserted into the recess 6c, the side wall 4c and the insert 8 are connected to the blade along the planned cutting line L separating the ear m and the side wall 4c. It cut | disconnected along the thickness direction of green sheet laminated body S2 by c (cutting process). After the cutting, the insert 8 cut in two was extracted from the recess 6c divided by the cutting.
As a result, the package body 1 shown in FIG. 5 was obtained. By heating and firing the package main body 1 in the same manner as described above, a ceramic package P1 as a product could be manufactured.

以上のような第１の製造方法によれば、キャビティ５を有するパッケージ本体１となる製品部分の周囲またはその一辺に耳部ｍを有するグリーンシート積層体Ｓ２が形成された。しかも、上記キャビティ５に一端が開口し且つ製品部分の側壁４ｃと耳部ｍとにまたがる前記凹み６ｃに、これに対し少なくとも高さがほぼ同じ断面である挿入物８を挿入した状態で、上記積層体Ｓ２の側壁４ｃと挿入物８とが切断された。この結果、上記側壁４ｃの中央部が切断時の圧力で垂れ下がらないため、上記凹み６ｃは、前記中層グリーンシートｓ２に設けた前記貫通孔５ｂに一端が開口する凹溝６ｃの形状を保ったまま、追ってパッケージ本体１となるグリーンシート積層体Ｓ２におけるキャビティ５と外側面との間を水平に貫通する貫通孔６となった。従って、パッケージ本体１の表面２に開口するキャビティ５と、かかるキャビティ５に一端が開口し所要の断面形状および寸法の貫通孔６と、を有する前記と同じセラミックパッケージ１を確実に製造することがてきた。
尚、前記中層グリーンシートｓ２において、凹溝６ｃが貫通孔５ｂの一辺と同じ幅の広幅溝（６ｃ）とした場合には、セラミックパッケージ１の貫通孔６は、キャビティ５を囲う側面の一辺と同じ幅を有する幅広の形態となる。 According to the first manufacturing method as described above, the green sheet laminate S <b> 2 having the ear portion m is formed around or on one side of the product portion that becomes the package body 1 having the cavity 5. In addition, in the state where one end is opened in the cavity 5 and the insert 8 having a cross section at least approximately the same height is inserted into the recess 6c extending over the side wall 4c and the ear part m of the product portion, The side wall 4c and the insert 8 of the stacked body S2 were cut. As a result, since the central part of the side wall 4c does not hang down due to the pressure at the time of cutting, the dent 6c maintains the shape of the concave groove 6c whose one end opens in the through hole 5b provided in the middle-layer green sheet s2. The through-hole 6 that horizontally penetrates between the cavity 5 and the outer surface of the green sheet laminate S2 that will be the package body 1 will be kept. Therefore, it is possible to reliably manufacture the same ceramic package 1 as described above having a cavity 5 opened on the surface 2 of the package body 1 and a through hole 6 having one end opened in the cavity 5 and a required cross-sectional shape and size. I came.
In the middle layer green sheet s 2, when the concave groove 6 c is a wide groove (6 c) having the same width as one side of the through hole 5 b, the through hole 6 of the ceramic package 1 is formed with one side surface surrounding the cavity 5. It becomes a wide form having the same width.

図９〜図１１は、本発明による第２のセラミックパッケージパッケージの製造方法を構成する各工程の概略図であり、図１２は、得られたセラミックパッケージパッケージＰ２を示す斜視図である。
予め、前記同様の下層・中層・上層グリーンシートｓ１，ｓ２２，ｓ３を製作した。図９に示すように、中層グリーンシートｓ２２には、表面と裏面との間に平面視が長方形の貫通孔５ｄを前記打ち抜き加工によって形成した。また、上層グリーンシートｓ３には、前記同様に一対の貫通孔５ｃ，５ｃとそれらの間の側壁（仕切り壁）４ｄとを形成した。各貫通孔５ｃの開口部は、上記貫通孔５ｄの開口部よりも小さい。尚、以上の下層・中層・上層グリーンシートｓ１，ｓ２２，ｓ３を、多数個取り用である大版タイプとしても良い。 FIG. 9 to FIG. 11 are schematic views of respective steps constituting the second ceramic package package manufacturing method according to the present invention, and FIG. 12 is a perspective view showing the obtained ceramic package package P2.
The same lower layer / middle layer / upper layer green sheets s1, s22, s3 were produced in advance. As shown in FIG. 9, through holes 5d having a rectangular plan view were formed between the front surface and the back surface of the middle-layer green sheet s22 by the punching process. Further, the upper green sheet s3 was formed with a pair of through holes 5c, 5c and a side wall (partition wall) 4d between them, as described above. The opening of each through hole 5c is smaller than the opening of the through hole 5d. The lower, middle, and upper layer green sheets s1, s22, and s3 may be a large plate type for taking a large number.

図９中の矢印で示すように、平坦な下層グリーンシートｓ１の表面５ａ上に、上記貫通孔５ｄを有する中層グリーンシートｓ２２を積層した。更に、かかる中層グリーンシートｓ２２の上に、上層グリーンシートｓ３を、その側壁４ｄが貫通孔５ｄにおける長手方向の中間を覆うように積層した（積層体形成工程）。
その結果、図１０の斜視図および図１１の垂直断面図に示すように、表面２に開口する一対（複数）のキャビティ５，５と、かかるキャビティ５，５間を隔てる側壁４ａをその幅と同じ幅で貫通する連通孔６ｄと、四辺の側壁４と、裏面３と、を有する全体がほぼ直方体を呈する本体１ｂからなるグリーンシート積層体Ｓ３が形成された。 As shown by the arrow in FIG. 9, the middle layer green sheet s22 having the through hole 5d was laminated on the surface 5a of the flat lower layer green sheet s1. Furthermore, the upper layer green sheet s3 was laminated on the middle layer green sheet s22 so that the side wall 4d covered the middle in the longitudinal direction of the through hole 5d (laminated body forming step).
As a result, as shown in the perspective view of FIG. 10 and the vertical cross-sectional view of FIG. 11, a pair of (a plurality of) cavities 5 and 5 opening on the surface 2 and the side walls 4a separating the cavities 5 and 5 A green sheet laminate S3 composed of a main body 1b having a communication hole 6d penetrating with the same width, four side walls 4 and a back surface 3 and having a substantially rectangular parallelepiped shape was formed.

次いで、図１１中の矢印で示すように、上記連通孔６ｄ内に、かかる連通孔６ｄの断面に対し高さが殆んど同じで且つ幅が若干小さい幅広の断面を有し、前記グリーンシートｓ１〜ｓ３と同様のセラミック材料からなる全体が直方体を呈する挿入物９を挿入した。かかる挿入物９を有するグリーンシート積層体Ｓ３を図示しない定盤の上に載置して拘束した。尚、挿入物９は、その高さおよび幅が上記連通孔６ｄの高さおよび幅に対し、８０〜９９％の範囲になるように形成した。
更に、前記図４で示した工程と同様に、連通孔６ｄに挿入物９が挿入された状態で、一対のキャビティ５を隔てる側壁４ａの左右方向における中央、上記挿入物９における長手方向の中央、および下層グリーンシートｓ１における長手方向の中央を横切る前記切断予定面Ｌに沿って、前記ブレードｃによりグリーンシート積層体Ｓ３をその厚みに沿って切断した（切断工程）。かかる切断の後で、２つに切断された挿入物９を、それぞれ切断後の連通孔６ｄから抜き取った。 Next, as shown by the arrows in FIG. 11, the communication sheet 6d has a wide cross section having a height almost the same as that of the cross section of the communication hole 6d and a slightly smaller width. An insert 9 having a rectangular parallelepiped as a whole made of a ceramic material similar to s1 to s3 was inserted. The green sheet laminate S3 having the insert 9 was placed on a surface plate (not shown) and restrained. The insert 9 was formed such that its height and width were in the range of 80 to 99% with respect to the height and width of the communication hole 6d.
Further, in the same manner as in the step shown in FIG. 4, in the state in which the insert 9 is inserted into the communication hole 6d, the center in the left-right direction of the side wall 4a separating the pair of cavities 5, the center in the longitudinal direction of the insert 9 And the green sheet laminated body S3 was cut | disconnected along the thickness by the said blade c along the said cutting plan surface L which crosses the center of the longitudinal direction in lower layer green sheet s1 (cutting process). After the cutting, the two inserts 9 cut out were extracted from the cut through holes 6d.

尚、グリーンシート積層体Ｓ３の周囲に前記下層・中層・上層グリーンシートｓ１〜ｓ３を積層した図示しない耳部がある場合には、かかる耳部を切除するように、前記本体１ｂおよび積層体Ｓ３の周囲の切断予定面（Ｌ）に沿って、前記ブレードｃにより切断を行った。また、前記下層・中層・上層グリーンシートｓ１〜ｓ３が多数個取り用である大版タイプのものであり、複数の前記本体１ｂおよび積層体Ｓ３を併有している場合には、各本体１ｂごとの切断予定面（Ｌ）と、それらの周囲の切断予定面に沿って、上記ブレードｃにより切断を行った。
その結果、図１２に例示するように、表面２および裏面３を有し、かかる表面２に開口する平面視が矩形のキャビティ５と、かかるキャビティ５を囲う一つの側壁４を水平に貫通する幅広の貫通孔６ｄと、を有する一対（複数）のパッケージ本体１を形成できた。そして、これらのパッケージ本体１を所定の温度帯で加熱・焼成することで、製品のセラミックパッケージＰ２を製造することできた。 In addition, when there is an unillustrated ear portion in which the lower layer, middle layer, and upper layer green sheets s1 to s3 are laminated around the green sheet laminate S3, the main body 1b and the laminate S3 so as to cut out the ear portion. The blade c was cut along the planned cutting surface (L). Further, when the lower layer / middle layer / upper layer green sheets s1 to s3 are of a large plate type for taking a large number, and each of the main bodies 1b and the laminated body S3 is included, the respective main bodies 1b Cutting was performed by the blade c along the scheduled cutting surfaces (L) for each and along the scheduled cutting surfaces around them.
As a result, as illustrated in FIG. 12, the front surface 2 and the back surface 3 have a rectangular cavity 5 in plan view that opens to the front surface 2, and a wide width that horizontally penetrates one side wall 4 that surrounds the cavity 5. A pair of package bodies 1 having a plurality of through holes 6d can be formed. And the ceramic package P2 of the product was able to be manufactured by heating and baking these package main bodies 1 in a predetermined temperature range.

以上のような第２の製造方法によれば、前記各形態の下層・中層・上層グリーンシートｓ１，ｓ２２，ｓ３を積層したグリーンシート積層体Ｓ３において、隣接する一対（複数）のキャビティ５を隔てる側壁４ａを貫通する幅広の連通孔６ｄに、これに対し少なくとも高さがほぼ同じである断面の挿入物９を挿入した状態で、側壁４ａと挿入物９とが切断された。この結果、上記側壁４ａが切断時の圧力で垂れ下がらないため、上記連通孔６ｄは、前記中層グリーンシートｓ２に設けた前記貫通孔５ｄの形状を保ったまま、追ってパッケージ本体１となるグリーンシート積層体Ｓ３のキャビティ５と外側面との間を水平に貫通する幅広の貫通孔６ｄとなった。従って、パッケージ本体１の表面２に開口するキャビティ５と、かかるキャビティ５に一端が開口し所要の断面形状および寸法の貫通孔６ｄと、を有するセラミックパッケージＰ２を確実に製造することができた。   According to the second manufacturing method as described above, in the green sheet laminate S3 in which the lower layer, middle layer, and upper layer green sheets s1, s22, and s3 of the above-described forms are laminated, the pair of adjacent cavities 5 are separated. The side wall 4a and the insert 9 were cut in a state in which the insert 9 having a cross section at least approximately the same height was inserted into the wide communication hole 6d penetrating the side wall 4a. As a result, since the side wall 4a does not hang down due to the pressure at the time of cutting, the communication hole 6d keeps the shape of the through hole 5d provided in the middle-layer green sheet s2, and subsequently becomes a green sheet that becomes the package body 1 A wide through-hole 6d that horizontally penetrates between the cavity 5 and the outer surface of the laminate S3 was formed. Accordingly, the ceramic package P2 having the cavity 5 opened on the surface 2 of the package body 1 and the through-hole 6d having one end opened in the cavity 5 and having a required cross-sectional shape and size could be reliably manufactured.

図１３，図１４は、前記第１の製造方法の応用形態を示す断面図である。
予め、平坦な前記下層グリーンシートｓ１と、一対（複数）の前記貫通孔５ｂおよびこれらの対向する側面ごとに一端が開口する凹溝６ｃを有する中層グリーンシートｓ２と、一対（複数）の前記貫通孔５ｃを有する上層グリーンシートｓ３とを製作した。尚、かかる下層・中層・上層グリーンシートｓ１〜ｓ３も多数個取り用である大版タイプとしても良い。
次に、図１３に示すように、下層グリーンシートｓ１の上に、上記中層グリーンシートｓ２と、上層グリーンシートｓ３とを、一対ずつの貫通孔５ｂ，５ｃが個別に連通し、且つ各凹溝６ｃを各貫通孔５ｃの開口縁が覆うように積層した（積層体形成工程）。 13 and 14 are cross-sectional views showing application forms of the first manufacturing method.
In advance, the flat lower layer green sheet s1, the pair (plurality) of the through holes 5b, and the middle layer green sheet s2 having a concave groove 6c that opens at each of the opposing side surfaces, and the pair (plurality) of the penetrations. An upper green sheet s3 having holes 5c was produced. In addition, it is good also as a large plate type which is for picking many such lower layer, middle layer, and upper layer green sheets s1-s3.
Next, as shown in FIG. 13, a pair of through-holes 5b and 5c individually communicate the middle layer green sheet s2 and the upper layer green sheet s3 on the lower layer green sheet s1, and each concave groove. 6c was laminated so that the opening edge of each through-hole 5c covered (laminated body formation process).

その結果、図１３に示すように、表面２に開口する隣接した一対（複数）のキャビティ５，５と、これらを隔てる側壁（仕切り壁）４ｅと、各キャビティ５における外側寄りの側壁４ｃに一端が開口し且つ他端が側壁４ｃに隣接する外側の耳部ｍに達して閉塞する凹み６ｃと、を有する積層体Ｓ４が形成された。各側壁４ｃと隣接する耳部ｍとは、切断予定線Ｌで区画されており、側壁４ｅの中間にも切断予定線Ｌを設定した。
次いで、図１３中の矢印で示すように、上記各凹み６ｃ内に、かかる凹み６ｃの断面に対し高さが殆んど同じで且つ幅が若干小さい断面を有する同様の挿入物８を挿入した。かかる挿入物８を有するグリーンシート積層体Ｓ４を図示しない定盤の上に載置して拘束した。尚、挿入物８は、その高さおよび幅が上記凹み６ｃの高さおよび幅に対し、８０〜９９％の範囲になるように形成されていた。 As a result, as shown in FIG. 13, a pair of adjacent cavities 5, 5 opening on the surface 2, side walls (partition walls) 4 e separating the cavities 5, and the outer side walls 4 c of each cavity 5 are connected to one end. Is formed, and the other end reaches the outer ear portion m adjacent to the side wall 4c, and the recess 6c is closed. Each side wall 4c and the adjacent ear | edge part m are divided by the cutting planned line L, and the cutting planned line L was set also in the middle of the side wall 4e.
Next, as shown by the arrows in FIG. 13, a similar insert 8 having a cross section whose height is almost the same as that of the cross section of the recess 6c and slightly smaller in width is inserted into each of the recesses 6c. . The green sheet laminate S4 having the insert 8 was placed on a surface plate (not shown) and restrained. The insert 8 was formed such that its height and width were in the range of 80 to 99% with respect to the height and width of the recess 6c.

更に、図１４に示すように、各側壁４ｃごとの切断予定面Ｌと、側壁４ｅの切断予定面に沿って、ブレードｃによりグリーンシート積層体Ｓ４の厚み方向に沿って切断を行った（切断工程）。かかる切断の後で、２つに切断された各挿入物８を、切断後の各凹み６ｃから抜き取った。
その結果、前記図５に示したパッケージ本体１が一対得られた。各パッケージ本体１を前記同様に加熱・焼成することで、製品のセラミックパッケージＰ１を製造することできた。
以上のような第１の製造方法によれば、一対あるいは複数対のセラミックパッケージＰ１を確実に且つ効率良く製造することできた。 Furthermore, as shown in FIG. 14, along the planned cutting surface L for each side wall 4c and the planned cutting surface of the side wall 4e, the blade c cut along the thickness direction of the green sheet laminate S4 (cutting). Process). After such cutting, each of the inserts 8 cut into two was extracted from the respective recesses 6c after cutting.
As a result, a pair of package bodies 1 shown in FIG. 5 was obtained. By heating and firing each package body 1 in the same manner as described above, a ceramic package P1 as a product could be manufactured.
According to the first manufacturing method as described above, a pair or a plurality of pairs of ceramic packages P1 can be reliably and efficiently manufactured.

本発明は、以上において説明した各形態に限定されるものではない。
前記グリーンシートｓ１，ｓ２，ｓ２２，ｓ３は、ムライト、窒化アルミニウムなどのセラミックや、低温焼成セラミックの一種であるガラス−セラミックからなるものでも良い。
また、前記グリーンシートｓ１，ｓ２，ｓ２２，ｓ３は、平面視が同じ形状のものを複数積層したものとして良い。
更に、前記グリーンシートｓ１，ｓ２，ｓ２２，ｓ３間に、キャビティ５の側壁４を貫通する導体を形成したり、あるいは、キャビティ５の底面５ａを貫通する導体を形成しても良い。
加えて、前記キャビティ５の側壁を水平に貫通する貫通孔６，６ｄは、２個以上とし、当該キャビティ５における対抗する一対の側壁、または隣接する一位の側壁ごとを貫通するように形成しても良い。
尚、前記セラミックパッケージＰ１，Ｐ２のキャビティ５の開口部は、キャビティ５の底面５ａに電子部品を搭載した後で、セラミックまたは金属からなる蓋板により密閉される。 The present invention is not limited to the embodiments described above.
The green sheets s1, s2, s22, and s3 may be made of a ceramic such as mullite or aluminum nitride, or a glass-ceramic that is a kind of low-temperature fired ceramic.
The green sheets s1, s2, s22, and s3 may be formed by stacking a plurality of green sheets having the same shape in plan view.
Further, a conductor that penetrates the side wall 4 of the cavity 5 may be formed between the green sheets s1, s2, s22, and s3, or a conductor that penetrates the bottom surface 5a of the cavity 5 may be formed.
In addition, two or more through holes 6 and 6d that horizontally penetrate the side walls of the cavity 5 are formed so as to penetrate a pair of opposing side walls in the cavity 5 or the adjacent first side walls. May be.
The openings of the cavities 5 of the ceramic packages P1 and P2 are sealed with a cover plate made of ceramic or metal after electronic components are mounted on the bottom surface 5a of the cavities 5.

本発明の第３の製造方法における一製造工程を示す概略図。Schematic which shows one manufacturing process in the 3rd manufacturing method of this invention. 上記工程により得られたグリーンシート積層体を示す斜視図。The perspective view which shows the green sheet laminated body obtained by the said process. 図２中のＸ−Ｘ線の矢視に沿った垂直断面図。FIG. 3 is a vertical sectional view taken along line XX in FIG. 2. 図２，３に続く製造工程を示す概略図。Schematic which shows the manufacturing process following FIG. 上記各工程により得られたセラミックパッケージを示す斜視図。The perspective view which shows the ceramic package obtained by said each process. 本発明の第１の製造方法における一製造工程を示す概略図。Schematic which shows one manufacturing process in the 1st manufacturing method of this invention. 図６に続く製造工程を示す概略図。Schematic which shows the manufacturing process following FIG. 図７に続く製造工程を示す概略図。Schematic which shows the manufacturing process following FIG. 本発明の第２の製造方法における一製造工程を示す概略図。Schematic which shows one manufacturing process in the 2nd manufacturing method of this invention. 上記工程により得られたグリーンシート積層体を示す斜視図。The perspective view which shows the green sheet laminated body obtained by the said process. 図１０に続く製造工程を示す概略図。Schematic which shows the manufacturing process following FIG. 上記各工程により得られたセラミックパッケージを示す斜視図。The perspective view which shows the ceramic package obtained by said each process. 第１の製造方法の応用形態における一製造工程を示す概略図。Schematic which shows one manufacturing process in the application form of a 1st manufacturing method. 図１３に続く製造工程を示す概略図。Schematic which shows the manufacturing process following FIG.

符号の説明Explanation of symbols

４ａ，４ｃ……側壁
５………………キャビティ
５ｂ〜５ｄ……貫通孔
６………………貫通孔
６ａ……………連通溝
６ｂ，６ｄ……連通孔
６ｃ……………凹み
７〜９…………挿入物
ｓ１……………下層グリーンシート
ｓ１，ｓ２２…中層グリーンシート
ｓ３……………上層グリーンシート
Ｓ１〜Ｓ４……グリーンシート積層体
Ｐ１，Ｐ２……セラミックパッケージ
4a, 4c …… Side wall 5 ……………… Cavity 5b ~ 5d …… Through hole 6 ……………… Through hole 6a …………… Communication groove 6b, 6d …… Communication hole 6c ………… ... Dent 7-9 ………… Insert s1 …………… Lower layer green sheet s1, s22… Middle layer green sheet s3 …………… Upper layer green sheet S1 to S4 …… Green sheet laminate P1, P2 …… Ceramic package

Claims (3)

平坦な下層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に貫通孔を有する中層グリーンシートを積層する工程と、
上記中層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に上記貫通孔の開口部よりも小さい開口部の貫通孔を有する上層グリーンシートを、かかる小さい開口部の一部が中層グリーンシートの貫通孔の一部を覆うように積層して、上向きに開口するキャビティと当該キャビティの側面に一端が開口する凹みとを有するグリーンシート積層体を形成する工程と、
上記グリーンシート積層体の凹みに、かかる凹みの断面とほぼ同じ断面の挿入物を挿入した状態で、上記キャビティの側壁および挿入物を上記グリーンシート積層体の厚み方向に沿って切断する工程と、を含む、
ことを特徴とするセラミックパッケージの製造方法。 Laminating a middle layer green sheet having a through hole between the front and back surfaces on a flat lower layer green sheet;
An upper green sheet having a through hole with an opening smaller than the opening of the through hole is provided between the front surface and the back surface on the intermediate green sheet, and a part of the small opening is a through hole of the intermediate green sheet. Laminating so as to cover a part, forming a green sheet laminate having a cavity opening upward and a recess having one end opened on the side surface of the cavity;
Cutting the side wall of the cavity and the insert along the thickness direction of the green sheet laminate, with an insert having a cross section substantially the same as the cross section of the recess being inserted into the recess of the green sheet laminate, including,
A method of manufacturing a ceramic package characterized by the above. 平坦な下層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に貫通孔を有する中層グリーンシートを積層する工程と、
上記中層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に上記貫通孔の開口部よりも小さい開口部で且つ複数の貫通孔を有する上層グリーンシートを、かかる複数の貫通孔間の側壁が上記中層グリーンシートの貫通孔の中間を覆うように積層して、上向きに開口する複数のキャビティと複数のキャビティ間を隔てる側壁を貫通する連通孔とを有するグリーンシート積層体を形成する工程と、
上記グリーンシート積層体の連通孔に、かかる連通孔の断面とほぼ同じ断面の挿入物を挿入した状態で、上記複数のキャビティを隔てる側壁および挿入物を上記グリーンシート積層体の厚み方向に沿って切断する工程と、を含む、
ことを特徴とするセラミックパッケージの製造方法。 Laminating a middle layer green sheet having a through hole between the front and back surfaces on a flat lower layer green sheet;
On the middle green sheet, an upper green sheet having an opening smaller than the opening of the through hole and having a plurality of through holes between the front surface and the back surface is provided, and the side wall between the plurality of through holes has the middle green. Forming a green sheet laminate having a plurality of cavities that open upward and a communication hole that penetrates a side wall that separates the plurality of cavities, and is laminated so as to cover the middle of the through holes of the sheet;
In the state where the insert having a cross section substantially the same as the cross section of the communication hole is inserted into the communication hole of the green sheet laminate, the side wall and the insert separating the plurality of cavities are arranged along the thickness direction of the green sheet laminate. Cutting, and
A method of manufacturing a ceramic package characterized by the above. 平坦な下層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に複数の貫通孔とかかる複数の貫通孔を連通する連通溝を有する中層グリーンシートを積層する工程と、
上記中層グリーンシートの上に、表面および裏面の間に上記と同じ複数の貫通孔を有する上層グリーンシートを、複数の貫通孔間の側壁が上記連通溝を覆うように積層して、上向きに開口する複数のキャビティとかかる複数のキャビティ間を隔てる側壁を貫通する連通孔とを有するグリーンシート積層体を形成する工程と、
上記グリーンシート積層体の連通孔に、かかる連通孔の断面とほぼ同じ断面の挿入物を挿入した状態で、上記複数のキャビティを隔てる側壁および挿入物を上記積層体の厚み方向に沿って切断する工程と、を含む、
ことを特徴とするセラミックパッケージの製造方法。
A step of laminating a middle layer green sheet having a plurality of through holes and a communication groove communicating the plurality of through holes between the front and back surfaces on a flat lower layer green sheet;
An upper layer green sheet having the same plurality of through-holes between the front surface and the back surface is laminated on the middle-layer green sheet so that the side walls between the plurality of through-holes cover the communication grooves and opened upward. Forming a green sheet laminate having a plurality of cavities and communication holes penetrating the side walls separating the plurality of cavities;
With the insert having a cross section substantially the same as the cross section of the communication hole inserted in the communication hole of the green sheet laminate, the side walls and the insert separating the plurality of cavities are cut along the thickness direction of the laminate. Including a process,
A method of manufacturing a ceramic package characterized by the above.

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